DE10354205A1 - Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe - Google Patents
Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe Download PDFInfo
- Publication number
- DE10354205A1 DE10354205A1 DE10354205A DE10354205A DE10354205A1 DE 10354205 A1 DE10354205 A1 DE 10354205A1 DE 10354205 A DE10354205 A DE 10354205A DE 10354205 A DE10354205 A DE 10354205A DE 10354205 A1 DE10354205 A1 DE 10354205A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- input pressure
- drive motor
- speed
- curve
- values
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
- F04B49/065—Control using electricity and making use of computers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
- F04B37/16—Means for nullifying unswept space
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2203/00—Motor parameters
- F04B2203/04—Motor parameters of linear electric motors
- F04B2203/0409—Linear speed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2205/00—Fluid parameters
- F04B2205/01—Pressure before the pump inlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2207/00—External parameters
- F04B2207/02—External pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2210/00—Working fluid
- F05B2210/10—Kind or type
- F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2270/00—Control
- F05B2270/30—Control parameters, e.g. input parameters
- F05B2270/301—Pressure
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S417/00—Pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Ein Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe weist folgende Verfahrensschritte auf: Speichern einer Kurve (32), die für Eingangsdruck-Werte p jeweils einen Drehzahl-Wert n des Antriebsmotors angibt, wobei die Kurve (32) aufweist: Einen oberen Bereich (34) für Eingangsdruck-Werte p größer oder gleich einem oberen Grenzdruck p¶1¶, dem ein einziger konstanter oberer Drehzahl-Wert n¶1¶ zugeordnet ist und einen Änderungsbereich (36) für Eingangsdruck-Werte p kleiner dem oberen Grenzdruck p¶1¶, wobei in dem Änderungsbereich in den Eingangsdruck-Werten p verschiedene Drehzahl-Werte n¶v¶ zugeordnet sind: Ermitteln des Eingangsdruck-Wertes p, Ermitteln der dem Eingangsdruck-Wert p in der Kurve (32) zugeordneten Drehzahl n und Betrieb des Antriebsmotors mit der ermittelten Drehzahl n. Durch das Vorsehen eines Änderungsbereiches kann die Vakuumpumpe stets mit einer Drehzahl betrieben werden, bei der das effektive Saugvermögen der Verdrängerpumpe maximal ist.
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe sowie auf eine Vakuum-Verdrängerpumpe mit einer Steuerung ihres Antriebsmotors.
- Vakuum-Verdrängerpumpen sind beispielsweise Membranpumpen, Drehschieberpumpen, Kolbenpumpen oder Rootspumpen und werden häufig als Vorvakuumpumpen in Kombination mit einer Hochvakuumpumpe eingesetzt. Eine Besonderheit der genannten Vakuum-Verdrängerpumpen ist, dass der durch sie erreichbare Enddruck, also der Vorvakuumdruck in hohem Maße drehzahlabhängig ist, wobei die Drehzahl bei hohen Eingangsdrücken hoch und bei niedrigen Eingangsdrücken niedrig sein muss, um ein optimales Saug vermögen zu realisieren. Dies ist dadurch zu erklären, dass bei niedrigen Eingangsdrücken aufgrund der geringen Differenz zwischen Eingangsdruck und Saugdruck im Arbeitsraum die Füllung des Saugraumes relativ langsam erfolgt. Dies hat bei niedrigen Eingangsdrücken einen schlechten Füllgrad der Vakuum-Verdrängerpumpe zur Folge, der nur durch Verlängerung der Öffnungszeiten des Einlassventiles, also durch eine Verringerung der Drehzahl verbessert werden kann.
- Aus
DE 198 16 241 C1 ist eine Vakuum-Verdrängerpumpe bekannt, die in Abhängigkeit von einem Eingangsdruck-Wert mit zwei verschiedenen Drehzahlen betrieben wird, nämlich mit einer hohen Drehzahl zum Evakuieren und mit einer niedrigen Drehzahl zum Erreichen eines niedrigstmöglichen Enddruckes. Vom Pumpbeginn bis zum Erreichen des Enddruckes wird relativ viel Zeit benötigt. - Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, ein Verfahren bzw. eine Vakuum-Verdrängerpumpe zu schaffen, mit dem bzw. mit der der Enddruck schneller erreicht werden kann.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen der Ansprüche 1, 3 bzw. 10 gelöst.
- Das erfindungsgemäße Verfahren gemäß Anspruch 1 zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe weist die Verfahrensschritte Speichern einer Druck-Drehzahl-Kurve, Ermittlung des Eingangsdruck-Wertes, Drehzahl-Wert-Ermittlung aus der Kurve und Betrieb des Antriebsmotors mit dem ermittelten Drehzahl-Wert auf.
