JP4533614B2 - 真空制御システム - Google Patents
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Description
一方、分析機器に用いられる真空脱気装置では一般的に、排気用真空ポンプとしてダイアフラム型真空ポンプを用いることが多く、ダイアフラム型真空ポンプを用いると、気体透過膜を通して真空容器内に脱気された気化成分がポンプヘッド内で圧縮されて凝縮し結露を生じ真空ポンプの機能を低下させるために、従来から各種の工夫がなされている(例えば、特許文献1〜4を参照。)。
他方、脱気された液体を必要とする高速液体クロマトグラフィーを始めとする精密分析機器に用いる検出器の感度向上は近年著しく、さらに分析機器や分析システムの小型化、微量化が進んでいる。このような条件下において、前述のようなその真空度にある程度の幅を持つ脱気装置で液体の脱気を行った場合、真空度の変化に伴う液体中の残存気体量の多寡は分析機器検出器のベースラインを不安定にする問題を起こす。加えて、分析機器の小型化に伴い気体透過膜の高性能化が進み、検出器感度の向上も相俟って従来では問題とされなかった気化成分の気体透過膜を介した再溶解が問題となっているが、コストと効果および安定性の面で最適な解決手段が未だ提供されていないのが現状である。
また、請求項2に係る真空制御システムは、請求項1記載の真空制御システムにおいて、前記真空容器内に、隔てられた一方の側に液体を流し他方の側から前記液体中の溶存気体の脱気が可能な気体透過膜が収容されていることを特徴としたものである。
更に、真空容器と排気用真空ポンプとを接続する真空排気経路の途中に、当該真空排気経路に微量の外気を継続的に取り入れるための外気導入手段を設けているので、排気用真空ポンプを常に微小な排気量で稼動させ、真空容器内から排出される気化成分の凝縮を防ぎ真空ポンプを含む真空排気経路全般の長寿命化並びに真空度の安定化を図ることができると共に、複数個の真空容器の内部を1台の真空ポンプで減圧する場合であっても、気化成分の拡散による真空容器内の二次的な相互汚染を防止することが出来る。更に、排気用真空ポンプを常に微小な排気量で稼動させ直流ブラシレス型モータが常に微速度で回転するよう制御しているので、直流ブラシレス型モータや排気用真空ポンプの間歇的な停止/起動が発生せず、システム全体に大きな負荷をかけることがないという利点もある。
更に、前記外気導入手段は、内径の小さな中空細管の内部に、前記内径より小径であって前記内径と所定の差を有する外径の抵抗調節棒を同軸状に常時挿入した状態で設置し、前記中空細管に対する前記抵抗調節棒の挿入長を可変して流通抵抗を調整して、前記中空細管の内周と前記抵抗調節棒の外周との間を流通する外気の流量を調整する固定流通抵抗管で構成されているので、中空毛細管をそのまま使用したり中空管に微細な穴を開けたり或いは中空管内に抵抗としてフィルタを設置したものと比べて、必要な流通抵抗値が任意に且つ容易に得られるだけでなく安価に作製でき、真空制御システムにおける真空排気経路に微量の外気や他の気体を導入するための最適な大気導入手段として用いることが出来る。
また、以下の説明では真空容器1(1a,1b,1c)の内部に気体透過膜6を設置した真空脱気装置を本真空制御システムの最適な使用例として挙げたが、本発明に係る真空制御システムは真空脱気装置に限定されるものではなく、真空容器1(1a,1b,1c)内に真空処理を必要とする固体または液体を設置した場合でも適用可能であることは理解されるべきである。
この固定流通抵抗管は、内径の小さな中空細管9aの内部に中空細管9aの内径より少し小径の外径を有する抵抗調節棒9bを同軸状に挿入設置して形成され、中空細管9aの内周と抵抗調節棒9bの外周との間に気体を流通させ、流通する気体の流通抵抗を調整することによりその流量を制御可能に構成したものである。すなわち、中空細管9aの内径と抵抗調節棒9bの外径との差及び中空細管9aに対する抵抗調節棒9bの挿入長さで流通抵抗を決定し、もって中空細管9aに対する抵抗調節棒9bの挿入長さを可変することにより流通抵抗を調整し、中空細管9aの内周と抵抗調節棒9bの外周との間を流通する気体(外気)の流量を調整する仕組みになっている。
