JP2016211864A - ガス供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】効率良く且つ簡易な構成でガスを所定圧力にして内燃機関等の供試体に供給できるようにする。
【解決手段】ガス源１ａ、１ｂから吸引機構を有する供試体Ｘにガスを供給するガス供給装置１００であって、ガス源１ａ、１ｂから供試体Ｘへ供給されるガスを一時的に収容するガス収容部２０を具備し、ガス収容部２０が、周囲圧力に応じて変形する部分を有しているようにした。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば内燃機関などの吸引機構を有する供試体にガスを供給するガス供給装置に関するものである。

この種のガス供給装置としては、特許文献１に示すように、例えば車両の内燃機関などにガスを供給して、該内燃機関の性能を評価するものがある。
具体的にこのガス供給装置は、実環境で走行する車両の内燃機関の性能を評価すべく、前記ガスを大気圧等の所定圧力に調整して内燃機関に供給するように構成されている。

ガスの圧力を調整する構成としては、例えば、ガス源から内燃機関へ供給されるガスの一部を排気することにより、ガスの圧力を前記所定圧力となるように調整する構成が挙げられる。
ところが、この構成では、ガス源からのガス流量が多ければ、その分多くのガスを排気することになり、運用効率が低下し、運用コストが高くなる。

一方、ガスを排気することなくガスの圧力を調整する構成としては、例えば、ガス流路上に流量計や減圧機構等を設け、この流量計の計測値に基づき、減圧機構を操作してガスの圧力をフィードバック制御する構成が挙げられる。
ところが、この構成では、流路構成が複雑になるうえ、減圧機構等を設けることにより、装置全体が大掛かりになり、初期投資が高くなるという問題が生じる。
また、減圧機構の追従性には限界があるため、内燃機関の回転数変動などによる内燃機関の吸引量の脈動を追従することができず、過供給などにより内燃機関の性能を正しく評価することができないという問題が生じる。

特開平８−１８４５３１号公報

そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決すべくなされたものであって、効率良く且つ簡易な構成でガスを所定圧力にして内燃機関等の供試体に供給することをその主たる課題とするものである。

すなわち本発明に係るガス供給装置は、ガス源から吸引機構を有する供試体にガスを供給するガス供給装置であって、前記ガス源から前記供試体へ供給されるガスを一時的に収容するガス収容部を具備し、前記ガス収容部が、周囲圧力に応じて変形する部分を有していることを特徴とするものである。

このようなガス供給装置であれば、ガス収容部が、周囲圧力に応じて変形する部分を有しているので、この部分を介してガス収容部内の圧力と周囲圧力とは平衡状態になる。
これにより、ガスの一部を排気することなく且つ減圧機構等を設けることなく、ガスの圧力を周囲圧力と等しくして供試体に供給することができ、効率良く且つ簡易な構成で供試体の性能を評価することが可能になる。
また、供試体が内燃機関である場合、ガスの圧力と周囲圧力とが平衡状態に保たれているので、このガスを内燃機関に供給することで、内燃機関を周囲圧力下で稼働させている状態を再現することができる。このとき、内燃機関に供給されるガス流量が内燃機関の吸引圧とガス圧との差圧によって決まることから、周囲圧力下における内燃機関の吸引量の脈動を正確に再現することができ、内燃機関の性能評価を正確に行うことができる。

供試体に供給するガスを所望の圧力にするためには、前記ガス収容部を内部に収容するチャンバと、前記チャンバ内の圧力を変更する調圧機構とをさらに具備することが好ましい。
これならば、チャンバ内の圧力を調整することでガス収容部に収容されたガスの圧力を調整することができ、供試体に供給するガスの圧力を、例えば車両の走行している標高に応じた大気圧にすることができる。詳述すると、例えば内燃機関の高地試験を再現する場合、調圧機構を用いてチャンバ内の圧力を高地試験における標高の大気圧と等しい圧力に設定することで、ガス収容部の圧力を高地の大気圧と等しくすることができる。これにより、内燃機関を高地で稼働させている状態を模擬することができ、実際の高地試験と等しい条件で内燃機関の性能評価を行うことができる。
もちろん、調圧機構の設定値を変更することで、高地試験のみならず種々の走行環境に柔軟に対応して供試体の性能評価を行うことができる。

