CN112901450A - 可移动式快速高真空抽气系统 - Google Patents
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Abstract
本发明属于真空密封技术，具体涉及一种可移动式快速高真空抽气系统，包括真空室，以及与真空室连接的分子泵上，还包括机械泵，所述的机械泵与所述的真空室的侧面抽气管道通过波纹管连接，所述的真空室顶部设有连接管路；所述的侧面抽气管道上设有真空室隔离阀门，所述的真空室的顶部设有真空室放气阀。为了满足快速高真空条件，设计安装了包括机械泵、波纹管、分子泵及管道控制阀门在内的真空系统；在真空室及抽气管道设置有阀门机构，包括放气阀、粗抽阀和真空室隔离阀，可以分别实现真空室的充气、预抽气和协同抽气功能。
Description
技术领域
本发明属于真空密封技术，具体涉及一种可移动式快速高真空抽气系统。
背景技术
目前，常用的复合抽气系统都面临结构复杂、不可移动、不能抽至-3Pa级别高真空，而能满足高真空或超高真空级别的抽气系统价格都比较昂贵，并且设备专用，对于小体积(不超过10L)密封空间所需的抽气系统并不适用，因此需要设计一种结构简单、便携并且可快速抽至高真空的抽气系统。
发明内容
本发明的目的是提供一种可移动式快速高真空抽气系统，其价格低廉，便于使用。
本发明的技术方案如下：
一种可移动式快速高真空抽气系统，包括真空室，以及与真空室连接的分子泵上，还包括机械泵，所述的机械泵与所述的真空室的侧面抽气管道通过波纹管连接，所述的真空室顶部设有连接管路；所述的侧面抽气管道上设有真空室隔离阀门，所述的真空室的顶部设有真空室放气阀。
所述的波纹管与真空室的侧面抽气管道连接，之后的连接管道上设有机械泵粗抽阀门。
所述的真空室上设有电阻规和电离规。
所述的电阻规和电离规分别与真空计电源连接。
所述的分子泵连接分子泵电源及显示器。
所述的连接管道为石英管或波纹管。
还包括支撑结构，所述的真空室、分子泵和机械泵均放置在支撑结构上。
所述的支撑结构包括底部的支撑底板和设于支撑底板上的支撑架。
所述的支撑底板下方设有移动滑轮。
所述的分子泵上连接散热风扇。
本发明的显著效果如下：
设计了便携可移动式支撑架，包括可移动滑轮、支撑底板、支撑杆；支撑架底部4个角分布安装有4个滑轮，可任意360度滑动及随时锁紧。
为了满足快速高真空条件，设计安装了包括机械泵、波纹管、分子泵及管道控制阀门在内的真空系统；在真空室及抽气管道设置有阀门机构，包括放气阀、粗抽阀和真空室隔离阀，可以分别实现真空室的充气、预抽气和协同抽气功能。
匹配了相应的分子泵电源、真空规及真空规电源，用于整个系统的真空监测及电源控制，分子泵电源固定在支撑架上的支撑杆，可以实时显示分子泵转速，并且进行高低两个转速挡位的切换，适用于不同真空度需求的转速选择。
附图说明
图1为可移动式快速高真空抽气系统示意图；
图中：1.移动滑轮；2.机械泵；3.波纹管；4.支撑架；5.分子泵电源及显示器；6.真空计电源；7.电阻规；8.电离规；9.真空室放气阀门；10.机械泵粗抽阀门；11.真空室隔离阀门；12.真空室；13.分子泵；14.分子泵散热风扇；15.支撑底板；16.连接管路。
具体实施方式
下面通过附图及具体实施方式对本发明作进一步说明。
设计的可移动式支撑架，如图1所示，包括支撑底板15，安装在支撑底板15下的移动滑轮1、安装支撑底板15上的支撑架4，支撑架4上放置分子泵电源及显示器5和真空计电源6。
真空室12放置在支撑底板15上，其下方连接分子泵13，分子泵13上可以安装散热风扇14，其作用是冷却分子泵13，防止分子泵高速转动过热导致泵体损坏。
机械泵2安装在支撑底板15上，机械泵2上连接波纹管3，波纹管3一端与真空室12的侧面抽气管道连接，波纹管3的另一端连接机械油泵2，其作用是实现对真空室12和被抽气部件的同时或分别抽气。
真空室12顶部设计连接管路16，连接管路16连接放置有需要高真空条件测量样品的管子，或者需要进行密封漏气检测的容器。
真空室12的侧面抽气管道上安装真空室隔离阀门11，用于隔离机械泵2和分子泵13，进行不同程度的抽真空。真空室12的顶部安装真空室放气阀9，用于抽气结束之后，充入外部空气，以实现抽气系统和被抽气部件的分离。
波纹管3与真空室12的侧面抽气管道连接后，在连接后的管道上安装机械泵粗抽阀门10，用于抽气系统的前期低真空抽气。
电阻规7和电离规8安装在真空室顶部，与真空计电源6连接，分别用于测量真空室内的低真空和高真空条件下的气压值。
