JP5733265B2

JP5733265B2 - ガス充填装置、ガスタンク検査装置及びガスタンク検査方法

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Description

この発明は、ガスタンクの気密を検査する時の、ガスタンクへのガス充填装置、ガスタンク検査装置、ガスタンク検査方法に関するものである。

ガスタンクのリークを検査するための検査ガスとしてヘリウムが用いられている。ヘリウムは高価であるため、少量のヘリウムを含む窒素リッチなガスが用いられている。引用文献１には、検査対象であるガスタンクに少量のヘリウムを充填した後、窒素を充填することが開示されている。

特開２０１１−８９６２０号公報

ガスタンクのバルブには、Ｏリングシールが用いられている場合が多い。ガスタンク内の圧力が低い場合にはＯリングの反力も小さいため、リーク検査のために少量のヘリウムを充填したときに、ヘリウムがＯリングを介してリークし、検出精度が低下する問題があった。このような問題は、ヘリウム以外の検査ガスを用いる場合にも共通する問題である。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、ガスタンクのリーク検査の検出精度を向上させることを目的とする。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明の一形態によれば、ガスタンクの口金にＯリングを介してバルブが接続されたガスタンクにガスを充填するガス充填装置が提供される。このガス充填装置は、不活性ガスが充填された第１のタンクと、前記不活性ガスと異なるガスであって、リーク検出器で検知可能な検査ガスが充填された第２のタンクと、前記バルブが接続されたガスタンクを収納するチャンバと、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１を測定する第１の圧力計と、前記チャンバの内部の圧力Ｐ２を測定する第２の圧力計と、前記ガスタンクに前記検査ガスと前記不活性ガスを充填可能な第１のガス充填機構と、前記チャンバに前記不活性ガスを充填する第２のガス充填機構と、前記ガスタンクに前記検査ガスと前記不活性ガスの少なくとも一方を充填するときに、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１よりも前記チャンバの内部の圧力Ｐ２が大きくなるように前記第１と第２のガス充填機構を制御する制御部と、を備える。この形態によれば、ガスタンクにガスを充填するときに、ガスタンクの内部の圧力は、チャンバの圧力よりも低いので、ガスタンク内のガスがチャンバへリークすることを抑制できる。

［適用例１］
ガスタンクの口金にＯリングを介してバルブが接続されたガスタンクにガスを充填するガス充填装置であって、検査ガスが充填された第１のタンクと、前記検査ガスと異なる不活性ガスが充填された第２のタンクと、前記バルブが接続されたガスタンクを収納するチャンバと、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１を測定する第１の圧力計と、前記チャンバの内部の圧力Ｐ２を測定する第２の圧力計と、前記ガスタンクに前記検査ガスを充填する第１のガス充填機構と、前記チャンバに前記不活性ガスを充填する第２のガス充填機構と、前記ガスタンクに前記検査ガスを充填するときに、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１よりも前記チャンバの内部の圧力Ｐ２が大きくなるように前記第１と第２のガス充填機構を制御する制御部と、を備える、ガス充填装置。
この適用例によれば、ガスタンクに検査ガスを充填するときに、ガスタンクの内部の圧力は、チャンバの圧力よりも低いので、Ｏリングの反力が大きくなり、検査ガスのガスタンクからチャンバへのリークを抑制し、ガスタンクのリーク検査における検査制度を向上させることができる。

［適用例２］
適用例１に記載のガス充填装置において、前記制御部は、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１があらかじめ定められた圧力の判定値Ｐ１２を越えた場合には、前記第２のガス充填機構によるガス充填を停止させ、前記チャンバ内を大気開放させる、ガス充填装置。
この適用例によれば、チャンバ内は大気開放されるので、ガスタンクの内部よりも圧力が大きく下がり、Ｏリングの反力を大きくして、検査ガスのリークを抑制し、ガスタンクのリーク検査における検査制度を向上させることができる。

