JP2007101281A - Tvoc測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】検出部に導入する試料ガス流量を正確に一定に維持して測定精度や感度を向上させる。
【解決手段】水素炎イオン化検出器10に試料ガスを導入する検出流路6上に流量抵抗管7を設け、上流側の流路内のガス圧を圧力センサ8により検知する。制御部9は圧力センサ8の検出値をデジタル値に変換し、その値と制御目標値との差を算出し、その差から制御値を導出して圧力制御弁5の開度を変更することにより、流量抵抗管7の上流側流路内のガス圧を常に一定に維持する。
【選択図】図1

Description

本発明は、試料ガス中に含まれる総揮発性有機化合物(TVOC:Total Volatile Organic Compounds)を測定するためのTVOC測定装置に関する。
浮遊粒子状物質や光化学オキシダント等に関連した大気汚染の状況は未だ深刻であり、現在でも、浮遊粒子状物質による人の健康への影響が懸念され、光化学オキシダントによる健康被害も数多く報告されている。浮遊粒子状物質及び光化学オキシダントの原因には様々なものがあるが、揮発性有機化合物(VOC:Volatile Organic Compounds)もその一つである。VOCとは、揮発性を有し、大気中で気体状となる有機化合物の総称であり、トルエン、キシレン、酢酸エチルなど多種多様な物質が含まれる。このVOCの排出を抑制するため、我が国においては、自動車からの炭化水素の排出規制のみならず、工場等の固定発生源からのVOCの排出及び飛散についても排出規制が進められている。
具体的には、工場や事業所に設置されるVOCを排出する施設の中で、その施設から排出されるVOCが大気汚染の原因となるものであってその排出量が多いものについて、特に規制が行われている。こうした状況の中で、VOCの総量であるTVOCの測定の重要性はますます増大している。
図2は従来のTVOC測定装置の概略流路構成を示す図である。例えば室内空気等の試料ガスはポンプ2により導入流路1に吸引され、水素炎イオン化検出器(FID)10に向かう検出流路6と排出流路3の2つに分岐される。排出流路3上には流量調節弁4が設けられ、この弁4の開度により排出流路3を通って装置外部に排気される試料ガスの流量が決まる。そして、この排出流路3を通って排出される試料ガスを除いた少量の試料ガスが、検出流路6に流れて水素炎イオン化検出器10に達して検出される。このように排出流路3を通して試料ガスを排出するのは、水素炎イオン化検出器10に導入可能な試料ガスの流量はごく僅かであり、ポンプ2ではこうした少量の試料ガスの送給を精度良く行うのが困難であるからである。
特開2003−202324号公報
上記装置のように検出器として水素炎イオン化検出器を用いた構成では、高精度の測定を行うために水素炎イオン化検出器に導入する試料ガスの流量を高い精度で一定に維持することが重要である。しかしながら、一般にポンプ2により吸引及び送出される試料ガスの流量はかなり変動するため、上記のような構成では検出流路6を経て水素炎イオン化検出器10に導入される試料ガスの流量の変動が避けられない。その結果、水素炎イオン化検出器10での検出精度や検出感度が低下するという問題が起こる。
本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、その主な目的は、検出器に導入する試料ガスの流量を高い精度で一定に維持することにより、測定精度や感度を改善することができるTVOC測定装置を提供することである。
上記課題を解決するために成された本発明は、試料ガス中に含まれる総揮発性有機化合物を測定するTVOC測定装置であって、
a)導入された試料ガス中の炭化水素濃度を測定する検出手段と、
b)試料ガスを吸引するポンプが途中に設けられた試料ガスの導入流路と、
c)該導入流路に吸引された試料ガスを前記検出手段に導入するために流量抵抗管が途中に設けられた検出流路と、
d)該検出流路上で前記流量抵抗管の上流の流路内のガス圧を検出する圧力検出手段と、
e)該圧力検出手段による検出値が所定値となるように試料ガスを排出する又は供給する制御弁の開度を制御する制御手段と、
を備えることを特徴としている。
ここで上記制御弁は、例えばポンプにより導入流路に吸引された試料ガスを前記検出流路に供給したり或いは外部に排出したりするために設置される。
また本発明に係るTVOC測定装置の好ましい一態様として、前記制御手段は、前記圧力検出手段による検出値をデジタル値に変換し、該デジタル値と所定値との差を算出し、該差に応じて前記制御弁の制御値を決定して該制御値に基づく駆動信号を生成するものとするとよい。
本発明によるTVOC測定装置では、圧力検出手段により流量抵抗管の上流側の流路内のガス圧を高い精度で検出し、制御手段は、その検出値が制御目標値に一致するように制御弁の開度を調節することで、上記流量抵抗管上流側流路内のガス圧を一定に維持する。流量抵抗管を流れる試料ガスの流量はその入口圧と出口圧との差、及び流量抵抗管のサイズ等により決まる流れ抵抗に依存するから、その入口圧を高い精度で一定に維持することで検出手段に導入される試料ガスの流量を一定に維持することができる。それにより、検出手段での炭化水素濃度の測定精度及び感度が高まり、TVOCの測定精度及び感度を改善させることができる。
