CN1391651A - 检测泄漏并确定其位置的方法以及实施该方法的装置 - Google Patents

检测泄漏并确定其位置的方法以及实施该方法的装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种通过对一种气体分压的变化进行测量和计算来确定试件、容器或类似物品的壁中的泄漏的方法及装置；为降低检漏的费用则建议有：用一个氧气传感器(4)来对氧气分压的变化进行检测和计算。

Description

检测泄漏并确定其位置的 方法以及实施该方法的装置
技术领域
本发明涉及一种通过测量和计算一种气体分压的变化来确定一试件、容器或类似物品的壁中的泄漏的方法、一种用于对所确定的泄漏进行定位的方法以及用于实施所述方法的装置。
背景技术
已知可通过试验气体、优选地通过氦气来寻找并可能的话来确定泄漏现象。为此对待检测泄漏的壁加一压差。在壁的具有较高压力的一侧，试验气体分压升高。若有泄漏存在，试验气体将穿过。在壁的具有较低压力的一侧放置一试验气体检测器，通常为质谱仪，用它来记录试验气体分压的升高值。
质谱仪较贵且灵敏。它们仅能工作在约10-4mbar或更低的压力条件下，因此用质谱仪所带来的技术和经济方面的费用均较高。
发明内容
本发明的任务是，提供上述类型的方法以及能实施这些方法的装置，用它们来降低技术和经济方面的费用。
根据本发明，该任务是通过权利要求所述的特征来解决的。
采用氧气作试验气体能够把氧气传感器用作为试验气体检测器。优选地使用氧气-固体电解质传感器。这些传感器很久以来便得到了应用，如用在汽车催化剂的废气监测。它们在工作时不需要高真空。在微结构方面的一种应用中，这些传感器在很宽的范围内是线性的且是足够灵敏的，这样根据本发明的泄漏检测便可以一种可与氦气检漏法相等同的灵敏度来加以实施。把氧气用作为检验气体还有其它的优点：该检漏方法的使用者就是通过这种气体、亦即O2的存在能够了解到情况，这种气体对许多的应用是具有特殊意义的。
附图说明
本发明其它的优点和细节将通过附图1～4所示的实施例以及为此所述的方法来加以介绍。附图中：
图1为一种用于对一个处于真空下的容器进行泄漏检测和泄漏定位的装置，
图2为一种复合型氧气/压力传感器，
图3为一种用于对一个注满无氧气体且处于真空下的容器进行泄漏检测和泄漏定位的装置，
图4为一种对那些被注有含氧气体的试件进行整体检漏的装置。
具体实施方式
图1中数字1表示一个处于真空下的容器。容器1经阀门3与真空泵2相连接。容器1中有氧气传感器4，它经导线5与一记录仪6相连。另外在容器1中还有一压力传感器7，它经导线8与记录仪9相连。在仪器6和9上连接有一计算装置11，它与一报警器12相连。位于容器1壁中的泄漏则用数字13表示。
当泄漏13出现在容器1的抽真空状态时，空气便会进入容器1。氧气分压便因此而变化。这一变化被测量仪器6所检测到，而测量仪器6则经计算装置11触发一泄漏显示。压力传感器7和测量仪器9能用来对氧气分压和总压的比例、亦即氧气浓度进行计算，如果氧气浓度比如高于15％，则可触发一泄漏显示。
