JP7150013B2 - 漏洩個所から漏出する試験ガスを妨害ガスから区別する装置および方法 - Google Patents

漏洩個所から漏出する試験ガスを妨害ガスから区別する装置および方法 Download PDF

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Description

本発明は、嗅気式漏洩検出において、被検体の漏洩個所から漏出する試験ガスを、被検体の周囲環境の妨害ガスから区別する方法に関する。本発明は、さらに、これに対応する嗅気型漏洩検出器に関する。
嗅気式(スニッファ式)漏洩検出において、漏洩試験が行われる被検体には、試験ガス(例えば、ヘリウムまたはCO)が充填され、この被検体周囲の外気の圧力よりも高い圧力がかけられている。漏洩個所が存在すると、試験ガスは被検体から漏出し、被検体の外部環境中で測定することができる。そのため、スニッファを用いてこの外部環境(特に、被検体の外表面)の検査が行われる。
スニッファは、ガス流を吸入するための吸入口を有する。この吸入口は、ガス管路を介して、センサと、ガス流を発生させるガスポンプとに接続されている。このセンサは、吸入されたガス流中の試験ガスの分圧(試験ガス分圧)を検出するように構成されている。
上記の試験ガス分圧は、吸引され搬送される気体混合物全体の圧力に上記試験ガスが占める圧力部分である。一般的な試験ガス分圧センサは、例えば、質量分析計/質量分析器や赤外線吸収測定セルなどのガス分析装置である。
試験ガスの有無について被検体の周囲環境の試験を行うにあたり、難しいことに、この被検体の周囲の雰囲気に、試験ガスと同一のガス成分または試験ガスの測定信号と同一の測定信号を与えるガス成分が含まれる場合がある。本明細書において、これらのガス成分は、測定結果を歪め漏洩検出を妨害することから、妨害ガスと称される。例えば、試験対象となる上記被検体は、冷却剤としてCOが充填された熱交換器であってもよい。ここで、COが試験ガスとなるが、COは、スニッファを操作する者の呼気として、または内燃機関からの排気ガスとして上記被検体の周囲環境に存在する可能性がある。また、赤外線吸収法や質量分析検出法を用いて上記試験ガスを検出する際、上記被検体の周囲環境からの同様または同一のガスに対する交差感受性が存在する場合がある。
通常、漏洩個所から漏出する試験ガスは、2つの別個の吸入口を有するスニッファを用いて、被検体の周囲環境における妨害ガスから区別される。一方の吸入口は試験ガスを吸入し、他方の吸入口は、この一方の吸入口から離れた個所における参照値測定に用いられる。被検体の周囲環境におけるガス組成から、試験ガスの有無が試験される。そうした漏洩検出器は、例えば、欧州特許第1342070号(特許文献1)および欧州特許第22384422号(特許文献2)に記載されている。試験ガス検出用および参照値測定用のこれら2つの吸入口間に距離があるため、参照値測定に用いられるガスは、試験ガスの吸入個所においては採取されず、これは測定結果に悪影響を与える。
欧州特許第1342070号 欧州特許第22384422号
上記の背景に鑑み、本発明の基本的な課題は、嗅気式漏洩検出の際に、被検体の漏洩個所から漏出する試験ガスと、前記被検体の周囲環境における妨害ガスとの識別性を向上させることである。
試験ガス漏洩表示器における質量分析計について、欧州特許第7050738号および独国特許出願公開第4408877号から、質量分析計の真空引きを妨害する要因を抑制するために、ガス取入口を通るガス流を変調することが知られている。上記の試験ガス漏洩表示器は、真空下での稼働用に設計されており、大気圧下で稼動する嗅気型漏洩検出器には適していない。ガス検出器におけるガスの全圧は、吸入量に対する、搬送されるガスのガス流の割合に比例する。したがって、測定された試験ガス分圧が、被検体の周囲環境からの妨害ガスに起因するものであるのか、被検体の漏洩個所から漏れた試験ガスに起因するものであるのかを評価することはできない。むしろ、取り除くことができるのは、例えば、排気ポンプの吸引量の変動に起因する妨害などの測定システム内部からの妨害のみである。
本発明の方法は、請求項1の構成によって定義される。本発明の装置は、請求項8の構成によって定義される。