前記ガス収容部の全体が、前記周囲圧力に応じて変形するものが好ましい。
これならば、ガス収容部を簡易な構成にすることができるとともに、例えば排ガス分析装置に用いられる市販のサンプリングバック等の袋部材を利用することができ、わざわざ専用のガス収容部を設計・製造することなく、排ガス分析などで用いられる設備を供試体の性能評価にも共有して使用することができる。

複数の前記ガス収容部と、前記各ガス収容部に対応して設けられ、一端が前記各ガス収容部に接続されるとともに他端が前記供試体に接続されて、前記各ガス収容部に収容されたガスを前記供試体に供給する複数のガス供給路とを具備し、前記各ガス供給路に接続された開閉弁を制御することにより、前記ガスが１又は複数のガス収容部から選択的に前記供試体に供給されることが好ましい。
なお、前記開閉弁は、ガス供給路に物理的に設けられている必要はなく、ガス供給路に流体的に接続されていれば良い。
これならば、各ガス供給路に接続された開閉弁を制御することで、供試体の試験時間に応じて供給するガス量を調整することが可能となる。
また、複数のガス収容部に収容されるガスを互いに異なる濃度にしておけば、供試体の性能を種々のガス濃度で評価することができる。

一端が前記ガス収容部に接続されるとともに他端が前記ガス源に接続されて、前記ガス源のガスを前記ガス収容部に流入させる複数のガス流入路と、前記各ガス流入路に接続された開閉弁とをさらに具備することが好ましい。
これならば、１又は複数のガス収容部から供試体にガスを供給している間に、別のガス収容部にガスを流入させて一時的に収容させておくことができ、試験の運用効率をさらに向上させることができる。

このように構成した本発明によれば、効率よく且つ簡易な構成で所定圧力のガスを供試体に供給し、該供試体の性能を評価することができる。

本実施形態のガス供給装置の全体構成を模式的に示す図。 同実施形態のガス供給装置のガス収容部を模式的に示す図。 その他の実施形態におけるガス供給装置のガス収容部を模式的に示す図。

以下に本発明に係るガス供給装置の一実施形態について図面を参照して説明する。

本実施形態に係るガス供給装置１００は、吸引機構を有する例えば車両等の内燃機関（以下、供試体Ｘともいう）に、ガスを供給しながら吸引させて、該供試体Ｘの性能を評価するためものである。

具体的にこのガス供給装置１００は、図１に示すように、複数のガス源からのガスを混合する混合部１０と、混合部１０により混合された混合ガスを一時的に収容する複数のガス収容部２０とを具備するものである。
なお、本実施形態では、２つのガス源が設けられており、第１ガス源１ａは、例えば非可燃性の第１ガスである空気を収容するボンベであり、第２ガス源１ｂは、例えば可燃性の第２ガスであるＬＰガスを収容するボンベである。

第１ガス源１ａは、第１ガスが流れる第１ガス流路Ｌａを介して混合部１０と接続されており、第２ガス源１ｂは、第２ガスが流れる第２ガス流路Ｌｂを介して混合部１０と接続されている。

前記混合部１０は、第１ガス及び第２ガスを所定の比率で混合して混合ガスを生成するものであり、具体的には図１に示すように、第１ガス流路Ｌａに設けられた流量制御部ＭＦＣと、第２ガス流路Ｌｂに設けられた流量制御部ＭＦＣと、第１ガス流路Ｌａ及び第２ガス流路Ｌｂの合流点に設けられた混合器ＭＩＸとを有するものである。
なお、各流量制御部ＭＦＣは例えば差圧式のマスフローコントローラである。

前記混合部１０は、混合ガス流入路Ｌ１を介してガス収容部２０と接続されている。
この混合ガス流入路Ｌ１は、一端が混合部１０に接続されるとともに他端がガス収容部２０に接続され、混合部１０で生成された混合ガスをガス収容部２０に流入させる流路である。上述した構成により、本実施形態では、第１ガス流路Ｌａ又は第２ガス流路Ｌｂと、混合部１０と、混合ガス流入路Ｌ１とによってガス流入路Ｌ０が形成されている。つまり、前記ガス流入路Ｌ０は、一端がガス源１ａ、１ｂに接続されるとともに他端がガス収容部２０に接続されて、ガス源１ａ、１ｂのガスをガス収容部２０に流入させる流路である。
本実施形態のガス供給装置１００は、並列して設けられた複数（ここでは、２つ）のガス収容部２０を具備しており、各ガス流路Ｌ０の一部である各混合ガス流入路Ｌ１には、それぞれ開閉弁Ｖ１が接続されている。なお、ガス収容部２０の数は限定されるものではなく、１つ又は３つ以上であっても構わない。