- Zunächst wird eine Kurve gespeichert, in der für Eingangsdruckwerte p größer oder gleich einem oberen Grenzdruck p1 ein ein ziger konstanter oberer Drehzahl-Wert n1 zugeordnet ist, und die einen Änderungsbereich für Eingangsdruck-Werte p kleiner dem oberen Grenzdruck p1 aufweist, wobei in dem Änderungsbereich den Eingangsdruck-Werten p verschiedene Drehzahl-Werte nv zugeordnet sind.
- Bei Betrieb des Antriebsmotors wird ständig der Eingangsdruck-Wert p ermittelt, aus dem Eingangsdruck-Wert p in der Kurve die zugeordnete Drehzahl n ermittelt, sowie der Antriebsmotor mit der ermittelten Drehzahl n betrieben. Während bei hohen Eingangsdruck-Werten p oberhalb des oberen Grenzdruckes p1 der Antriebsmotor mit einer maximalen konstanten Drehzahl n1 betrieben wird, wird für Drehzahlen unterhalb des oberen Grenzdruckes p1 in Abhängigkeit von dem Eingangsdruck-Wert p annähernd stufenlos ein entsprechender Drehzahl-Wert nv zugeordnet. Auf diese Weise kann das effektive Saugvermögen der Verdrängerpumpe für jeden Eingangsdruck-Wert auf einem größtmöglichen Niveau gehalten werden. Hierdurch wird die Zeit vom Beginn der Evakuierung bis zum Erreichen des Enddruckes verkürzt. Durch das Anpassen der Drehzahl an den Eingangsdruck-Wert wird die erforderliche Antriebsenergie sowie, durch das niedrigere durchschnittliche Drehzahl-Niveau, der Verschleiß reduziert. Hierdurch werden die Wartungs- und Betriebskosten reduziert, also die Wirtschaftlichkeit der Vakuum-Verdrängerpumpe verbessert.
- Vorzugsweise weist die Kurve einen unteren Bereich für Eingangsdruck-Werte p kleiner oder gleich einem unteren Grenzdruck p2 auf, wobei dem unterem Bereich ein einziger konstanter unterer Drehzahl-Wert n2 zugeordnet ist und der Änderungsbereich auf Eingangsdruck-Werte p größer dem unteren Grenzdruckbereich p2 begrenzt ist. Die Kurve weist also sowohl einen oberen Druck-Bereich konstanter Drehzahl als auch einen unteren Druck- Bereich konstanter Drehzahl sowie, zwischen den beiden genannten Bereichen, einen Änderungsbereich nichtkonstanter Drehzahl auf. Eine derartige Kurve ist beispielsweise bei Vorvakuumpumpen notwendig und sinnvoll, die für eine Pumpwirkung eine gewisse Mindestdrehzahl erfordern, da unterhalb der Mindestdrehzahl insbesondere durch Rückströmverluste keine Pumpwirkung mehr vorhanden ist. Dies trifft beispielsweise auf ölgedichtete Drehschieberpumpen zu. Hierdurch wird sichergestellt, dass die Vakuum-Verdrängerpumpe stets oberhalb einer Drehzahl betrieben wird, bei der die Pumpfunktion auch bei sehr niedrigen Eingangsdrücken noch gewährleistet ist.
- Gemäß einem nebengeordneten Verfahrensanspruch 3 weist die Kurve im Unterschied zum Verfahrensanspruch 1 statt eines oberen Bereiches einen unteren Bereich für Eingangsdruck-Werte p kleiner oder gleich einem unteren Grenzdruck p2 auf, wobei dem unteren Bereich eine einzige konstante untere Drehzahl n2 zugeordnet ist.
- Vorzugsweise sind im Änderungsbereich abfallenden Eingangsdruck-Werten p abfallende Drehzahlen nv zugeordnet, d.h. niedrigen Eingangsdruck-Werten p sind niedrige Drehzahl-Werte nv zugeordnet.
- Vorzugsweise liegt der obere Grenzdruck p1 zwischen 20 mbar und 1 mbar und liegt der untere Grenzdruck p2 zwischen 1,0 mbar und 0,005 mbar, wobei der obere Grenzdruck p1 größer ist als der untere Grenzdruck p2.
- Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung liegt der obere konstante Drehzahlwert n1 zwischen 2.200 und 1.000 U/min und liegt der untere konstante Drehzahl-Wert n2 zwischen 300 und 1.300 U/min, wobei der obere konstante Drehzahl-Wert n1 größer als der untere konstante Drehzahl-Wert n2 ist.
- Vorzugsweise ist die Verdrängerpumpe eine einer Hochvakuumpumpe vorgeschaltete Vorvakuumpumpe und ist der Eingangsdruck-Wert p der saugseitige Druck der Hochvakuumpumpe. Der Eingangsdruck-Wert p ist also der Druck in dem durch die Hochvakuumpumpe evakuierten Rezipienten. Alternativ kann der Eingangsdruck-Wert p auch der Vorvakuumdruck unmittelbar vor dem Eingang der Vorvakuumpumpe sein.
- Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Eingangsdruck-Drehzahl-Kurve in einem Kennfeldspeicher hinterlegt. In dem Kennfeldspeicher ist jedem Eingangsdruck-Wert p eine entsprechende Drehzahl n zugeordnet.
- Vorzugsweise ist der Antriebsmotor ein Asynchronmotor, der von einem entsprechend angesteuerten Frequenzumformer angesteuert wird. Der Antriebsmotor kann aber auch als Synchronmotor ausgeführt sein.
- Die erfindungsgemäße Vakuum-Verdrängerpumpe weist einen Antriebsmotor, einen Eingangsdruck-Sensor und eine Antriebsmotor-Steuerung auf, die die Drehzahl n des Antriebsmotors in Abhängigkeit von dem durch den Eingangsdruck-Sensor ermittelten Eingangsdruck-Wert p steuert. Ferner weist die Antriebsmotor-Steuerung einen Speicher auf, in dem eine Kurve gespeichert ist, die für Eingangsdruck-Werte p des Eingangsdruck-Sensors jeweils eine Drehzahl n des Antriebsmotors angibt, wobei die Kurve zwei Bereiche aufweist: Der erste Bereich ist ein oberer Bereich für Eingangsdruck-Werte p größer oder gleich einem oberen Grenzdruck p1, dem ein einziger konstanter oberer Drehzahl-Wert n1 zugeordnet ist. Der zweite Bereich ist ein Änderungsbe reich für Eingangsdruck-Werte p kleiner dem oberen Grenzdruck p1, wobei in dem Änderungsbereich den Eingangsdruck-Werten p verschiedene Drehzahl-Werte nv zugeordnet sind.
- Vorzugsweise weist die Antriebsmotor-Steuerung einen Prozessor auf, mit dem der Eingangsdruck-Sensor verbunden ist und der die Signale des Eingangsdruck-Sensors auswertet. Die ausgewerteten Eingangsdruck-Sensor-Signale können einer der Vakuum-Verdrängerpumpe zugeordneten Druckanzeige zugeführt werden. Die Eingangsdruck-Sensor-Signale werden also von der Antriebsmotor-Steuerung nicht nur im Hinblick auf die Steuerung des Antriebsmotors ausgewertet, sondern auch in ein Anzeigeformat umgewandelt und schließlich einer der Vakuumpumpe zugeordneten Anzeige zugeführt. Hierdurch erübrigt sich eine separate Auswerte- und Anzeigevorrichtung für das Anzeigen des Eingangsdruckes.
- Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figuren ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
- Es zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung einer Pumpenanordnung mit einer erfindungsgemäßen Vakuum-Verdrängerpumpe als Vorvakuumpumpe und einer Hochvakuumpumpe, und -
2 einer Eingangsdruck/Drehzahl-Kurve, nach der die Drehzahl des Antriebsmotors der Vakuum-Verdrängerpumpe gesteuert wird. - In der
1 ist schematisch eine Pumpenanordnung10 dargestellt, die der Erzeugung eines Hochvakuums in einem Rezipienten12 dient. Zur Erzeugung des Hochvakuums in dem Rezipienten12 sind zwei Pumpen hintereinander geschaltet, nämlich eine Hochvakuumpumpe14 , beispielsweise eine Turbomolekularpumpe, und eine Vakuum-Verdrängerpumpe16 als Vorvakuumpumpe, beispielsweise eine Membran-, Kolben- oder Drehschieberpumpe. - Die Vakuum-Verdrängerpumpe
16 weist im Wesentlichen eine Pumpvorrichtung18 mit einem Verdränger in einem Pumpraum, einen Antriebsmotor20 zum Antrieb der Pumpvorrichtung18 und eine Antriebsmotor-Steuerung22 zur Steuerung und Energieversorgung des Antriebsmotors20 auf. Der Antriebsmotor20 ist als Synchronmotor ausgebildet. - Ferner weist die Pumpenanordnung