本発明は、スニッファを用いて吸入されたガスの全圧を、センサ位置において可能な限り一定に保ちつつ、吸入口を介してスニッファに吸入されるガス流の流れ強度を周期的に繰り返し変動させるという着想に基づいている。10%を超える全圧の変動は回避すべきである。また、スニッファの領域における被検体周囲の環境におけるガスの全圧はほぼ大気圧であり、センサ位置における全圧は、前記スニッファの領域における被検体の周囲環境のガスの全圧の少なくとも80%の値に設定されることが好ましい。この範囲において、ガス流量とガス圧の相関は、ほぼ線形的である。前記センサにおける全圧の変動が最大でも10%の無視できる程度でしかないとした場合、センサを用いて測定された試験ガス分圧と、吸入されたガス流における試験ガス濃度との関係は、おおよそ下記のように示される。
Figure 0007150013000001
式中、Ptestgasは、センサを用いて測定された試験ガス分圧であり、Ptotalはセンサにおける全圧であり、Qleakは漏洩個所を通過するガス流量(漏洩速度)であり、Qflowはセンサにおけるガスの流量であり、cは被検体の周囲の雰囲気(妨害ガス)中の試験ガス濃度である。
漏洩ガス流(すなわち、被検体の漏洩個所から生じる試験ガス流)が無視できる程小さい場合、変動が無視できる程度のほぼ一定の試験ガス分圧が生じる。特に、漏洩個所から試験ガスが漏洩していなければ、試験ガス分圧は、(例えば、赤外線吸収測定時に)被検体周囲の雰囲気中に存在し、試験ガスと一致または少なくともこれと類似する、一定濃度の妨害ガスから生じる。しかし、被検体の漏洩個所から漏出する試験ガス流がスニッファに吸入された場合、吸入されるガス流の流れ強度が周期的に繰り返し変動することにより、センサにおける試験ガス分圧の成分が周期的に繰り返し変動することになる。
したがって、試験ガスが被検体の漏洩個所から漏れているのか、被検体の周囲の雰囲気に起因するのかを判断するためには、吸入されたガス流の試験を行い、測定された前記試験ガス分圧が、吸入されるガス流の変動に追従し(例えば、変動する試験ガス分圧成分の周波数が、吸入されるガス流の変動する流れ強度の周波数と一致し)、平均振幅が閾値を超える(つまり無視できない)変動成分を含むかどうかを検証する。変動する試験ガス分圧成分が閾値よりも大きい場合、被検体に漏洩個所があることを示す。このとき、評価装置は、被検体が漏洩個所を有すると表示する。変動する試験ガス分圧成分が認められない場合、または変動する試験ガス分圧成分が測定された閾値よりも小さい場合、前記被検体が漏洩個所を持たず、前記試験ガスは前記被検体の周囲の雰囲気に起因するものであり、妨害ガスであることを示す。このときは、被検体が漏洩個所を持たないことを表示してもよい。
前記吸入ガス流における試験ガスの濃度cは、漏洩速度をQleak、流量をQflow(ここで、Qleak<<Qflow)、被検体周囲の雰囲気(妨害ガス)中に存在する試験ガス濃度をcとした場合、以下の式で表される。
Figure 0007150013000002
この関係から、漏洩速度が無視できる程低い場合(すなわち、被検体が漏洩個所を持たないか、漏洩箇所が無視できる程小さい場合)、c=cであることがわかる。このとき、吸入されたガス流における試験ガス濃度は、被検体周囲の雰囲気中の(妨害ガスによって生じる)試験ガス濃度cである。
有意の漏洩速度Qleakがある場合、吸入されたガス流の流れ強度が周期的に繰り返し変動することにより、流量Qflow(t)は周期的に繰り返し変動する。このとき、前記試験ガス濃度について、流量と共に周期的に高下する変動成分および被検体の周囲の雰囲気中の試験ガス濃度cと一致する一定成分が生じる。
test=c・Ptotalという関係を考慮に入れ、試験ガスの試験ガス分圧を測定するセンサは、一定成分c・Ptotalおよび吸入されたガス流の流量と共に変動する下記の変動成分を含む試験ガス分圧を測定する。
Figure 0007150013000003
このことから、センサにおいて吸入されたガス流の全圧Ptotal(t)ができるだけ一定になることが、本発明においては極めて重要であることがわかる。ほぼ一定の試験ガス成分、すなわち、変動量が所定の閾値未満となる試験ガス成分は、前記被検体に漏洩個所が存在しない場合、または漏洩個所が無視できる程度に小さい場合にのみ得られるからである。
閾値は、別に行われる較正に従って定められる。検知可能な最小の漏洩個所は、周囲の雰囲気中における試験ガス濃度から来る避け難い分圧の変動よりも大きな分圧の変化を生じさせる。
センサにおける吸入されたガス流の全圧Ptotalは、スニッファ領域の被検体周囲における雰囲気の全圧の90~110%の範囲であることが好ましい。前記全圧は大気圧であってもよい。つまり被検体は空気に暴露して、その内部で大気圧よりも高い圧力を保持しており、一方で、嗅気型漏洩検出器のセンサにおいて、全圧は(変動量が無視できる程度、つまり、10%未満)の大気圧の90~110%の範囲に維持される。
