RU2012153250A - Система создания вакуума - Google Patents

Система создания вакуума Download PDF

Info

Publication number
RU2012153250A
RU2012153250A RU2012153250/06A RU2012153250A RU2012153250A RU 2012153250 A RU2012153250 A RU 2012153250A RU 2012153250/06 A RU2012153250/06 A RU 2012153250/06A RU 2012153250 A RU2012153250 A RU 2012153250A RU 2012153250 A RU2012153250 A RU 2012153250A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pumping
vacuum
pumping line
line
chamber
Prior art date
Application number
RU2012153250/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2562899C2 (ru
Inventor
Майкл Эндрю ГОЛТРИ
Дэвид Алан ТАРРЕЛЛ
Original Assignee
Эдвардс Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эдвардс Лимитед filed Critical Эдвардс Лимитед
Publication of RU2012153250A publication Critical patent/RU2012153250A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2562899C2 publication Critical patent/RU2562899C2/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C14/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, machines, pumps or pumping installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0021—Systems for the equilibration of forces acting on the pump
    • F04C29/0035—Equalization of pressure pulses
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/30—Use in a chemical vapor deposition [CVD] process or in a similar process
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/18—Pressure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

1. Система создания вакуума, предназначенная для откачки вакуумной камеры, причем система содержит: вакуумный насос и множество линий предварительной откачки, предназначенных для подачи газа в вакуумный насос, причем на первом этапе откачки камеры низкого вакуума первое устройство линии предварительной откачки может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, а на втором этапе откачки камеры более высокого вакуума второе устройство линии предварительной откачки, содержащее одну или более упомянутых линий предварительной откачки, может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, причем второе устройство линии предварительной откачки имеет полную площадь поперечного сечения для подачи жидкости, которая больше, чем полная площадь поперечного сечения первого устройства линии предварительной откачки.2. Система создания вакуума по п.1, в которой, по меньшей мере, одну из упомянутых линий предварительной откачки во втором устройстве линии предварительной откачки отключают от первого устройства линии предварительной откачки во время упомянутого этапа откачки камеры относительно низкого вакуума.3. Система создания вакуума по п.1 или 2, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит одну или более упомянутых линий предварительной откачки упомянутого первого устройства линии предварительной откачки.4. Система создания вакуума по п.3, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит упомянутое множество линий предварительной откачки.5. Система создания вакуума по п. 1, в которой упомянутое первое устройство линии предварительной откач

Claims (16)

