JPS5960238A

JPS5960238A - トレーサ式ガス洩れ検出器用の漏洩流量の測定表示装置

Info

Publication number: JPS5960238A
Application number: JP58155680A
Authority: JP
Inventors: ジヤツク・モレル; ジヤツク・タロン
Original assignee: Alcatel CIT SA; Compagnie Industrielle de Telecommunication CIT Alcatel SA
Current assignee: Alcatel CIT SA
Priority date: 1982-08-27
Filing date: 1983-08-25
Publication date: 1984-04-06
Also published as: FR2532424A1; DE3373536D1; EP0103771A1; EP0103771B1; FR2532424B1; JPH0263174B2; US4510792A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】タンクのような装置または真空設備の気密性を検査する
ために例えばヘリウムのようなガストレーサを使用し、
該ガストレーサを該装置または１ｒＸ　’ｌｆ：ｌｉ内
に注入することが知られている。前記装置に偽がある場
合、ヘリウムはこの傷から流出し、測定装置、例えばガ
ス分析用マススペクトロメータ内に送られ、その結果該
測定装置は受けとったヘリウムの量に基づいて傷の大き
さを決定し得る。

従来の＆ｉれ検出器は一般に次の四つの■；（（分から
４１．７成込れている。

第一面目は、検査すべき装置または設備から、特に例え
ば翼形の第一ポンプを介して空気を排出させるための部
分であり、該ポンプは、ポンプ遮断用弁、空気流入用弁
、圧力測定用マノメータのような器具に連結されている
。

１１ｔｌｌ二番目は、該第一番目の部分から排出された
トレーサガスを分析するための部分であり、従って該部
分は、マススペクトロメータのような分析用セル、例え
ば翼形の第一ポンプ、ターボ分子式またはイオン式拡散
ポンプ型の第二ポンゾ装皿、例えば液体窒累を用いるト
ラップ、並びに圧力測定用マノメータを含む。

第三番目は、分析すべき混合気体または該気体の一部分
を該第二番目の部分内に導入するように４’？を成され
ておシ、一般にこの部分は流量調整弁を含む。

最後に第四番目は、例えば適当な電子装置を介して分析
結果、従って漏れの大きさをＨＩ算及び表示する部分で
おる。

ところで従来の漏れ検出技術では、漏れはほぼ１０−１
１〜１０８気圧ＣＩｎ８／秒テＦＪ−’ｊＮ可能すｌｋ
値わ５内を変化し、この数値範囲は真空材料技術者によ
りＮ個の桁数で表現される。従って前記数値範囲は１５
個の桁数に和尚する。

＋ｌ値宕・１佳ｊ１がこのように広いために、漏れ検出
器の２す造業者は検出すべき漏洩値に適合する種々のイ
ｊ・ｒ成を用い々ければならない。

１０−１１〜１　（１−’気圧側３／秒のオーダの低漏
洩値の場合なゴ５えると、全流量のヘリウムガスは分析
器へ向かって送られ、該第二番目の部分の弁は完全に開
いている。

１０−５〜１気圧Ｃｍ３／秒の平均的な漏洩値の場合、
ガス流す、にの一部は検出器の第一番目の部分の２（）
−ポンプに向かって送られ、該検出器の第二番目のＬｌ
へ分の弁は一部しか開かず、或いはガス通過量がよシ小
さい枚数の弁によって代替される。

更に、１気圧ｃｍ３／秒を越える高漏洩値の場合、第二
番目の部分の弁の流量をダイアフラム、毛管静の適当な
手段によって制限し、或いはこの弁をダイアフラムに替
えることが明らかに必要となる。

こうして、場合に応じて分析セルは該セルを通るヘリウ
ム流：［ｆ　ｑを検出する。この流量ｑは、検査すべき
装置またけ設備の傷から流出する流ｔ″’ｃＱの全部ま
たは一部に和尚する。

分析セルに連結された電子回路の測定能力は、漏洩値の
桁ｉｎが最大で５〜６という低い値に制御Ｎｏ、される
。

換言するなら桁数が少ない従来型の検出器を使用する場
合、該傷を通る漏れの正確な値Ｑとｎ個の桁数からなる
測定範囲とを測定者が瞬間的な作条条件下で同時に知る
ことは不可能であった。

従って、使用者が１０−１０気圧ｃｍ　”　７秒のオー
ダで漏れを検出できるように装置の感度を設定するよう
な場合、実際の入力圧力が例えは１０−″２気圧（漏れ
が１０−２気圧の３／秒）ならこのｍ度ンま１０−５気
圧ｃｍ　Ｂ　７秒に制限される。

本発明は、測定者に装置の能力を正確に知らせることに
より、上述の欠点を解決するものである。

本発明の目的は、トレーサガス式漏れ検出器に於ける漏
洩率Ｑの測だ及び表示用装６２を提供することであり、
ｉな（テミ出器は、主に、検査すべき装置にシ」択的に
打に７・１；され得る第一・真空ｉＪ？ンゾと、同様に
検査すべき該装ｆｆ？、に接続される弁とを含む型の検
出器であり、該弁は、第一ポンプと第二ポンプとから成
るｚｌ？ンゾ群によって真空に維持された分析セルに連
通し、該弁は完形弁から成シ、該蝶形弁の開口度はモー
タによって制御され、該モータは該分析セルの入口付近
の圧力によって制御され、該開口度は電気信号に変換さ
れて該測定表示装置へ送られ、該測定表示装置それ自体
は該分析セルに制Ｖｌｌされ、該測定表示装置は、Ｎ個
の桁数から成る範囲内でｎ個の桁数から成る領域を選択
表示し、ト」時に、検査すべき装置の漏洩値をこのｎ個
の桁数から成る領域内に表示することが可能な信号化シ
ステムを含むことを特徴とする。

本発明の好ましい具体例に従うならば、該信号化システ
ムは目盛付テープと指針とを含み、該テープはＮ個の桁
数の範囲にわたシ目盛を付けられておシ、ｎ個の桁数に
相当する長さに形成された窓の前を進行するように措成
されている。

変形具体例に於いて、信号化システムは発光装置を含み
、該発光装置はＮ個の桁数の範囲から選択された１１個
の桁数から成る作業ｔｉｔｔ分を明示し、同時に、この
選択された領域内で発光手段によジ虎ｉ洩値をり］示す
る。

本発明の他の−［ｆ徴及び長所は、添付図面に関する以
下の具体的で非限足的な記載によって明示される。

第１図中、符号１は気密性のイρ！査を要する装置、例
えばタンクを示す。

該タンクは尋ｖ３を介して翼形の第一ポンプ２に連結さ
れ、場合によってはポンプ２を遮断するために弁１７が
４管３に配置さ７する。該導管３には堕気流入用弁４　
とマノメータ５とが連結される。

導管３は導管６を介してガス流入用弁７に連通し、該弁
は分析セルにガスを導くものであシリ下に詳述される。

核弁７は導管８を介して液体預素トンソゾ９に５！１４
通ｌ〜、分析−ヒル１ｏ例えばマススペクトロメータと
マノメータ１１とがｎ：Ｆ　）ラップに連結される。更
に、導管１２によシ該トラップ９は第二；ｊ？ンゾ装置
１３と連結され、Ｈ３、−１５７ゾ装置それ自体は通路
１５を介して月形第−Ｉｌ？ンゾ１４に連結される。

第二、−１？ンゾ装何１３は拡散型ポンプ、ターボ分子
量ポンプまたはイオン型ポンプである。

７９−・５づ１６は、検出測定結果のｉｌｎ及び表示用
短手製置である。

一方、弁７ケよ（ｉ’ｊｋＡ的弁であり、即ち眩弁は？
ν［次開口式（□；Ｇ形弁から成９　、１０−’　〜１
　ｍｂａｒのオーダの」１流圧力で作動し得るように４
′ｉ’Ｊ成されている。

該蝶形弁ｔよ′屯気式丑たは空気式モータ２ｏにょ逆駆
動され、モータはマノメータ１１の圧力によって制御さ
れる。この動作はそれぞれ点ＭＬ□及びＬ２によって示
される。更に、鞘形弁が動くと電位差計（図示せず）の
カーソルが付随して移動し、こうして弁７ＯＤＦｉロ展
を示ず信号が′ｉａ子装置ｄ１６に送られる。この動作
し」、＃）＋ｌ　ＬＢによって図示される。

また線Ｌ４が示すように、電子装置１６は分析セル１０
に制御される。

従って、電子装置１６は弁７の開閉度に相当する情報を
受は取る。このように送られた情報は、ローラ２３を介
してテープ２２（第２図）を移動させる。該テープには
Ｎ個の桁数の範囲に渡って対敷目盛が＋ｊ烙れておｐ、
この桁数は例えば１０１２〜１０３気圧６１ｎ１７秒の
範囲であシ、従って検出器の限界性能に対応する。第２
［１中、テープ２２上に示された数字は１０の各指数で
ある。