［適用例３］
適用例２に記載のガス充填装置において、前記第１のガス充填機構は、バッファ室を備え、前記制御部は、前記バッファ室に前記第１の検査ガスと前記不活性ガスを充填させて前記検査ガスと前記不活性ガスとの混合ガスを生成させ、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１が前記判定値Ｐ１２を越えるまでは、前記混合ガスを前記ガスタンクに充填させる、ガス充填装置。
この適用例によれば、仮にＯリングからのリークがあっても漏れるのは、混合ガスであり、検査ガスの分圧が低いので、検査ガスのリークの影響を少なくし、ガスタンクのリーク検査における検査制度を向上させることができる。

［適用例４］
適用例２に記載のガス充填装置において、前記制御部は、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１が前記判定値Ｐ１２を越えるまでは、前記不活性ガスを前記ガスタンクに充填させ、その後、前記検査ガス及び不活性ガスを前記ガスタンクに充填させる、ガス充填装置。
この適用例によれば、仮にＯリングからのリークがあっても漏れるのは、不活性ガスであり、検査ガスはリークしない。したがって、ガスタンクのリーク検査における検査制度を向上させることができる。

［適用例５］
ガスタンク検査装置であって、適用例１〜４のいずれか一つの適用例に記載のガス充填装置と、前記チャンバ内に配置され、前記ガスタンクから漏れてきた前記検査ガスを検出するリーク検出器と、を備える、ガスタンク検査装置。

［適用例６］
チャンバ内に収納されたガスタンクであって、口金とバルブとがＯリングを介して接続されたガスタンクのガスのリークを検査するガスタンク検査方法であって、（ａ）前記ガスタンクに検査ガスを充填し、前記チャンバに不活性ガスを充填する工程と、（ｂ）前記チャンバ内に配置されたリーク検出器を用いて前記ガスタンクからのガスリークを検査する工程と、を備え、前記工程（ａ）において、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１が、あらかじめ定められた圧力の判定値Ｐ１２に達するまでは、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１よりも前記チャンバの内部の圧力Ｐ２が大きくなるように前記ガスタンクへの前記検査ガスの充填と前記チャンバへの前記不活性ガスの充填とを行う、ガスタンク検査方法。
この適用例によれば、ガスタンクに検査ガスを充填するときに、ガスタンクの内部の圧力は、チャンバの圧力よりも低いので、Ｏリングの反力が大きくなり、検査ガスのガスタンクからチャンバへのリークを抑制し、ガスタンクのリーク検査における検査制度を向上させることができる。

なお、本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、ガス充填装置の他、ガスタンク検査装置、ガスタンク検査方法等の形態で実現することができる。

本実施例のガスタンク検査装置を示す説明図である。本実施例におけるガスリークまでのフローチャートの一例である。ガスタンクのバルブ近傍を示す説明図である。ガスタンクの内部の圧力及びチャンバの内部の圧力が共に低いときのＯリング近傍を拡大して示す説明図である。ガスタンクの内部の圧力が低くチャンバの内部の圧力が高い場合のＯリング近傍を拡大して示す説明図である。ガスタンク内の圧力が高くチャンバの内部の圧力が低いときのＯリング近傍を拡大して示す説明図である。

［実施例］
図１は、本実施例のガスタンク検査装置を示す説明図である。ガスタンク検査装置１０は、ガス充填装置２０と、リーク検査部３０とを備える。リーク検査部３０は、検査対象であるガスタンク１００を収納するチャンバ３００と、チャンバ３００に漏れた検査ガスを検知するためのリーク検出器３１０と、圧力計２５２、２５４と、温度計２６２、２６４と、バルブＶ８と、を備える。圧力計２５２は、ガスタンク１００の内部の圧力を測定し、圧力計２５４は、チャンバ３００の内部の圧力を測定する。温度計２６２は、ガスタンク１００の内部のガスの温度を測定し、温度計２６４は、チャンバ３００の内部のガスの温度を測定する。バルブＶ８は、チャンバ３００の内部を大気に開放するために用いられる。