1. Система создания вакуума, предназначенная для откачки вакуумной камеры, причем система содержит: вакуумный насос и множество линий предварительной откачки, предназначенных для подачи газа в вакуумный насос, причем на первом этапе откачки камеры низкого вакуума первое устройство линии предварительной откачки может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, а на втором этапе откачки камеры более высокого вакуума второе устройство линии предварительной откачки, содержащее одну или более упомянутых линий предварительной откачки, может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, причем второе устройство линии предварительной откачки имеет полную площадь поперечного сечения для подачи жидкости, которая больше, чем полная площадь поперечного сечения первого устройства линии предварительной откачки.
2. Система создания вакуума по п.1, в которой, по меньшей мере, одну из упомянутых линий предварительной откачки во втором устройстве линии предварительной откачки отключают от первого устройства линии предварительной откачки во время упомянутого этапа откачки камеры относительно низкого вакуума.
3. Система создания вакуума по п.1 или 2, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит одну или более упомянутых линий предварительной откачки упомянутого первого устройства линии предварительной откачки.
4. Система создания вакуума по п.3, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит упомянутое множество линий предварительной откачки.
5. Система создания вакуума по п. 1, в которой упомянутое первое устройство линии предварительной откачки содержит первую линию предварительной откачки, а упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит упомянутую первую линию предварительной откачки и вторую линию предварительной откачки.
6. Система создания вакуума по п.5, в которой упомянутая первая линия предварительной откачки имеет первую площадь поперечного сечения, которая меньше, чем площадь поперечного сечения второй линии предварительной откачки.
7. Система создания вакуума по п.6, в которой упомянутая первая линия предварительной откачки имеет площадь поперечного сечения от 104 до 105 мм2, а упомянутая вторая линия предварительной откачки имеет площадь поперечного сечения от 105 до 106 мм2.
8. Система создания вакуума по п.1, содержащая устройство управления, сконфигурированное для выбора упомянутого первого устройства линии предварительной откачки для подачи газа в упомянутый вакуумный насос во время упомянутого первого этапа откачки камеры относительно низкого вакуума, и выбора упомянутого второго устройства линии предварительной откачки для подачи газа в упомянутый вакуумный насос, когда упомянутое давление уменьшают ниже предварительно определенного давления или в предварительно определенный момент времени от начала откачки камеры.
9. Система создания вакуума по п.8, в которой упомянутое предварительно определенное давление находится от 0,1 до 10 мбар.
10. Система создания вакуума по п.8, в которой упомянутое устройство управления функционально соединяют, по меньшей мере, с одним клапаном для управления потоком газа через первое устройство линии предварительной откачки или второе устройство линии предварительной откачки, в соответствии с сигналом управления, принятым из устройства управления.
11. Система создания вакуума по п.10, содержащая первый клапан, расположенный вверху по течению второй линии предварительной откачки, и второй клапан, расположенный ниже по течению второй линии предварительной откачки, для отключения второй линии предварительной откачки от системы создания вакуума.
12. Система создания вакуума по п.8, в которой упомянутое устройство управления функционально соединено для приема сигнала давления от датчика давления для измерения давления в системе создания вакуума, причем упомянутое устройство управления сконфигурировано с возможностью вывода управляющего сигнала, когда упомянутый сигнал давления указывает уменьшение давления в упомянутой системе ниже предварительно определенного значения.
13. Система создания вакуума по п.1, в которой упомянутое первое устройство линии предварительной откачки имеет объем, который, по меньшей мере, на порядок меньше, чем объем вакуумной камеры, а второе устройство линии предварительной откачки имеет объем, который того же порядка или больше, чем объем вакуумной камеры.
14. Система создания вакуума по п.1, в которой полную площадь поперечного сечения второго устройства линии предварительной откачки задают таким образом, что скорость откачки ограничена скоростью откачки вакуумного насоса, а не активной проводимостью второго устройства линии предварительной откачки.
15. Система создания вакуума по п.1, в которой вакуумный насос подключают с помощью одного или обоих устройств линии предварительной откачки, которые соединяют со вторым вакуумным насосом, который подключают к вакуумной камере.
16. Способ откачки вакуумной камеры, причем способ содержит этапы, на которых: подключают первое устройство линии предварительной откачки для подачи жидкости в вакуумный насос и откачивают газ через первое устройство линии предварительной откачки на первом этапе откачки камеры низкого вакуума и подключают второе устройство линии предварительной откачки для подачи газа в вакуумный насос и откачивают газ через второе устройство линии предварительной откачки на втором этапе откачки камеры более высокого вакуума, причем второе устройство линии предварительной откачки имеет полную площадь поперечного сечения, которая больше, чем полная площадь поперечного сечения первого устройства линии предварительной откачки.
RU2012153250/06A 2010-05-11 2011-03-30 Система создания вакуума RU2562899C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB1007814.5 2010-05-11
GBGB1007814.5A GB201007814D0 (en) 2010-05-11 2010-05-11 Vacuum pumping system
PCT/GB2011/050651 WO2011141725A2 (en) 2010-05-11 2011-03-30 Vacuum pumping system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012153250A true RU2012153250A (ru) 2014-06-20
RU2562899C2 RU2562899C2 (ru) 2015-09-10

Family

ID=42315109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012153250/06A RU2562899C2 (ru) 2010-05-11 2011-03-30 Система создания вакуума

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20130071274A1 (ru)
EP (1) EP2569541B1 (ru)
JP (1) JP5822213B2 (ru)
KR (1) KR101825237B1 (ru)
CN (1) CN103228922B (ru)
GB (1) GB201007814D0 (ru)
RU (1) RU2562899C2 (ru)
WO (1) WO2011141725A2 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9366560B2 (en) 2013-08-01 2016-06-14 John Cacciola Detector for detecting a change in a fluid level and generating a digital signal
PL3137771T3 (pl) * 2014-05-01 2020-10-05 Ateliers Busch S.A. Sposób pompowania w układzie pompującym i układ pomp próżniowych
US20170298935A1 (en) * 2014-09-26 2017-10-19 Ateliers Busch Sa Vacuum-generating pumping system and pumping method using this pumping system
DE202015004596U1 (de) * 2015-06-26 2015-09-21 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpensystem
JP2020090940A (ja) * 2018-12-07 2020-06-11 株式会社テクノス ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法及び加振装置
TWI684707B (zh) * 2019-02-27 2020-02-11 亞台富士精機股份有限公司 尾氣真空節能幫浦系統

