JP2018140361A - 混合ガス供給装置 - Google Patents
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 198
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 108
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 83
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 69
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 68
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 68
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 33
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 12
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 12
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Accessories For Mixers (AREA)
Abstract
【解決手段】水素ガスを発生する水素ガス発生部と、窒素ガスを発生する窒素ガス発生部と、前記水素ガス発生部から導かれた水素ガスおよび前記窒素ガス発生部から導かれた窒素ガスを混合するガス混合部とを有し、ガス混合部で混合されたガスを外部に供給するように構成されたことを特徴とする混合ガス供給装置。
【選択図】図1
Description
すなわちボンベが空になれば、検査を中断してボンベを新たなものと交換する必要がある。しかしながら、この種のボンベは重量が大きく、その運搬や設置に多大な労力と時間を要する。もちろん実際上は、複数のボンベを漏れ検査現場に用意しておき、一つのボンベが空になった時に別のボンベに切り替えることも多いが、その場合でも、ボンベを漏れ検査現場に運搬、設置しなければならない点では同じ問題がある。
また、本発明によれば、水素に触れることなく安全に水素混合ガスを供給することができる。さらに、空気と水のみを利用して水素混合ガスを装置内で製造することができ、そのため、高圧ガスボンベの購入の必要がなく、水素混合ガスを使用する際にその場で水素混合ガスを製造して供給でき、そのため利便性が高く、且つ、ランニングコストを抑えることができる。
図1において、エアー取り入れポート11は、ガス漏れ検査を行う工場等における空気配管などから空気を取り入れるための取り入れ口であり、このエアー取り入れポート11は、混合ガス供給装置10内の、手動開閉操作可能なエアー取り入れ開閉弁12および空気供給配管13を介し、窒素ガス発生部としてのフィルター15に接続されている。このフィルター15は、例えば膜モジュール(膜分離窒素ガス発生装置)であり、取り入れられた空気から窒素ガスを分離し、比較的高濃度の窒素ガスを発生させるためのものである。
フィルター15の出側は、窒素ガス配管17aを介してガス流制御部19に導かれ、さらに窒素ガス配管17bを介して、後述する混合部21に導かれている。
水槽23内の水は、給水配管25を介して水素発生器27に導かれるようになっている。水素発生器27は、水の電気分解によって水素ガスを発生させるものである。水素発生器27の出側は、水素ガス配管29aを介してガス流制御部19に導かれ、さらに水素ガス配管29bを介して、混合部21に導かれている。
このようにして、混合部21において水素ガスと窒素ガスとが均一に混合された混合ガスが生成される。言い換えれば、高濃度の水素ガスが窒素ガスによって希釈された、低水素濃度の水素/窒素混合ガスが生成される。
混合ガス供給装置10は、その構成部材が、基台40上に搭載されるとともに、その基台40に一体化された例えば方形箱状をなす筐体(キャビネット)41内に収納されている。基台40は、板状あるいは枠状のいずれでもよい。筐体41は、その前面41Aの側の上部に操作/表示盤43が設けられており、操作/表示盤43の下側には、開閉可能な前扉45が設けられている。
なお筐体41の後面41Bにおける前記給排部47以外の部分は、保守や点検のために開閉可能な後扉48によって構成されている。
Claims (8)
- 水素ガスを発生する水素ガス発生部と、窒素ガスを発生する窒素ガス発生部と、前記水素ガス発生部から導かれた水素ガスおよび前記窒素ガス発生部から導かれた窒素ガスを混合するガス混合部とを有し、ガス混合部で混合されたガスを外部に供給するように構成されたことを特徴とする混合ガス供給装置。
- 請求項1に記載の混合ガス供給装置において、前記水素ガス発生部は、水を分解して水素ガスを発生する水素発生器からなることを特徴とする混合ガス供給装置。
- 請求項1に記載の混合ガス供給装置において、前記窒素ガス発生部は、空気から窒素ガスを分離して取り出すフィルターからなることを特徴とする混合ガス供給装置。
- 請求項1〜3のいずれかの請求項に記載の混合ガス供給装置において、前記水素ガス発生部と、前記窒素ガス発生部と、前記ガス混合部とが、一つの基台上に搭載されて一体化されていることを特徴とする混合ガス供給装置。
- 請求項4に記載の混合ガス供給装置において、前記水素ガス発生部と、前記窒素ガス発生部と、前記ガス混合部とが、前記基台上に設けられた単一の筐体内に収容されていることを特徴とする混合ガス供給装置。
- 請求項4、請求項5のいずれかの請求項に記載の混合ガス供給装置において、前記基台に、キャスターが設けられていることを特徴とする混合ガス供給装置。
- 請求項1〜請求項6のいずれかの請求項に記載の混合ガス供給装置において、前記ガス混合部が直列接続した二つの混合タンクからなることを特徴とする混合ガス供給装置。
- 請求項1〜請求項7のいずれかの請求項に記載の混合ガス供給装置において、前記混合ガスの用途が、漏れ検査用ガスであることを特徴とする混合ガス供給装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017036830A JP6663874B2 (ja) | 2017-02-28 | 2017-02-28 | 混合ガス供給装置 |
KR1020197010718A KR102280026B1 (ko) | 2016-10-17 | 2017-10-17 | 혼합 가스 공급 장치 |
CN201790001320.6U CN209952607U (zh) | 2016-10-17 | 2017-10-17 | 混合气体供给装置 |