另外还可以在对容器1抽真空期间会起作用的、此前业已存在的泄漏13加以确定。这一点比如可这样来进行：将在抽真空期间的几个确定时刻所测量到的氧气分压值的计算装置11中与先前在一个密封容器1中所进行并被存储的测量值加以比较。
图1所示的装置还包括有一个喷枪，它被接到一个压力容器16上，该压力容器16中具有无氧气体，比如氮气。如若在一个第一测量阶段检测到在容器1的壁中有一泄漏13，该泄漏的位置则可通过用无氧气体对容器1作局部喷射来加以确定。当气体射束扫到泄漏13时，此时氧气便进不到容器1中。由此使容器1中的氧气分压值有一个短时间的下降，该下降值为氧气传感器4所记录到并由测量仪器6所显示。这样便直接将喷射过程同泄漏13的位置关联了起来，因此便能够对泄漏作出精确的定位。
氧气分压的下降梯度越陡和/或氧气传感器的响应时间越短，就越能够迅速地来确定泄漏位置。当容器1的初始灌注的气体是无氧的，这种泄漏检测和定位因而便是特别灵敏的。分压值的下降还可通过使用耗氧气体作为试验气体来加以影响。当采用这些气体时，比如丙烷、丁烷或其它类似气体，除在泄漏13前出现氧气排出外，还在容器1中的氧气传感器的热表面上发生氧气的消耗，这样便增强了测量效果。
在图1所示的实施形式中，氧气传感器4和压力传感器7在空间上是分开的。当使用氧气固体电解质传感器时则可放弃这种分开形式，因为这些传感器通常配备有一根热丝。图2示出这样一种氧气传感器4。在一公共载体18上既固结有氧气传感器部件19(例如两块中间夹有固体电解质的铂电极)也固结有一热丝21。热丝21以一种熟知的形式构成图中未示出的一测量电桥的部件且因此同时也具有一个热导真空计的压力传感器的功能。
在图3所示的实施例中，将一注满无氧气体的、置于真空之下的容器1进行检漏。容器1可以是用于该种气体的储存容器，或者是一个为进行检漏而用压力容器21灌注有无氧气体的试件。
泄漏检测与定位是用一个探测器22来进行的，探测器22的尖23被导致容器1之上。在探测器22上连接有一导管，该导管与一供给泵25、比如隔膜泵相连。在探测器22和供给泵25之间的距离上，被吸入气流流经一其中装有氧气传感器4的室26，该氧气传感器如同图1所示的实施例那样将其信号经导线5输入测量仪器6。
只要探测器22一直在吸入空气，由于空气中含有氧气的缘故，传感器4便输出有一恒定不变的信号。当探测器尖23扫过一泄漏处，氧气输入便会减少或中断。如图1所示实施例中对泄漏定位的描述那样，氧气传感器4便记录到氧气分压的变化，这样不仅可确定泄漏的存在，而且也能确定泄漏的位置。
同样在采用这种方法时，当在容器或试件1中放入耗氧气体时，则可增强测量的效果。
图4示出一实施形式，其中对一个灌注有含氧气体的试件1整体地在一检验室31中进行检漏。检验室31以熟知的方式经导管32用真空泵33来抽真空。在导管32中有一具有氧气传感器的室26。当在抽真空期间有氧气从试件1中逸出时，则该氧气流经室26至被传感器4和测量仪器6所记录。如上所述，对测量结果与先前在密封试件1中的测量结果作比较能得到更好的泄漏检测结果。这一目标也可这样来达到：检验室在将试件1带入其中之后被注入无氧气体，这样已有的空气中氧气便不会干扰泄漏的检测。