ｉ亥テープ２２は読取用窓２４の前を進行し、該窓から
は作東条件下で可能な読取範囲に対応する桁の個数、例
えば図例中では４〜５が現われている。従って測定者は
、試験の作Ｃ′龜条件下で測定し得る１１ヨ小値及び最
大値について情報を与えられる。

更に該窓２４は可動指針２５を含み、該指針の位１１ｔ
は、電位差制御装置によシ制御され、装置ｊ６を介して
得られる分析セル１０の出力、従ってセルを通るヘリウ
ム流廿ｑの大きさによって決定され、該ヘリウム流量ｔ
よ対截増幅器によシ増幅される。従って該指針２５は、
窓２４内に現われる測定ｇα囲ｒ＋内で正確なｔｉｔ洩
値Ｑを表示する。

槌って不発リシ」装置は、ガス流入圧力の大きさに関係
なく、流Ｌｆ　Ｑ即ち被試験装置の漏洩量の正確な値、
及び上述のＮ飼の桁数から選択されたｎ個の桁数の領域
内てｏＪ能な測定範囲を測定者に示すことが可能である
。

このような装（仔により、分析セルから送出されたイム
号′を明ｌ１ｆｉξに？ｉｌＪ抗することが可能になる
。

該装置は、トレーザガス例えばヘリウムまたは水素を用
いるｉ）・１れ検出の分野で適用されることが好ましい
。

第３図は第２図の可能な変形例を示し、同図ではＮ飼の
桁数から成る目盛が固定スケール２６上に記されており
、実−１の測定第件の場合、ｎ個のｊｆＩ数の領域で可
能な測定範囲は、第３図中三角形で示された２個の移動
型発光信号２７及び２８により与えられる。１［、第２
図の漏洩値を示す可動指針２５は、第３図の変形例では
、測定可能領域を示す信号２７及び２Ｂの間の移動型発
光信号２９によシ代替される。該移動型発光信号２９も
寸た三角形で示される。

同図中、固定スケール２６上に表示された数字は、第２
図のスケールに於ける場合と同様に１０の各指数を示す
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置を適用した漏れ検出器の概略図、記
２図は本発明装置を１？’７成する表示装置の概略図、
及び第３図は第２図の武形例を示す概略図である。１・・・タンク、２．１３．１４・・・　ポンプ、３．
６．Ｒ，１２・・・導管、４，７．１７・・・弁、５．
１１・・・マノメータ、９・・・トラップ、１０・・・
分析セル、１６・・・測定表示装置、２　（１１−−−
り、２２・・デーゾ、２３・・・ローラ、２４　・１１
；：Ｉ　’ｌ”！用窓、２５・・・指針、２６・・・固
定スケール、２７〜２９・・・発光４６号。代理人弁塀士今　　村　　　元

Claims

【特許請求の範囲】

（１）トレーザガス式ガス漏れ検出器に於ける漏洩率Ｑ
の測定及び表示装置であシ、該検出器は、主に、検査す
べき装置に選択的に接続されイ：）るシ１５−真空ポン
プと、同様に検査すべきを含むポンプ群により真空に維
持された分析セルに連通しておシ、該弁手段は開口度が
モータによって制御される弁から成り、該モータ？Ｊ、
　該分析セルの入日付近の圧力によって制御されてお９
、この開口度は電気信号に変換されて該測定表示装置に
送られておりＳ該測定表示’ｔ’４　ｉ’＋１それ自体
は該分析セルに制御されておシ、該測定表示装置は、Ｎ
個の桁数から成る範囲内でｎ個の桁数から成る領域を選
択表示し、同時に、検査すべき装置の漏洩値をこのｎ個
の桁数から成る領域内に表示することか可能な信号化シ
ステムを含むことを／ｉｔ徴とする装置。
（２）該信号化システムは、同時に目盛付テープと指針
とを含み、該テープはＮ個の桁数の範囲にわたシ目盛を
付けられておフ、ｎ個の桁数に和尚する長さに形成され
た窓の前を進行するように１ｉＩ７成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。
（３）該（ｉ？号化システムは発光装置を含んでおシ、
該発光装Ｑは、Ｎ個の桁数の範囲から選択され７’Ｃｎ
個の桁数から成る作業部分を明示し、同時に、この迩択
された領域内で発光手段によシ漏洩値を明示することを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。