RU2517985C2 - Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе - Google Patents
Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе Download PDFInfo
- Publication number
- RU2517985C2 RU2517985C2 RU2010116117/28A RU2010116117A RU2517985C2 RU 2517985 C2 RU2517985 C2 RU 2517985C2 RU 2010116117/28 A RU2010116117/28 A RU 2010116117/28A RU 2010116117 A RU2010116117 A RU 2010116117A RU 2517985 C2 RU2517985 C2 RU 2517985C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- ion current
- mass
- leak detector
- recording unit
- connector
- Prior art date
Links
Landscapes
- Amplifiers (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе предназначен для работы в качестве составной части гелиевых течеискателей. Устройство включает в себя расположенные в вакуумируемом объеме коллектор ионов (1) и усилитель (2), с выхода которого аналоговый сигнал идет на аналого-цифровой преобразователь (3), размещенный в том же объеме. Полученный цифровой сигнал поступает на дальнейшую обработку за пределы вакуумируемого объема через разъем (4). Технический результат заключается в резком увеличении чувствительности измерения ионного тока благодаря его отделению от токов утечек выходного разъема. 1 ил.
Description
Предназначен для измерения ионного тока в масс-спектрометрических блоках гелиевых течеискателей. Может применяться в промышленности в качестве составной части течеискателей при тестировании герметичности оболочек, предназначенных для работы при пониженном или избыточном внутреннем давлении.
На сегодняшний день известно огромное разнообразие устройств для обнаружения течей - течеискателей. Значительная часть из них основана на использовании гелия, имеющего высокую проникающую способность из-за малого атомного веса и инертности к межмолекулярным взаимодействиям. Одним из широко распространенных методов поиска течи в герметичном откачанном сосуде является внешний обдув струей гелия при одновременной регистрации факта попадания этих атомов внутрь. Присутствие инертного газа в указанном сосуде чаще всего определяют с помощью упрощенного масс-спектрометра, настроенного только на атомы гелия и расположенного в отдельном объеме, соединенном трубопроводом с откачанной емкостью.
Регистрирующая часть упомянутого выше масс-спектрометра обычно выполняется в виде бомбардируемых заряженными ионами гелия одного или нескольких электродов, напрямую подключенных к контактам врезанного в стенку разъема, ведущего за пределы откачанного пространства. При этом возникающий электрический сигнал поступает на расположенный снаружи усилитель, а после него на дальнейшую обработку и индикацию.
Описанный вариант расположения компонентов измерительного узла реализован как в давно выпускаемых течеискателях [1], так и в относительно недавних технических решениях [2].
Наиболее близкое к заявляемому исполнение узла регистрации ионов приведено в течеискателе [3] (прототип).
В большинстве практических применений работа масс-спектрометров не требует высокой чувствительности к малым концентрациям разделяемых компонентов. Однако в течеискателях этот показатель оказывается главным. Возможность регистрировать самое слабое проникновение гелия позволяет более точно оценивать герметичность исследуемой оболочки.
Описанный выше классический способ подключения коллектора ионов непосредственно к контактам разъема в идеальном случае должен хорошо работать. Однако очень слабые сигналы тонут в шумах, вызванных токами утечки между контактами указанного разъема. Кроме того, при применении некоторых типов насосов в откачанный объем попадают пары масла, которые оседают на изоляции разъема и приводят к значительному возрастанию токов утечки. Чтобы вернуть течеискатель в рабочее состояние приходится все разбирать и тщательно промывать разъем чистыми растворителями.
Кардинальное решение этой проблемы оказалось следующим (Фиг.). Коллектор ионов 1 подключается непосредственно к входу усилителя 2, перенесенного внутрь откачиваемого объема. Чтобы полностью исключить влияние токов утечки на результаты измерений, усиленный сигнал подается на расположенный здесь же амплитудно-цифровой преобразователь 3. С его выхода на разъем 4 поступает цифровой код нормализованной амплитуды.
Сравнительные макетные испытания течеискателя с использованием объекта изобретения в качестве составной части показали следующее. При измерениях в обычном варианте после самой тщательной промывки разъема минимальный регистрируемый ионный ток составил величину около 10-11 A. Применение же заявляемого объекта изобретения позволило улучшить этот показатель сразу на три порядка, т.е. до 10-14 A.
Источники информации
1. «Течеискатель ТИ1-17», паспорт 406239.001 ПС, 1991 г.
2. Патент Японии №2009180633 от 13.08.2009.
3. Патент США №7459677 от 02.12.2008.
