JP3763193B2 - 多段式真空ポンプ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、多段式真空ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、複数の単段真空ポンプを複数段に構成した多段式真空ポンプとして特開平7−305689号公報に示されたごときものがある。これは、吸気口及び排気口を備え内部に該吸気口及び該排気口が連通するポンプ室を形成するケーシングとポンプ室内に配置され回転駆動することにより吸気口側の流体を排気口側に圧送可能なロータユニットとを備える複数の単段真空ポンプを備え、隣り合う単段ポンプの吸気口と排気口とを導管により一列に直列接続し、一端に位置する単段真空ポンプの吸気口を真空室に連通させ、他端に位置する単段真空ポンプの排気口を大気開放してなる多段式真空ポンプである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記説明した従来の多段式真空ポンプは、単段真空ポンプを一列に直列接続してなるので、同一性能の単段真空ポンプを使用して排気流量を増加させるためには、各単段真空ポンプのロータユニットの回転数を高くする方法が考えられる。
【0004】
しかしながら、ポンプの回転数の上昇には限界があり、所定の排気流量を実現することができないことが起こり得るばかりでなく、仮に所定の排気流量を実現できたとしても、高速回転が原因でポンプの寿命を著しく低下させる恐れがある。
【0005】
ゆえに、本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、多段式真空ポンプにおいて、ポンプの寿命を低下させることなく所定の排気流量を確保することを技術的課題とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記した技術的課題を解決するためになされた請求項1の発明は、吸気口及び排気口を備え内部に該吸気口及び該排気口が連通するポンプ室を形成するケーシングと前記ポンプ室内に配置され回転駆動することにより前記吸気口側の流体を前記排気口側に圧送可能なロータユニットとを備える複数の単段真空ポンプを備え、隣り合う前記単段真空ポンプの吸気口と排気口とを接続して複数段に構成し、一端に位置する単段真空ポンプの吸気口を真空室に連通させ、他端に位置する単段真空ポンプの排気口を大気開放してなる多段式真空ポンプにおいて、真空室側から少なくとも1段目は、単段ポンプを複数個並列に配置し、単段真空ポンプを複数個並列に配置した段より大気側の各段は、一つの単段真空ポンプが直列に接続されていることを特徴とする多段式真空ポンプとしたことである。
【0007】
これによれば、単段真空ポンプを複数段で構成した多段式真空ポンプにおいて、真空室側から少なくとも1段目の単段ポンプを複数個並列に配置したので、多段式真空ポンプを駆動した際に、真空室内の流体は複数個並列に配置された1段目のポンプのそれぞれから排気されるものである。
【0008】
従来の多段式真空ポンプにおいて、各段のポンプの掃気容量が同一の場合、各段における真空ポンプの断熱圧縮熱量を均一にするため、真空室側に近い方の段のポンプの回転数を大きく、大気側に近い方の段のポンプの回転数を小さくする必要がある。このため排気流量を大きくすると、真空室側に近い段のポンプの回転数は極めて大きい値に設定しなければならず、ポンプの性能上実現不可能な場合もあり得、またかりに実現されたとしてもポンプの寿命を著しく低下させてしまう。これに対し、本発明では、真空側から少なくとも1段目の単段ポンプを複数個並列に配置しているので、並列配置された段における複数のポンプ全体で所定の排気流量を確保すればよく、相対的に1個あたりのポンプにおける確保すべき排気流量を小さくすることができ、並列配置された段におけるポンプの回転数を小さくすることができる。従って、ポンプの寿命を低下させずに且つ確実に充分な排気流量を得ることができるものである。
【0009】
また、上記技術的課題を解決するにあたり、請求項2の発明のように、
同一段において並列配置した複数の単段ポンプは、それぞれ同一の掃気容積を有することが好ましい。