10 zwei Eingangsdruck-Sensoren24 ,26 auf, wobei der eine Eingangsdruck-Sensor24 den Vorvakuumdruck unmittelbar am Einlass der Vakuum-Verdrängerpumpe16 ermittelt und der andere Eingangsdruck-Sensor26 den Hochvakuumdruck in dem Rezipienten12 ermittelt. Beide Eingangsdruck-Sensoren24 ,26 sind mit einem Prozessor28 der Antriebsmotor-Steuerung22 verbunden, an den sie kontinuierlich Eingangsdruck-Werte p liefern. Die Antriebsmotor-Steuerung22 weist ferner einen Frequenzumformer30 auf, der von dem Prozessor28 angesteuert wird und mit dem Antriebsmotor20 verbunden ist. Der der Vakuum-Verdrängerpumpe16 zugeordnete Eingangsdruck-Sensor24 kann auch in die Vakuum-Verdrängerpumpe16 integriert sein. - Der Prozessor
28 weist einen Kennfeldspeicher auf, in dem eine Kurve32 hinterlegt ist, in der Eingangsdruck-Werten p jeweils eine Drehzahl n des Antriebsmotors20 zugeordnet ist. - Die Kurve
32 weist einen oberen Bereich34 auf, der sich von dem atmosphärischen Druck 1.013 mbar bis zu einem oberen Grenzdruck p1 von 10 mbar erstreckt. Dem oberen Bereich34 der Kurve32 ist ein einziger konstanter oberer Drehzahl-Wert n1 zugeord net. Zwischen dem oberen Grenzdruck p1 und einem unteren Grenzdruck p2, der ungefähr bei 0,01 mbar liegt, weist die Kurve32 ein Änderungsbereich36 auf, in dem den Eingangsdruck-Werten p verschiedene Drehzahl-Werte nv zugeordnet sind. In dem Änderungsbereich36 der Kurve32 sind den fallenden Eingangsdruck-Werten p fallende Drehzahlen nv zugeordnet. Jedem Eingangsdruck-Wert p ist im Änderungsbereich36 ein anderer Drehzahl-Wert nv zugeordnet. Die Kurve32 weist ferner einen unteren Bereich38 für Eingangsdruck-Werte p kleiner oder gleich dem unteren Grenzdruck p2 auf. In dem unteren Bereich38 der Kurve32 ist allen Eingangsdruck-Werten p ein einziger Drehzahl-Wert n2 zugeordnet. - Bei einer als Kolbenpumpe ausgebildeten Pumpvorrichtung
18 beträgt der obere Drehzahl-Wert n1 beispielsweise ca. 1.800 U/min und der untere Drehzahl-Wert n2 500 U/min. Bei einer Ausbildung der Pumpvorrichtung18 als ölgedichtete Drehschieberpumpe liegt der obere Drehzahl-Wert n1 beispielsweise bei 2.100 U/min und der untere Drehzahl-Wert n2 bei 1.000 U/min. - Als Eingangsdruck-Wert p dient der Hochvakuumdruck, der von dem an dem Rezipienten
12 und saugseitig der Hochvakuumpumpe14 angeordneten Eingangsdruck-Sensor26 geliefert wird. Alternativ kann jedoch auch der Vorvakuumdruck des Eingangsdruck-Sensors24 der Ermittlung der Eingangsdruck-Werte p dienen. - Der Verlauf der Kurve
32 , die Grenzdrücke p1 und p2 und der obere und untere Drehzahl-Wert n1 und n2 werden durch Versuchsreihen ermittelt, um für jeden Eingangsdruck-Wert p eine Drehzahl des Antriebsmotors20 zu ermitteln, bei der ein maximales effektives Saugvermögen der Verdrängerpumpe16 erreicht wird. Die ermittelte Kurve wird anschließend in dem Kennfeldspeicher des Prozessors28 gespeichert. Bei Betrieb der Pumpen anordnung10 wird durch die Antriebsmotor-Steuerung22 die Drehzahl n des Antriebsmotors20 in Abhängigkeit von dem Hochvakuum-Eingangsdruck-Wert p aus der in dem Kennfeldspeicher hinterlegten Kurve32 ermittelt. Der ermittelte Drehzahl-Wert n wird an den Frequenzumformer30 ausgegeben, der entsprechende Drehfelder in den Statorspulen des als Asynchron- oder Synchronmotor ausgebildeten Antriebsmotors20 generiert und mit der ermittelten Drehzahl betreibt. Auf diese Weise kann die Verdrängerpumpe16 stets mit dem maximalen effektiven Saugvermögen betrieben werden. - Der Prozessor
28 der Antriebsmotor-Steuerung22 übernimmt ferner die Auswertung und Umwandlung der Signale des Eingangsdruck-Sensors24 in ein Anzeigeformat. Die in das Anzeigeformat umgewandelten Eingangsdrücke werden einer Anzeigevorrichtung zugeführt, die an der Vakuum-Verdrängerpumpe16 angeordnet ist, beispielsweise am Gehäuse der Antriebsmotor-Steuerung22 . Die Anzeigevorrichtung kann auch zur Anzeige der Drehzahl genutzt werden.