ちなみに、図示した固定流通抵抗管は、中空細管9aの内部に挿入した抵抗調節棒9bの一方の端部9b’を折り曲げて中空細管9aの一方の口縁部に係止させると共に中空細管9aの一方の口縁部外周に脱落防止用短管9cを装着せしめことにより中空細管9aに対する抵抗調節棒9bの挿入長さを固定するようになし、更に脱落防止用短管9cの開口部にごみ流入防止用フィルタ9dを装着してなる。従って、本固定流通抵抗管によれば、安定した抵抗値を持ち適切微量の外気を真空排気経路に導入することが容易に可能となると共に、外気にまぎれてごみ等が内部に侵入して流通抵抗値を変化させるような不具合の発生を容易に防止することが可能となる。
本発明に係る真空制御システムでは、真空排気経路(配管)7に外気導入手段(固定流通抵抗管)9を設けて真空排気経路に微量の外気を常時導入するようにしたため、真空容器1内由来の気化成分は真空排気経路(配管)7や真空ポンプ2のヘッド内で凝縮することなく外部へ連続的に排出されるので必ずしも流路切替えバルブ10を必要としないが、特に排気用真空ポンプ2としてダイアフラム型真空ポンプを用いた場合に、排気の際にポンプヘッド内で一種の圧縮工程があり、気化物の圧縮凝縮ないし残留の可能性があるので、流路切り換えバルブ10を設置することが望ましい。
この実施例と図1に示した実施例との違いは、複数個の真空容器1a,1b,1cを用いていることにあり、その他の構成に基本的な違いはない。複数個の真空容器1a,1b,1cを排気用真空ポンプ2に至る真空排気経路(配管)7に対して並列状に接続せしめたものである。この場合、真空排気経路(配管)7の端部に外気導入手段(固定流通抵抗管)9を設けて真空排気経路に微量の外気を常時導入するようにすると共に、各真空容器1a,1b,1cと真空排気経路(配管)7を接続する連通配管11a,11b,11cの内径を真空排気経路(配管)7の内径と比較して細く設定する。このことで、各真空容器1a,1b,1c内の気化物が自然拡散などにより他の真空容器1a,1b,1c内に侵入して真空容器の内部を汚染するようなことがなく、各真空容器1a,1b,1c内から排出される気化物は外気導入手段(固定流通抵抗管)9から導入される微量の外気の流れに混ざって真空排気経路(配管)7を通り、排気用真空ポンプ2から排出される。従って、複数流路を持つ脱気装置などでの相互汚染を防止することができる。
2:排気用真空ポンプ
3:直流ブラシレス型モータ
4:電源部
4a:電源電圧調整部
4b:電源システム部
5:圧力センサ
6:気体透過膜
7:真空排気経路(配管)
8:制御部
9:外気導入手段(固定流通抵抗管)
9a:中空細管
9b:抵抗調節棒
9c:脱落防止用短管
9d:ごみ流入防止用フィルタ
10:流路切替えバルブ
11a,11b,11c:連通配管
Claims (2)
- 真空容器の内部の圧力を監視する圧力センサと、該圧力センサによって測定された圧力信号に基づいて制御された電圧が印加される直流ブラシレス型モータと、該直流ブラシレス型モータの回転力によって排気量を連続的に制御する排気用真空ポンプと、該排気用真空ポンプの排気量が連続的に制御されることによって真空度が一定に保持される前記真空容器と、前記排気用真空ポンプと前記真空容器を接続する真空排気経路の途中に微量の外気を継続的に取り入れる外気導入手段と、を備え、
前記外気導入手段は、内径の小さな中空細管の内部に、前記内径より小径であって前記内径と所定の差を有する外径の抵抗調節棒を同軸状に常時挿入した状態で設置し、前記中空細管に対する前記抵抗調節棒の挿入長を可変して流通抵抗を調整して、前記中空細管の内周と前記抵抗調節棒の外周との間を流通する外気の流量を調整する固定流通抵抗管であることを特徴とする真空制御システム。 - 前記真空容器内に、隔てられた一方の側に液体を流し他方の側から前記液体中の溶存気体の脱気が可能な気体透過膜が収容されていることを特徴とする請求項1記載の真空制御システム。
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