JP6663874B2 - 混合ガス供給装置 - Google Patents
混合ガス供給装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6663874B2 JP6663874B2 JP2017036830A JP2017036830A JP6663874B2 JP 6663874 B2 JP6663874 B2 JP 6663874B2 JP 2017036830 A JP2017036830 A JP 2017036830A JP 2017036830 A JP2017036830 A JP 2017036830A JP 6663874 B2 JP6663874 B2 JP 6663874B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- hydrogen
- nitrogen
- mixing
- mixed gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Accessories For Mixers (AREA)
Description
すなわちボンベが空になれば、検査を中断してボンベを新たなものと交換する必要がある。しかしながら、この種のボンベは重量が大きく、その運搬や設置に多大な労力と時間を要する。もちろん実際上は、複数のボンベを漏れ検査現場に用意しておき、一つのボンベが空になった時に別のボンベに切り替えることも多いが、その場合でも、ボンベを漏れ検査現場に運搬、設置しなければならない点では同じ問題がある。
また、このような態様の混合ガス供給装置では、ガス混合部が直列接続した二つの混合タンクによって構成されるため、上流側の混合タンクがバッファーとして機能して混合ガス供給の安定化を図ることが可能となり、また混合ガスの均一化を図って、均一な混合比の混合ガスを確実に供給することが可能となる。
また、本発明によれば、水素に触れることなく安全に水素混合ガスを供給することができる。さらに、空気と水のみを利用して水素混合ガスを装置内で製造することができ、そのため、高圧ガスボンベの購入の必要がなく、水素混合ガスを使用する際にその場で水素混合ガスを製造して供給でき、そのため利便性が高く、且つ、ランニングコストを抑えることができる。
図1において、エアー取り入れポート11は、ガス漏れ検査を行う工場等における空気配管などから空気を取り入れるための取り入れ口であり、このエアー取り入れポート11は、混合ガス供給装置10内の、手動開閉操作可能なエアー取り入れ開閉弁12および空気供給配管13を介し、窒素ガス発生部としてのフィルター15に接続されている。このフィルター15は、例えば膜モジュール(膜分離窒素ガス発生装置)であり、取り入れられた空気から窒素ガスを分離し、比較的高濃度の窒素ガスを発生させるためのものである。
フィルター15の出側は、窒素ガス配管17aを介してガス流制御部19に導かれ、さらに窒素ガス配管17bを介して、後述する混合部21に導かれている。
水槽23内の水は、給水配管25を介して水素発生器27に導かれるようになっている。水素発生器27は、水の電気分解によって水素ガスを発生させるものである。水素発生器27の出側は、水素ガス配管29aを介してガス流制御部19に導かれ、さらに水素ガス配管29bを介して、混合部21に導かれている。
このようにして、混合部21において水素ガスと窒素ガスとが均一に混合された混合ガスが生成される。言い換えれば、高濃度の水素ガスが窒素ガスによって希釈された、低水素濃度の水素/窒素混合ガスが生成される。
混合ガス供給装置10は、その構成部材が、基台40上に搭載されるとともに、その基台40に一体化された例えば方形箱状をなす筐体(キャビネット)41内に収納されている。基台40は、板状あるいは枠状のいずれでもよい。筐体41は、その前面41Aの側の上部に操作/表示盤43が設けられており、操作/表示盤43の下側には、開閉可能な前扉45が設けられている。
なお筐体41の後面41Bにおける前記給排部47以外の部分は、保守や点検のために開閉可能な後扉48によって構成されている。
Claims (3)
- 水を分解して水素ガスを発生する水素発生器からなる水素ガス発生部と、空気から窒素ガスを分離して取り出すフィルターからなる窒素ガス発生部と、前記水素ガス発生部から導かれた水素ガスおよび前記窒素ガス発生部から導かれた窒素ガスを混合するガス混合部とを有し、
前記水素ガス発生部と、前記窒素ガス発生部と、前記ガス混合部とが、一つの基台上に搭載されて一体化され、
前記ガス混合部で混合された低水素濃度の水素/窒素混合ガスを外部に供給するように構成され、
前記水素ガス発生部と、前記窒素ガス発生部と、前記ガス混合部とが、前記基台上に設けられた単一の筐体内に収容され、
前記ガス混合部が直列接続した二つの混合タンクからなり、
前記二つの混合タンクは、前記水素ガス及び前記窒素ガスが導入される第1混合タンクと、前記第1混合タンクよりも小容量で前記第1混合タンクに接続された第2混合タンクであることを特徴とする混合ガス供給装置。 - 工場の現場での中空部品の漏れ検査において前記中空部品へ前記水素/窒素混合ガスを導入する混合ガス供給装置であって、
前記窒素ガス発生部は、工場の空気配管から取り入れた空気から窒素ガスを分離することを特徴とする請求項1に記載の混合ガス供給装置。 - 請求項1、請求項2のいずれかの請求項に記載の混合ガス供給装置において、前記基台に、キャスターが設けられていることを特徴とする混合ガス供給装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017036830A JP6663874B2 (ja) | 2017-02-28 | 2017-02-28 | 混合ガス供給装置 |
PCT/JP2017/037502 WO2018074460A1 (ja) | 2016-10-17 | 2017-10-17 | 混合ガス供給装置 |
CN201790001320.6U CN209952607U (zh) | 2016-10-17 | 2017-10-17 | 混合气体供给装置 |
KR1020197010718A KR102280026B1 (ko) | 2016-10-17 | 2017-10-17 | 혼합 가스 공급 장치 |
US16/382,611 US11285446B2 (en) | 2016-10-17 | 2019-04-12 | Mixed gas supply device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017036830A JP6663874B2 (ja) | 2017-02-28 | 2017-02-28 | 混合ガス供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018140361A JP2018140361A (ja) | 2018-09-13 |