吸入されたガス流の流れ強度の測定信号は、変調周波数および変調位相を用いて変調することができる。変調された流れ強度信号は、前記流れ強度信号の変調に対する所定の基準周波数および基準位相を用いて、ロックインアンプの原理により復調することができる。基準周波数および基準位相とは、復調周波数および復調位相が前記変調の周波数および位相の複数倍となることを意味する。
被検体周囲の雰囲気中における試験ガス分圧を求め得るように、吸入されたガス流の流れ強度が周期的に変動せず、一定に保たれた状態で、更に比較測定を行うことも可能である。吸入されたガス流の流れ強度を変調する変調周波数は、好ましくは1Hz~20Hzの範囲であり、好ましくは3Hz~10Hzの範囲である。
本発明の嗅気型漏洩検出器において、ガス供給路(ガス管であってもよい)は、前記スニッファの吸入口と、前記センサと、ガスポンプとを接続する。センサは、吸入されたガス流から検出される試験ガスの分圧を測定するように構成されている。ガスポンプは、ガスを吸入するために必要なガス圧を生じさせる。制御装置は、吸入されたガス流の流れ強度を繰り返し変動させるとともに、センサにおけるガスの全圧が10%を超えて変動することを防止するように構成されている。評価装置は、吸入されたガス流に含まれる試験ガスの分圧が、上記の閾値よりも大きい平均振幅を有し、吸入されたガス流の変動に追従する変動成分を含むかどうかを測定し判定するように構成されている。その場合、例えば、試験ガス分圧の変動成分の周波数が、変動させられるガス流の周波数と一致し、かつ、その位相がガス流変調の位相と一定の相関関係にあってもよい。
制御装置は、センサにおける吸入されたガス流の全圧を、被検体周囲の雰囲気中の前記ガスの全圧の少なくとも約80%の範囲、好ましくは90~110%の範囲の値に設定するように構成されていることが好ましい。この範囲において、ガス流量とガス圧の相関はほぼ線形的である。また、制御装置は、既知の試験リークを用いた較正に対して漏洩ガス流を判断するように構成されているべきである。
センサにおけるガスの全圧の変動は、例えば、センサをガスポンプの下流に配置することにより、抑制または低減することができる。代替的または付加的に、吸入口とセンサとの間のガス管路は、スロットルを有していてもよい。前期ガス流の変動を低減するために、制御装置は、ガスポンプの流量もしくは速度を制御かつ/または前記スロットルのアドミッタンスもしくは流れ抵抗を変化させることができる。スロットルは、例えば、長さが約2cm~約1mの範囲にあり、直径が最大で約5mmの毛細管であってもよいが、より長い毛細管を用いることも可能である。
以下において、図面を参照しつつ、本発明の例示的な実施形態をより詳細に説明する。
第1の例示的な実施形態の模式図である。 第2の例示的な実施形態の模式図である。 第3の例示的な実施形態の模式図である。 様々な直径の流路について、センサにおける圧力に対する、吸入されたガス流の曲線を示す図である。 図4の詳細を示す図である。 第4の例示的な実施形態の図である。 第5の例示的な実施形態の図である。 第6の例示的な実施形態の図である。
図1から図3に示す3つの例示的な実施形態の嗅気型漏洩検出器10は、それぞれ従来の形で、吸入口14を有するスニッファ12にガス管路20を介して接続されている。ガス管路20に沿って、被検体21の周囲の雰囲気23からガスを吸入するために要求されるガス圧を生じさせるガスポンプ16が配置されている。
従来のガス管の形をとるガス管路20は、さらに、ポンプ16を、そのすぐ下流に配置されたセンサ18に接続している。センサ18は、吸入されたガス流における試験ガスの分圧を測定するように構成されている。センサ18は、例えば、赤外線吸収キュベットであってもよい。重要なのは、センサ18が、ほぼ大気圧または大気圧の約90~110%の圧力において試験ガスの分圧を判定するように構成されていることである。試験ガス分圧は、吸入されたガス流の気体混合物における試験ガスの成分である。したがって、試験ガスの分圧は、圧力センサでは測定することができない。圧力センサは、単に、気体混合物の全圧を測定するに過ぎない。
吸入されたガス流がセンサ18を通過すると、ガス管路20は、出口36を介してこのガス流を大気へと排出する。
ガス管路20は、スロットル26を有していてもよい。図1に示されているように、スロットル26は、ガスポンプ16の上流に配置することができる。ガスポンプ16を制御するために、このガスポンプ16に制御装置22が電気的に接続されている。例えば、制御装置22は、ガスポンプ16の速度を制御するように設計されていてもよい。図1に示されているように、制御装置22は、スロットル26のアドミッタンスを変化させるために、スロットル26にも接続されていてもよい。制御装置22はまた、センサ18に電気的に接続されていてもよい。
