JP2016169731A - 少なくとも二つのポンプ段を有する真空ポンプ又はスクロールポンプの作動の為の方法、及び真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも一つのポンプ段、モーター及びモーター制御部を有する真空ポンプ101であって、その際、真空ポンプが、摩耗性のシール148を有する乾燥運転式の真空ポンプとして形成されている真空ポンプにおいて、少なくとも一つの圧力センサー51が、第一のポンプ段の前に、及び/又は、真空ポンプの少なくとも一つの圧縮室内に設けられており、圧力センサー51が評価ユニット53と接続されている。
【選択図】図3
Description
2 ポンプ段
3 ポンプ段
4 周回するディスク
5 ステーター
6 螺旋部
7 螺旋部
8 対向面
9 軸
10 ステーター
11 球状支承部
12 周回するディスク
13 ステーター
14 螺旋部
15 螺旋部
16 軸部分
17 軸部分
18 軸部分
19 モーターステーター
20 モーターオービター
21 インレット
22 アウトレット
23 ポンプ室
23a 圧縮室
23b 圧縮室
24 波状ベローズ
25 逆止弁
26 ガスバラスト弁
27 対向面
28 ファン
29 シール
30 シール
31 ストロークピストンポンプ
43 ポンプ段
44 ポンプ段
45 ガスインレット
46 ガス案内部
47 ガスアウトレット
48 駆動部ユニット
49 モーター
50 モーター駆動部
51 圧力センサー
52 信号線
53 評価ユニット
54a 圧縮室
54b 圧縮室
55a 圧縮室
55b 圧縮室
101 ピストン真空ポンプ
102 ハウジング
104 軸
106 軸支承部
107 軸支承部
108 永久磁石
110 コイル
112 クランク室
114 クランクディスク
116 クランクピボット
118 軸シール
120 シリンダー
122 支承部ブッシュ
124 ストロークピストン
126 連接棒
127 第一の転向点
128 ガスインレット孔
130 インレットチャネル
133 第二の転向点
134 バルブカバー
136 層
138 バルブばね
140 吸い込み空間
142 アウトレットチャンバー
144 ポンプガスアウトレット
146 シリンダーカバー
148 シール
150 熱伝導体
152 レシーバー(又はレシピエント)
154 線
242 シール
243 間隙
244 対向面
245 螺旋部分
246 弾性的な担持材料
247 シール
248 螺旋部分
249 シール
250 チャネル
251 間隙
252 間隙
A 矢印
B 幅
L 長さ
Claims (13)
- 少なくとも一つのポンプ段、モーター及びモーター制御部を有する真空ポンプであって、その際、真空ポンプが、摩耗性のシールを有する乾燥運転式の真空ポンプとして形成されている真空ポンプにおいて、
少なくとも一つの圧力センサー(51)が、第一のポンプ段(43)の前に、及び/又は、真空ポンプの少なくとも一つの圧縮室(23A,23b;54A,54b;55A,55b)内に設けられていること、及び圧力センサー(51)が評価ユニット(53)と接続されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 少なくとも一つの圧力センサー(51)が、真空ポンプ(1,31,101)の吸引領域(45)内に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 一つの追加的なバルブ(54)が、真空ポンプ(1,31,101)の吸引開口部(45)の閉鎖の為に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- 少なくとも一つのセンサー(51)が、ピラニセンサーとして形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプの(1,31,101)エラー出力及び/又は少出力の表示の為の表示装置が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプ(1)がスクロールポンプとして形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプがピストンポンプ(101)として形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- スクロールポンプ又は少なくとも二つのポンプ段を有する請求項1に記載の特徴を有する真空ポンプの作動の為の方法において、
ポンプ作動中に圧力センサー(51)が吸引領域(45)におけるガス圧を計測すること、
圧力センサー(51)の一または複数の計測値が、評価ユニット(53)によって評価されること、及び、
ポンプ(1,31,101)の回転数が、評価結果に応じて調整されることを特徴とする方法。 - スクロールポンプ又は少なくとも二つのポンプ段を有する請求項1に記載の特徴を有する真空ポンプの作動の為の方法において、
吸引領域(45)とレシーバーを分離するバルブ(54)が、真空ポンプ(1,31,101)のスタートの際に閉じられること、
圧力センサー(45)が、レシーバーに対して閉じられた吸引領域(45)内のガス圧を計測すること、
圧力センサー(51)の一又は複数の計測値が評価ユニット(53)により評価されること、及び、
評価結果に応じて、シール(29,148)の摩耗に関して、情報が、表示ユニットにより出力されることを特徴とする方法。 - 少なくとも一つの圧力センサー(51)によって与えられる計測値に応じて回転数が調整されることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 少なくとも一つの圧力センサー(51)によって与えられる計測値に応じて二つの回転数の間で切替が行われることを特徴とする請求項8または10に記載の方法。
- 所定の吸引圧を下回った際に、真空ポンプ(1,31,101)が、自発的に、回転数の降下を実施すること、又はスタンバイモードへの切り替えが行われることを特徴とする請求項8,10、または11に記載の方法。
- 所定の吸引圧を下回った際に、シール(29,148)の摩耗に関して、情報が表示ユニットに表示されることを特徴とする請求項9に記載の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019031966A (ja) * | 2017-08-04 | 2019-02-28 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
