JP2008281155A - シリンダーキャビネット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガス供給経路22から高圧側排気弁26,低圧側排気弁31を介して分岐し、排気弁を介して真空排気手段に接続する排気経路41を備えたシリンダーキャビネット11において、前記排気経路として、主排気弁42を備えた主排気経路43と、該主排気経路に並列に設けられ、ガス流量を前記主排気経路のガス流量より少なく制御される流量調整手段44及び副排気弁45を備えた副排気経路46とを設けるとともに、前記主排気弁と副排気弁とを切替開閉する弁制御部を設ける。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- ガス供給経路から分岐し、排気弁を介して真空排気手段に接続する排気経路を備えたシリンダーキャビネットにおいて、前記排気経路として、主排気弁を備えた主排気経路と、該主排気経路に並列に設けられ、ガス流量を前記主排気経路のガス流量より少なく制御される流量調整手段及び副排気弁を備えた副排気経路とを設けるとともに、前記主排気弁と副排気弁とを切替開閉する弁制御部を設けたことを特徴とするシリンダーキャビネット。
- 前記主排気弁の上流側の排気経路の圧力を測定する圧力計を設けるとともに、該圧力計で測定した圧力があらかじめ設定された圧力を超えているときには前記主排気弁を閉じて前記副排気弁を開き、あらかじめ設定された圧力より低いときには前記主排気弁を開く弁制御部を備えていることを特徴とする請求項1記載のシリンダーキャビネット。
- 前記流量調整手段は、前記ガス供給経路から前記排気経路に流入するガスにおける有害成分濃度、流量及び圧力の少なくともいずれか一つの条件に基づいて流量調整を行うことを特徴とする請求項1又は2記載のシリンダーキャビネット。
- 前記流量調整手段は、可変オリフィスであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のシリンダーキャビネット。
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