Claims (21)

1.一种通过测量和计算一种气体分压的变化来确定一试件、容器或类似物品的壁中的泄漏的方法，其特征在于：用一个氧气传感器(4)来确定和计算。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：使用了氧气固体电解质传感器(4)。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于：对一个被置于真空之下的容器(1)的壁中的泄漏(13)的确定是用一位于容器(1)中的氧气传感器(4)表进行的。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：将在确定时刻所测得的氧气分压值与同样条件之下在密封容器(1)中所测得的值进行比较。
5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于：除用氧气传感器(4)测量分压外，还用一个压力传感器(7)来测量总压，该总压在进行计算时被加以考虑。
6.如权利要求3～5之一所述的方法，其特征在于：在一个处于真空的、含有无氧气体的容器(1)中实施泄漏检测。
7.如权利要求3～6之一所述的方法，其特征在于：为确定泄漏位置，用一种无氧气体流喷射试件的外侧。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于：使用了如丙烷、丁烷或与其类似的耗氧(可氧化)气体。
9.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于：对一个充有无氧的、优选地为耗氧(可氧化的)气体的、置于真空之下的容器(1)的壁中泄漏的确定是以这样的方式来进行的：用一个探测器尖(23)对容器进行探测，且用氧气传感器(4)对被探测器尖(23)所吸出的气体的氧气存在情况进行检查。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于：被探测器尖(23)所吸入的气体流经一个其中包括有氧气传感器(4)的室(26)。
11.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于：将一含有氧气的试件(1)放入一试验室(31)中，将该试验室抽真空并将试验室(31)中氧气分压的变化用来确定试件(1)壁中的泄漏。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于：从所述室(31)中被抽出的气体流经一室(26)，在该室(26)中有氧气传感器(4)。
13.如权利要求11或12所述的方法，其特征在于：计算是这样来进行的：将测量值与先前在密封容器(1)中试验所得的测量值作比较。
14.一种根据上述方法之一通过对一种气体分压的变化进行测量和计算来确定试件容器和类似物品壁中的泄漏的装置，其特征在于：在使用氧气作试验气体时，设置有一个氧气传感器(4)，优选地为一氧气-固体电解质传感器，该传感器与测量和计算装置(6、11、12)相连接。
15.一种根据方法权利要求3～8之一通过对一种气体分压的变化进行测量和计算来确定试件、容器和类似物品壁中的泄漏的装置，其特征在于：容器(1)中有氧气传感器(4)并且一被接在容器(1)上的真空泵(2)组成装置的部件。
16.如权利要求15所述的装置，其特征在于：在容器(1)中还有一个压力传感器(7)。
17.如权利要求16所述的装置，其特征在于：氧气传感器(4)的一根热丝(21)组成压力传感器(7)。
18.如权利要求15～17之一所述的装置，其特征在于：还设置有一个用于泄漏定位的喷射无氧和/或耗氧(可氧化的)气体的喷枪(15)。
19.一种根据方法权利要求9或10通过对一种气体分压的变化进行测量和计算来确定一试件、容器和类似物品壁中的泄漏的装置，其特征在于：一导管(24)同一室(26)被连接到探测器尖(23)上，在该室(26)中有氧气传感器(4)。
20.如权利要求19所述的装置，其特征在于：产生气体流的供给泵(25)为一隔膜泵。
21.一种根据方法权利要求11、12或13之一通过对一种气体分压的变化进行测量和计算来确定试件、容器和类似物品壁中的泄漏的装置，其特征在于：一真空泵(33)与一室(26)经一导管(32)被连接到试验室(31)上，且在该室(26)中有氧气传感器(4)。
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Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101943325A (zh) * 2010-08-06 2011-01-12 胡嘉林 一种主动检测燃气系统的泄漏与保护的装置及方法
CN102317753A (zh) * 2009-02-18 2012-01-11 因菲康有限公司 用于对检漏仪进行功能测试的方法
CN101495848B (zh) * 2006-07-27 2012-02-08 因菲康有限公司 检漏装置
CN102384827A (zh) * 2011-11-23 2012-03-21 安徽淮化股份有限公司 U型废热锅炉管束检漏装置
CN102792138A (zh) * 2009-12-21 2012-11-21 因菲康有限公司 用于确定泄漏的方法和装置
CN102834587A (zh) * 2010-04-09 2012-12-19 国际壳牌研究有限公司 用于加热地下地层的循环流体系统的泄漏检测
CN103154689A (zh) * 2010-09-03 2013-06-12 英福康有限责任公司 检漏器
CN103335795A (zh) * 2013-07-02 2013-10-02 中国科学院光电研究院 真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
CN105987796A (zh) * 2015-02-12 2016-10-05 广州市和晋自动化控制技术有限公司 一种气体浓度探测方法及装置
CN106971963A (zh) * 2017-03-17 2017-07-21 武汉华星光电技术有限公司 干法蚀刻机台制程腔及其快速抽底压漏率的方法
CN108351272A (zh) * 2015-10-06 2018-07-31 英福康有限责任公司 在嗅探泄漏搜寻期间检测测试气体的波动
CN108663167A (zh) * 2018-06-22 2018-10-16 湖南耐普恩科技有限公司 一种超级电容器检漏用防泄漏的检测装置
CN110486629A (zh) * 2019-08-15 2019-11-22 上海中船三井造船柴油机有限公司 用于双燃料主机天然气管路的气密性检测装置及方法
CN110854038A (zh) * 2018-08-21 2020-02-28 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和该装置中的外部空气漏入部位确定方法