測定信号の処理および評価を行うために、センサ18に評価装置24が電気的に接続されている。評価装置24は、吸入されたガス流に含まれる試験ガスの分圧が、変動成分を含むかどうかを判定するように構成されている。評価装置24は、特に、試験ガス分圧の変動成分の平均振幅が閾値よりも大きいかどうかを検証することができる。また、評価装置24は、試験ガス分圧の変動成分が、吸入されたガス流の変動に追従するかどうかを判定することができる。その場合、変動する試験ガス分圧成分の周波数が、変動するガス流の周波数またはこの周波数の倍数と一致するかどうかにより判定できる。
このため、評価装置24は、制御装置22に接続されていてもよい。制御装置22は、例えば、ポンプ速度を変更することにより、吸入されたガス流の流れ強度を変化させる。これは、例えば、ロックインアンプの原理に従った変調により達成することができる。評価装置24は、変動する試験ガス分圧の周波数と、吸入されたガス流の変調周波数との比較を行うことができる。
また、評価装置24は、較正のフレームワークにおいて、既知の漏洩速度を有する既知の漏洩個所の漏洩速度を判定するように構成されている。
また、第1の例示的な実施形態の制御装置22は、センサ18の領域において前記吸入されたガス流の全圧を、被検体21の周囲の雰囲気23中のガスの全圧の少なくとも約90~110%に設定するように構成されている。以下において図5を参照しつつ説明するように、この圧力範囲におけるガス流量とガス圧の相関は、ほぼ線形的ある。センサ18における吸入されたガス流の全圧は、ガスポンプ16の速度を制御することにより、および/またはスロットル26のアドミッタンスを制御することにより、設定することができる。
これらの例示的な実施形態は、センサ18がガスポンプ16のすぐ下流に配置された場合に関する。この配置により、センサ18におけるガスの全圧の変動が抑制される。しかし、これに替えて、ガスポンプ16の上流、つまり、スニッファ12とガスポンプ16との間にセンサ18を配置してもよい。
図2の例示的な実施形態を、図1の例示的な実施形態から区別する点は、ガス管路20における管の断面を変化させるために、制御装置22により制御可能な調節弁がガスポンプ16の上流に設けられているという点である。この調節弁28は、スロットル26とガスポンプ16との間に配置されていることが好ましい。調節弁28を用いてガス管路20の断面を変化させることにより、ガス管路20のアドミッタンスを変化させる(特に、変更する)ことができる。第2実施形態においては、このようにして、前記吸入されたガス流の流れ強度が繰り返し変動させられる。
第3の例示的な実施形態を、第2の例示的な実施形態から区別する点は、スニッファ12とガスポンプ16との間のガス管路20、特にスロットル26に、バイパス30が橋絡されているという点である。バイパス30にはスロットル34が設けられており、当該スロットル34のアドミッタンスは、スロットル26のアドミッタンスよりもはるかに大きい。バイパス管30は、このスロットル34を制御するために、制御装置22に電気的に接続された調節弁32を備える。弁32のアドミッタンスが増大すると、橋絡されているガス管路20におけるガス流が減少する。弁32のアドミッタンスが減少すると、橋絡されているガス管路20におけるガス流が増大する、これにより、制御装置22およびバイパス管30において制御される弁32を用いて、吸入されたガス流の流れ強度を変化させることができる。
スロットル26は、長さが約2cm~約10cmの範囲で、直径が最大で約5mmの毛細管であってもよい。図4および図5において、得られるガス流量は、毛細管として構成されたスロットル26の様々な直径について、横軸(横座標)に示された圧力(mbar:ミリバール)に対して、縦軸(縦座標)に示されたsccm(標準立法センチメートル/分:cm/分)として表示されている。横軸に示された圧力Pについては、この圧力Pは、センサ18の領域においてガスポンプ16の下流のガス管路20内の圧力である。被検体21の周囲環境23における周囲環境圧力は、1013mbar(大気圧)である。この場合、大気圧とは、約900~約1100mbarの範囲となり得る圧力であると理解されたい。