JP2021060035A (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ、スクロールポンプ及びその製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3647599B1 (de) * | 2019-10-07 | 2021-12-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe, scrollpumpe und herstellungsverfahren für solche |
DE102020128369A1 (de) | 2020-10-28 | 2022-04-28 | Leybold Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Scroll-Pumpe sowie Scroll-Pumpe |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05106578A (ja) * | 1991-10-15 | 1993-04-27 | Ebara Corp | スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法 |
JPH05231381A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-07 | Hitachi Ltd | ドライ真空ポンプの真空排気容量制御方法とその装置並びにドライ真空ポンプおよび半導体製造用真空処理装置 |
JPH08502565A (ja) * | 1992-10-12 | 1996-03-19 | ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト | 乾式圧縮真空ポンプを運転する方法並びに該方法に適した真空ポンプ |
JP2003139055A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気装置 |
DE10225774C1 (de) * | 2002-06-10 | 2003-12-11 | Vacuubrand Gmbh & Co Kg | Vakuumpumpe |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11230036A (ja) | 1998-02-18 | 1999-08-24 | Ebara Corp | 真空排気システム |
DE10354205A1 (de) * | 2003-11-20 | 2005-06-23 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe |
JP2006322405A (ja) | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Denso Corp | 真空排気システム |
DE102006050943B4 (de) | 2006-10-28 | 2020-04-16 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb derselben |
DE102008061897A1 (de) | 2008-12-11 | 2010-06-17 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Kolbenvakuumpumpe |
CA2752655A1 (en) | 2011-09-13 | 2013-03-13 | Allan R. Nelson Engineering (1997) Inc. | Pump with wear sleeve |
US9341186B2 (en) | 2013-04-30 | 2016-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll vacuum pump and method of maintenance including replacing a tip seal of a scroll vacuum pump |
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2015
- 2015-03-12 EP EP15158724.3A patent/EP3067560B1/de active Active
-
2016
- 2016-03-02 JP JP2016039622A patent/JP6188850B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05106578A (ja) * | 1991-10-15 | 1993-04-27 | Ebara Corp | スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法 |
JPH05231381A (ja) * | 1992-02-26 | 1993-09-07 | Hitachi Ltd | ドライ真空ポンプの真空排気容量制御方法とその装置並びにドライ真空ポンプおよび半導体製造用真空処理装置 |
JPH08502565A (ja) * | 1992-10-12 | 1996-03-19 | ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト | 乾式圧縮真空ポンプを運転する方法並びに該方法に適した真空ポンプ |
JP2003139055A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気装置 |
DE10225774C1 (de) * | 2002-06-10 | 2003-12-11 | Vacuubrand Gmbh & Co Kg | Vakuumpumpe |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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