JP4996328B2 - シリンダーキャビネット - Google Patents
シリンダーキャビネット Download PDFInfo
- Publication number
- JP4996328B2 JP4996328B2 JP2007127700A JP2007127700A JP4996328B2 JP 4996328 B2 JP4996328 B2 JP 4996328B2 JP 2007127700 A JP2007127700 A JP 2007127700A JP 2007127700 A JP2007127700 A JP 2007127700A JP 4996328 B2 JP4996328 B2 JP 4996328B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- valve
- exhaust
- path
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 216
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 description 37
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 5
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
Description
Claims (4)
- ガス供給経路から分岐し、排気弁を介して真空排気手段に接続する排気経路を備えたシリンダーキャビネットにおいて、前記排気経路として、主排気弁を備えた主排気経路と、該主排気経路に並列に設けられ、ガス流量を前記主排気経路のガス流量より少なく制御される流量調整手段及び副排気弁を備えた副排気経路とを設けるとともに、前記主排気弁と副排気弁とを切替開閉する弁制御部を設けたことを特徴とするシリンダーキャビネット。
- 前記主排気弁の上流側の排気経路の圧力を測定する圧力計を設けるとともに、該圧力計で測定した圧力があらかじめ設定された圧力を超えているときには前記主排気弁を閉じて前記副排気弁を開き、あらかじめ設定された圧力より低いときには前記主排気弁を開く弁制御部を備えていることを特徴とする請求項1記載のシリンダーキャビネット。
- 前記流量調整手段は、前記ガス供給経路から前記排気経路に流入するガスにおける有害成分濃度、流量及び圧力の少なくともいずれか一つの条件に基づいて流量調整を行うことを特徴とする請求項1又は2記載のシリンダーキャビネット。
- 前記流量調整手段は、可変オリフィスであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のシリンダーキャビネット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007127700A JP4996328B2 (ja) | 2007-05-14 | 2007-05-14 | シリンダーキャビネット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007127700A JP4996328B2 (ja) | 2007-05-14 | 2007-05-14 | シリンダーキャビネット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008281155A JP2008281155A (ja) | 2008-11-20 |
JP4996328B2 true JP4996328B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=40142135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007127700A Active JP4996328B2 (ja) | 2007-05-14 | 2007-05-14 | シリンダーキャビネット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4996328B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5657446B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2015-01-21 | 株式会社東芝 | シリンダーキャビネット |
CN103185200B (zh) * | 2011-12-31 | 2014-12-03 | 安瑞科(廊坊)能源装备集成有限公司 | 一种气体输送系统及一种气体输送方法 |
JP5463491B1 (ja) * | 2012-11-09 | 2014-04-09 | 株式会社関東エルエンジニアリング | 自動パージ工程制御情報生成装置 |
CN105402603B (zh) * | 2014-08-18 | 2018-01-02 | 中油辽河工程有限公司 | 一种适用于页岩气与致密气的地面集输系统 |
CN105846290B (zh) * | 2016-06-22 | 2018-12-14 | 中国科学院光电研究院 | 一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法 |
CN115355438B (zh) * | 2022-08-09 | 2024-05-07 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种用于气体放电离子源的供气系统 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1163398A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-03-05 | Tokyo Electron Ltd | ガス供給装置 |
JP2000161592A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Osaka Gas Co Ltd | ガスパージ装置およびガスパージ装置搭載車 |
DE19914282A1 (de) * | 1999-03-30 | 2000-10-05 | Leybold Vakuum Gmbh | Sperrgas-Ventileinrichtung |
JP2003014193A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Nec Corp | シリンダキャビネット及びその配管内の残留ガスのパージ方法 |
JP2005054963A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Toyota Motor Corp | 水素タンクからの水素抜取り装置 |
-
2007
- 2007-05-14 JP JP2007127700A patent/JP4996328B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008281155A (ja) | 2008-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4996328B2 (ja) | シリンダーキャビネット | |
CN102654241B (zh) | 气体减压供给装置、具有该气体减压供给装置的气瓶柜、阀箱以及基板处理装置 | |
JP6047672B1 (ja) | 真空処理装置 | |
JP2001203211A (ja) | 水素アニール処理方法及びその装置 | |
JP5274557B2 (ja) | 真空処理装置及びガス供給方法 | |
KR20120010640A (ko) | 질소 공급 장치 및 그 제어 방법 | |
WO2009110611A1 (ja) | 表面処理装置 | |
KR101611518B1 (ko) | 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트 | |
JP2001012696A (ja) | ガス供給装置及び方法 | |
JP6663874B2 (ja) | 混合ガス供給装置 | |
JP7064835B2 (ja) | 気体分離装置 | |
KR101718638B1 (ko) | 진공 배기 시스템 운전 방법 | |
JP2005331309A (ja) | 排気ガス測定装置 | |
JP5700646B2 (ja) | 水素アニール処理方法及び水素アニール処理装置 | |
JP2009213947A (ja) | 表面処理装置 | |
JP2007108026A (ja) | ガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法 | |
JP7292554B1 (ja) | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 | |
JP6658463B2 (ja) | ガスタンク検査装置 | |
JP2015052420A (ja) | 排気ガス処理システム | |
KR101403988B1 (ko) | 가스 공급장치 | |
CN117438342A (zh) | 一种超临界流体制造装置 | |
KR102493752B1 (ko) | Lng 공급시스템의 bog 운전 제어방법 | |
KR102544431B1 (ko) | 불소 가스 함유 가스의 공급 방법 및 공급 설비 | |
JP7046741B2 (ja) | 燃料電池システム及び燃料電池船 | |
KR100805249B1 (ko) | 전자소재 제조용 가스공급장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120511 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4996328 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |