KR101193479B1

KR101193479B1 - 진공 배기 장치

Info

Publication number: KR101193479B1
Application number: KR1020117005262A
Authority: KR
Inventors: 고지 시바야마; 도시오 스즈키
Original assignee: 가부시키가이샤 아루박
Priority date: 2008-09-10
Filing date: 2009-09-10
Publication date: 2012-10-22
Also published as: EP2330299A4; KR20110040980A; JPWO2010029750A1; WO2010029750A1; US20110164992A1; CN102124225A; TWI467092B; TW201018790A; EP2330299A1

Abstract

주펌프와; 상기 주펌프에 직렬로 접속된 보조 펌프와; 상기 주펌프의 배기구 및 상기 보조 펌프의 흡기구 사이를 접속하는 펌프간 배관;을 구비한 진공 배기 장치로서, 상기 주펌프는 메카니컬 부스터 펌프를 포함하고; 상기 주펌프의 최대 배기 속도에 대한 상기 주펌프의 모터의 최대 동력의 비율이 5W/(㎥/h) 이상이고; 상기 펌프간 배관에는 그 도중에서 분기된 분기 배관이 설치되고; 상기 분기 배관의 도중에는 상기 펌프간 배관내의 가스를 도피시켜 그 역류를 방지하는 체크 밸브가 마련되어 있다.

Description

진공 배기 장치{Vacuum evacuation device}

본 발명은 주펌프에 보조 펌프를 직렬로 접속한 진공 배기 장치에 관한 것으로서, 특히 배기 속도의 향상을 꾀할 수 있는 진공 배기 장치에 관한 것이다.

본원은 2008년 9월 10일에 일본에 출원된 일본 특허출원 2008-232324호에 기초하여 우선권을 주장하고 그 내용을 여기에 원용한다.

중진공(中眞空)까지 배기하는 종래의 진공 배기 장치 중 하나로서, 주펌프로서 기능하는 메카니컬 부스터 펌프(이하, MBP)와, 보조 펌프로서 기능하는 드라이 펌프(이하, DRP)를 직렬로 접속한 것이 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조).

이와 같은 진공 배기 장치에서는, 목표 진공도에 도달하는 것을 주안점으로 하기 때문에, 첫단의 MBP의 배기량이 2단째의 DRP의 배기량보다 크게 되어 있다. 구체적으로는 주펌프의 배기량은 보조 펌프의 배기량의 5배～1O배로 설정되어 있다. 이로써 중진공 영역에서는 DRP의 보조 배기에 의해 MBP의 배기 성능을 충분히 발휘할 수 있다.

한편, 이와 같은 진공 배기 장치에 있어서, 대기압의 챔버의 진공 배기를 개시할 때, 챔버와 MBP의 흡기 배관 도중에 설치된 게이트 밸브를 개방하는데, 그 순간에 챔버로부터의 압력이 충격파가 되어 전파되어 MBP에 충격을 준다. 따라서 MBP에는 그에 견딜 수 있는 기계적 강도가 요구된다.

챔버 개방시의 과도한 충격 완화를 목적으로 한 종래 기술의 예로서는 MBP와 DRP간의 배관 도중에, 버퍼 탱크와 같은 충격 압력을 도피시키기 위한 탱크를 배치하여 과도한 압력 변화를 완화하는 구성으로 한 것이 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조).

또 상기 과도한 충격 완화를 목적으로 한 다른 종래 기술의 예로서는, 주펌프의 배기쪽으로부터 주펌프의 흡기쪽으로 되돌리기 위한 바이패스 배관을 설치한 것이나, 소정압 이상의 가스를 주펌프의 배기쪽으로부터 보조 펌프의 배기쪽으로 보내기 위한 바이패스 배관을 설치한 것이 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1: 일본 공개특허 제2007-127048호 공보

액정 제조 장치의 로딩 챔버(이하, LC)와 같이 대기압에서 중진공 영역까지 반복하여 배기하기 위해 진공 배기 장치를 사용할 경우에는, 생산성 향상을 위해 목표 진공도까지의 도달 시간이 그 성능 중 하나의 지표가 된다. 따라서 이와 같은 진공 배기 장치에서는 중진공 영역은 물론 저진공 영역 및 대기압 부근의 감압 영역에서의 높은 배기 특성이 요구된다.