図4には、0mbar~1000mbarの範囲において、スロットル26に用いられる様々な直径dの毛細管に自動調整されるガス流量の曲線が示されている。毛細管の長さは5cmである。図5には、950~1015mbarの圧力範囲における図4の曲線が示されている。図5からわかるように、圧力が少なくとも950mbarであるとき、ガス流量とガス圧との相関はほぼ線形的である。したがって、本発明によると、センサ18における吸入されたガス流の全圧を、被検体21の周囲環境における全圧の約90%~110%の範囲の値に設定することが有利である。基本的には、圧力の総変化量が無視できる範囲であり、流量に大きな変化を生じさせることが特に重要である。
センサにおける低圧での僅かな変化(例えば、長さ5cm、直径3mmの毛細管において、985mbarから1000mbarへの変化)により、流量は、100sccmから50sccmまで半分に変化する。この態様は、例えば、独国特許出願公開第4408877号や欧州特許第7050738号に記載されているような真空領域における用途とは区別される。例えば、真空漏洩検出器を用いる場合のように、センサ18の個所における圧力Pが極めて低い場合、圧力の変化(例えば、0.1mbarから50mbarへの変化)はガス流量に僅かな影響しか与えない。
被検体21における典型的な漏洩個所は、1・10mbar・l/sの漏洩ガス流を生じさせ得る。12sccm~120sccmの範囲における吸入されたガス流の流量または流れ強度は、6Hzの変調周波数を用いて変調される。この変調周波数により、全圧は、1000mbar~950mbarの範囲で変動する。周囲環境濃度cは400ppmになり得る。50mbarの全圧変動は比較的大きい。これにもかかわらず、この全圧変動により生じる分圧変動は小さいので、流れ変調から生じる分圧の変動成分と比較すると無視できる程度である。実際上は、全圧の変動は50mbarよりもさらに小さい。
図6の例示的な実施形態を、図1の例示的な実施形態から区別する点は、ガスポンプ16が、ガス管路20においてスロットル26とセンサ18との間に配置されているのではなく、ガス管路20においてスニッファ12とスロットル26との間、つまり、スロットル26の上流に配置されているという点である。
図7の例示的な実施形態を、図2の例示的な実施形態から区別する点は、ガスポンプ16が、弁28とセンサ18との間に配置されているのではなく、図6の例示的な実施形態のようにスロットル26の上流に配置されている点である。
図8に示す例示的な実施形態においても同様であり、ガスポンプ16は、スロットル2
6および弁32の平行な管路とセンサ18との間に配置されているのではなく、ガス管路
20においてスロットル26および34の平行な管路の上流に配置されている。
なお本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様1〕
嗅気式漏洩検出の際に、被検体(21)の漏洩個所から漏出する試験ガスを、前記被検体(21)の周囲環境中の妨害ガスから区別する方法であって、
スニッフ端具を用いて、前記被検体の外表面の領域において、該被検体(21)の周囲環境からガスを吸入するステップと、
吸入されたガス流中の前記試験ガスの分圧を測定するように構成されたセンサ(18)にガスを導入するため、該センサ(18)に接続された吸入口(14)を有するスニッフ端具を用い、前記被検体の外表面領域において、前記被検体(21)の周囲環境からガスを吸入するステップと、
前記吸入されたガス流の流れ強度を周期的に繰り返し変動させるステップと、
前記センサ(18)における前記吸入されたガスの全圧を、前記被検体(21)周囲の雰囲気(23)中のガスの全圧の少なくとも80%に設定するステップと、
前記センサ(18)における前記吸入されたガスの前記全圧の10%を越える変動を回避するステップと、
前記センサ(18)を用いて、前記吸入されたガス流に含まれる前記試験ガスの分圧を測定するステップと、
測定された前記試験ガスの分圧が、前記吸入されたガス流の変動に追従し、平均振幅が閾値を超える変動成分を含む場合、前記被検体(21)が漏洩個所を有することを表示するステップと、を含む方法。
〔態様2〕
態様1に記載の方法において、測定された試験ガス成分が、前記閾値を超える成分を含まない場合、漏洩個所が存在しないことを表示することを特徴とする方法。
〔態様3〕
態様1または2に記載の方法において、前記吸入ガスの前記流れ強度において周期的に繰り返しされる変動を、変調周波数が1Hz~20Hzの範囲にある変調として生じさせることを特徴とする方法。
〔態様4〕