JP6663874B2 true JP6663874B2 (ja) | 2020-03-13 |
Family
ID=63526250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017036830A Active JP6663874B2 (ja) | 2016-10-17 | 2017-02-28 | 混合ガス供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6663874B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7440057B2 (ja) | 2020-01-09 | 2024-02-28 | ヤマハファインテック株式会社 | 水素ガス混合装置 |
JP7417255B6 (ja) | 2020-01-09 | 2024-01-30 | ヤマハファインテック株式会社 | 水素ガス混合装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2455751B2 (de) * | 1974-11-26 | 1978-05-11 | Draegerwerk Ag, 2400 Luebeck | Verfahren zum Mischen von Druckgasen und ein Gasmischgerät dazu |
JPH06220531A (ja) * | 1992-09-02 | 1994-08-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 窒素ガス雰囲気加熱装置 |
JP2006159168A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Fukuhara Co Ltd | 純度の高い窒素ガスを作り出す窒素ガスの製造方法および製造装置 |
JP2012047651A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Anest Iwata Corp | リーク検出装置 |
JP5902429B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-04-13 | 東京瓦斯株式会社 | 埋設パイプラインの漏洩検査ガス混合装置、埋設パイプラインの漏洩検査方法 |
WO2016132517A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | 株式会社グッドマン | 漏水探索装置および漏水探索方法 |
-
2017
- 2017-02-28 JP JP2017036830A patent/JP6663874B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018140361A (ja) | 2018-09-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11285446B2 (en) | Mixed gas supply device | |
CN102654241B (zh) | 气体减压供给装置、具有该气体减压供给装置的气瓶柜、阀箱以及基板处理装置 | |
US6578600B1 (en) | Gas isolation box | |
US5470390A (en) | Mixed gas supply system with a backup supply system | |
JP2813856B2 (ja) | シリンダ付ガス供給装置 | |
US9447497B2 (en) | Processing chamber gas delivery system with hot-swappable ampoule | |
JP6663874B2 (ja) | 混合ガス供給装置 | |
US8746272B2 (en) | Solenoid bypass system for continuous operation of pneumatic valve | |
JP2013210392A (ja) | バッテリーボックス気密検査装置 | |
JP2018065073A (ja) | 希釈水素ガス生成装置 | |
JP4996328B2 (ja) | シリンダーキャビネット | |
CN103635786A (zh) | 用于检测气密部件中的泄漏的检测设备和相关检测过程 | |
KR101611518B1 (ko) | 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트 | |
JP2009228887A (ja) | ガス供給システム | |
KR20160004974A (ko) | 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트 | |
KR100940788B1 (ko) | 반도체소자 제조설비의 배기덕트용 배기활성장치 | |
US6363626B1 (en) | Method and device for treating items stored in containers and storage apparatus equipped with such a device | |
JP2016211864A (ja) | ガス供給装置 | |
JP2003194654A (ja) | 気密試験方法及びガス供給装置 | |
US20240209991A1 (en) | A Method of Preparing a System for a Maintenance Operation | |
KR20200014413A (ko) | 가스 누설 검지 시스템 및 가스 누설 검지 방법 | |
KR101271123B1 (ko) | 가스 공급장치 | |
JP2014206300A (ja) | バイオガス利用装置 | |
WO2022009262A1 (ja) | ガス混合装置 | |
KR20220130393A (ko) | Lng 공급시스템의 bog 운전 제어방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180323 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181204 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190123 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6663874 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |