JP5428755B2 - ガス充填装置 - Google Patents
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- 液化ガスを貯留する液化ガス貯留部と、
液化ガス貯留部から液化ガスを圧送する圧送部と、
圧送部により圧送された液化ガスを熱交換媒体との熱交換により気化させる気化器と、
気化器とガス容器との間を接続して気化器で気化したガスをガス容器に充填するためのガス経路と、
ガス経路を流れるガス流量を検出するガス流量検出部と、
ガス容器内の圧力を検出する容器内ガス状態検出部と、
気化器により気化したガスがガス容器内に設定圧力まで充填されるようにガス流量検出部および容器内ガス状態検出部による検出結果に基づいて圧送部および気化器の作動を制御する制御部と、
制御部からの指令に応じて前記ガス経路に、前記気化器により気化したガスとは異なるガス漏れ検査用の検知ガスを供給する検知ガス供給部と、
を備えるガス充填装置。 - 請求項1に記載のガス充填装置において、
前記液化ガスは液体窒素であり、前記検知ガスは水素であり、前記制御部は、前記圧送部、気化器および検知ガス供給部を制御して、液化ガス貯留部から圧送部により液送される液体窒素を気化器で気化させた多量の窒素をガス容器に設定圧力まで充填する途中で、前記検知ガス供給部から供給される少量の水素をガス経路を介してガス容器に充填することを特徴とするガス充填装置。 - 請求項1に記載のガス充填装置において、
前記液化ガスは液体窒素であり、前記検知ガスはヘリウムであり、前記制御部は、前記圧送部、気化器および検知ガス供給部を制御して、液化ガス貯留部から圧送部により液送される液体窒素を気化器で気化させた多量の窒素をガス容器に設定圧力まで充填するのに先立って、前記検知ガス供給部から供給される少量のヘリウムをガス経路を介してガス容器に充填することを特徴とするガス充填装置。 - 請求項1に記載のガス充填装置において、
前記容器内ガス状態検出部はガス容器内の温度を検出する温度センサを含み、前記制御部は、前記温度センサによって検出される温度が所定温度を超えないように前記圧送部および気化器の作動を制御することを特徴とするガス充填装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載のガス充填装置において、
前記圧送部は液送ポンプからなり、前記制御部による作動制御は、前記液送ポンプについては回転数制御、前記気化器については前記熱交換媒体の流量および温度の少なくともいずれか一方の調整であることを特徴とするガス充填装置。 - 請求項1に記載のガス充填装置において、
気密性のハウジングであって内部の検知ガス濃度を検出する検知ガス濃度検出部が設けられたハウジング内に収納された前記ガス容器に、前記液化ガスを気化させたガスと検知ガスとを設定圧力まで充填して、ガス容器からのガス漏れを検査するガス容器検査設備に適用されることを特徴とするガス充填装置。 - 請求項1に記載のガス充填装置において、
前記ガス経路にはガス流量調節部が設けられており、ガス流量調節部は、前記制御部からの指令に応じてガス経路を開閉または開度調節することを特徴とするガス充填装置。 - 請求項4に記載のガス充填装置において、
前記ガス経路にはガス容器に充填されるガスの温度および圧力を検出する充填ガス状態検出部が設けられており、前記制御部は、前記容器内ガス状態検出部によって検出される容器内の温度および圧力と前記充填ガス状態検出部によって検出される充填ガスの温度および圧力とに基づいて前記圧送部および気化器の作動を制御することを特徴とするガス充填装置。
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