前記各ガス収容部２０は、混合ガス供給路Ｌ２を介して供試体Ｘと接続されている。
この混合ガス供給路Ｌ２は、一端がガス収容部２０に接続されるとともに他端が供試体Ｘに接続され、ガス収容部２０に収容されている混合ガスを供試体Ｘに供給する流路である。なお、この混合ガス供給路Ｌ２を流れる混合ガスは、供試体Ｘに吸引されることにより、供試体Ｘに導かれる。
本実施形態では、各混合ガス供給路Ｌ２それぞれに開閉弁Ｖ２が接続されている。

また、本実施形態のガス供給装置１００は、一端が各ガス収容部２０に接続されるとともに他端が大気開放された置換用流路Ｌ３が設けられており、各ガス収容部２０に収容された混合ガスを例えば空気等で置換できるように構成されている。ここでは、前記置換用流路Ｌ３の他端は、ガス源１ａには接続されておらず、ガス源１ａからの空気を用いることなく、大気から置換用流路Ｌ３を介して取り入れた空気を用いて、ガス収容部２０内の置換やパージを行えるようにしている。
なお、ガス源１ａからの空気を用いてガス収容部２０内の混合ガスを置換しても構わない。

上述したように、各流路Ｌ１〜Ｌ３はいずれもガス収容部２０に接続されており、本実施形態では、各流路Ｌ１〜Ｌ３のガス収容部２０側の端部が、ガス収容部２０に接続された共通の配管により形成されている。また、この配管には、当該配管内の圧力、すなわちガス収容部２０内の圧力を検出する圧力計ＶＳが接続されている。

本実施形態では、各ガス収容部２０に接続されている各置換用流路Ｌ３には、それぞれ開閉弁Ｖ３が接続されており、各置換用流路Ｌ３における開閉弁Ｖ３より下流側には置換機構３０が設けられている。

前記置換機構３０は、図１に示すように、複数の開閉弁Ｖ５、吸引ポンプＰ、フィルタＦ等の流体機器を有しており、これらの流体機器を適宜操作することにより、例えば、選択されたガス収容部２０に対応する置換用流路Ｌ３を大気開放できるように構成されている。これにより、上述したように、ガス源１ａ、１ｂのガスを用いることなく、大気から取り入れた空気を用いてガス収容部２０に残存する混合ガスを置換することができる。したがって、例えば混合ガスの濃度を変更して試験を行う場合には、前の試験で使用した混合ガスの影響を受けることなく、所定の濃度の混合ガスを用いて供試体の性能を正確に評価することができる。

なお、本実施形態のガス供給装置１００は、上述した置換用流路Ｌ３と各混合ガス流入路Ｌ１とを接続する排気用流路Ｌ４をさらに具備しおり、この排気用流路Ｌ４の開閉弁Ｖ４を開くとともに置換機構３０の吸引ポンプＰを稼働させることで、混合部１０で生成された混合ガスを排気用流路Ｌ４を介して排気できるように構成されている。

上述した各流路Ｌ１〜Ｌ４に設けられた各開閉弁Ｖ１〜Ｖ５は、図示しない制御装置からの制御信号により制御されるものであり、本実施形態では電磁弁である。
この構成により、各開閉弁Ｖ１〜Ｖ５を制御することで、混合部１０により生成された混合ガスを１又は複数のガス収容部２０に選択的に流入させるとともに、１又は複数のガス収容部２０から選択的に混合ガスを供試体Ｘに供給することができる。

しかして、本実施形態のガス収容部２０は、図２に示すように、大気中に配置されており、全体が該ガス収容部２０の周囲圧力である大気圧に応じて変形するように構成されている。

より詳細にこのガス収容部２０は、該ガス収容部２０に混合ガスが流入する、或いは、該ガス収容部２０から混合ガスが流出すると、それに伴い全体が変形して、ガス収容部２０の内圧（つまり、ガス収容部２０内の混合ガスの圧力）と周囲圧力との平衡が保たれるように構成されている。