Claims (11)
- Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors (
20 ) einer Vakuum-Verdrängerpumpe (16 ), mit den Schritten: Speichern einer Kurve (32 ), die für Eingangsdruck-Werte p jeweils eine Drehzahl n des Antriebsmotors (20 ) angibt, wobei die Kurve (32 ) aufweist: – einen oberen Bereich (34 ) für Eingangsdruck-Werte p größer oder gleich einem oberen Grenzdruck p1, dem ein einziger konstanter oberer Drehzahl-Wert n1 zugeordnet ist, und – einen Änderungsbereich (36 ) für Eingangsdruck-Werte p kleiner dem oberen Grenzdruck p1, wobei in dem Änderungsbereich den Eingangsdruck-Werten p verschiedene Drehzahl-Werte nv zugeordnet sind, Ermitteln des Eingangsdruck-Wertes p, Ermitteln der dem Eingangsdruck-Wert p in der Kurve (32 ) zugeordneten Drehzahl n, und Betrieb des Antriebsmotors (20 ) mit der ermittelten Drehzahl n. - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kurve (
32 ) einen unteren Bereich (38 ) für Eingangsdruck-Werte p kleiner oder gleich einem unteren Grenzdruck p2 aufweist, dem unteren Bereich (38 ) ein einziger konstanter unterer Drehzahl-Wert n2 zugeordnet ist, und der Änderungsbereich (36 ) auf Eingangsdruck-Werte p größer dem unteren Grenzdruck p2 begrenzt ist. - Verfahren zur Steuerung eines Antriebmotors (
20 ) einer Vakuum-Verdrängerpumpe (16 ), mit den Schritten: Speichern einer Kurve (32 ), die für Eingangsdruck-Werte p jeweils eine Drehzahl n des Antriebsmotors (20 ) angibt, wobei die Kurve (32 ) aufweist: – einen unteren Bereich (38 ) für Eingangsdruck-Werte p kleiner oder gleich einem unteren Grenzdruck p2, dem eine einzige konstante untere Drehzahl n2 zugeordnet ist, – einen Änderungsbereich (36 ) für Eingangsdruck-Werte p größer dem unteren Grenzdruck p2, wobei in dem Änderungsbereich (36 ) den Eingangsdruck-Werten p verschiedene Drehzahl-Werte nv zugeordnet sind, Ermitteln des Eingangsdruck-Wertes p, Ermitteln der dem Eingangsdruck-Wert p in der Kurve (32 ) zugeordneten Drehzahl n, und Betrieb des Antriebsmotors (20 ) mit der ermittelten Drehzahl n. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass im Änderungsbereich (
36 ) abfallenden Eingangsdruck-Werten p abfallende Drehzahlen nv zugeordnet sind. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass der obere Grenzdruck p1 zwischen 20 mbar und 1 mbar liegt und der untere Grenzdruck p2 zwischen 1,0 mbar und 0,005 mbar liegt.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass der obere konstante Drehzahl-Wert n1 zwischen 2.200 und 1.000 U/min und der untere konstante Drehzahl-Wert n2 zwischen 300 und 1.300 U/min liegt.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuum-Verdrängerpumpe (
16 ) eine einer Hochvakuumpumpe (14 ) vorgeschaltete Vorvakuumpumpe und der Eingangsdruck-Wert p der saugseitige Druck der Hochvakuumpumpe (14 ) ist. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1–7, dadurch gekennzeichnet, dass die Kurve (
32 ) in einem Kennfeldspeicher hinterlegt ist. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1–8, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsmotor (
20 ) ein Asynchronmotor ist. - Vakuum-Verdrängerpumpe (
16 ) mit einem Antriebsmotor (20 ), einem Eingangsdruck-Sensor (24 ) und einer Antriebsmotor-Steuerung (22 ), die die Drehzahl n des Antriebsmotors (20 ) in Abhängigkeit von dem durch den Eingangsdruck-Sensor (24 ) ermittelten Eingangsdruck-Wert p steuert, wobei die Antriebsmotor-Steuerung (22 ) einen Speicher aufweist, in dem eine Kurve (32 ) gespeichert ist, die für Eingangsdruck-Werte p des Eingangsdruck-Sensors (24 ) jeweils eine Drehzahl n des Antriebsmotors (20 ) angibt, wobei die Kurve (32 ) aufweist: einen oberen Bereich (34 ) für Eingangsdruck-Werte p größer oder gleich einem oberen Grenzdruck p1, dem ein einziger konstanter oberer Drehzahl-Wert n1 zugeordnet ist, und einen Änderungsbereich (36 ) für Eingangsdruck-Werte p kleiner dem oberen Grenzdruck p1, wobei in dem Änderungsbereich (36 ) den Eingangsdruck-Werten p verschiedene Drehzahl-Werte nv zugeordnet sind. - Vakuum-Verdrängerpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsmotor-Steuerung (
22 ) einen Prozessor (28 ) aufweist, mit dem der Eingangsdruck-Sensor (24 ) verbunden ist und der die Signale des Eingangsdruck-Sensors (24 ) auswertet.