ガス充填装置２０は、ヘリウムタンク２００と、液体窒素タンク２１０と、液ポンプ２２０と、熱交換器２３０と、バッファタンク２４０と、圧力計２５０と、温度計２６０と、バルブＶ１〜Ｖ７と、逆流防止弁２０５と、これらを繋ぐ配管２７０と、制御部２８０と、を備える。なお、以下の説明においては、配管２７０を省略して説明する。ヘリウムタンク２００は、バルブＶ１〜Ｖ３の３つのバルブ及び逆流防止弁２０５を介して測定対象であるガスタンク１００に接続されている。逆流防止弁２０５は、バルブＶ１とＶ２との間に配置されている。一般に、ヘリウムタンク２００の圧力よりも、液体窒素タンク２１０の圧力の方が大きいので、この逆流防止弁２０５により、ヘリウムタンク２００に窒素が逆流することを抑制する。ヘリウムタンク２００から３つのバルブＶ１〜Ｖ３及び逆流防止弁２０５を介してガスタンク１００へ至る経路は、ヘリウムがガスタンクに供給、充填される経路になるので、この経路を「ヘリウム充填ライン」と呼ぶ。

液体窒素タンク２１０には、液ポンプ２２０が接続されている。液ポンプ２２０の下流は、バルブＶ４〜Ｖ６の３つのバルブを介して、ガスタンク１００に接続されている。ここで、液ポンプ２２０とバルブＶ４との間には、熱交換器２３０が配置されている。また、バルブＶ５とバルブＶ６との間には、バッファタンク２４０が配置されている。バッファタンク２４０には、圧力計２５０と、温度計２６０とが接続されており、バッファタンク２４０内の圧力と温度とを測定する。液ポンプ２２０の下流は、二つの経路に分かれており、一方は、上述したように、熱交換器２３０に接続されている。この経路は、窒素が熱交換器２３０により常温に温度が上げられてガスタンク１００に供給されるので、「常温ライン」と呼ぶ。

他方の経路は、連通管２７０１により、ヘリウム供給ラインの逆流防止弁２０５と、バルブＶ２と、の間に接続されている。したがって、窒素は、ヘリウム供給ラインを介してもガスタンク１００に供給される。なお、この場合、窒素は、熱交換器２３０を通らず、低温のままガスタンク１００に供給されるので、このラインを「低温ライン」とも呼ぶ。低温ラインは、ヘリウム供給ラインの一部と重なる。常温ラインのバルブＶ４の下流（バルブＶ５の上流）と、低温ラインのバルブＶ２の下流（バルブＶ３の上流）とは連通管２７０２により、接続されている。この連通管２７０２により、ヘリウムをバッファタンク２４０に充填することが可能となる。また、液体窒素タンク２１０は、バルブＶ７を介して、直接チャンバ３００に接続されている。

制御部２８０は、検査ガス及び不活性ガスをガスタンクに充填するときに、ガスタンク１００の内部の圧力、チャンバ３００の内部の圧力を監視し、ガスタンク１００の内部の圧力（Ｐ１）よりもチャンバ３００の内部の圧力（Ｐ２）が高くなるように、バルブＶ１〜Ｖ８の開閉及びそれらの開度を制御する。

図２は、本実施例におけるガスリークまでのフローチャートの一例である。初期状態では、全てのバルブＶ１〜Ｖ８は閉じている。ステップＳ１００では、バルブＶ４〜Ｖ６、Ｖ８の閉状態が維持されたまま、バルブＶ１〜Ｖ３、Ｖ７が開かれる。ヘリウムタンク２００のヘリウムは、ヘリウム充填ライン（図１）を通り、ガスタンク１００に充填される。同時に、液体窒素タンク２１０の窒素は、チャンバ３００に供給される。ここで制御部２８０は、ガスタンク１００の内部の圧力（Ｐ１）よりもチャンバ３００の内部の圧力（Ｐ２）が高くなるようにバルブＶ１〜Ｖ３、Ｖ７の開度を制御する。以下、制御部２８０は、ガスタンク１００の内部の圧力（Ｐ１）よりもチャンバ３００の内部の圧力（Ｐ２）が高くなるようにバルブＶ１〜Ｖ３、Ｖ７の開度を制御する理由について説明する。