그러나, MBP와 DRP가 직렬로 배치되고, 첫단의 MBP의 배기 능력이 2단째의 DRP의 배기 능력보다 큰 상기 종래의 진공 배기 장치에서는 MBP에서 배기된 기체는 반드시 DRP를 통과하여야 한다. 따라서, 대기압 부근 감압 영역 및 저진공 영역에서는, MBP의 배기 성능은 DRP의 배기 성능으로 규제되어 MBP의 배기압은 흡입압보다 고압이 된다. 따라서 MBP는 불필요한 압축일을 하게 되어 그 회전수가 현저하게 저하된다. 그 결과 MBP는 블로워로서의 효과를 충분히 발휘할 수 없다.

본 발명은 이와 같은 종래의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 주펌프 및 보조 펌프의 구조를 대폭 변경하지 않고 목표 진공도까지의 배기 시간을 단축할 수 있는 진공 배기 장치의 제공을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 이하의 수단을 채용한다. 즉, 본 발명의 일태양에 관한 진공 배기 장치는, 주펌프와; 상기 주펌프에 직렬로 접속된 보조 펌프와; 상기 주펌프의 배기구 및 상기 보조 펌프의 흡기구 사이를 접속하는 펌프간 배관;을 구비하고, 상기 주펌프는 메카니컬 부스터 펌프를 포함하고; 상기 주펌프의 최대 배기 속도에 대한 상기 주펌프의 모터의 최대 동력의 비율이 5W/(㎥/h) 이상이고; 상기 펌프간 배관에는, 그 도중에서 분기된 분기 배관이 설치되고; 상기 분기 배관의 도중에는 상기 펌프간 배관내의 가스를 도피시켜 그 역류를 방지하는 체크 밸브가 마련되어 있다.

상기 주펌프가, 병렬로 배치된 복수의 상기 메카니컬 부스터 펌프를 포함하고 있어도 좋다.

또, 상기 분기 배관이 상기 보조 펌프의 배기 배관에 종단(終端)되어 있어도 좋다

또한, 상기 주펌프를 대기압으로 운전했을 때 상기 체크 밸브의 기체 유량의 압력 손실이 1OOOOPa 이하인 것이 바람직하다.

상기 본 발명의 일태양에 의하면, 주펌프의 모터를 대출력으로 함과 동시에 체크 밸브 및 분기 배관을 설치함으로써 대기압 부근에서도 주펌프의 배기 속도가 보조 펌프의 배기 속도로 규제되지 않아 대기압 부근 및 저진공 영역의 배기 속도를 향상시킬 수 있다. 그 결과, 주펌프 및 보조 펌프의 구조를 대폭 변경하지 않고도 목표 진공도에 도달하기까지의 배기 시간을 단축할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도이다.
도 2는, 비교예 1에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도이다.
도 3는, 비교예 2에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도이다.
도 4a는, 본 발명의 실시형태 1 및 비교예 1,2에 관한 진공 배기 장치의 배기 속도 특성(배기 성능)을 설명하는 도면이다.
도 4b는, 본 발명의 실시형태 1 및 비교예 1,2에서의 LC(20)의 압력 특성을 설명하는 도면이다.
도 5는, 본 발명의 실시형태 2에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 아울러 본 발명은 이에 한정되지 않으며 본 발명의 주지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.

<실시형태 1>

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도이다. 이 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)는 주펌프(1)와, 보조 펌프(2)와, 체크 밸브(3)를 구비하고 있다.

챔버(20)는, 예를 들면 반도체 제조 장치 등을 구성하는 처리실이나 반송실이고, 진공 배기 장치(100)에 의해 진공 배기된다. 여기에서 챔버(20)는 액정 제조 장치의 로딩 챔버(이하, LC)이다.

게이트 밸브(30)는 LC(20)의 배기구와 MBP(1)의 흡기구를 접속하는 배관(흡입 배관)(40)의 도중에 마련되어 있다. 이 게이트 밸브(30)는, 대기압으로 개방된 LC(20)의 배기를 진공 배기 장치(100)에 의해 개시할 때 열고, 진공 배기된 LC(20)를 대기압으로 개방할 때 닫는다.

진공 배기 장치(100)에서, 주펌프(1) 및 보조 펌프(2)는 주펌프(1)의 배기구와 보조 펌프(2)의 흡기구를 접속하는 배관(펌프간 배관)(50)에 의해 직렬로 접속되어 있다. 보조 펌프(2)의 배기구는 배관(배기 배관)(60)에 접속되어 있다.