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10354205A DE10354205A1 (de) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe |
DE502004009187T DE502004009187D1 (de) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | Verfahren zur steuerung eines antriebsmotors einer vakuum-verdrängerpumpe |
PCT/EP2004/012529 WO2005050021A1 (de) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | Verfahren zur steuerung eines antriebsmotors einer vakuum-verdrängerpumpe |
EP04818757A EP1697639B1 (de) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | Verfahren zur steuerung eines antriebsmotors einer vakuum-verdrängerpumpe |
CNB2004800342164A CN100460676C (zh) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | 容积式真空泵及控制容积式真空泵的驱动电机的方法 |
KR1020067012266A KR20060097741A (ko) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | 정변위 펌프의 구동 모터를 제어하는 방법 |
JP2006540230A JP4553262B2 (ja) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | 真空容積式ポンプの駆動モータを制御するための方法 |
CA002546063A CA2546063A1 (en) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | Method for controlling the drive motor of a positive-displacement vacuum pump |
US10/580,128 US20070071610A1 (en) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | Method for controlling the drive motor of a positive displacement vaccum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10354205A DE10354205A1 (de) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10354205A1 true DE10354205A1 (de) | 2005-06-23 |
Family
ID=34609147
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10354205A Withdrawn DE10354205A1 (de) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | Verfahren zur Steuerung eines Antriebsmotors einer Vakuum-Verdrängerpumpe |
DE502004009187T Active DE502004009187D1 (de) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | Verfahren zur steuerung eines antriebsmotors einer vakuum-verdrängerpumpe |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE502004009187T Active DE502004009187D1 (de) | 2003-11-20 | 2004-11-05 | Verfahren zur steuerung eines antriebsmotors einer vakuum-verdrängerpumpe |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070071610A1 (de) |
EP (1) | EP1697639B1 (de) |
JP (1) | JP4553262B2 (de) |
KR (1) | KR20060097741A (de) |
CN (1) | CN100460676C (de) |
CA (1) | CA2546063A1 (de) |
DE (2) | DE10354205A1 (de) |
WO (1) | WO2005050021A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1918585A2 (de) | 2006-10-28 | 2008-05-07 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3438460A1 (de) * | 2017-08-04 | 2019-02-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102011086572B4 (de) | 2010-11-17 | 2019-08-14 | KSB SE & Co. KGaA | Verfahren und Regelvorrichtung zur drehzahlvariablen Regelung eines Verdrängerpumpenaggregates sowie Verdrängerpumpenanordnung |
DE102022100843A1 (de) | 2022-01-14 | 2023-07-20 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Verfahren, Steuervorrichtung, Speichermedium und Vakuumanordnung |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4737770B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2011-08-03 | アネスト岩田株式会社 | 真空ポンプの運転制御装置および方法 |
EP2357363B8 (de) | 2010-02-12 | 2012-06-06 | Allweiler GmbH | Betriebssteuerungsvorrichtung für eine Verdrängerpumpe, Pumpensystem und Verfahren zum Betreiben eines solchen |
DE102011050017A1 (de) * | 2011-04-29 | 2012-10-31 | Allweiler Gmbh | Steuermittel zum Ansteuern eines Frequenzumrichters sowie Ansteuerverfahren |
CN102278310A (zh) * | 2011-07-14 | 2011-12-14 | 温州市欧弗斯机械有限公司 | 智能调节真空系统 |
DE102014214952A1 (de) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | Ksb Aktiengesellschaft | Verfahren zur Motorsteuerung eines Synchron-Reluktanzmotors für eine Pumpe und Pumpe mit Synchron-Reluktanzmotor |
EP3067560B1 (de) * | 2015-03-12 | 2020-11-18 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Vakuumpumpe mit wenigstens einer Pumpstufe |
DE102017203474A1 (de) * | 2017-03-03 | 2018-09-06 | KSB SE & Co. KGaA | Verfahren zur Regelung einer drehzahlvariablen Umwälzpumpe sowie Umwälzpumpe |
JP7019513B2 (ja) | 2018-06-05 | 2022-02-15 | 株式会社荏原製作所 | 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 |