図３は、ガスタンクのバルブ近傍を示す説明図である。ガスタンク１００は、ライナー１１０と、外筒１２０と、口金１３０と、バルブ１４０と、Ｏリング１５０と、を備える。ライナー１１０は、ガスを貯蔵する略円筒形の容器であり、樹脂により形成されている。外筒１２０は、ライナー１１０が内部のガスの圧力で破損しないようにライナー１１０の外側に巻き付けられる部材であり、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）で形成されている。口金１３０は、ライナー１１０の中心軸に沿った方向の端部に配置されている部材であり、中心軸にバルブ１４０を配置するための開口部１３５を有している。なお、このバルブ１４０は、ガスタンク１００のバルブであり、上述したガス充填装置２０のバルブＶ１とは異なる部材である。口金１３０とバルブ１４０との間にはＯリング１５０が配置され、口金とバルブとの境界からのガスのリークを抑制する。

図４は、ガスタンクの内部の圧力及びチャンバの内部の圧力が共に低いときのＯリング近傍を拡大して示す説明図である。バルブ１４０は、口金１３０の内側に嵌め混まれるため、口金１３０と、バルブ１４０との間に隙間１７０が生じる。この隙間１７０からのガスのリークを抑制するために、Ｏリング機構が設けられる。具体的には、本実施例では、バルブ１４０の口金１３０側にＯリング溝１４５が形成されており、このＯリング溝１４５にＯリング１５０と、バックアップリング１６０が配置される。Ｏリング１５０は、シリコン系の材料で構成された断面略円形の円環形をした部材である。Ｏリング１５０は、Ｏリング溝１４５の大きさに対して、つぶれたときに７５％の大きさを締めることが好ましい。バックアップリング１６０は、Ｏリング１５０の外気側に配置される円環状の部材である。バックアップリング１６０の、Ｏリング１５０と反対側の内側は斜面１６２となっており、先端が細くなっている。なお、Ｏリング溝１４５の外気側には、この斜面１６２と平行な斜面１４７が形成されている。

ガスタンク１００の内部の圧力、チャンバ３００の内部の圧力が共に小さいとき、一般に、Ｏリング１５０は圧力を強く受けないので、反力が小さく、シール性が悪い。また、バックアップリング１６０の方に押さえつけられない。そのため、バックアップリング１６０と、口金１３０あるいはバルブ１４０との間に隙間が生じており、この隙間を通してガスタンク１００の内部のガスがリークする虞がある。

図５は、ガスタンクの内部の圧力が低くチャンバの内部の圧力が高い場合のＯリング近傍を拡大して示す説明図である。ガスタンク１００の内部の圧力Ｐ１が低く、チャンバ３００の内部の圧力Ｐ２が高いと、Ｏリング１５０は、圧力差により、バックアップリング１６０と反対側に押さえつけられ、断面が放射方向に伸びるように楕円形に変形する。この変形により、Ｏリング１５０に反力が生じてＯリング１５０によるシール性を向上させる。すなわち、ガスタンク１００の内部の圧力Ｐ１が低く、チャンバ３００の内部の圧力Ｐ２が高い場合には、ガスタンク１００からＯリング１５０を介したガスのリークは起こり難い。したがって、ガスタンク１００にヘリウムなどの検査ガスを充填するときに、ガスタンク１００の内部の圧力Ｐ１が低く、チャンバ３００の内部の圧力Ｐ２が高くなるように、ガスタンク１００及びチャンバ３００へのガスの充填を制御することにより、ガスタンク１００からのガスのリークを抑制できる。