【0010】
これによれば、並列配置した複数の単段ポンプはそれぞれ同一掃気容積であり、ポンプの大きさが同じであるので、レイアウトし易く、またコンパクトな配列が可能となるものである。
【0011】
また、請求項3の発明は、
同一段において並列配置した複数の単段ポンプの前記ロータユニットは、それぞれ同一の回転数に制御されることを特徴とする多段式真空ポンプとしたことである。
【0012】
これによれば、並列配置した複数の単段ポンプのロータユニットは同一回転数に制御されるので、これらを駆動する駆動源にかかる負荷が小さくなり、ポンプ全体の消費電力を節約することができるものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0014】
(第1実施形態例)
図1は、本発明の第1実施形態例である多段式真空ポンプの概略図である。図に示すように、本例における多段式真空ポンプは、5個の単段真空ポンプ(第1−1ポンプ13a、第1−2ポンプ13b、第2ポンプ14、第3ポンプ15、第4ポンプ16)を備える4段の多段式真空ポンプであり、一端に位置する第1−1ポンプ13a及び第1−2ポンプ13bの吸気口に連通する導管17a及び17bを真空室(図示せず)に連通させ、他端に位置する第4ポンプ16の排気口に連通する導管21を大気開放してなり、真空室側から1段目の第1−1ポンプ13a、第1−2ポンプ13bを2個並列に配置したものである。
【0015】
第1−1ポンプ13a、第2ポンプ14、第3ポンプ15、第4ポンプ16の詳細構成を図3に示す。図3において、真空ポンプは、吸気口11及び排気口12を備え内部に該吸気口11及び該排気口12が連通するポンプ室31を形成するケーシング10と、ポンプ室31内に配置された駆動ロータ8及び従動ロータ9とよりなるロータユニット8、9と、駆動ロータ8に駆動軸1で連結した駆動側タイミングギア4及び従動ロータ9に従動軸2で連結した従動側タイミングギア5とよりなるタイミングギアユニット4、5と、駆動側タイミングギア4の外周に形成された歯部に噛合して配置された第1ギア6と、第1ギア6にモータ軸3で連結された駆動モータ7とを備えるものである。
【0016】
駆動ロータ8及び従動ロータ9よりなるロータユニット8、9は、該駆動ロータ8及び従動ロータ9がそれぞれポンプ室31内で同期回転することで吸気口11側の流体を排気口12側に圧送するためのものである。
【0017】
駆動側タイミングギア4及び従動側タイミングギア5よりなるタイミングギアユニット4、5は、駆動ロータ8及び従動ロータ9をそれぞれ所定の位相差を保った状態で同回転速度で逆回転させるためのものである。
【0018】
また、図より明らかなように、ポンプ室31は、図示左側に吸気口11が、図示右側に排気口12が連通された断面略楕円状を呈している。略楕円状のポンプ室31内に繭型の駆動ロータ8及び従動ロータ9が配置され、この駆動ロータ8及び従同ロータ9は互いに90°位相をずらせた状態とされている。
【0019】
上記構成の真空ポンプにおいて、駆動モータ7が駆動し、モータ軸3が回転駆動する。すると、この回転駆動力はモータ軸3に連結された第1ギア6に伝達され、第1ギア6が回転駆動する。第1ギア6は、外周に形成された歯部で駆動側タイミングギア4に噛合わされているので、回転駆動力はこの駆動側タイミングギア4に伝達され、駆動側タイミングギア4が第1ギアとは逆方向に回転駆動する。駆動側タイミングギア4が回転駆動することにより、該駆動側タイミングギア4に連結された駆動軸1及び、該駆動軸1に連結固定された駆動ロータ8に駆動力が伝達され、これらは一体に回転する。一方、駆動側タイミングギア4は、外周に形成された歯部で従動側タイミングギア5に噛合わされているので、回転駆動力は駆動側タイミングギア4から従動側タイミングギア5にも伝達され、従動側タイミングギア5が駆動側タイミングギア4とは逆方向に回転駆動する。従動側タイミングギア5が回転駆動することにより、該従動側タイミングギア5に連結された従動軸2及び、該従動軸2に連結固定された従動ロータ9に駆動力が伝達され、これらは一体に回転する。このため、駆動ロータ8及び従動ロータ9は互いに90°の位相差を保ちながら逆方向に同速度で回転し、吸気口11側の流体がロータにより掻き出され、排気口12側に圧送されるものである。