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2834066B1 (fr) * 2001-12-21 2004-02-13 Air Liquide Procede et dispositif de mesure du debit d'oxygene s'infiltrant dans un contenant
ITRM20030451A1 (it) * 2003-09-30 2005-04-01 Xsemisys Di Fabio La Spina & C S N C Metodo e dispositivo per la rivelazione e la
DE102004045803A1 (de) * 2004-09-22 2006-04-06 Inficon Gmbh Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung
DE102004058606B4 (de) * 2004-12-03 2006-10-05 Eads Deutschland Gmbh Verfahren zur Prüfung der Dichtigkeit von Behältern
DE102004059485A1 (de) * 2004-12-10 2006-06-22 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
EP1836467B1 (en) * 2005-01-10 2012-04-25 Mocon, Inc. Instrument and method for detecting leaks in hermetically sealed packaging
US20070240493A1 (en) * 2006-04-18 2007-10-18 Shane Conlan Sprayer-sniffer probe
DE102007035932A1 (de) * 2007-07-31 2009-02-05 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
US7707871B2 (en) * 2007-09-24 2010-05-04 Raytheon Company Leak detection system with controlled differential pressure
DE102007057944A1 (de) * 2007-12-01 2009-06-04 Inficon Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
DE102008037058A1 (de) * 2008-08-08 2010-02-11 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage
DE102008048625A1 (de) * 2008-09-24 2010-03-25 Inficon Gmbh Verfahren zur Leckprüfung einer Vakuumprozessanlage
FR2940834B1 (fr) * 2009-01-07 2011-06-10 Commissariat Energie Atomique Dispositif de detection de micro-fuites
US8297109B2 (en) * 2010-04-09 2012-10-30 Inficon Gmbh Method for performing a leak test on a test object
RU2517985C2 (ru) * 2010-04-19 2014-06-10 ООО "Политест" Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе
CN102494849B (zh) * 2011-11-17 2014-04-02 四川嘉宝莉涂料有限公司 气密性检测装置及其实现方法
CN102519681A (zh) * 2012-01-06 2012-06-27 重庆生竹科技发展有限公司 密封容器焊缝质量检测方法
CN102645305A (zh) * 2012-05-11 2012-08-22 重庆市建设技术发展中心 一种检验门窗安装密封性能的方法
CN103091055A (zh) * 2013-01-14 2013-05-08 湖州剑力金属制品有限公司 一种工件气密性测试装置
RU2532232C1 (ru) * 2013-06-13 2014-10-27 Общество с Ограниченной Ответственностью "НОВАТЭК-ТАРКОСАЛЕНЕФТЕГАЗ" Система локализованного контроля утечек горючего газа по первичным параметрам измерительных устройств
JP2015004645A (ja) * 2013-06-24 2015-01-08 株式会社村田製作所 酸素濃度測定装置
CN103728929B (zh) * 2013-09-13 2016-05-18 长春北方化工灌装设备有限公司 一种防灌装过程泄漏检测的泄漏检测方法
CN105300625A (zh) * 2014-07-12 2016-02-03 鞍钢股份有限公司 一种顶枪煤气泄露预知检测系统及检测方法
DE102015222554A1 (de) 2015-11-16 2017-05-18 Inficon Gmbh Lecksuche mit Sauerstoff
DE102016205381B4 (de) * 2016-03-31 2023-11-30 Inficon Gmbh Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung
DE102017217374A1 (de) * 2017-09-29 2019-04-04 Inficon Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Unterscheidung eines aus einem Leck austretenden Prüfgases von Störgas
EP3719471A1 (en) * 2019-04-03 2020-10-07 Daspos A/S A leakage detector system
TWI701428B (zh) * 2019-05-21 2020-08-11 吳柄村 測漏裝置及測漏方法
WO2023077048A1 (en) * 2021-11-01 2023-05-04 Ultra Clean Holdings, Inc. Leak detection apparatus employing helium and a helium detector