図６は、ガスタンク内の圧力が高くチャンバの内部の圧力が低いときのＯリング近傍を拡大して示す説明図である。ガスタンク１００の内部の圧力が高いとき、Ｏリング１５０は、図５の時とは逆向きに圧力を強く受ける。これによりＯリング１５０は、断面が放射方向に伸びるように楕円形に変形し、反力が大きくなり、シール性を向上させる。また、Ｏリング１５０は、バックアップリング１６０の方に押さえつけられる。その結果、Ｏリング１５０は、バックアップリング１６０を外気側に押す。その結果、バックアップリング１６０の外気側の端部は、口金１３０と、バルブ１４０との隙間に嵌り、ガスタンク１００内部から外気側へのガスのリークを抑制する。すなわち、ガスタンク１００の内部の圧力が高く、チャンバ３００の内部の圧力が低いときには、口金１３０とバルブ１４０の隙間からのガスのリークは起こらない。

なお、ガスタンク１００は、一般に圧力が高い状態で使用され、ガスタンク１００の内部の圧力が、口金１３０とバルブ１４０の隙間からのガスのリークが起こる圧力まで下がる前に、バルブ１４０が閉まる。したがって、ガスタンク１００の使用状態では、ガスタンク１００の内部は、一定以上の圧力を有しており、ガスタンク１００からのリークは起こらない。

図２のステップＳ１１０では、ガスタンク１００の内部の圧力が、判定値Ｐ１１以上になったか否かが判断される。判定値Ｐ１１の値としては、例えば１ＭＰａが採用される。ただし、判定値Ｐ１１の値は、１ＭＰａ以外の値であってもよい。制御部２８０は、ガスタンク１００の内部の圧力が、判定値Ｐ１１以上になった場合には、処理をステップＳ１２０に移行する。

ステップＳ１２０では、バルブＶ１、Ｖ３が閉じられ、ヘリウムの供給が停止される。その後、バルブＶ４〜Ｖ６が開けられ、ガスタンク１００に、窒素が供給、充填される。ここで、窒素は、低温ラインから供給された低温の窒素と常温ラインから供給された常温の窒素とが一旦バッファタンク２４０内で混合された後、ガスタンク１００に充填される。一般にガスタンク１００にガスを充填する場合、ガスタンク１００の内部の圧力に対抗してガスを充填するため、ガスタンク内のガスの温度は上がる。ガスタンク１００の内部の圧力は、ガスタンク１００のガスの温度に比例する。本実施例では、ガスタンク１００の温度が上がりすぎないように、制御部２８０は、バルブＶ２、Ｖ４の開度を制御する。

ステップＳ１３０では、ガスタンク１００の内部の圧力が判定値Ｐ１２以上になったか否かが判断される。判定値Ｐ１２の値としては、上述したＯリング１５０の反力が大きくなり、Ｏリング１５０によるシールを機能させることができる圧力であればよく、一例として５ＭＰａの値が採用される。ただし、判定値Ｐ１２の値は、５ＭＰａ以外の値であってもよい。ガスタンク１００の内部の圧力が判定値Ｐ１２以上になった場合には、制御部２８０は、処理をステップＳ１４０に移行し、バルブＶ７を閉じ、バルブＶ８を開ける。これにより、窒素のチャンバ３００への供給が停止され、さらに、チャンバ３００が大気に開放される。

ステップＳ１５０では、液ポンプ２２０が起動され、ガスタンク１００に、さらに窒素が充填される。ただし、液体窒素タンク２１０の圧力が十分高い場合には、液ポンプ２２０を用いなくてもガスタンク１００の内部の圧力を十分高くできるので、液ポンプ２２０を備えなくてもよい。

ステップＳ１６０では、制御部２８０は、ガスタンク１００の内部の圧力が、判定値Ｐ１３以上か否かを判断する。ガスタンク１００の内部の圧力が判定値Ｐ１３以上の場合には、ガスタンク１００の内部の圧力は、リーク測定が行われる測定圧力に達した状態となる。ガスタンク１００の内部の圧力が判定値Ｐ１３以上の場合には、制御部２８０は、ステップＳ１７０において、液ポンプ２２０を停止し、バルブＶ１〜Ｖ６を閉じる。液ポンプ２２０の停止からバルブＶ１〜Ｖ６が閉じられるまで時間差により、ガスがガスタンク１００から逆流するので、ガスタンク１００の内部の圧力を判定値Ｐ１３よりもオーバーシュート（Ｐ１３＋α）させてもよい。なお、判定値Ｐ１３は、バッファタンク２４０の内部の温度により補正されることが好ましい。

ステップＳ１８０では、制御部２８０は、リーク検出器３１０を用いて、ガスタンク１００からチャンバ３００の内部に漏れてきたヘリウムの量を検知する。なお、ヘリウムの量の測定は、バルブＶ１〜Ｖ６が閉じられた後、一定の安定時間、例えば５分から１０分経過した後測定することが好ましい。

以上、本実施例では、ガスタンク１００の内部の圧力が低く、Ｏリング１５０に十分な反力が発生しないときは、ガスタンク１００の内部の圧力（Ｐ１）よりもチャンバ３００の内部の圧力（Ｐ２）が大きくなるような状態を維持して、ヘリウムをガスタンク１００に充填する。そのため、ガスタンク１００の内部の圧力が低いことによるＯリング１５０からのガスのリークを抑制し、リーク測定の誤差を少なくして測定精度を向上させることができる。

［変形例１］
なお、本実施例では、ヘリウム充填ラインにより、ガスタンク１００に直接ヘリウムが充填されるように制御されているが、ガスタンク１００の圧力Ｐ１が、圧力の判定値Ｐ１２（図２のステップＳ１３０）よりも小さいときに、ヘリウムと窒素の混合ガスが充填されるように構成されていてもよい。具体的には、バッファタンク２４０にヘリウム及び窒素が充填されることにより、バッファタンク２４０にてヘリウムと窒素との混合ガスが生成され、この混合ガスがガスタンクに充填される構成であってもよい。本実施例では、ガスタンク１００の内部の圧力が低いときにはヘリウムのみが充填されるが、この変形例では、ヘリウムと窒素の混合ガスが充填される。仮にＯリング１５０からガスが漏れたとしても、そのガスは混合ガスであり、ヘリウムの分圧が低いため、測定誤差を低くすることができる。

［変形例２］
また、ガスタンク１００の圧力Ｐ１が、圧力の判定値Ｐ１２（図２のステップＳ１３０）よりも小さいときに、ヘリウムを含まない窒素が充填され、ガスタンク１００の内部の圧力Ｐ１が圧力の判定値Ｐ１２以上となった場合には、ヘリウムが充填され、その後に圧力の判定値Ｐ１３まで窒素が充填されるように構成されていてもよい。この変形例では、ガスタンク１００の内部の圧力が低く、仮にＯリング１５０からガスが漏れたとしても、そのガスは窒素であり、リークによる影響はない。ただし、ヘリウムタンク２００の圧力が圧力の判定値Ｐ１２よりも高いことが好ましい。圧力差により、容易にガスタンク１００にヘリウムを充填できる。なお、ヘリウムタンク２００の圧力が、圧力の判定値Ｐ１２よりも低い場合にはポンプにより、ヘリウムをガスタンク１００に充填することが好ましい。

上記実施例及び変形例では、検査ガスとしてヘリウムを用い、不活性ガスとして窒素を用いたが、検査ガスや不活性ガスとして他のガスを用いても良い。例えば、検査ガスとして水素を用いることも出来る。