本実施形態のガス供給装置１００は、例えば、車両等の内燃機関から排出される排ガスを分析する排ガス分析装置とともに用いられるものであり、前記ガス収容部２０は、例えばＣＶＳ（定容量希釈サンプリング）機構に用いられるガスサンプリングバック等の袋部材である。

次に、上述したように構成されたガス供給装置１００の動作について説明する。

まず、第１ガス源１ａの第１ガスを第１ガス流路Ｌａを介して混合部１０に流入させるとともに、第２ガス源２ａの第２ガスを第２ガス流路Ｌｂを介して混合部１０に流入させ、第１ガス及び第２ガスを所定の比率で混合した混合ガスを生成する。

このとき、前記混合ガスを流入させようとしている１又は複数のガス収容部２０に対応する開閉弁Ｖ１は開かれている。
本実施形態では、２つの開閉弁Ｖ１のうち一方の開閉弁Ｖ１を開いておき、まず始めに一方のガス収容部２０に混合ガスを流入させるようにしている。つまり、本実施形態では、混合ガスを各ガス収容部２０に別々に順次流入させるようにしている。
なお、複数のガス収容部２０に同時に混合ガスを流入させるようにしても良いが、この場合、上述した流量制御部ＭＦＣからの流量信号に基づいて各ガス収容部２０への混合ガスの流入量を正確に算出することは難しい。

このとき、図示しない制御装置は、混合部１０の流量制御部ＭＦＣからの流量信号を取得するとともに、該流量信号に基づいてガス収容部２０に流入した混合ガスの流入量を算出する。
そして、この流入量が所定値に達すると、前記制御装置は、開状態にある前記開閉弁Ｖ１に制御信号を送信して、該開閉弁Ｖ１を閉じる。

しかして、ガス収容部２０は、上述したように混合ガスの流入に伴いその形状が変形するように構成されているので、ガス収容部２０の内圧と周囲圧力との平衡が保たれ、本実施形態では、混合ガスの圧力が大気圧と等しくなる。

続いて、前記制御装置は、混合ガスを収容するガス収容部２０に対応する開閉弁Ｖ２を開き、ガス収容部２０内の混合ガスを供試体Ｘに供給し（吸引させ）、これにより供試体Ｘの性能評価が行われる。
このとき、前記ガス収容部２０は、上述したように混合ガスの流出に伴いその形状が変形するように構成されているので、混合ガスが供試体Ｘに供給されている間、ガス収容部２０の内圧、すなわち混合ガスの圧力は大気圧に維持されている。

供試体Ｘの性能評価が終わると、前記制御装置は、開閉弁Ｖ１、Ｖ２が閉じられた状態で、開閉弁Ｖ３を開き、ガス収容部２０内に残存する混合ガスを大気で置換してパージ処理を行う。
より詳細には、まず、置換機構３０の複数の開閉弁Ｖ５の開閉を適宜切り替えることで、大気からの空気を１つのガス収容部２０に供給する。このとき、制御装置は、例えば吸引ポンプＰからの出力信号に基づいて、ガス収容部２０に供給された空気の供給流量を算出する。
次に、前記複数の開閉弁Ｖ５の開閉を適宜切り替えることにより、ガス収容部２０に供給された空気を吸引ポンプＰによって吸引して排気する。ことのき、前記制御装置は、前記吸引ポンプＰの出力信号に基づいて、空気の排気量を算出する。そして、前記排気量が前記供給流量以上になると、１つのガス収容部２０のパージ処理を終了する。
このようにして各ガス収容部２０のパージ処理を行い、全てのパージ処理が終了したあと、必要に応じて次の試験を開始する。
なお、複数のガス収容部２０を同時にパージ処理するようにしても良い。

本実施形態では、上述したパージ処理を行っていないときは、吸引ポンプＰがフィルタＦを介して大気を吸引するように構成することで、吸引ポンプを止めることなく、各開閉弁Ｖ５の切り替えのみで、ガス収容部２０内のパージ処理を開始できるようにしている。