이와 같이 진공 배기 장치(100)에서는, 주펌프(1) 및 보조 펌프(2)가 직렬 접속되어 있다. 또 LC(20)의 배기구에 게이트 밸브(30)를 통해 직접 접속되는 첫단의 펌프가 주펌프이고, 이 주펌프의 배기구쪽에 배치되는 2단째의 펌프가 보조 펌프이다. 여기에서 주펌프(1)는 메카니컬 부스터 펌프(이하, MBP)이다. 또 보조 펌프(2)는 드라이 펌프(이하, DRP)이다. 아울러 주펌프(1)는 하나(1단)의 MBP에 의해 구성된 것으로 한정되지 않으며, 멀티 부스터 펌프라고 불리는 2단의 MBP에 의해 구성된 것이나, 복수단의 MBP에 의해 구성된 것 등이어도 좋다.

MBP(1)는 종래의 진공 배기 장치를 구성하는 MBP에 있어서, 펌프부를 변경하지 않고 그 모터의 출력을 크게 한 것이다. 종래 장치의 MBP는 최대 배기 속도(단위:㎥/h)에 대한 상기 모터의 최대 동력(단위:W)의 비율이 5W/(㎥/h)미만(예를 들면, 1OOOO(W)/3600(㎥/h)=2.77)이지만, 본 실시형태에 관한 MBP(1)에서는 상기 비율이 5W/(㎥/h) 이상(예를 들면, 30000(W)/3600(㎥/h)=8.33)이다. 아울러 MBP의 배기 속도는 중진공 영역에서(예를 들면 흡입 압력이 13Pa일 때) 최대가 된다.

또, 이 진공 배기 장치(100)에는 펌프간 배관(50)에서 분기되어 DRP(2)의 배기 배관(60)에 종단이 접속된 배관(분기 배관)(70)이 마련되어 있다. 이 배관(70)의 도중에는 체크 밸브(3)가 마련되어 있다.

체크 밸브(3)는 펌프간 배관(50) 내의 압력이 배기 배관(60) 내의 압력보다 높아졌을 때 펌프간 배관(50) 내의 가스를 배기 배관(60)으로 도피시킴과 아울러 배기 배관(60) 내의 가스가 펌프간 배관(50)에 역류되는 것을 방지한다. 이 체크 밸브(3)는 MBP(1)를 대기압으로 운전해도 압력 손실을 일으키지 않는 충분한 용량을 갖는 것이 바람직하다. 예를 들면 MBP(1)를 대기압으로 운전했을 때 체크 밸브(3)의 대기압에서의 기체 유량의 압력 손실이 10000Pa 이하인 것이 바람직하다.

본 실시형태에 관한 진공 배기 장치에 의하면 대출력 모터를 가진 MBP(1)를 채용함으로써 주로 저진공 영역에서의 배기 성능을 개선할 수 있다. 원래 대기압 부근에서는 MBP에 의한 압축을 할 필요가 없기 때문에, MBP 단체(單體)의 배기 속도는 DRP단체의 배기 속도보다도 크다. 그러나 MBP와 DRP를 직렬로 접속한 구성으로는, 대기압 부근 및 저진공 영역에서 MBP의 배기압은 흡입압보다 고압이 되기 때문에, MBP의 배기 속도는 DRP의 배기 속도로 규제되어 MBP의 회전수가 저하된다. MBP(1)의 모터를 대출력 모터로 함으로써 주로 저진공 영역에서의 회전수 저하를 억제할 수 있어 배기 속도를 개선할 수 있다.

또한 본 실시형태에 관한 진공 배기 장치에서는, 체크 밸브(3) 및 분기 배관(70)이 마련되어 있기 때문에 대기압 부근에서의 배기 특성을 개선할 수 있다. 압력 손실이 적은 체크 밸브(3)를 배치함으로써, 저진공 영역 및 대기압 부근에서 MBP(1)의 배기 압력(펌프간 배관(50) 내의 압력)이 상승했을 때 펌프간 배관(50) 내의 가스를 배기 배관(60)으로 도피시켜 MBP(1)의 배기 압력을 억제할 수 있다. 이로써 MBP(1)를 블로워로서 유효하게 이용할 수 있고, 그 결과 DRP(2)의 배기 성능으로 규제되지 않게 된다. 체크 밸브(3)에서의 압력 손실이 적을수록 이 효과는 커진다.