態様1から3のいずれか一態様に記載の方法において、前記センサ(18)における前記吸入されたガス流の全圧を、前記被検体の周囲の雰囲気の全圧の90%~110%の範囲の値に設定することを特徴とする方法。
〔態様5〕
態様1から4のいずれか一態様に記載の方法において、前記吸入されたガス流の変調された流れ強度信号を、前記吸入されたガス流を変調するための所定の基準周波数および基準位相を用いて、ロックインアンプの原理により復調することを特徴とする方法。
〔態様6〕
態様1から5のいずれか一態様に記載の方法において、さらに、前記吸入されたガス流の前記流れ強度を変動させることなく、前記試験ガス分圧の比較測定を行うことを特徴とする方法。
〔態様7〕
態様1から6のいずれか一態様に記載の方法において、前記スニッファ(12)の領域において前記被検体(21)の周囲の前記雰囲気(23)の全圧は、約900mbar~約1100mbarの範囲の大気圧であることを特徴とする方法。
〔態様8〕
態様1から7のいずれか一態様に記載の方法を実施するための嗅気型漏洩検出器(10)であって、
吸入口(14)を有するスニッファ(12)と、
ガスポンプ(16)と、
検出する試験ガスの分圧を測定するセンサ(18)と、
前記吸入口(14)、前記センサ(18)、および前記ガスポンプを接続するガス管路(20)と、
吸入されたガス流の流れ強度を繰り返し変動させて、前記センサ(18)における前記吸入されたガス流の全圧を、被検体(21)の周囲の雰囲気(23)中のガスの全圧の少なくとも約80%に設定し、かつ、前記センサ(18)におけるガスの全圧が10%を超えて変動することを回避するように構成された制御装置(22)と、
前記吸入されたガス流に含まれる前記試験ガスの分圧が、前記吸入されたガス流の変動に追従し、平均振幅が閾値を超える変動成分を含むかどうかを判定するように構成された評価装置(24)と
を備える嗅気型漏洩検出器(10)。
〔態様9〕
態様8に記載の嗅気型漏洩検出器(10)において、前記センサ(18)は、前記ガスポンプ(16)の下流に配置されていることを特徴とする嗅気型漏洩検出器(10)。
〔態様10〕
態様8または9に記載の嗅気型漏洩検出器(10)において、前記ガス管路(20)は、前記吸入口(14)と前記センサ(18)との間にスロットル(26)を有することを特徴とする嗅気型漏洩検出器(10)。
〔態様11〕
態様8から10のいずれか一態様に記載の嗅気型漏洩検出器(10)において、前記スロットル(26)は、長さが約2cm~約100の範囲で、直径が最大で約5mmの毛細管であることを特徴とする嗅気型漏洩検出器(10)。
10 嗅気型漏洩検出器
12 スニッファ
14 吸入口
16 ガスポンプ
18 センサ
20 ガス管路
21 被検体
22 制御装置
23 雰囲気
26、34 スロットル
30 出口
36 バイパス管

Claims (11)

  1. 嗅気式漏洩検出の際に、被検体(21)の漏洩個所から漏出する試験ガスを、前記被検体(21)の周囲環境中の妨害ガスから区別する方法であって
    入されたガス流中の前記試験ガスの分圧を測定するように構成されたセンサ(18)にガスを導入するため、該センサ(18)に接続された吸入口(14)を有するスニッファ(12)を用い、前記被検体の外表面領域において、前記被検体(21)の周囲環境からガスを吸入するステップと、
    前記吸入されたガス流の流れ強度を周期的に繰り返し変動させるステップと、
    前記センサ(18)における前記吸入されたガスの全圧を、前記被検体(21)周囲の雰囲気(23)中のガスの全圧の少なくとも80%に設定するステップと、
    前記センサ(18)における前記吸入されたガスの前記全圧の10%を越える変動を回避するステップと、
    前記センサ(18)を用いて、前記吸入されたガス流に含まれる前記試験ガスの分圧を測定するステップと、
    測定された前記試験ガスの分圧が、前記吸入されたガス流の変動に追従し、平均振幅が閾値を超える変動成分を含む場合、前記被検体(21)が漏洩個所を有することを表示するステップと、を含む方法。
  2. 請求項1に記載の方法において、測定された試験ガス成分が、前記閾値を超える成分を含まない場合、漏洩個所が存在しないことを表示することを特徴とする方法。
  3. 請求項1または2に記載の方法において、前記吸入されたガスの前記流れ強度において周期的に繰り返しされる変動を、変調周波数が1Hz~20Hzの範囲にある変調として生じさせることを特徴とする方法。
  4. 請求項1から3のいずれか一項に記載の方法において、前記センサ(18)における前記吸入されたガス流の全圧を、前記被検体の周囲の雰囲気の全圧の90%~110%の範囲の値に設定することを特徴とする方法。