このように構成された本実施形態に係るガス供給装置１００によれば、ガス収容部２０が、周囲圧力に応じて変形するので、該ガス収容部２０を介して、ガス収容部２０内の混合ガスの圧力と周囲圧力とが平衡状態になる。
これにより、混合ガスを排気することなく且つ混合ガスが流れる混合ガス流入路Ｌ１や混合ガス供給路Ｌ２に減圧機構等を設けることなく、ガス収容部２０に収容された混合ガスを大気圧にすることができ、この混合ガスを混合ガス供給路Ｌ２を介して供試体Ｘに供給することで、効率良く且つ簡易な構成で供試体Ｘの性能を評価することが可能になる。
そのうえ、混合ガスが大気圧と等しい圧力に保たれているので、この混合ガスを供試体たる内燃機関Ｘに供給することで、内燃機関を大気圧下で運転させている状態を再現することができる。このとき、内燃機関に供給されるガス流量が内燃機関の吸引圧とガス圧との差圧により決まることから、大気圧下における内燃機関の吸引量の脈動を正確に再現することができ、内燃機関の性能評価を正確に行うことができる。

また、各ガス収容部２０内の圧力を検出する圧力計ＶＳが設けられているので、例えば圧力計ＶＳの検出値に基づきガス収容部２０内の圧力を監視することで、ガス収容部２０に混合ガスが過剰に流れ込んで混合ガスの圧力が周囲圧力以上になることや、ガス収容部２０が破損することを防ぐことができる。

さらに、各混合ガス流入路Ｌ１及び各混合ガス供給路Ｌ２それぞれに開閉弁Ｖ１、Ｖ２が接続されているので、１又は複数のガス収容部２０に選択的に混合ガスを流し入れるとともに、混合ガスを選択的に１又は複数のガス収容部２０から供試体Ｘに供給することができる。
これにより、各混合ガス供給路Ｌ２に接続された開閉弁Ｖ２を制御して、試験に使用するガス収容部２０を選択することで、供試体Ｘの試験時間に応じて供給するガス量を調整することが可能となる。
また、各ガス収容部２０に収容されるガスを互いに異なる濃度にしておくことで、供試体Ｘの性能を種々のガス濃度で評価することができる。
さらに、例えば、１又は複数のガス収容部２０から供試体Ｘに混合ガスを供給して試験を行っている間に、別のガス収容部２０に混合ガスを流し入れて一時的に収容させておくことができ、試験の運用効率を向上させることができる。

そのうえ、ガス収容部２０はＣＶＳ機構に用いられるガスサンプリングバック等の袋部材を利用しているので、市販のものでガス収容部２０を構成することができ、わざわざ専用のガス収容部２０を設計・製造することなく、排ガス分析などで用いられる設備と共有化することができる。

加えて、混合ガス流入路Ｌ１と置換用流路Ｌ３とを接続する排気用流路が設けられているので、例えば、混合部１０による動作が安定するまでの間、該混合部１０で生成された混合ガスを各ガス収容部２０に流入させることなく排気させておくことができる。
これにより、各ガスの比率が不安定な状態の混合ガスを用いることなく、各ガスが所定の比率で混合された混合ガスを各ガス収容部２０に流入させることができ、供試体Ｘの性能を精度良く評価することができる。

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

例えば、本実施形態のガス収容部２０は大気中に配置されていたが、図３に示すように、チャンバ４０内に収容されていても良い。
具体的にこのチャンバ４０は、内部を密閉できるように構成されており、密閉された状態で該チャンバ４０内の圧力を変更する調圧機構５０が設けられている。
なお、調圧機構５０としては、チャンバ４０内を加圧又は減圧する例えばレギュレータ等が挙げられる。

上述した構成により、チャンバ４０内を予め例えば大気圧に設定しておけば、混合ガスを排気することなく且つ簡易な構成で、ガス収容部２０に収容された混合ガスを大気圧にすることができる。
さらに、調圧機構５０によりチャンバ４０内の圧力を調整することで、混合ガスを、例えば車両の走行している標高に応じた大気圧に設定することができ、種々の走行環境に柔軟に対応して供試体Ｘの性能評価をすることが可能になる。
詳述すると、例えば供試体Ｘたる内燃機関の高地試験を再現する場合、調圧機構５０を用いてチャンバ４０内の圧力を高地試験における標高の大気圧と等しい圧力に設定することで、ガス収容部２０の圧力を高地の大気圧と等しくすることができる。これにより、内燃機関を高地で運転させている状態を模擬することができ、実際の高地試験と等しい条件で内燃機関の性能評価を行うことができる。
もちろん、調圧機構の設定値次第で、高地試験のみならず種々の走行環境に柔軟に対応して供試体の性能評価をすることができる。