이와 같이 본 실시형태에 관한 진공 배기 장치에서는, 대출력 모터를 가진 MBP(1)를 채용하고 체크 밸브(3) 및 분기 배관(70)을 설치함으로써, 저진공 영역 및 대기압 부근에서의 배기 속도를 개선할 수 있고, 그 결과, LC(20)의 배기 시간을 단축할 수 있다.

또한 체크 밸브(3) 및 분기 배관(70)을 설치함으로써, 대기압의 LC(20)의 진공 배기를 개시하기 위해 게이트 밸브(30)을 개방했을 때 LC(20)로부터의 압력 충격파가 체크 밸브(3)를 통해 도피되기 때문에 MBP(1)가 받는 충격을 완화할 수 있다. 이로써 MBP(1)는 강도 설계의 제약을 거의 받지 않게 되고 나아가 MBP(1)의 내구성을 향상시킬 수 있다.

도 2는 비교예 1에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도로서, 도 1과 마찬가지의 것에는 같은 부호를 붙인다. 이 비교예 1에 관한 진공 배기 장치(101)에서는 MBP(11)와 DRP(2)가 직렬로 배치되어 있다. MBP(11)는 실시형태 1에 관한 MBP(1)와 같은 펌프부와, MBP(1)보다도 저출력의 모터를 가진다. 즉, MBP(11)의, 최대 배기 속도에 대한 모터의 최대 동력(단위:W)의 비율은 5W/(㎥/h)미만이다.

도 3은 비교예 2에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도로서, 도 1과 마찬가지의 것에는 같은 부호를 붙였다. 이 비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102)에서는 MBP(1)와 DRP(2)가 직렬로 배치되어 있다. 즉, 비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102)는 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)(도 1 참조)에 있어서, 체크 밸브(3) 및 분기 배관(70)을 설치하지 않은 구성인 동시에, 비교예 1에 관한 진공 배기 장치(101)(도 2 참조)에서 MBP(11)를 MBP(1)로 변경한 것이다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시형태 1 및 비교예 1,2에 관한 진공 배기 장치의 배기 특성을 설명하는 도면이다. 구체적으로는, 도 4a는 DRP(2) 단체 및 실시형태 1 및 비교예 1,2에 관한 진공 배기 장치의 배기 속도 특성(배기 성능), 도 4b는 실시형태 1 및 비교예 1,2에서의 LC(20)의 압력 특성(LC(20)의 압력 추이)이다. 이들 도 4a 및 도 4b에서, A는 대기압(A1) 및 대기압 부근의 감압 영역(대기압 부근 영역), B는 저진공 영역, C는 중진공 영역이다. 또 a1은 DRP(2) 단체에서의 특성, b1 및 b2는 비교예 1에 관한 진공 배기 장치(101)의 특성, c1 및 c2는 비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102)의 특성, 그리고 d1 및 d2는 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)의 특성을 나타낸다.

예를 들면, 영역 A는 101300Pa(대기압(A1))에서 30000Pa까지의 범위, 저진공 영역 B는 3000OPa에서 1330Pa까지의 범위, 중진공 영역 C는 1330Pa 이하의 범위이다.

도 4a의 특성 곡선(a1)으로 나타낸 것처럼, DRP(2)단체의 배기 속도는 대기압 부근 영역(A) 및 저진공 영역(B)에서는 거의 일정하고 또한 중진공 영역(C)에 들어가도 일정하지만, 목표 도달 진공도에 가까워짐에 따라 서서히 저하된다.

또 도 4a의 특성 곡선(b1)으로 나타낸 것처럼, 비교예 1에 관한 진공 배기 장치(101)의 배기 속도는 대기압 부근 영역(A)에서 저진공 영역(B)를 거쳐 중진공 영역(C)로 들어감에 따라 상승한다. 그 후 진공 배기 장치(101)의 배기 속도는 중진공 영역(C)에서 저진공 영역(B)와의 경계와 목표 도달 진공도와의 중간 부근에서 최대가 되고 목표 도달 진공도에 가까워짐에 따라 저하된다.

