JPH11294697A - ガス供給設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガス使用量に応じてガス容器を１本単位で増
減することができるガス供給設備を提供する。 【解決手段】 低圧弁１１の二次側のガス供給経路にガ
ス供給用接続経路１ａを着脱可能な合流弁１３を、パー
ジガス導入弁９４の一次側のパージガス導入経路にパー
ジガス導入用接続経路２ｃを着脱可能なパージガス分岐
弁３５を、パージガス導出弁１２の二次側のパージガス
導出経路にパージガス導出用接続経路５ａを着脱可能な
ガス合流部１４をそれぞれ設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス供給設備に関
し、特に、半導体デバイスの生産工程で使用する特殊材
料ガスの供給に適したガス供給設備に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
製造用の特殊材料ガスは、その大半が毒性，可燃性，腐
食性といった反応性に富んだ物性を有しているため、こ
のようなガスを充填したガス容器の保管やガスの使用に
あたっては、第一に安全に十分考慮する必要がある。

【０００３】上述のような特殊な材料ガスを供給する設
備として、例えば、特許第２５０１９１３号公報に記載
されているようなオートシリンダーボックス（シリンダ
ーキャビネット）が知られている。この設備は、安全性
を考慮したキャビネット内に２本の材料ガス容器と必要
に応じて設置されるパージガス用の容器とを収納し、前
記２本の材料ガス容器を交互に使用することにより連続
的に材料ガスを供給できるように配管や弁が形成されて
おり、材料ガス容器を交換する際の残ガス放出やパージ
等の操作も自動的に行うようにしている。

【０００４】ところが、従来のシリンダーキャビネット
は、そのほとんどが２本の材料ガス容器を収納するよう
に形成されており、また、多くの材料ガス容器を収納可
能なものでも、その収納本数が固定されているため、材
料ガスの使用量が増加したときには、同様に形成されて
いるシリンダーキャビネットを既存のものと併設する必
要があった。

【０００５】しかし、シリンダーキャビネットを併設し
た場合、両キャビネットには、残ガス放出やパージ等の
操作を自動的に行うための各種配管や弁だけでなく、制
御装置も組み込まれているため、シリンダーキャビネッ
トの増設、即ち材料ガス容器の増設には多大なコストを
必要としていた。さらに、通常、シリンダーキャビネッ
トの増設は、使用先に材料ガスを供給している既存のガ
ス供給経路に新たなガス供給経路を接続するようにして
行われるため、材料ガスの供給を一旦停止しなければな
らないとともに、増設後には、経路内のパージも行わな
ければならなかった。

【０００６】そこで本発明は、ガス容器を１本単位で増
減することができ、ガス使用先でのガス使用量の変動に
容易にかつ低コストで対応することができるガス供給設
備を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガス供給設備は、ガス容器収納部と、ガス
容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁か
ら高圧弁，減圧弁，低圧弁を介して使用先に送出するガ
ス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路に
パージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージ
ガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路
からパージガス導出弁を介してパージガスを導出するパ
ージガス導出経路とを備えるとともに、前記低圧弁の二
次側のガス供給経路と、前記パージガス導入弁の一次側
のパージガス導入経路と、前記パージガス導出弁の二次
側のパージガス導出経路とに、閉塞手段を有する分岐経
路接続部をそれぞれ設けたことを特徴としている。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１は、本発明のガス供給設備を
半導体製造用材料ガスを供給するためのシリンダーキャ
ビネットに適用した一形態例を示す系統図である。この
ガス供給設備は、メインキャビネットＡと、該メインキ
ャビネットＡに順次接続されるサブキャビネットＢ１，
Ｂ２とを有するもので、各キャビネット内には、所定の
材料ガスを充填したガス容器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が各々１
本ずつ収納されている。

【０００９】メインキャビネットＡには、材料ガスを使
用先に送出する材料ガス供給経路１と、パージガス導入
用のパージガス導入経路２ａと、このパージガス導入経
路２ａに切換弁ブロック３の部分で接続した高圧気密試
験用の高圧ガスを導入する高圧ガス導入経路２ｂと、パ
ージガス導出用のパージガス導出経路５と、パージガス
導出用の駆動ガスとして使用する駆動ガス導入経路６と
が接続されており、各キャビネット間は、分岐経路であ
るガス供給用接続経路１ａ，１ｂ、パージガス導入用接
続経路２ｃ，２ｄ、パージガス導出用接続経路５ａ，５
ｂによってそれぞれ接続している。

【００１０】さらに、メインキャビネットＡ内には、前
記切換弁ブロック３の他、材料ガス供給弁ブロック７
と、パージガス吸引弁ブロック８とが設けられ、メイン
・サブ両キャビネット内には、高圧弁ブロック９，９
ａ，９ｂと低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂとが設
けられ、各弁ブロック内には、空気圧により作動する自
動弁等が設けられている。

【００１１】前記切換弁ブロック３は、パージガス弁３
１及び高圧ガス弁３２を有するもので、該切換弁ブロッ
ク３より上流側のパージガス導入経路２ａには、高圧ガ
スが逆流することを防止するための逆止弁３３が設けら
れており、高圧ガス導入経路２ｂは、この切換弁ブロッ
ク３の下流側に設けられた圧力センサー３４の部分でパ
ージガス導入経路２に合流している。さらに、このパー
ジガス導入経路２は、三方弁からなるパージガス分岐弁
３５，３５ａ，３５ｂにより、各キャビネット内の高圧
弁ブロック９，９ａ，９ｂに向かうパージガス導入経路
２ｅ，２ｆ，２ｇと、次段のサブキャビネットＢ１，Ｂ
２に向かう前記パージガス導入用接続経路２ｃ，２ｄと
に分岐している。

【００１２】前記パージガス分岐弁３５，３５ａ，３５
ｂは、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能する
ものであって、開状態で３本の経路がそれぞれ連通した
状態となり、閉状態では特定の１本の経路のみが閉じら
れ、他の２本の経路が連通した状態となるものが用いら
れている。例えば、メインキャビネットＡのパージガス
分岐弁３５では、パージガス導入用接続経路２ｃが接続
した経路のみが開閉され、サブキャビネットＢ１のパー
ジガス分岐弁３５ａでは、パージガス導入用接続経路２
ｄが接続した経路のみが開閉されるように形成されてい
る。したがって、本形態例において末端となるサブキャ
ビネットＢ２のパージガス分岐弁３５ｂは、第３のサブ
キャビネットを増設する際に設けられる接続経路２ｈを
接続するとき以外は閉状態であり、他のパージガス分岐
弁３５，３５ａは開状態となっている。

【００１３】前記材料ガス供給弁ブロック７は、材料ガ
スの供給を遮断する材料ガス遮断弁７１とフィルター７
２とを有しており、パージガス吸引弁ブロック８は、パ
ージガス吸引弁８１と、パージガス吸引用のエジェクタ
ー８２と、駆動ガス導入弁８３とを有している。また、
パージガス吸引弁ブロック８の上流側の駆動ガス導入経
路６には、材料ガス等が駆動ガス導入経路６に逆流する
ことを防止するための逆止弁８４が設けられている。

【００１４】前記低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂ
は、材料ガスの供給経路を切換えるための低圧弁１１，
１１ａ，１１ｂと、パージガス等を導出するためのパー
ジガス導出弁１２，１２ａ，１２ｂとを有するととも
に、メインキャビネットＡに複数のサブキャビネットＢ
１，Ｂ２を接続したときの各材料ガス経路を１本にまと
めるための自動三方弁からなる合流弁１３，１３ａ，１
３ｂとを有している。

【００１５】この合流弁は、前記パージガス分岐弁３５
と同様に、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能
するものであって、開状態で３本の経路がそれぞれ連通
し、閉状態では特定の１本の経路のみが閉じられ、他の
２本の経路が連通した状態となるものである。すなわ
ち、メインキャビネットＡの合流弁１３では、ガス供給
用接続経路１ａが接続した経路のみが開閉され、サブキ
ャビネットＢ１の合流弁１３ａでは、ガス供給用接続経
路１ｂが接続した経路のみが開閉される。したがって、
サブキャビネットＢ２の合流弁１３ｂは閉状態、他の合
流弁１３，１３ａは開状態であり、合流弁１３ｂは、第
３のサブキャビネットを増設する際に設けられる接続経
路１ｃ接続したときにのみ開状態となる。