【0020】
尚、第1−2ポンプ13bの構成は、基本的には上記で説明した単段真空ポンプと同じであるが、このポンプ13b自体に駆動モータは備えておらず、第1−1ポンプ13aの駆動モータ7により駆動される第1ギア6の回転駆動力を第2ギア23で受け、この第2ギアと真空ポンプ13bの駆動側タイミングギア4bとを噛み合わすことによって駆動力を得るものである。このように構成することによって、第1−1ポンプ13a及び第1−2ポンプ13b内のロータユニットの回転数は、それぞれ同一の回転数になるように第1ギア6と第2ギア23との噛合いで制御されるものである。
【0021】
次に、上記構成の各ポンプを備えた多段式真空ポンプ全体の配置構成について図1に基づいて説明する。図示せぬ真空室は導管17aにより第1−1ポンプ13aの吸気口に連通されるとともに、導管17bにより第1−2ポンプ13bの吸気口にも連通される。第1−1ポンプ13aの排気口に連通する導管18a及び第1−2ポンプ13bの排気口に連通する導管18bとはその下流側で合流し、導管18として第2ポンプ14の吸気口に連通する。第2ポンプ14の排気口と第3ポンプ15の吸気口は導管19により連通され、第3ポンプ15の排気口と第4ポンプ16の吸気口は導管20により連通されている。そして、第4ポンプ16の排気口は導管21で大気に開放されているものである。
【0022】
また、第1段目において並列配置した第1−1ポンプ13aと第1−2ポンプ13bとは同じ単段真空ポンプ、つまり同じ掃気容量を持ったポンプを使用する。
【0023】
上記構成の多段式真空ポンプにおいて、各ポンプを駆動させると、各ポンプのロータが所定の回転数で回転する。そして、図示せぬ真空室内の流体はまず第1−1ポンプ13aにより導管17aから導管18aに入るとともに、第1−2ポンプ13bにより導管17bから導管18bに入る。導管18a及び導管18bに導入された流体はその下流で合流して導管18に入り、さらに第2ポンプ14によって導管19へ、導管19から第3ポンプ15によって導管20に、導管20から第4ポンプによって導管21へと順次圧送され、導管21から大気に放出される。このようにして順次真空室内の流体が外部に運び込まれ、真空室内を真空にすることができるものである。
【0024】
一般的に、多段真空ポンプにおいて、各段のポンプの掃気容積が等しい場合、各段のポンプにおける仕事量、即ち断熱圧縮熱量をできるだけ均一にするため、真空室に近い側のポンプ程回転数を大きくする必要がある。即ち、各段のポンプの回転数を真空室側に近い段からN1 、N2 、N3 、N4 、・・・とすると、N1 >N2 >N3 >N4 >・・・という関係となる。このため真空室に最も近い第1段目のポンプの回転数N1 が最も大きくなる。ここで、多段式真空ポンプの排気流量を例えば2倍にしようとすると、各段のポンプの回転数を約2倍(厳密にいうと2倍以上?)にしなければならない。従って、第1段目のポンプの回転数は2N1 となり、極めて高い回転数となる。この極めて高い回転数は、ポンプの性能上実現できない場合もあり、また仮に実現できたとしても、ポンプの寿命を著しく低下させることにもなる。
【0025】
一方、本例では、最も真空室側寄りである第1段目のポンプを第1−1ポンプ13aと第1−2ポンプ13bとで並列に配置しているので、2つのポンプで所定の排気流量を確保すればよく、相対的に1個あたりのポンプにおける確保すべき排気流量を半分にすることができ、各ポンプの回転数も半分でよいことになる。つまり、各段のポンプの回転数を真空室側に近い段からN1 、N2 、N3 、N4 とすると、2N1 >N2 >N3 >N4 という関係となり、第1段目のポンプ、つまり第1−1ポンプ13a及び第1−2ポンプ13bの回転数はそれぞれ従来の半分の回転数でよいことになる。従って、排気流量を例えば2倍にしても、第1段目のポンプ(第1−1ポンプ13a及び第1−2ポンプ13b)の回転数はそれほど高回転にしなくてもよく、充分な排気流量を確保できるとともに、高速回転によるポンプの寿命の低下も起こらないものである。
【0026】