  5. 請求項1から4のいずれか一項に記載の方法において、前記吸入されたガス流の変調された流れ強度信号を、前記吸入されたガス流を変調するための所定の基準周波数および基準位相を用いて、ロックインアンプの原理により復調することを特徴とする方法。
  6. 請求項1から5のいずれか一項に記載の方法において、さらに、前記吸入されたガス流の前記流れ強度を変動させることなく、前記試験ガス分圧の比較測定を行うことを特徴とする方法。
  7. 請求項1から6のいずれか一項に記載の方法において、前記スニッファ(12)の領域において前記被検体(21)の周囲の前記雰囲気(23)の全圧は、900mbar~1100mbarの範囲の大気圧であることを特徴とする方法。
  8. 請求項1から7のいずれか一項に記載の方法を実施するための嗅気型漏洩検出器(10)であって、
    吸入口(14)を有するスニッファ(12)と、
    ガスポンプ(16)と、
    検出する試験ガスの分圧を測定するセンサ(18)と、
    前記吸入口(14)、前記センサ(18)、および前記ガスポンプを接続するガス管路(20)と、
    吸入されたガス流の流れ強度を繰り返し変動させて、前記センサ(18)における前記吸入されたガス流の全圧を、被検体(21)の周囲の雰囲気(23)中のガスの全圧の少なくとも80%に設定し、かつ、前記センサ(18)におけるガスの全圧が10%を超えて変動することを回避するように構成された制御装置(22)と、
    前記吸入されたガス流に含まれる前記試験ガスの分圧が、前記吸入されたガス流の変動に追従し、平均振幅が閾値を超える変動成分を含むかどうかを判定するように構成された評価装置(24)と
    を備える嗅気型漏洩検出器(10)。
  9. 請求項8に記載の嗅気型漏洩検出器(10)において、前記センサ(18)は、前記ガスポンプ(16)の下流に配置されていることを特徴とする嗅気型漏洩検出器(10)。
  10. 請求項8または9に記載の嗅気型漏洩検出器(10)において、前記ガス管路(20)は、前記吸入口(14)と前記センサ(18)との間にスロットル(26)を有することを特徴とする嗅気型漏洩検出器(10)。
  11. 請求項10に記載の嗅気型漏洩検出器(10)において、前記スロットル(26)は、長さが2cm~100cmの範囲で、直径が最大で5mmの毛細管であることを特徴とする嗅気型漏洩検出器(10)。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102356976B1 (ko) * 2021-07-08 2022-02-08 이재홍 에어 누설 검사 장비

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001516014A (ja) 1997-08-14 2001-09-25 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ヘリウム漏洩検出器の動作方法及びこの方法を実施するのに適したヘリウム漏洩検出器
JP2009244284A (ja) 1999-12-14 2009-10-22 Inficon Gmbh 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置
JP2011511294A (ja) 2008-02-08 2011-04-07 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 基準測定法に基づく吸込み式漏れ検出器
JP2012518780A (ja) 2009-02-21 2012-08-16 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 吸込み式漏れ検出器
JP2016532122A (ja) 2013-09-16 2016-10-13 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 多段膜式ポンプを備えた嗅気型漏洩検出器

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4316196C2 (de) * 1993-05-14 1994-07-28 Guenter Dr Vos Verfahren und Vorrichtung zur Gasanalyse
DE4408877A1 (de) 1994-03-16 1995-09-21 Leybold Ag Testgaslecksucher
