JP2021060035A - 真空ポンプ、スクロールポンプ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
22 第1のハウジング要素
24 第2のハウジング要素/固定のスクロール部材
26 スクロール壁
28 スクロール壁
30 可動のスクロール部材
32 偏心シャフト
34 モータ
36 転がり軸受
38 偏心ピン
40 転がり軸受
42 波形ベローズ
44 ファン
46 エアガイドフード
48 エレクトロニクスハウジング
50 通路
52 チャンバ
54 フィン
56 凹部
58 フィン
60 圧力センサ
62 通路
64 シール要素
66 ベースプレート
68 保持突出部
70 第1の中間部分
72 第2の中間部分
74 第3の中間部分
76 クランプ装置
78 3爪チャック
80 空所
82 バランスウェイト
84 取付穴
86 シャフト段部
88 ハウジング肩部
90 ガスバラストバルブ
92 操作グリップ
94 プラスチックボディ
96 ベース要素
98 孔
100 逆止弁
102 栓
104 取付ねじ
106 回動可能な要素
108 孔
110 孔
112 蓋
114 溝
116 内側の側壁
118 外側の側壁
120 第1のスクロール部分
122 第2のスクロール部分
124 空気流
126 ソケット
128 プラグ
130 仕切壁
132 凹部
134 中間ばめ部
136 Oリング
138 引離し用ねじ山
140 凹み
142 取付ねじ
144 ドーム
Claims (16)
- 真空ポンプであって、スクロールポンプ(20)に組み込まれた圧力センサ(60)を備える、スクロールポンプ(20)。
- 圧力センサ(60)は、スクロールポンプ(20)及び/又は真空システムの制御部に接続されている、請求項1に記載のスクロールポンプ(20)。
- 圧力センサ(60)は、スクロールポンプ(20)の吸引圧力、又はポンプ作用を奏する2つのスクロール壁(26,28)の間の圧力を測定するように配置されている、請求項1又は2に記載のスクロールポンプ。
- 圧力センサ(60)は、スクロールポンプ(20)の構成部材(24)にねじ込まれている、請求項1から3の少なくともいずれか1項に記載のスクロールポンプ(20)。
- 圧力センサ(60)は、スクロールポンプ(20)の冷却装置(44)の冷却空気流に配置されている、請求項1から4の少なくともいずれか1項に記載のスクロールポンプ。
- 真空ポンプ(20)、特にスクロールポンプにおいて、
真空ポンプ(20)を冷却するための、回転数が制御可能なファン(44)と、
温度センサと、
真空ポンプ(20)の駆動装置の消費電力と温度センサによって測定された温度とに応じて、ファン(44)の回転数を制御するように構成されている、制御装置と、
を備える、真空ポンプ(20)。 - 制御が、温度センサによって測定された、真空ポンプ(20)のモータ(34)、モータ巻線、駆動エレクトロニクス、ポンプボディ及び/又はハウジング(22,24)の温度に応じて行われる、請求項6に記載の真空ポンプ。
- 温度の第1の閾値が設定されていて、制御は、測定された温度が第1の閾値を上回るときにだけ行われる、かつ/又は第1の閾値を下回ると、ファン(44)の回転数は、ゼロで又は最小回転数で一定に保持される、請求項6又は7に記載の真空ポンプ(20)。
- 温度の第2の閾値が設定されていて、測定された温度が第2の閾値を上回ると、ファン回転数は、最大回転数で一定に保持される、請求項6から8のいずれか1項に記載の真空ポンプ(20)。
- 真空ポンプ(20)、好適にはスクロールポンプにおいて、
電気的に駆動されるファン(44)とエアガイドフード(46)とを備え、導体が、ファン(44)から、ファン(44)用の供給接続部(128)に通じ、導体は、電気的なコネクタ(126)を介して、供給接続部(128)に接続されていて、コネクタ(126)は、仕切壁(130)によって、エアガイドフード(46)によって規定された空気流路(124)から分離されている、真空ポンプ(20)。 - 導体は、ケーブルである、請求項10に記載の真空ポンプ(20)。
- 導体は、ファン(44)からエアガイドフード(46)を通って供給接続部(128)に通じる、請求項10又は11に記載の真空ポンプ(20)。
- 電気的なコネクタ(126)は、プラグである、請求項10から12の少なくともいずれか1項に記載の真空ポンプ(20)。
- コネクタ(126)は、少なくとも部分的にエアガイドフード(46)内に配置されている、請求項10から13の少なくともいずれか1項に記載の真空ポンプ(20)。
- 導体は、コネクタ(126)から仕切壁(130)に設けられた凹部(132)を通ってガイドされている、請求項10から14のいずれか1項に記載の真空ポンプ(20)。
- 凹部(132)は、コネクタ(126)に対して周方向にずらして配置されている、請求項15に記載の真空ポンプ(20)。
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