도 4a의 특성 곡선(c1)으로 나타낸 것처럼, 저진공 영역(B)에서의 비교예 2의 배기 속도는 비교예 1의 MBP(11)보다 고출력의 MBP(1)을 채용함으로써 비교예 1의 경우(특성 곡선(b1))보다도 향상된다. 그러나 대기압 부근 영역(A)에서는 MBP(1)의 배기 성능이 DRP(2)의 배기 성능으로 규제되기 때문에, 비교예 2의 배기 속도는 비교예 1보다는 향상되지만, MBP(1)의 배기 능력을 충분히 발휘하고 있다고는 볼 수 없다. 중진공 영역(C)에서의 비교예 2의 배기 속도 특성은, 펌프부가 동일하기 때문에 비교예 1의 경우와 마찬가지로 된다.

이에 반해 도 4a의 특성 곡선(d1)으로 나타낸 것처럼 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)에서는, 비교예 1의 MBP(11)보다 고출력의 MBP(1)을 채용함으로써, 저진공 영역(B)에서의 배기 속도가 상기 비교예 1(특성 곡선(b1))보다 향상되어 비교예 2(특성 곡선(c1))의 경우와 동등해진다. 또한 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)에서는 체크 밸브(3) 및 분기 배관(70)이 설치되어 있기 때문에, MBP(1)의 배기 성능이 DRP(2)의 배기 성능으로 규제되지 않는다. 따라서 본 실시형태에서의 대기압 부근 영역(A)에서의 배기 성능은 비교예 2의 경우(특성 곡선(c1))보다 향상된다.

저진공 영역(B) 및 중진공 영역(C)에서의 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)의 배기 속도 특성은, MBP가 동일하기 때문에 비교예 2의 경우와 마찬가지로 된다.

도 4b에 도시한 것처럼, LC(20)의 압력 추이는 진공 배기 장치의 배기 성능에 대응한다. 따라서 저진공 영역(B) 및 중진공 영역(C)에서, 비교예 2의 특성 곡선(c2)와 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)의 특성 곡선(d2)는 평행이 된다. 또한 중진공 영역(C)에서, 비교예 1의 특성 곡선(b2)와 비교예 2의 특성 곡선(c2)와 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)의 특성 곡선(d2)는 평행이 된다.

비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102)는 비교예 1에 관한 진공 배기 장치(101)보다도 대기압 및 대기압 부근 영역(A) 및 저진공 영역(B)에서의 배기 성능이 우수하기 때문에, 저진공 영역(B)에 도달하기까지의 시간 및 중진공 영역(C)에 도달하기까지의 시간이 각각 짧다. 또 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)는 비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102)보다도, 대기압 부근 영역(A)에서의 배기 성능이 우수하기 때문에 저진공 영역(B)에 도달하기까지의 시간이 짧다.

따라서, 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100), 비교예 1에 관한 진공 배기 장치(101), 비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102) 중 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)가 중진공 영역(C)로 설정되는 목표 진공도에 가장 단시간에 도달할 수 있다. 아울러 비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102)에 의하면, 비교예 1에 관한 진공 배기 장치(101)보다 상기 목표 진공도에 단시간에 도달할 수 있다.

이와 같이 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)에서는, 비교예 1의 MBP(11)보다 고출력의 MBP(1)가 채용되어 있기 때문에 저진공 영역(B) 및 대기압 부근 영역(A)에서 비교예 1의 경우보다 높은 배기 속도를 실현할 수 있다. 또한 체크 밸브(3) 및 분기 배관(70)을 마련함으로써 대기압 부근 영역(A)에서 비교예 2에 관한 진공 배기 장치(102)보다 높은 배기 속도를 실현할 수 있다.

따라서, 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)에서는 저진공 영역(B) 및 대기압 부근 영역(A)에서 MBP(1)의 배기 능력을 충분히 발휘할 수 있다고 볼 수 있다.

이상과 같이 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)에 의하면, MBP(1)의 모터를 대출력으로 함과 동시에 체크 밸브(3) 및 분기 배관(70)을 설치함으로써, 대기압 부근에서도 주펌프의 배기 속도가 보조 펌프의 배기 속도로 규제되지 않아 대기압부 및 저진공 영역의 배기 속도를 향상시킬 수 있다. 따라서 MBP(1) 및 DRP(2)의 구성 변경을 최소화하면서도 대기압 부근 영역(A) 및 저진공 영역(B)에서의 배기 성능을 향상시키고, 그 결과 단시간에 LC(20)를 목표 진공도에 도달시킬 수 있다.