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU145689A1 (ru) * 1961-07-22 1961-11-30 Е.Н. Мартинсон Способ высоковакуумной откачки газа от атмосферного давлени
SU497412A1 (ru) * 1973-12-14 1975-12-30 Предприятие П/Я А-3605 Вакуумный стенд
JPH01161836A (ja) * 1987-12-18 1989-06-26 Nec Corp 真空処理装置
US4850806A (en) * 1988-05-24 1989-07-25 The Boc Group, Inc. Controlled by-pass for a booster pump
JPH03116413U (ru) * 1990-03-13 1991-12-03
DE4213763B4 (de) * 1992-04-27 2004-11-25 Unaxis Deutschland Holding Gmbh Verfahren zum Evakuieren einer Vakuumkammer und einer Hochvakuumkammer sowie Hochvakuumanlage zu seiner Durchführung
JP2990003B2 (ja) * 1993-12-14 1999-12-13 山形日本電気株式会社 高真空排気装置
DE19524609A1 (de) * 1995-07-06 1997-01-09 Leybold Ag Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer
DE19929519A1 (de) * 1999-06-28 2001-01-04 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betrieb einer Mehrkammer-Vakuumanlage
GB0212757D0 (en) * 2002-05-31 2002-07-10 Boc Group Plc A vacuum pumping system and method of controlling the same
CN100520503C (zh) * 2004-03-08 2009-07-29 周星工程股份有限公司 抽真空系统及其驱动方法、具有此系统的装置和使用此系统转移基板的方法
US8109110B2 (en) 2007-10-11 2012-02-07 Earth To Air Systems, Llc Advanced DX system design improvements

Also Published As

Publication number Publication date
EP2569541A2 (en) 2013-03-20
GB201007814D0 (en) 2010-06-23
CN103228922A (zh) 2013-07-31
JP5822213B2 (ja) 2015-11-24
KR20130092967A (ko) 2013-08-21
RU2562899C2 (ru) 2015-09-10
CN103228922B (zh) 2016-10-26
WO2011141725A3 (en) 2013-07-11
US20130071274A1 (en) 2013-03-21
JP2013534987A (ja) 2013-09-09
WO2011141725A2 (en) 2011-11-17
EP2569541B1 (en) 2014-11-19
KR101825237B1 (ko) 2018-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012153250A (ru) Система создания вакуума
TWI609131B (zh) 用於排空腔室的真空泵系統及用於控制真空泵系統的方法
ATE532957T1 (de) Flugzeugtriebwerktreibstoffversorgung
WO2014107285A3 (en) Recharging negative-pressure wound therapy
WO2010113057A3 (en) Apparatus and method for high pressure slurry pumping
WO2011061429A3 (fr) Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite
JP2014159808A5 (ru)
WO2012126745A3 (en) Infusion system and method of detecting and eliminating air
MX2016006463A (es) Dispositivo y metodo para detectar gas.
TW200637973A (en) Vacuum pumping arrangement
RU2014146203A (ru) Системы подачи топлива летательного аппарата
CN104846928A (zh) 一种内循环气压罐供水装置
EP3912708A3 (en) Systems and methods for dissolving a gas into a liquid
DK201370111A (en) Device for processing a liquid under vacuum pressure
WO2010092357A3 (en) Apparatus and method for laser irradiation, jet pump
CN102367675A (zh) 一种罐式低能耗管网叠压供水设备和方法
EA201991878A1 (ru) Система аэрации воды для гидравлических турбин
CN205655277U (zh) 一种小型电站锅炉启动上水系统
CN105090087A (zh) 一种工业离心泵机械密封运行保护工艺
CN207331862U (zh) 一种供水系统的组合加压系统
CN203498913U (zh) 一种微量波动免启动稳压供水装置
MX2017012664A (es) Dispositivo para la extraccion de agua del medio ambiente.
CN202870495U (zh) 用于输送真空（负压）系统的中央装置
KR101307740B1 (ko) 에너지 절감형 펌프시스템 및 그 제어방법
CN203376648U (zh) 一种液位控制装置

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180331