Claims (1)
- Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе, включающий в себя коллектор ионов и усилитель, отличающийся тем, что указанный усилитель помещён внутрь содержащего коллектор ионов откачиваемого объёма, где также расположен аналого-цифровой преобразователь, вход которого подключен к выходу усилителя.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010116117/28A RU2517985C2 (ru) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010116117/28A RU2517985C2 (ru) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010116117A RU2010116117A (ru) | 2011-10-27 |
| RU2517985C2 true RU2517985C2 (ru) | 2014-06-10 |
Family
ID=44997836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010116117/28A RU2517985C2 (ru) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2517985C2 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU512419A1 (ru) * | 1973-03-14 | 1976-04-30 | Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения АН СССР | Устройство дл определени массы пиков масс-спектра высокого разрешени |
| SU894819A1 (ru) * | 1979-10-19 | 1981-12-30 | Предприятие П/Я А-7354 | Коллекторное устройство масс-спектрометра |
| US20030047465A1 (en) * | 1999-12-14 | 2003-03-13 | Inficon Gmbh | Method for detecting and localising leaks and suitable devices for carrying out said method |
| US7459677B2 (en) * | 2006-02-15 | 2008-12-02 | Varian, Inc. | Mass spectrometer for trace gas leak detection with suppression of undesired ions |
-
2010
- 2010-04-19 RU RU2010116117/28A patent/RU2517985C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU512419A1 (ru) * | 1973-03-14 | 1976-04-30 | Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения АН СССР | Устройство дл определени массы пиков масс-спектра высокого разрешени |
| SU894819A1 (ru) * | 1979-10-19 | 1981-12-30 | Предприятие П/Я А-7354 | Коллекторное устройство масс-спектрометра |
| US20030047465A1 (en) * | 1999-12-14 | 2003-03-13 | Inficon Gmbh | Method for detecting and localising leaks and suitable devices for carrying out said method |
| US7459677B2 (en) * | 2006-02-15 | 2008-12-02 | Varian, Inc. | Mass spectrometer for trace gas leak detection with suppression of undesired ions |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Течеискатель масс-спектрометрический ТИ1-30 (версия 1.6) Руководство по эксплуатации ТФИЯ.406239.016-01 РЭ. "Технология машиностроения", N10 (64), 2007 г. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2010116117A (ru) | 2011-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9646785B2 (en) | Vacuum monitoring device | |
| KR101290294B1 (ko) | 비접촉 위상측정센서를 이용한 전력기기의 부분방전 진단 시스템 | |
| JP2015526718A (ja) | 密封製品の耐漏洩性を検査するための検出方法及び検出装置 | |
| JPS54104584A (en) | Gas insulated electric device and method of inspecting partial discharge thereof | |
| MX2021015166A (es) | Sensor de gas con elemento de deteccion de contaminante separado. | |
| CN104236426B (zh) | 一种用于离子推力器栅极组件的栅间距测量方法和测量具 | |
| CN105510469A (zh) | 一种变压器绝缘纸中糠醛含量的检测方法 | |
| CN105823445A (zh) | 一种x射线测厚仪探头 | |
| RU2517985C2 (ru) | Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе | |
| CN109141771B (zh) | 氦质谱检漏仪实现氢气检漏的方法 | |
| JP2018151345A (ja) | 部分放電検出方法および部分放電検出装置 | |
| CN201903433U (zh) | 一种检漏仪真空系统 | |
| EP2674752B1 (en) | Hydrogen flame ionization type exhaust gas analyzer | |
| US20100012851A1 (en) | Multi-Anode Ionization Chamber | |
| RU2427813C1 (ru) | Датчик вакуума | |
| CN205785123U (zh) | 一种x射线测厚仪探头 | |
| Shi et al. | A combination of GC-MS and chemometrics reveals metabolic differences between serum and plasma | |
| WO2014132357A1 (ja) | 質量分析装置 | |
| Hattori et al. | Helium isotope analyses of volcanic gases using a multi-turn time-of-flight mass spectrometer | |
| US20180335414A1 (en) | Single body quadruple cylinder tritium measuring apparatus | |
| CN104076127A (zh) | 一种六氟化硫湿度传感器准确度检测装置 | |
| US20180252613A1 (en) | Leak Detection Upon Evacuation of a Test Chamber or a Specimen | |
| EP4148848A1 (en) | Method and apparatus for detecting one or more leaks in a battery enclosure of a battery | |
| RU149700U1 (ru) | Контрольная течь | |
| RU2729857C1 (ru) | Вакуумная установка для испытаний электрических ракетных двигателей |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150420 |