상기 실시형태 1에서, 분기 배관(70)을 DRP(2)의 배기 배관(60)에 종단시키지 않고 이 분기 배관(70)을 개별적인 배기 배관으로 할 수도 있다.

<실시형태 2>

도 5는 본 발명의 실시형태 2에 관한 진공 배기 장치의 구성을 설명하는 모식도로서, 도 1과 마찬가지의 것에는 같은 부호를 붙였다. 이 실시형태 2에 관한 진공 배기 장치(200)는 2개의 펌프(MBP)(21a),(21b)를 병렬로 배치한 주펌프(21)와, 보조 펌프(2)와, 체크 밸브(3)를 구비하고 있다. 즉, 실시형태 2에 관한 진공 배기 장치(200)는 상기 실시형태 1에 관한 진공 배기 장치(100)(도 1 참조)에서 하나의 MBP로 이루어진 주펌프(1)를, 병렬로 배치한 2개의 MBP(21a),(21b)에 의해 구성한 것이다.

이 진공 배기 장치(200)에서는 복수의 펌프를 병렬로 배치하여 주펌프가 구성되어 있기 때문에, 그 주펌프를 구성하는 개개의 펌프의 모터를 고출력으로 하지 않아도 주펌프 전체의 용량을 크게 할 수 있다.

즉, 이 실시형태 2에서는 최대 배기 속도에 대한 모터의 최대 동력(단위:W)의 비율이 5W/(㎥/h) 미만이지만 합하여 5W/(㎥/h) 이상이 되는 2개의 MBP를 병렬로 배치함으로써 고출력의 주펌프(21)를 실현하고 있다.

이상과 같이 실시형태 2에 관한 진공 배기 장치(200)에 의하면, 복수의 MBP가 병렬로 배치된 고출력의 주펌프(21)를 채용함으로써, 상기 실시형태 1과 마찬가지로 대기압 부근 영역(A) 및 저진공 영역(B)에서의 배기 성능을 향상시키고, 그 결과 단시간에 LC(20)를 목표의 진공도에 도달시킬 수 있다.

주펌프를 병렬로 배치한 3 이상의 펌프에 의해 구성하거나, 보조 펌프를 여러 대 병렬로 배치하거나, 또는 주펌프와 보조 펌프를 각각 여러 대 병렬로 배치할 수도 있다. 또 주펌프를 구성하는 펌프마다 LC(20)와의 사이의 배관 및 게이트 밸브를 설치할 수도 있다. 또한 주펌프를 구성하는 펌프별로 체크 밸브 및 분기 배관을 설치할 수도 있다.

<산업상 이용 가능성>

본 발명에 의하면, 주펌프 및 보조 펌프의 구성 변경을 최소화하면서도 목표 진공도까지의 배기 시간을 단축할 수 있는 진공 배기 장치를 제공할 수 있다.

1 주펌프(MBP)
2 보조 펌프(DRP)
3 체크 밸브
20 챔버(LC)
21 주펌프
21a,21b MBP
30 게이트 밸브
40,50,60,70 배관
100,200 진공 배기 장치

Claims

주펌프;
상기 주펌프에 직렬로 접속된 보조 펌프;
상기 주펌프의 배기구 및 상기 보조 펌프의 흡기구 사이를 접속하는 펌프간 배관;을 구비한 진공 배기 장치로서,
상기 주펌프는 메카니컬 부스터 펌프를 포함하고;
상기 주펌프의 최대 배기 속도에 대한 상기 주펌프의 모터의 최대 동력의 비율이 5W/(㎥/h) 이상이고;
상기 펌프간 배관에는, 그 도중에서 분기된 분기 배관이 설치되고;
상기 분기 배관의 도중에는, 상기 펌프간 배관내의 가스를 도피시켜 그 역류를 방지하는 체크 밸브가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
제1항에 있어서,
상기 주펌프가, 병렬로 배치된 복수의 상기 메카니컬 부스터 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
제1항에 있어서,
상기 분기 배관이 상기 보조 펌프의 배기 배관에 종단(終端)되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 주펌프를 대기압으로 운전했을 때 상기 체크 밸브의 기체 유량의 압력 손실이 1OOOOPa 이하인 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.