以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。

１０…ガスタンク検査装置
２０…ガス充填装置
３０…リーク検査部
１００…ガスタンク
１１０…ライナー
１２０…外筒
１３０…口金
１３５…開口部
１４０…バルブ
１４５…Ｏリング溝
１４７…斜面
１５０…Ｏリング
１６０…バックアップリング
１６２…斜面
１７０…隙間
２００…ヘリウムタンク
２０５…逆流防止弁
２１０…液体窒素タンク
２２０…液ポンプ
２３０…熱交換器
２４０…バッファタンク
２５０、２５２、２５４…圧力計
２６０、２６２、２６４…温度計
２７０…配管
２８０…制御部
３００…チャンバ
３１０…リーク検出器
２７０１…連通管
２７０２…連通管
Ｖ１〜Ｖ８…バルブ
Ｐ１、Ｐ２…圧力
Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３…判定値

Claims

ガスタンクの口金にＯリングを介してバルブが接続されたガスタンクにガスを充填するガス充填装置であって、
不活性ガスが充填された第１のタンクと、
前記不活性ガスと異なるガスであって、リーク検出器で検知可能な検査ガスが充填された第２のタンクと、
前記バルブが接続されたガスタンクを収納するチャンバと、
前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１を測定する第１の圧力計と、
前記チャンバの内部の圧力Ｐ２を測定する第２の圧力計と、
前記ガスタンクに前記検査ガスと前記不活性ガスを充填可能な第１のガス充填機構と、
前記チャンバに前記不活性ガスを充填する第２のガス充填機構と、
前記ガスタンクに前記検査ガスと前記不活性ガスの少なくとも一方を充填するときに、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１よりも前記チャンバの内部の圧力Ｐ２が大きくなるように前記第１と第２のガス充填機構を制御する制御部と、
を備える、ガス充填装置。
請求項１に記載のガス充填装置において、
前記制御部は、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１があらかじめ定められた圧力の判定値Ｐ１２を越えた場合には、前記第２のガス充填機構によるガス充填を停止させ、前記チャンバ内を大気開放させる、ガス充填装置。
請求項２に記載のガス充填装置において、
前記第１のガス充填機構は、バッファ室を備え、
前記制御部は、前記バッファ室に前記検査ガスと前記不活性ガスを充填させて混合ガスを生成させ、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１が前記判定値Ｐ１２を越えるまでは、前記混合ガスを前記ガスタンクに充填させる、ガス充填装置。
請求項２に記載のガス充填装置において、
前記制御部は、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１が前記判定値Ｐ１２を越えるまでは、前記不活性ガスを前記ガスタンクに充填させ、その後、前記検査ガス及び不活性ガスを前記ガスタンクに充填させる、ガス充填装置。
ガスタンク検査装置であって、
請求項１〜４のいずれか一項に記載のガス充填装置と、
前記ガスタンクから前記チャンバ内に漏れてきた前記検査ガスを検出するリーク検出器と、
を備える、ガスタンク検査装置。
チャンバ内に収納されたガスタンクであって、口金とバルブとがＯリングを介して接続されたガスタンクのガスのリークを検査するガスタンク検査方法であって、
（ａ）前記ガスタンクに不活性ガスと前記不活性ガスと異なるガスであってリーク検出器で検査可能な検査ガスとの混合ガス、または、前記検査ガスを充填し、前記チャンバに前記不活性ガスを充填する工程と、
（ｂ）前記リーク検出器を用いて前記ガスタンクから前記チャンバ内への前記検査ガスのリークを検査する工程と、
を備え、
前記工程（ａ）において、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１が、あらかじめ定められた圧力の判定値Ｐ１２に達するまでは、前記ガスタンクの内部の圧力Ｐ１よりも前記チャンバの内部の圧力Ｐ２が大きくなるように前記ガスタンクへの前記検査ガス、または、前記混合ガスの充填と前記チャンバへの前記不活性ガスの充填とを行う、ガスタンク検査方法。