JPH11153507A (ja) * 1997-11-20 1999-06-08 Shimadzu Corp リークデテクタ
JP2001050852A (ja) 1999-08-04 2001-02-23 Nkk Corp スニッファープローブ及びそれを用いたガス漏れ試験方法
DE10062126A1 (de) 2000-12-13 2002-06-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Feststellung eines Gases mit Hilfe eines Infrarot-Gasanlaysators sowie für die Durchführung dieser Verfahren geigneter Gasanalysator
DE10324596A1 (de) * 2003-05-30 2004-12-16 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE602004008869T2 (de) 2004-01-13 2008-06-12 Varian S.P.A., Leini Leckdetektor
DE102004050762A1 (de) * 2004-10-16 2006-04-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Lecksuche
DE102006056215A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
US20080202210A1 (en) * 2007-02-28 2008-08-28 Varian, Inc. Test gas leak detection using a composite membrane
US8689611B2 (en) 2007-10-15 2014-04-08 Inficon Ab Leak detection system comprising a tracer gas mediating unit
WO2009099469A1 (en) 2008-02-07 2009-08-13 California Institute Of Technology Method and apparatus for nondestructive evaluation and monitoring of materials and structures
DE102010007417A1 (de) 2010-02-10 2011-08-11 Inficon GmbH, 50968 Lecktestgerät
CN106153265B (zh) * 2016-06-20 2018-11-30 清华大学 一种手持式气体泄漏快速检测装置
CN106706216B (zh) * 2016-12-12 2019-05-10 清华大学 一种高于环境温度的气体泄漏的非接触检测方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001516014A (ja) 1997-08-14 2001-09-25 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ヘリウム漏洩検出器の動作方法及びこの方法を実施するのに適したヘリウム漏洩検出器
JP2009244284A (ja) 1999-12-14 2009-10-22 Inficon Gmbh 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置
JP2011511294A (ja) 2008-02-08 2011-04-07 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 基準測定法に基づく吸込み式漏れ検出器
JP2012518780A (ja) 2009-02-21 2012-08-16 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 吸込み式漏れ検出器
JP2016532122A (ja) 2013-09-16 2016-10-13 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 多段膜式ポンプを備えた嗅気型漏洩検出器

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