JP2015052420A - 排気ガス処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
通常時では、切替弁104は主排気経路L102側に開かれ、燃焼式除害装置102および排気ファン105は動作し、排気ガスを除害している。排気ファン105は、規定の排気能力で動作している。
請求項1に係る発明は、設備から排出され、酸素ガスと反応可能な成分を有する排気ガスが流れる排気経路と、
前記排気経路に設けられ、通常時に前記排気ガスが流れる主排気経路と、主除害装置が異常停止した際に当該排気ガスが流れる副排気経路とを切り替える経路切替手段と、
前記主排気経路に設けられた主除害装置と、
前記副排気経路に設けられた副除害装置と、
前記副排気経路の前記経路切替手段近くに接続され、当該副排気経路内へ常時不活性ガスを供給する不活性ガス供給経路と、を備えることを特徴とする排気ガス処理システムである。
図1に、本発明の第一の実施形態である排気ガス処理システム100の構成を示す。図1に示すように、排気ガス処理システム100は、減圧CVD装置(設備)1から排出された排気ガスが流れる排気経路L1と、排気経路L1の二次側端に設けられた切替弁(経路切替手段)4と、切替弁4の二次側にそれぞれ接続された主排気経路L2および副排気経路L3と、主排気経路L2の二次側端に設けられた燃焼式除害装置(主除害装置)2と、副排気経路L3の二次側端に設けられた乾式除害装置(副除害装置)3と、副排気経路L3の切替弁4近くに設けられた酸素濃度計(濃度測定手段)7と、各除害装置の後段にそれぞれ排気ファン5,6と、高圧ガス容器8と、上流側で高圧ガス容器8と下流側で副排気経路L3の切替弁4近くに接続された不活性ガス供給経路L4と、不活性ガス供給経路L4に設けられた減圧弁9およびマスフローコントローラ(流量制御手段)10と、を備えて概略構成されている。
なお、本実施形態の排気ガス処理システム100では、減圧弁9を不活性ガス供給経路L4に1つ設けた例を説明しているが、特にこれに限定されるものではなく、不活性ガス供給経路L4に複数の減圧弁9を設けて多段的に減圧可能な構成としてもよい。
まず、通常運転時では、切替弁4が主排気経路L2側に開かれており、燃焼式除害装置2および排気ファン5が動作して、排気ガスを除害している。また、排気ファン5は、規定の排気能力で動作している。
副除害装置である乾式除害装置3による除害が安定し、この乾式除害装置3が寿命に達する前に、減圧CVD装置1を停止させる。その後、排気ファン6および不活性ガスの供給を停止する。
図2は、本発明を適用した第二の実施形態である排気ガス処理システム110の構成を示す系統図である。図2に示すように、本実施形態の排気ガス処理システム110は、排気経路L1、L11と、切替弁(経路切替手段)4、14と、主排気経路L2、L12と、燃焼式除害装置(主除害装置)2、12と、排気ファン5、15と、がそれぞれ設けられた排気ガス処理ラインA、A’の2ラインと、高圧ガス容器8、18と、高圧ガス容器8、18と副排気経路L3の各切替弁4、14側とに接続された不活性ガス供給経路L4、L14と、減圧弁9、19と、マスフローコントローラ(流量制御手段)10、20と、がそれぞれ設けられた不活性ガス供給ラインB、B’の2ラインと、乾式除害装置(副除害装置)3と、乾式除害装置3の後段に排気ファン6と、各切替弁4、14に接続され、乾式除害装置3の入り口上流側で一つにまとめられた副排気経路L3と、副排気経路L3の各切替弁4、14側に、それぞれ酸素濃度計(濃度測定手段)7、17と、を備えて概略構成されている。なお、本実施形態の排気ガス処理システム110は、排気ガス処理ラインが2ラインと、不活性ガス供給ラインが2ラインと、共有される副排気経路L3と、を備える形態と言える。
2・・・燃焼式除害装置(主除害装置)
3・・・乾式除害装置(副除害装置)
4,14・・・切替弁(経路切替手段)
5、6・・・排気ファン
7・・・酸素濃度計(濃度測定手段)
8・・・高圧ガス容器
9・・・減圧弁
10・・・マスフローコントローラ(流量調整手段)
100・・・排気ガス処理システム
A,A’・・・排気ガス処理ライン
B・・・不活性ガス供給ライン
c1、c2・・・信号配線
L1・・・排気経路
L2・・・主排気経路
L3・・・副排気経路
L4・・・不活性ガス供給経路
Claims (7)
- 設備から排出され、酸素ガスと反応可能な成分を有する排気ガスが流れる排気経路と、
前記排気経路に設けられ、通常時に前記排気ガスが流れる主排気経路と、主除害装置が異常停止した際に当該排気ガスが流れる副排気経路とを切り替える経路切替手段と、
前記主排気経路に設けられた主除害装置と、
前記副排気経路に設けられた副除害装置と、
前記副排気経路の前記経路切替手段近くに接続され、当該副排気経路内へ常時不活性ガスを供給する不活性ガス供給経路と、を備えることを特徴とする排気ガス処理システム。 - 前記副排気経路内の前記経路切替手段付近のガス成分濃度を測定する濃度測定手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の排気ガス処理システム。
- 前記不活性ガス供給経路が、前記ガス成分濃度の測定値に基づいて前記不活性ガスの供給量を自動的に制御する流量制御手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の排気ガス処理システム。
- 前記不活性ガスが、窒素ガスまたは希ガスであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の排気ガス処理システム。
- 前記設備が、減圧CVD装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の排気ガス処理システム。
- 前記主除害装置が、燃焼式除害装置またはヒーター加熱式除害装置であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の排気ガス処理システム。
- 前記副除害装置が、乾式除害装置または湿式除害装置であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の排気ガス処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013185234A JP6209786B2 (ja) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | 排気ガス処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015052420A true JP2015052420A (ja) | 2015-03-19 |
JP6209786B2 JP6209786B2 (ja) | 2017-10-11 |
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JP2013185234A Active JP6209786B2 (ja) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | 排気ガス処理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6209786B2 (ja) |
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