また、前記実施形態のガス収容部は、ＣＶＳ機構に用いられるガスサンプリングバックであったが、例えば伸縮可能に構成されているベローズや、弾力性を有するゴム等で形成されたものであっても良い。
これならば、例えばガス収容部にガスを充たすことで、ガスには周囲圧力に加えてガス収容部からの圧力が加わるので、前記ガス収容部が大気中に配置されている場合は、上述したチャンバを用いた構成よりも、さらに簡易な構成でガス収容部内の混合ガスを大気圧よりも高くすることができる。これにより、例えばガス収容部内の圧力を所定の加圧条件下に制御しながら供試体にガスを供給することで、チャンバ等を用いることなく、容易に高圧環境下を模擬した試験を行うことができる。
また、前記ガス収容部が内圧を調整可能に構成されたチャンバ内に配置されている場合は、チャンバ内の圧力を調整することにより、ガス収容部内の混合ガスを大気圧にすることができる。

さらに、ガス収容部は必ずしも全体が周囲圧力に応じて変形するものである必要はなく、一部が周囲圧力に応じて変形するように構成されたものであっても良い。
具体的な構成としては、ガス収容部が、周囲圧力に応じて変形しない或いは変形しにくいブロック体と、周囲圧力に応じて変形する部分とから形成されたものなどが挙げられる。

そのうえ、前記実施形態では、２種類のガスを混合して供試体に供給するように構成されていたが、３種類以上のガスを混合して供試体に供給するようにしても良いし、１種類のガスを供試体に供給するようにしても良い。
１種類のガスを供試体に供給する場合は、前記実施形態の混合部は不要である。

加えて、前記実施形態の圧力計に換えて流量計を設け、この流量計の計測値に基づき、例えば、ガス収容部に流入する混合ガスの積算流量を監視するようにしても良い。

また、前記実施形態では、各Ｌ２や各Ｌ３に開閉弁Ｖ２、Ｖ３が接続されていたが、例えばＬ１とＬ２との分岐点やＬ１とＬ３との分岐点に三方弁を設けて、流体的に各流路を切り替えるように構成されていても良い。

さらに、試験時間の短縮化を図るべく、混合ガスを一方のガス収容部２０から供試体Ｘに供給している間に、他方のガス収容部２０に対応する開閉弁Ｖ１を開いて、他方のガス収容部２０に混合ガスを流入せるようにしても構わない。
このとき、他方のガス収容部２０に流入させる混合ガスの濃度や混合比は、一方のガス収容部２０に流入させた混合ガスと等しくても良いし、異なっていても良い。

前記実施形態の供試体は、車両等の内燃機関であったが、蒸気タービンを用いたタービンエンジン等の外燃機関であっても良い。

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

Ｘ ・・・供試体
１００・・・ガス供給装置
１０ ・・・混合部
２０ ・・・ガス収容部
４０ ・・・チャンバ
５０ ・・・調圧機構
Ｌ１ ・・・混合ガス流入路
Ｌ２ ・・・混合ガス供給路

Claims (5)

1. ガス源から吸引機構を有する供試体にガスを供給するガス供給装置であって、
   前記ガス源から前記供試体へ供給されるガスを一時的に収容するガス収容部を具備し、
   前記ガス収容部が、周囲圧力に応じて変形する部分を有していることを特徴とするガス供給装置。
2. 前記ガス収容部を内部に収容するチャンバと、
   前記チャンバ内の圧力を変更する調圧機構とをさらに具備することを特徴とする請求項１記載のガス供給装置。
3. 前記ガス収容部の全体が、前記周囲圧力に応じて変形することを特徴とする請求項１又は２記載のガス供給装置。
4. 複数の前記ガス収容部と、
   前記各ガス収容部に対応して設けられ、一端が前記各ガス収容部に接続されるとともに他端が前記供試体に接続されて、前記各ガス収容部に収容されたガスを前記供試体に供給する複数のガス供給路とを具備し、
   前記各ガス供給路に接続された開閉弁を制御することにより、前記ガスが１又は複数のガス収容部から選択的に前記供試体に供給されることを特徴とする請求項１乃至３のうち何れか一項に記載のガス供給装置。
5. 一端が前記ガス収容部に接続されるとともに他端が前記ガス源に接続されて、前記ガス源のガスを前記ガス収容部に流入させる複数のガス流入路と、
   前記各ガス流入路に接続された開閉弁とをさらに具備することを特徴とする請求項４記載のガス供給装置。