PCT/JP2017/037502 WO2018074460A1 (ja) | 2016-10-17 | 2017-10-17 | 混合ガス供給装置 |
US16/382,611 US11285446B2 (en) | 2016-10-17 | 2019-04-12 | Mixed gas supply device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017036830A JP6663874B2 (ja) | 2017-02-28 | 2017-02-28 | 混合ガス供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018140361A true JP2018140361A (ja) | 2018-09-13 |
JP6663874B2 JP6663874B2 (ja) | 2020-03-13 |
Family
ID=63526250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017036830A Active JP6663874B2 (ja) | 2016-10-17 | 2017-02-28 | 混合ガス供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6663874B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210090094A (ko) | 2020-01-09 | 2021-07-19 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 수소 가스 혼합 장치 |
KR20210090093A (ko) | 2020-01-09 | 2021-07-19 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 수소 가스 혼합 장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5180062A (ja) * | 1974-11-26 | 1976-07-13 | Draegerwerk Ag | |
JPH06220531A (ja) * | 1992-09-02 | 1994-08-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 窒素ガス雰囲気加熱装置 |
JP2006159168A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Fukuhara Co Ltd | 純度の高い窒素ガスを作り出す窒素ガスの製造方法および製造装置 |
JP2012047651A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Anest Iwata Corp | リーク検出装置 |
JP2013075277A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Tokyo Gas Co Ltd | 埋設パイプラインの漏洩検査ガス混合装置、埋設パイプラインの漏洩検査方法 |
WO2016132517A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | 株式会社グッドマン | 漏水探索装置および漏水探索方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5180062A (ja) * | 1974-11-26 | 1976-07-13 | Draegerwerk Ag | |
JPH06220531A (ja) * | 1992-09-02 | 1994-08-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 窒素ガス雰囲気加熱装置 |
JP2006159168A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Fukuhara Co Ltd | 純度の高い窒素ガスを作り出す窒素ガスの製造方法および製造装置 |
JP2012047651A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Anest Iwata Corp | リーク検出装置 |
JP2013075277A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Tokyo Gas Co Ltd | 埋設パイプラインの漏洩検査ガス混合装置、埋設パイプラインの漏洩検査方法 |
WO2016132517A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | 株式会社グッドマン | 漏水探索装置および漏水探索方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210090094A (ko) | 2020-01-09 | 2021-07-19 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 수소 가스 혼합 장치 |
KR20210090093A (ko) | 2020-01-09 | 2021-07-19 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 수소 가스 혼합 장치 |
US11471841B2 (en) | 2020-01-09 | 2022-10-18 | Yamaha Fine Technologies Co., Ltd. | Hydrogen gas mixing device |
US11851777B2 (en) | 2020-01-09 | 2023-12-26 | Yamaha Fine Technologies Co., Ltd. | Hydrogen gas mixing device |
JP7440057B2 (ja) | 2020-01-09 | 2024-02-28 | ヤマハファインテック株式会社 | 水素ガス混合装置 |
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JP6663874B2 (ja) | 2020-03-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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