また上記好ましい一態様の構成では、いわゆるデジタル圧力コントローラによって流量抵抗管の上流側流路内のガス圧が一定に制御されるため、例えばベロースなどの機械的な圧力検出機構を用いた圧力調節弁を使用する場合に比べて、測定毎の設定の誤差を格段に小さく抑えることができる。さらに、低ガス圧の制御が可能であるため、検出手段への導入流量が同一であるという条件の下で流量抵抗管の内径を大きくすることができる。それにより、試料ガスに混入している油分を多く含む浮遊微粒子が流量抵抗管の内壁に付着することに起因する流量のずれを相対的に小さくすることができ、そうした浮遊微粒子による管路の詰まりも回避することができる。
以下、本考案の一実施例であるTVOC測定装置を図1により説明する。図1は本実施例のTVOC測定装置の流路を中心とする概略構成図であり、既に説明した図2と同一の構成要素には同一符号を付している。
このTVOC測定装置では、検出流路6上に流量抵抗管7が設けられ、その流量抵抗管7の上流側の流路内のガス圧が例えば拡散型半導体式の圧力センサ8により検知される。圧力センサ8の検出値はCPUなどを中心に構成される制御部9に送られ、制御部9はこの圧力検出値が予め設定された制御目標値に一致するように、排出流路3に設けられた圧力制御弁5の開度を制御する。より詳しく述べると、制御部9はD/A変換器、A/D変換器を含み、圧力センサ8から入力された圧力検出値をデジタル値に変換し、その値と制御目標値との差を算出する。その差がゼロであれば圧力制御弁5の開度を変更する必要はないが、上記差が生じている場合には、その差の大きさと極性(プラス又はマイナス)から制御値を導出し、その制御値をD/A変換して駆動信号を得て圧力制御弁5の開度を変更する。
例えばポンプ2の送出ガス量が増加して圧力センサ8による検出値が上昇すると、それに応じて制御部9は速やかに圧力制御弁5の開度を増加させ、排出流路3を通した試料ガスの排気を増やす。これにより、分岐点Pのガス圧は変動前の状態に戻る。制御部9はこうしたフィードバック制御を周期的に繰り返し行う。これにより、分岐点P付近のガス圧は常に一定に維持される。
導入流路1を経て供給される試料ガスの流量F1は例えば200〜1000ml/minであり、検出流路6(つまりは流量抵抗管7)を経て水素炎イオン化検出器10に導入される試料ガスの流量F2はたかだか数ml/minである。したがって、ポンプ2により吸引された試料ガスのうち、その大部分(流量F1−F2)が排出流路3を経て装置外部に排出されることになる。
なお、水素炎イオン化検出器10は、例えばJIS D 1030(自動車排ガス中の一酸化炭素、二酸化炭素、全炭化水素及び窒素酸化物の測定方法)に規定されている全炭化水素測定用の水素炎イオン化検出器の規格に準じたものとすることができる。
上記構成において、圧力センサ8、制御部9、圧力制御弁5はいわゆるデジタル圧力コントローラとして機能する。この部分がマニュアル圧力コントローラ、例えばベローズ等の機械的な圧力検知機構を用いた圧力調節弁である場合には、分岐点Pのガス圧を20kPa程度以下に制御することは困難である。また、マニュアル式の圧力調節弁では、測定後にガス圧を設定する際の再設定性誤差(再現性誤差)が1%程度存在する。これは、主として、弁内の間雑のヒステリシスに起因する誤差である。こうした誤差はそのまま水素炎イオン化検出器10に導入される試料ガスの流量のばらつきとして現れるから、検出器10での測定精度や感度自体も1%程度の誤差が発生してしまうことになる。
さらに、分岐点Pのガス圧を20kPa程度に制御し、水素炎イオン化検出器10に5〜10ml/min程度の流量の試料ガスを流すという条件の下では、流量抵抗管7の内径を0.27mm(長さが1000mmの場合)或いは0.2mm(長さが300mmの場合)と、かなり小さくする必要がある。一般に、TVOC測定装置での測定対象である試料ガスには油分を含む浮遊微粒子が多く混入していることが多く、そうした粒子は狭くなった管路の内壁に付着し易い。そのため、上述したように流量抵抗管の管路の内径が小さいと詰まりが発生し易くなり、交換などの手間が大変である。また、管路が完全に詰まらない場合でも、例えば0.2mmの内径の流量抵抗管の内壁に1μm程度の厚さの付着が生じただけで、流量は2%変化してしまう。これは、測定感度が2%程度のずれることを意味する。
これに対し、本実施例のTVOC測定装置では上述したようなデジタル圧力コントローラを使用しているため、上記のような再設定性誤差を0.1%程度に抑えることができる。また、分岐点Pのガス圧を例えば2kPa程度の低ガス圧に制御することが可能であり、そのガス圧で、且つ水素炎イオン化検出器10に5〜10ml/min程度の流量の試料ガスを流すという条件の下で、流量抵抗管7の内径を0.5mm(長さが1000mmの場合)或いは0.37mm(長さが300mmの場合)と、上記の場合の2倍程度に広げることができる。それによって、上述したような浮遊微粒子の付着による管路の詰まりを容易に回避できる。また、流量抵抗管の内壁に1μm程度の厚さの付着が生じた場合でも、流量の変化は0.8%程度で済むため、それによる測定感度の誤差も抑えることができる。
なお、上記実施例は本考案の一例であり、上記記載以外においても本発明の趣旨の範囲で適宜変更や修正を行うことができることは明らかである。
本発明の一実施例であるTVOC測定装置の流路を中心とする概略構成図。 従来のTVOC測定装置の流路を中心とする概略構成図。
符号の説明
1…導入流路
2…ポンプ
3…排出流路
5…圧力制御弁
6…検出流路
7…流量抵抗管
8…圧力センサ
9…制御部
10…水素炎イオン化検出器(FID)