【００１６】また、各パージガス導出弁１２，１２ａ，
１２ｂの二次側には、次段のサブキャビネットからのパ
ージガス経路を１本にまとめるためのチーズからなるガ
ス合流部１４，１４ａ，１４ｂが設けられている。この
チーズからなるガス合流部１４，１４ａ，１４ｂも、前
記パージガス分岐弁３５や合流弁１３と同様に、閉塞手
段を有する分岐経路接続部として機能するものであっ
て、末端となるサブキャビネットＢ２のガス合流部１４
ｂに示すように、該サブキャビネットＢ２に第３のサブ
キャビネットを増設する際に設けられる接続経路５ｃの
接続口には、圧力の検出と同時に接続口を閉塞するため
の圧力センサー５ｄが装着されており、この圧力センサ
ー５ｄは、接続経路５ｃを接続するときにのみ取外され
る。

【００１７】前記高圧弁ブロック９，９ａ，９ｂは、ガ
ス容器の容器弁９１，９１ａ，９１ｂに接続する容器弁
接続部９２，９２ａ，９２ｂと、高圧材料ガスの供給を
制御するための高圧弁９３，９３ａ，９３ｂと、パージ
ガスの導入を制御するためのパージガス導入弁９４，９
４ａ，９４ｂと、圧力センサー９５，９５ａ，９５ｂと
が設けられており、高圧弁９３，９３ａ，９３ｂの二次
側のブロック出口部には、減圧弁９６，９６ａ，９６ｂ
が接続されている。

【００１８】また、上記減圧弁９６，９６ａ，９６ｂで
減圧された材料ガスが前記低圧弁ブロック１０，１０
ａ，１０ｂに向かって流れる低圧経路９７，９７ａ，９
７ｂは、様々な大きさの材料ガス容器に対応するため、
蛇管等の可撓性を有する配管材料により形成されてお
り、低圧側の圧力センサー１５，１５ａ，１５ｂを介し
て低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂに接続されてい
る。

【００１９】次に、このように形成したガス供給設備に
よる材料ガスの供給動作を説明する。まず、メインキャ
ビネットＡのガス容器Ｃ１から材料ガスを使用先に供給
している場合、ガス容器Ｃ１の容器弁９１，高圧弁９
３，低圧弁１１，合流弁１３及び材料ガス遮断弁７１が
開状態であり、パージガス導入弁９４及びパージガス導
出弁１２が閉状態である。

【００２０】したがって、ガス容器Ｃ１内の材料ガス
は、容器弁９１から容器弁接続部９２を経て高圧弁ブロ
ック９内に流入し、各経路及び高圧弁９３を通り、減圧
弁９６で所定圧力に減圧された後、低圧経路９７，圧力
センサー１５を経て低圧弁ブロック１０に流入し、低圧
弁１１及び合流弁１３を通って材料ガス供給弁ブロック
７に入り、材料ガス遮断弁７１とフィルター７２とを通
過して材料ガス供給経路１から使用先に供給される。

【００２１】このとき、サブキャビネットＢ１でガス容
器Ｃ２の交換を行う場合、安全性を確保するため、最初
に、サブキャビネットＢ１の経路内に残留する材料ガス
の除去が行われる。この材料ガスの除去操作は、上述の
材料ガス供給状態から、容器弁９１ａ及び低圧弁１１ａ
を閉じてパージガス導出弁１２ａを開き、パージガス吸
引弁ブロック８のパージガス吸引弁８１及び駆動ガス導
入弁８３を開状態として行われる。

【００２２】これにより、駆動ガス導入経路６からパー
ジガス吸引弁８１を介して導入される駆動ガスによりエ
ジェクター８２に吸引力が発生し、この吸引力により、
容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの間の経路に存在す
るガスが、パージガス導出弁１２ａ，ガス合流部１４ａ
及びパージガス導出用接続経路５ａを経てメインキャビ
ネットＡ内のガス合流部１４及びパージガス吸引弁８１
を介してエジェクター８２に吸引され、パージガス導出
経路５から導出される。

【００２３】この残留ガスの排気状態は、圧力センサー
５ｄ，１５ａ，９５ａにより確認することができ、所定
の真空度に達した後、高圧弁９３ａあるいはパージガス
導出弁１２ａを閉じて所定時間放置することにより、容
器弁９１ａからのリークの有無、すなわち、容器弁９１
ａが確実に閉じられていることを確認できる。

【００２４】次に、容器弁９１ａ及び高圧弁９３ａを閉
じた状態でパージガス弁３１及びパージガス導入弁９４
ａを開き、パージガス導入経路２ａからのパージガス、
通常は高純度窒素ガスを容器弁９１ａと高圧弁９３ａと
の間の高圧経路に導入する操作と、パージガス導入弁９
４ａを閉じて高圧弁９３ａを開き、高圧経路内のガスを
前記同様にしてパージガス導出経路５から導出する操作
とを適当回数繰り返し、容器弁９１ａ部分の材料ガスを
確実に排除してガス容器Ｃ２を安全に取外せる状態にす
る。

【００２５】次に、ガス容器交換時に、容器弁接続部９
２ａから高圧弁ブロック９ａ内の経路に大気成分が入り
込むことを防止するため、パージガス弁３１及びパージ
ガス導入弁９４ａを開いたままとし、パージガスを容器
弁接続部９２ａから外部に吹出す状態にしてガス容器Ｃ
２を交換する。

【００２６】ガス容器Ｃ２を交換して容器弁９１ａに高
圧弁ブロック９を接続したら、容器弁９１ａから低圧弁
１１ａまでの間の経路のガスをエジェクター８２を介し
てパージガス導出経路５から抜き出して真空状態とした
後、パージガス導出弁１２ａ及び高圧弁９３ａを閉じて
放置することにより、容器弁９１ａとの接続部等からの
リークの有無を確認する低圧気密試験と、容器弁９１ａ
と高圧弁９３ａとの間の高圧経路を、高圧ガス導入経路
２ｂから高圧ガス弁３２，パージガス導入経路２等を経
て導入される高圧ガス（高純度窒素ガス）で所定圧力に
加圧して放置することによりリークの有無を確認する高
圧気密試験とを行い、容器弁９１ａとの接続状態を確認
する。

【００２７】さらに、容器弁９１ａの接続確認を終えた
ら、ガス容器交換時に経路内に入り込んだ可能性のある
大気成分を確実に除去するためのパージ操作を行う。こ
のパージ操作は、容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの
間の経路へのパージガスの導入と、導入したパージガス
の真空排気とを繰返すことにより行われる。

【００２８】また、適宜に前記同様の低圧気密試験と高
圧気密試験とを行い、容器弁９１ａ，高圧弁９３ａ，パ
ージガス導入弁９４ａ，減圧弁９６ａ，低圧弁１１ａ，
パージガス導出弁１２ａや圧力センサー１５ａ，９５ａ
の取付部，配管接続部等の気密試験を行う。

【００２９】各部にリークの無いことが確認されたら、
パージガス導入弁９４ａを閉じ、容器弁９１ａとパージ
ガス導出弁１２ａとを交互に開閉して容器弁９１ａから
低圧弁１１ａまでの間の経路に材料ガスを導入し、最終
的にこの経路内を材料ガスに置換した状態とする。

【００３０】これにより、サブキャビネットＢ１から材
料ガスを供給する準備が終了したことになる。材料ガス
の供給をメインキャビネットＡからサブキャビネットＢ
１に切換えるには、サブキャビネットＢ１の低圧弁１１
ａを開くとともに、メインキャビネットＡの低圧弁１１
を閉じることにより行われる。

【００３１】すなわち、サブキャビネットＢ１のガス容
器Ｃ２内の材料ガスは、容器弁９１ａから容器弁接続部
９２ａを経て高圧弁ブロック９ａ内に流入し、各経路及
び高圧弁９３ａを通り、減圧弁９６ａで所定圧力に減圧
された後、低圧経路９７ａ，圧力センサー１５ａを経て
低圧弁ブロック１０ａに流入し、低圧弁１１ａ，合流弁
１３ａからガス供給用接続経路１ａを通り、メインキャ
ビネットＡの合流弁１３，材料ガス遮断弁７１，フィル
ター７２を通過して材料ガス供給経路１から使用先に供
給される。

【００３２】各キャビネットにおけるガス容器の交換の
際には、上述のような手順が繰返されて各キャビネット
のガス容器から順次材料ガスが供給され、使用先への材
料ガスの供給は、メインキャビネットＡ、両サブキャビ
ネットＢ１，Ｂ２のいずれのガス容器から材料ガスを供
給する場合でも、メインキャビネットＡに設けられた材
料ガス供給経路１により行われる。また、ガス容器交換
時のパージガス導入及びパージガス導出も、メインキャ
ビネットＡに設けられたパージガス導入経路２及びパー
ジガス導出経路５を使用して行われることになる。

【００３３】したがって、サブキャビネットの接続数に
かかわらず、材料ガス供給経路１，パージガス導入経路
２ａ，高圧ガス導入経路２ｂ及びパージガス導出経路５
は、メインキャビネットＡにのみ設ければよく、各サブ
キャビネットには、高圧弁ブロックと低圧弁ブロックと
を設けるだけでよく、前記各経路１，２，５に設けられ
ている切換弁ブロック３，材料ガス供給弁ブロック７及
びパージガス吸引弁ブロック８を省略することができる
ので、サブキャビネットの簡略化や製造コストの低減が
図れる。

【００３４】次に、サブキャビネットを追加接続する際
の操作について説明する。例えば、サブキャビネットＢ
１の次段にサブキャビネットＢ２を追加する場合、サブ
キャビネットＢ１とサブキャビネットＢ２とにおける合
流弁１３ａと合流弁１３ｂとをガス供給用接続経路１ｂ
で接続し、ガス合流部１４ａに取付けられている圧力セ
ンサー（５ｄ）を取外した後、ガス合流部１４ａとガス
合流部１４ｂとをパージガス導出用接続経路５ｂで接続
するとともに、取外した圧力センサー（５ｄ）をガス合
流部１４ｂに取付け、さらに、パージガス分岐弁３５ａ
とパージガス分岐弁３５ｂとをパージガス導入用接続経
路２ｄで接続する。

【００３５】この接続直後の状態は、各経路内に大気が
存在している状態であるから、最初に、各経路内の真空
排気とパージガスの導入とを繰返して大気成分を排出す
る操作を行う。このとき、サブキャビネットＢ２内の経
路から前段のガス供給用接続経路１ａに大気成分が入り
込まないように、サブキャビネットＢ２の合流弁１３ａ
は閉じた状態のままとし、パージガス分岐弁３５ａを開
いてサブキャビネットＢ２内の経路にパージガスを導入
できる状態とする。

【００３６】大気成分排出操作は、低圧弁１１ｂ及び高
圧弁９３ｂを開いた状態としたまま、パージガス導入弁
９４ｂとパージガス導出弁１２ｂとを交互に開閉し、容
器弁９１ｂからサブキャビネットＢ１の合流弁１３ａに
至る材料ガス通過経路全体についてパージガスの導入と
真空排気とを繰返すことにより行われる。さらに、前記
同様の低圧気密試験や高圧気密試験を行った後、容器弁
９１ｂとパージガス導出弁１２ｂとを交互に開閉するこ
とにより、材料ガス通過経路内を材料ガスで置換する。

【００３７】最後に合流弁１３ａを開くことにより、サ
ブキャビネットＢ１とサブキャビネットＢ２とが接続さ
れた状態となり、３本のガス容器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３によ
る材料ガスの供給が行える状態となる。このようにサブ
キャビネットＢ２を追加することにより、材料ガス消費
量の増大等に容易に対処することができる。さらに、第
３のサブキャビネット以降の増設も同様にして行うこと
ができ、各ガス容器からの材料ガスの供給順序を使用先
の状況に応じて設定することにより、各キャビネットに
おける材料ガスの供給やガス容器の交換を所定のタイミ
ングで行うことができる。また、サブキャビネットを２
個以上接続した場合は、２本以上のガス容器から同時に
材料ガスを供給するように設定することもできる。

【００３８】逆に、サブキャビネットＢ２を取外す場合
は、サブキャビネットＢ１の合流弁１３ａを閉じた後、
容器弁９１ｂから合流弁１３ａの間の材料ガス通過経路
に対しての真空引きとパージガスの導入とを繰返し、該
材料ガス通過経路内に残留する材料ガスを排出すること
により、各接続経路の取外しを安全に行うことができ
る。

【００３９】このように、材料ガスの合流弁１３やパー
ジガスのガス合流部１４及びパージガス分岐弁３５を設
け、ガス経路の接続によってサブキャビネットを増減で
きるように形成したことにより、メインキャビネットに
対して任意の数のサブキャビネットを接続することが可
能となり、使用先における材料ガスの使用量に応じて任
意の本数のガス容器を設置することができる。しかも、
サブキャビネットの着脱は、既存のメインキャビネット
やサブキャビネットからの材料ガスの供給を継続した状
態のままで行うことができるので、従来のシリンダーキ
ャビネットの増設時のように、材料ガスの供給を停止す
る必要がなく、容易にかつ短時間で増設や取外しを行う
ことができる。

【００４０】なお、減圧弁９６には、二次圧力固定型
（プリセット減圧弁）、二次圧力可変型のいずれでも使
用することができ、合流弁１３やパージガス分岐弁３５
は、三方弁に限るものではなく、任意の構造の弁を必要
に応じて組合わせた形態としてもよく、ガス合流部１４
に適宜な弁を用いてもよい。また、エジェクター８２に
代えて真空ポンプを用いることもできる。また、各経路
に設ける弁の位置も任意である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス供給
設備によれば、ガス容器を収納したキャビネットを１個
単位で増減することができるので、使用先の状況に応じ
て容易にかつ低コストでガス容器の本数を増減すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のガス供給設備の一形態例を示す系統
図である。

【符号の説明】

１…材料ガス供給経路、１ａ，１ｂ…ガス供給用接続経
路、２ａ…パージガス導入経路、２ｂ…高圧ガス導入経
路、２ｃ，２ｄ…パージガス導入用接続経路、３…切換
弁ブロック、５…パージガス導出経路、５ａ，５ｂ…パ
ージガス導出用接続経路、５ｄ…圧力センサー、６…駆
動ガス導入経路、７…材料ガス供給弁ブロック、８…パ
ージガス吸引弁ブロック、９，９ａ，９ｂ…高圧弁ブロ
ック、１０，１０ａ，１０ｂ…低圧弁ブロック、１１，
１１ａ，１１ｂ…低圧弁、１２，１２ａ，１２ｂ…パー
ジガス導出弁、１３，１３ａ，１３ｂ…合流弁、１４，
１４ａ，１４ｂ…ガス合流部、３５，３５ａ，３５ｂ…
パージガス分岐弁、８２…エジェクター、９０…弁ブロ
ック、９１，９１ａ，９１ｂ…容器弁、９２，９２ａ，
９２ｂ…容器弁接続部、９３，９３ａ，９３ｂ…高圧
弁、９４，９４ａ，９４ｂ…パージガス導入弁、９５，
９５ａ，９５ｂ…圧力センサー、９６，９６ａ，９６ｂ
…減圧弁、９７，９７ａ，９７ｂ…低圧経路、Ａ…メイ
ンキャビネット、Ｂ１，Ｂ２…サブキャビネット、Ｃ
１，Ｃ２，Ｃ３…ガス容器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス容器収納部と、ガス容器内の高圧ガ
   スを、該ガス容器に設けられた容器弁から高圧弁，減圧
   弁，低圧弁を介して使用先に送出するガス供給経路と、
   前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路にパージガス導入
   弁を介してパージガスを導入するパージガス導入経路
   と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路からパージガ
   ス導出弁を介してパージガスを導出するパージガス導出
   経路とを備えるとともに、前記低圧弁の二次側のガス供
   給経路と、前記パージガス導入弁の一次側のパージガス
   導入経路と、前記パージガス導出弁の二次側のパージガ
   ス導出経路とに、閉塞手段を有する分岐経路接続部をそ
   れぞれ設けたことを特徴とするガス供給設備。