以上説明したように、本例では、吸気口11及び排気口12を備え内部に該吸気口11及び該排気口12が連通するポンプ室31を形成するケーシング10とポンプ室31内に配置され回転駆動することにより吸気口11側の流体を排気口12側に圧送可能なロータユニット8、9とを備える複数の単段真空ポンプを備え、隣り合う単段ポンプの吸気口と排気口とを導管を介して接続して複数段とし、一端に位置する単段真空ポンプの吸気口を真空室に連通させ、他端に位置する単段真空ポンプの排気口を大気開放してなる多段式真空ポンプにおいて、真空室側から1段目の第1−1ポンプ13a及び第1−2ポンプ13bを並列に配置した多段式真空ポンプとしたので、並列配置された1段目におけるポンプにおいて1個のポンプあたりにおける排気流量を少なくすることができ、このためポンプの回転数を小さくすることができる。従って、ポンプの寿命を低下させずに且つ確実に充分な排気速度を得ることができるものである。
【0027】
また、同一段において並列配置した複数の単段ポンプは、それぞれ同一の掃気容積を有する構成としたので、同じ大きさのポンプで構成可能となり、レイアウト(配置)し易く、コンパクト化を図ることができるものである。
【0028】
また、同一段において並列配置した複数の単段ポンプの前記ロータユニットは、それぞれ同一の回転数に制御されるようにしたので、これらのポンプを駆動させる例えばモータ等に係る負荷が小さくなり、消費電力が小さくなり、電力を節約することができるものである。
【0029】
(第2実施形態例)
次に、本発明の第2実施形態例について説明する。本例は、多段式真空ポンプにおいて、真空室側寄りの第1段目のポンプと第2段目のポンプとを並列配置した構成であり、その他の構成は上記第1実施形態例と同じである。以下、相違点を中心に説明する。
【0030】
図2は、本発明の第2実施形態例である多段式真空ポンプの概略図である。図に示すように、本例は真空ポンプを6個用い、並列配置及び直列配置を組み合わせた構造である。図示せぬ真空室は導管17aにより第1−1ポンプ13aの吸気口に連通されるとともに、導管17bにより第1−2ポンプ13bの吸気口にも連通される。第1−1ポンプ13aの排気口と第2−1ポンプ14aの吸気口は導管18aにより連通され、また第1−2ポンプ13bの排気口と第2−2ポンプ14bの吸気口は導管18bにより連通される。第2−1ポンプ14aの排気口に連通する導管19a及び第2−2ポンプ14bの排気口に連通する導管19bとはその下流側で合流し、導管19として第3ポンプ15の吸気口に連通する。第3ポンプの排気口と第4ポンプの吸気口は導管20により連通され、第4ポンプの排気口は導管21で大気に開放されているものである。
【0031】
その他の各ポンプの詳細な構造は上記第1実施形態例で説明したものと同一であるので、その説明を省略する。
【0032】
上記構成の多段式真空ポンプにおいて、各ポンプを駆動させると、各ポンプのロータが所定の回転数で回転する。そして、図示せぬ真空室内の流体はまず第1−1ポンプ13aにより導管17aから導管18aに入るとともに、第1−2ポンプ13bにより導管17bから導管18bに入る。導管18a内の流体は第2−1ポンプ14aにより導管19aに、導管18b内の流体は第2−2ポンプ14bにより導管19bに導入される。導管19a及び導管19bに導入された流体はその下流で合流して導管19に入り、さらに第3ポンプ15によって導管20へ、導管20から第4ポンプ16によって導管21に、導管21から大気に放出される。このようにして順次真空室内の流体が外部に運び込まれ、真空室内を真空にすることができるものである。
【0033】
本例は、排気流量が上記第1実施形態例よりも大きい場合に有効である。つまり、上記第1実施形態例において、各段のポンプの回転数を、真空室に近い側からN1 、N2 、N3 、N4 とすると、2N1 >N2 >N3 >N4 という関係となる。通常第1段目のポンプの回転数と第2段目のポンプの回転数との減速比は0.5以上であるので、N2 >0.5N1 となり、2段目のポンプの回転数N2 が最も大きくなる。ここで、排気流量を例えば3倍にしようとすると、2段目のポンプの回転数は3N2 となり、極めて高い回転数となる。この極めて高い回転数は、ポンプの性能上実現できない場合もあり、また仮に実現できたとしても、ポンプの寿命を著しく低下させることにもなる。