GB2592573A (en) * | 2019-12-19 | 2021-09-08 | Leybold France S A S | Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method. |
DE102020128369A1 (de) * | 2020-10-28 | 2022-04-28 | Leybold Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Scroll-Pumpe sowie Scroll-Pumpe |
GB2603892A (en) * | 2021-02-03 | 2022-08-24 | Edwards Ltd | Pump apparatus and system |
CN116641881B (zh) * | 2023-04-25 | 2024-01-23 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 真空泵控制方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19816241C1 (de) * | 1998-04-11 | 1999-10-28 | Vacuubrand Gmbh & Co | Membran- oder Kolbenpumpe oder kombinierte Membran-/Kolbenpumpe mit Einrichtung zur druckabhängigen Reduzierung der Schöpfraumvergrößerungsgeschwindigkeit |
DE10043783A1 (de) * | 2000-09-06 | 2002-03-14 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung des Vakuums in einer Kammer |
WO2003098045A1 (de) * | 2002-05-17 | 2003-11-27 | Knf Neuberger Gmbh | Verfahren zur erzeugung eines vakuums und vakuumpumpe zur durchführung dieses verfahrens |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3788076A (en) * | 1972-03-20 | 1974-01-29 | Parker Hannifin Corp | Hydraulic system with series wound pump drive motor |
US4091617A (en) * | 1977-05-11 | 1978-05-30 | Eaton Corporation | Hydraulic controller |
US4174724A (en) * | 1977-07-11 | 1979-11-20 | Borg-Warner Corporation | Flow valve |
US4728869A (en) * | 1985-12-18 | 1988-03-01 | Anicon, Inc. | Pulsewidth modulated pressure control system for chemical vapor deposition apparatus |
DE3828608A1 (de) * | 1988-08-23 | 1990-03-08 | Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh | Vakuumpumpvorrichtung |
CN2118836U (zh) * | 1992-05-12 | 1992-10-14 | 沈太福 | 一种新型可调式真空泵 |
US5624394A (en) * | 1994-10-28 | 1997-04-29 | Iolab Corporation | Vacuum system and a method of operating a vacuum system |
JPH0968169A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 建設機械の油圧駆動装置 |
IT1288737B1 (it) * | 1996-10-08 | 1998-09-24 | Varian Spa | Dispositivo di pompaggio da vuoto. |
US5947692A (en) * | 1997-10-30 | 1999-09-07 | Baxter International Inc. | Peristaltic pump controller with scale factor that varies as a step function of pump inlet pressure |
US6425883B1 (en) * | 1998-05-08 | 2002-07-30 | Circuit Tree Medical, Inc. | Method and apparatus for controlling vacuum as a function of ultrasonic power in an ophthalmic phaco aspirator |
US6045331A (en) * | 1998-08-10 | 2000-04-04 | Gehm; William | Fluid pump speed controller |
US6464464B2 (en) * | 1999-03-24 | 2002-10-15 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Apparatus and method for controlling a pump system |
ATE280406T1 (de) * | 1999-04-07 | 2004-11-15 | Cit Alcatel | Druckregelvorrichtung für eine vakuumkammer, und eine mit einer solchen vorrichtung versehenen vakuumpumpeinheit |
JP2001207984A (ja) * | 1999-11-17 | 2001-08-03 | Teijin Seiki Co Ltd | 真空排気装置 |
US6537033B2 (en) * | 2000-04-11 | 2003-03-25 | Western Dairies Incorporation | Open loop control apparatus for vacuum controlled systems |
AU2001253503A1 (en) * | 2000-04-14 | 2001-10-30 | Actuant Corporation | Variable speed hydraulic pump |
DE10023523C1 (de) * | 2000-05-13 | 2001-12-13 | Vacuubrand Gmbh & Co Kg | Anlaufsteuerung für eine Membran- und/oder Kolbenvakuumpumpe |
JP4109405B2 (ja) * | 2000-05-19 | 2008-07-02 | 日立建機株式会社 | 建設機械のエンジン制御装置 |
US6539714B1 (en) * | 2002-03-19 | 2003-04-01 | Cummins, Inc. | System for estimating turbocharger rotational speed |
-
2003
- 2003-11-20 DE DE10354205A patent/DE10354205A1/de not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-11-05 WO PCT/EP2004/012529 patent/WO2005050021A1/de active Application Filing
- 2004-11-05 KR KR1020067012266A patent/KR20060097741A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-11-05 JP JP2006540230A patent/JP4553262B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-05 CA CA002546063A patent/CA2546063A1/en not_active Abandoned
- 2004-11-05 US US10/580,128 patent/US20070071610A1/en not_active Abandoned