Claims (2)

  1. 試料ガス中に含まれる総揮発性有機化合物を測定するTVOC測定装置であって、
    a)導入された試料ガス中の炭化水素濃度を測定する検出手段と、
    b)試料ガスを吸引するポンプが途中に設けられた試料ガスの導入流路と、
    c)該導入流路に吸引された試料ガスを前記検出手段に導入するために流量抵抗管が途中に設けられた検出流路と、
    d)該検出流路上で前記流量抵抗管の上流の流路内のガス圧を検出する圧力検出手段と、
    e)該圧力検出手段による検出値が所定値となるように試料ガスを排出する又は供給する制御弁の開度を制御する制御手段と、
    を備えることを特徴とするTVOC測定装置。
  2. 前記制御手段は、前記圧力検出手段による検出値をデジタル値に変換し、該デジタル値と所定値との差を算出し、該差に応じて前記制御弁の制御値を決定して該制御値に基づく駆動信号を生成するものであることを特徴とする請求項1に記載のTVOC測定装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008304213A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Shimadzu Corp Voc分析計用信号処理装置
JP5621061B1 (ja) * 2014-02-05 2014-11-05 株式会社ベスト測器 ガス分析装置
CN106404969A (zh) * 2016-08-31 2017-02-15 浙江福立分析仪器股份有限公司 一种用于气相色谱仪的流量调节监测系统及应用方法
CN112285191A (zh) * 2020-09-20 2021-01-29 杭州谱育科技发展有限公司 检测气体的装置和方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6199857A (ja) * 1984-10-22 1986-05-17 Horiba Ltd ガス分析装置
JPH08226878A (ja) * 1995-02-20 1996-09-03 Horiba Ltd 排気ガスサンプリング装置
JP2003202324A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 F Techno:Kk Tvoc測定装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6199857A (ja) * 1984-10-22 1986-05-17 Horiba Ltd ガス分析装置
JPH08226878A (ja) * 1995-02-20 1996-09-03 Horiba Ltd 排気ガスサンプリング装置
JP2003202324A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 F Techno:Kk Tvoc測定装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008304213A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Shimadzu Corp Voc分析計用信号処理装置
JP5621061B1 (ja) * 2014-02-05 2014-11-05 株式会社ベスト測器 ガス分析装置
CN106404969A (zh) * 2016-08-31 2017-02-15 浙江福立分析仪器股份有限公司 一种用于气相色谱仪的流量调节监测系统及应用方法
CN112285191A (zh) * 2020-09-20 2021-01-29 杭州谱育科技发展有限公司 检测气体的装置和方法
CN112285191B (zh) * 2020-09-20 2023-06-20 杭州谱育科技发展有限公司 检测气体的装置和方法

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