分子泵电源及显示器5放置在支撑架4上，其与分子泵13连接，用于分子泵13运转开启及转速监测。
真空计电源6与电阻规7和电离规8连接，放置于支撑架4顶部，用于给电阻规7和电离规供电，使其实现测量及压力显示。
实施例1：石英管样品高真空封装实验
在真空室12顶部连接管道上，通过硅胶管作为中间管路连接石英管，石英管内放置需要高真空条件的样品。在保证所有管道都密封良好的条件后，接通分子泵电源及显示器5和机械泵2电源，开启机械泵2进行预抽气，同时打开机械泵粗抽阀门10，对石英管进行低真空抽气。之后接通真空规电源6，真空规电源左侧将显示电阻规7测的真空室12内实时压力数据。当真空室12内压力抽至5Pa以下，关闭机械泵粗抽阀门10，同时打开真空室隔离阀门11及分子泵13，开始对石英管进行高真空抽气，对于2L以下体积的密封环境抽气，利用分子泵低速档(420Hz)即可，对于2L以上体积，应该切换至高速挡位(780Hz)进行抽气。当真空计电源右侧电离规8测得数据显示为期望的真空度情况下，即可对石英管样品进行火焰旋转烧制密封，最终得到石英管高真空密封的样品，用于后续相关实验。对于完成抽气实验的本系统，下次抽气之前需要打开真空室放气阀9，充入空气，以实现抽气系统和被抽气部件的分离。
实施例2：密封容器漏气检测
对于需要进行密封漏气检测的容器，跟上例类似，用硅胶管或波纹管连接该可移动式快速高真空抽气系统。在保证所有连接处都密封良好的情况下，接通分子泵电源及显示器5和机械泵2电源，开启机械泵2及机械泵粗抽阀门10，在进行抽气的同时，观察真空计电源左侧电阻规7测得数据的变化，若一直为大气压或只距离大气压略微下降，则显示待检漏容器存在较大漏气孔，可通过漏气声音或涂抹酒精检测漏孔位置。在涂抹酒精于密封容器表面的过程中，当真空计电源6左侧读数急剧升高，说明该处存在漏孔，需要进行修复。利用该可移动式快速高真空抽气系统，可快速有效的对复杂的管道系统及密封容器进行检漏，方便实用。
Claims (10)
1.一种可移动式快速高真空抽气系统，包括真空室(12)，以及与真空室(12)连接的分子泵(13)上，其特征在于：还包括机械泵(2)，所述的机械泵(2)与所述的真空室(12)的侧面抽气管道通过波纹管(3)连接，所述的真空室(12)顶部设有连接管路(16)；所述的侧面抽气管道上设有真空室隔离阀门(11)，所述的真空室(12)的顶部设有真空室放气阀(9)。
2.如权利要求1所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的波纹管(3)与真空室(12)的侧面抽气管道连接，之后的连接管道上设有机械泵粗抽阀门(10)。
3.如权利要求2所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的真空室(12)上设有电阻规(7)和电离规(8)。
4.如权利要求2所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的电阻规(7)和电离规(8)分别与真空计电源(6)连接。
5.如权利要求1所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的分子泵(13)连接分子泵电源及显示器(5)。
6.如权利要求1所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的连接管道(16)为石英管或波纹管。
7.如权利要求1所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：还包括支撑结构，所述的真空室(12)、分子泵(13)和机械泵(2)均放置在支撑结构上。
8.如权利要求7所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的支撑结构包括底部的支撑底板(15)和设于支撑底板(15)上的支撑架(4)。
9.如权利要求8所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的支撑底板(15)下方设有移动滑轮(1)。
10.如权利要求1所述的可移动式快速高真空抽气系统，其特征在于：所述的分子泵(13)上连接散热风扇(14)。
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