- 2004-11-05 CN CNB2004800342164A patent/CN100460676C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-05 EP EP04818757A patent/EP1697639B1/de not_active Not-in-force
- 2004-11-05 DE DE502004009187T patent/DE502004009187D1/de active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19816241C1 (de) * | 1998-04-11 | 1999-10-28 | Vacuubrand Gmbh & Co | Membran- oder Kolbenpumpe oder kombinierte Membran-/Kolbenpumpe mit Einrichtung zur druckabhängigen Reduzierung der Schöpfraumvergrößerungsgeschwindigkeit |
DE10043783A1 (de) * | 2000-09-06 | 2002-03-14 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung des Vakuums in einer Kammer |
WO2003098045A1 (de) * | 2002-05-17 | 2003-11-27 | Knf Neuberger Gmbh | Verfahren zur erzeugung eines vakuums und vakuumpumpe zur durchführung dieses verfahrens |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1918585A2 (de) | 2006-10-28 | 2008-05-07 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP1918585A3 (de) * | 2006-10-28 | 2009-12-02 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102006050943B4 (de) * | 2006-10-28 | 2020-04-16 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb derselben |
DE102011086572B4 (de) | 2010-11-17 | 2019-08-14 | KSB SE & Co. KGaA | Verfahren und Regelvorrichtung zur drehzahlvariablen Regelung eines Verdrängerpumpenaggregates sowie Verdrängerpumpenanordnung |
EP3438460A1 (de) * | 2017-08-04 | 2019-02-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102022100843A1 (de) | 2022-01-14 | 2023-07-20 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Verfahren, Steuervorrichtung, Speichermedium und Vakuumanordnung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2546063A1 (en) | 2005-06-02 |
WO2005050021A1 (de) | 2005-06-02 |
JP4553262B2 (ja) | 2010-09-29 |
CN1882782A (zh) | 2006-12-20 |
KR20060097741A (ko) | 2006-09-14 |
EP1697639A1 (de) | 2006-09-06 |
EP1697639B1 (de) | 2009-03-18 |
JP2007511703A (ja) | 2007-05-10 |
DE502004009187D1 (de) | 2009-04-30 |
CN100460676C (zh) | 2009-02-11 |
US20070071610A1 (en) | 2007-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1697639B1 (de) | Verfahren zur steuerung eines antriebsmotors einer vakuum-verdrängerpumpe | |
DE3711143C2 (de) | ||
DE60006761T2 (de) | Verbesserte Teillastleistung eines Schraubenverdichters mit variabler Geschwindigkeit | |
EP2362102B1 (de) | Dosierpumpenaggregat | |
DE60004585T2 (de) | Verfahren und Gerät zur Drehmomentsteuerung um den Leistungsbedarf beim Anfahren zu regulieren | |
EP1434896B1 (de) | Mehrkammervakuumanlage, verfahren und vorrichtung zu ihrer evakuierung | |
EP1387960A1 (de) | Verfahren zum verstellen einer volumenstromvariablen verdrängerpumpe in einem brennkraftmotor | |
DE602004002317T2 (de) | Verfahren zum Steuern von mehreren Verdichtern | |
EP2071186A2 (de) | Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb | |
DE102009017887A1 (de) | Grobpumpverfahren für eine Verdrängerpumpe | |
DE112020001762T5 (de) | Trockenvakuumpumpe und Pumpanlage | |
DE102009052510A1 (de) | Kompressor zur Erzeugung von Druckluft | |
DE19816241C1 (de) | Membran- oder Kolbenpumpe oder kombinierte Membran-/Kolbenpumpe mit Einrichtung zur druckabhängigen Reduzierung der Schöpfraumvergrößerungsgeschwindigkeit | |
EP2357115B1 (de) | Druckluftkompressor und Verfahren zum Betrieb eines Druckluftkompressors | |
EP1600630B1 (de) | Mehrstufiger Kolbenverdichter zur Verdichtung von Gas und Verfahren zur Kompensationsregelung | |
EP3330644B1 (de) | Kälteanlage und verfahren zur regelung einer kälteanlage | |
CN105545491B (zh) | 一种燃气轮机液压启动方法及具有其的燃气轮机液压系统 | |
DE102008032925A1 (de) | Druckluftkompressor | |
DE112020003410T5 (de) | Pumpenaggregat | |
GB2592283A (en) | Method to operate a vacuum system | |
EP2253842A1 (de) | Windturbine | |
EP3322899B1 (de) | Kompressor und verfahren zu dessen drehzahlsteuerung | |
EP2466145A2 (de) | Verfahren zum Belüften einer Vakuumpumpe and Anordnung mit einer Vakuumpumpe | |
EP2593679A2 (de) | Hydroaggregat | |
DE2462187A1 (de) | Fluessigkeitsring-vakuumpumpe mit vorgeschaltetem seitenkanal-ringverdichter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8141 | Disposal/no request for examination |