【0034】
一方、本例では、第1段目のポンプを第1−1ポンプ13aと第1−2ポンプ13bとで並列に配置し、かつ第2段目のポンプも第2−1ポンプ14aと第2−2ポンプ14bとで並列に配置しているので、例えば各段のポンプの回転数を真空室側に近い段からN1 、N2 、N3 、N4 とすると、2N1 >2N2 >N3 >N4 という関係となり、第1段目及び第2段目のポンプの回転数は従来の半分の回転数でよいことになる。従って、排気流量を例え3倍にしても、第1段目のポンプの回転数は1.5N1 、第2段目のポンプの回転数は1.5N2 と、それほど高回転にしなくてもよく、充分な排気流量を確保できるとともに、ポンプの寿命を低下させることもないものである。
【0035】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるべきものではない。例えば、上記実施形態例では4段に構成した多段真空ポンプについて説明したが、5段でも、6段でも、必要に応じて段数を変化させてもさしつかえない。また、本例では真空室側から1段目のポンプを並列配置したもの及び1段目と2段目のポンプを並列配置したものを説明したが、使用すべき排気流量に応じて並列配置する段数を適宜決定すればよい。また、本例では並列配置すべき段数において、ポンプを2個並列配置したものを説明したが、ポンプの性能、又は排気流量に応じて3個並列に配置するものでも、あるいはそれ以上のポンプを並列に配置するものであってもよい。本発明は、排気流量を増加させる手段として真空室側から少なくとも1段目のポンプを複数個並列配置させたものであり、この趣旨を逸脱しない限りにおいて、如何なる態様も適用可能である。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ポンプの寿命を低下させずに且つ確実に充分な排気流量を得ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態例における多段式真空ポンプの配置構成を示す図である。
【図2】本発明の第2実施形態例における多段式真空ポンプの配置構成を示す図である。
【図3】本発明の第1及び第2実施形態例における各真空ポンプの構造を示す概略図である。
【符号の説明】
1・・・駆動軸
2・・・従動軸
3・・・モータ軸
4・・・駆動側タイミングギア
5・・・従動側タイミングギア
6・・・第1ギア
7・・・駆動モータ
8・・・駆動ロータ(ロータユニット)
9・・・従動ロータ(ロータユニット)
10・・・ケーシング
11・・・吸気口
12・・・排気口
13a・・・第1−1ポンプ、13b・・・第1−2ポンプ
14・・・第2ポンプ、14a・・・第2−1ポンプ、14b・・・第2−2ポンプ
15・・・第3ポンプ
16・・・第4ポンプ
Claims (3)
- 吸気口及び排気口を備え内部に該吸気口及び該排気口が連通するポンプ室を形成するケーシングと前記ポンプ室内に配置され回転駆動することにより前記吸気口側の流体を前記排気口側に圧送可能なロータユニットとを備える複数の単段真空ポンプを備え、隣り合う前記単段真空ポンプの吸気口と排気口とを接続して複数段に構成し、一端に位置する単段真空ポンプの吸気口を真空室に連通させ、他端に位置する単段真空ポンプの排気口を大気開放してなる多段式真空ポンプにおいて、
真空室側から少なくとも1段目は、単段真空ポンプを複数個並列に配置し、単段真空ポンプを複数個並列に配置した段より大気側の各段は、一つの単段真空ポンプが直列に接続されていることを特徴とする多段式真空ポンプ。 - 請求項1において、
同一段において並列配置した複数の単段真空ポンプは、それぞれ同一の掃気容積を有することを特徴とする多段式真空ポンプ。 - 請求項1又は2において、
同一段において並列配置した複数の単段ポンプの前記ロータユニットは、それぞれ同一の回転数に制御されることを特徴とする多段式真空ポンプ。
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