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54109491A (en) * 1978-02-15 1979-08-28 Nichiden Varian Kk Method and device for detecting leakage
JPS5853752A (ja) * 1981-09-25 1983-03-30 Toshiba Corp ハロゲン化炭化水素ガス漏洩検知素子
DE3247975A1 (de) * 1982-12-24 1984-06-28 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Verfahren und vorrichtung zur auffindung von lecks in waenden
DE3506327A1 (de) * 1984-02-23 1985-09-05 NGK Insulators Ltd., Nagoya, Aichi Sauerstoff-fuehler mit einem rohrfoermigen festelektrolytkoerper
US4591423A (en) * 1984-03-16 1986-05-27 Ngk Insulators, Ltd. Oxygen sensor
US4704897A (en) * 1985-09-30 1987-11-10 Tokyo Gas Co. Limited Locating method of and the locating unit for leaks on piping
US4768371A (en) * 1985-12-06 1988-09-06 Ceramatec, Inc. Leak detector
JPS63200032A (ja) * 1987-02-16 1988-08-18 Shinkosumosu Denki Kk 容器の漏洩検知方法
JPS63214635A (ja) * 1987-03-02 1988-09-07 Fujikura Ltd ガス漏れ検出方法
JPH0750014B2 (ja) * 1988-03-05 1995-05-31 高砂熱学工業株式会社 気密容器の漏洩率測定法および装置
JPH0786498B2 (ja) * 1988-06-02 1995-09-20 日本碍子株式会社 加熱型酸素センサ
US4890459A (en) * 1988-12-08 1990-01-02 Thermo King Corporation Monitor for refrigeration system
JPH0594745U (ja) * 1992-05-29 1993-12-24 三菱電機株式会社 気密容器のリーク検出装置
JP2825172B2 (ja) * 1992-07-10 1998-11-18 東京エレクトロン株式会社 減圧処理装置および減圧処理方法
US5293771A (en) * 1992-09-01 1994-03-15 Ridenour Ralph Gaylord Gas leak sensor system
JP2612999B2 (ja) * 1992-10-26 1997-05-21 日本電信電話株式会社 質量分析型ガス漏れ検知器
JPH0712670A (ja) * 1993-06-28 1995-01-17 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置のリークガス検出方法及びその装置
DE4325419C2 (de) * 1993-07-29 2001-06-13 Ust Umweltsensortechnik Gmbh Lecksuchgerät für Vakuumanlagen
JPH07103843A (ja) * 1993-10-05 1995-04-21 Hitachi Bill Shisetsu Eng Kk 真空漏洩検出方法および同装置
JPH0815082A (ja) * 1994-06-29 1996-01-19 Horie Metal Co Ltd 漏洩検査方法及び漏洩検査装置
JP3688083B2 (ja) * 1996-12-26 2005-08-24 東洋自動機株式会社 密封体の漏れ検査方法および装置
JP3649544B2 (ja) * 1997-02-13 2005-05-18 日本碍子株式会社 ガス分析装置
US6196056B1 (en) * 1998-04-15 2001-03-06 Vacuum Instrument Corp. System for determining integrity of a gas-sealed compartment
US6286362B1 (en) * 1999-03-31 2001-09-11 Applied Materials, Inc. Dual mode leak detector
US6432721B1 (en) * 1999-10-29 2002-08-13 Honeywell International Inc. Meso sniffer: a device and method for active gas sampling using alternating flow

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101495848B (zh) * 2006-07-27 2012-02-08 因菲康有限公司 检漏装置
CN102317753B (zh) * 2009-02-18 2014-12-10 因菲康有限公司 用于对检漏仪进行功能测试的方法
CN102317753A (zh) * 2009-02-18 2012-01-11 因菲康有限公司 用于对检漏仪进行功能测试的方法
CN102792138B (zh) * 2009-12-21 2015-11-25 因菲康有限公司 用于确定泄漏的方法和装置
CN102792138A (zh) * 2009-12-21 2012-11-21 因菲康有限公司 用于确定泄漏的方法和装置
CN102834587B (zh) * 2010-04-09 2015-04-29 国际壳牌研究有限公司 用于加热地下地层的循环流体系统的泄漏检测
CN102834587A (zh) * 2010-04-09 2012-12-19 国际壳牌研究有限公司 用于加热地下地层的循环流体系统的泄漏检测
CN101943325B (zh) * 2010-08-06 2013-07-03 胡嘉林 一种主动检测燃气系统的泄漏与保护的装置及方法
CN101943325A (zh) * 2010-08-06 2011-01-12 胡嘉林 一种主动检测燃气系统的泄漏与保护的装置及方法
CN103154689B (zh) * 2010-09-03 2015-11-25 英福康有限责任公司 检漏器
CN103154689A (zh) * 2010-09-03 2013-06-12 英福康有限责任公司 检漏器
CN102384827A (zh) * 2011-11-23 2012-03-21 安徽淮化股份有限公司 U型废热锅炉管束检漏装置
CN103335795A (zh) * 2013-07-02 2013-10-02 中国科学院光电研究院 真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
CN103335795B (zh) * 2013-07-02 2016-05-04 中国科学院光电研究院 真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
CN105987796A (zh) * 2015-02-12 2016-10-05 广州市和晋自动化控制技术有限公司 一种气体浓度探测方法及装置
CN108351272A (zh) * 2015-10-06 2018-07-31 英福康有限责任公司 在嗅探泄漏搜寻期间检测测试气体的波动
CN106971963A (zh) * 2017-03-17 2017-07-21 武汉华星光电技术有限公司 干法蚀刻机台制程腔及其快速抽底压漏率的方法
CN108663167A (zh) * 2018-06-22 2018-10-16 湖南耐普恩科技有限公司 一种超级电容器检漏用防泄漏的检测装置
CN110854038A (zh) * 2018-08-21 2020-02-28 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和该装置中的外部空气漏入部位确定方法
CN110486629A (zh) * 2019-08-15 2019-11-22 上海中船三井造船柴油机有限公司 用于双燃料主机天然气管路的气密性检测装置及方法

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