JPH01216092A - 真空ポンプ装置 - Google Patents
真空ポンプ装置Info
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- JPH01216092A JPH01216092A JP4168288A JP4168288A JPH01216092A JP H01216092 A JPH01216092 A JP H01216092A JP 4168288 A JP4168288 A JP 4168288A JP 4168288 A JP4168288 A JP 4168288A JP H01216092 A JPH01216092 A JP H01216092A
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- pump
- mechanical booster
- booster pump
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- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
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- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
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- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
- F04C18/3442—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation the surfaces of the inner and outer member, forming the inlet and outlet opening
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、各種の真空機器分野で利用される真空ポンプ
装置に関するものである。
装置に関するものである。
［従来の技術］
従来よりドライ真空を得るための簡便な手法として、回
転翼形ポンプを油を用いずに使用することが行なわれて
いる（厳密には、ガスの排気流路中に油を用いていない
もの）。しかし、シールの役割を担う油を用いないため
、このものは到達真空度を高くできない欠点があり、例
えば通常の油回転真空ポンプで１０’ Ｔｏｒｒ 〜１
０″’ Ｔｏｒｒのものが、ドライで用いるとＩＴｏｒ
ｒ〜０．ＩＴｏｒｒにまで低下してしまう。そこで、こ
れを補足するためメカニカルブースタポンプ等を別置し
て付加し、両ポンプの協働で到達圧力を向上させるよう
に構成することが多い。′ また、油を用いた回転翼形ポンプに対してもメカニカル
ブースタポンプを連設して使用することがあり、この場
合もさらに高い到達真空度を得ることが可能である。
転翼形ポンプを油を用いずに使用することが行なわれて
いる（厳密には、ガスの排気流路中に油を用いていない
もの）。しかし、シールの役割を担う油を用いないため
、このものは到達真空度を高くできない欠点があり、例
えば通常の油回転真空ポンプで１０’ Ｔｏｒｒ 〜１
０″’ Ｔｏｒｒのものが、ドライで用いるとＩＴｏｒ
ｒ〜０．ＩＴｏｒｒにまで低下してしまう。そこで、こ
れを補足するためメカニカルブースタポンプ等を別置し
て付加し、両ポンプの協働で到達圧力を向上させるよう
に構成することが多い。′ また、油を用いた回転翼形ポンプに対してもメカニカル
ブースタポンプを連設して使用することがあり、この場
合もさらに高い到達真空度を得ることが可能である。
［発明が解決しようとする課題］
このように、メカニカルブースタポンプを回転翼形ポン
プに連設して使用するケースは非常に多い。・（力）る
に、従来ではこれら二台の真空ポンプを別途設置する必
要があるため、構成されるポンプ装置全体の占有スペー
スが大きくなる欠点があり、取扱い上も好ましくなかっ
た。
プに連設して使用するケースは非常に多い。・（力）る
に、従来ではこれら二台の真空ポンプを別途設置する必
要があるため、構成されるポンプ装置全体の占有スペー
スが大きくなる欠点があり、取扱い上も好ましくなかっ
た。
本発明は、このような課題を解決し、コンパクトな構成
で到達圧力の向上を図った真空ポンプ装置を実現するこ
とを目的としている。
で到達圧力の向上を図った真空ポンプ装置を実現するこ
とを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような構
成を採用したものである。
成を採用したものである。
すなわち、本発明の真空ポンプ装置は、共通のポンプケ
ース内に、回転翼形ポンプとメカニカルブースタポンプ
とを一体に組込んで構成したことを特徴としており、さ
らに請求項２では、回転翼形ポンプの駆動軸とメカニカ
ルブースタポンプの従動軸とを、クラッチ装置を介して
断接切替自在に接続していることを特徴としている。
ース内に、回転翼形ポンプとメカニカルブースタポンプ
とを一体に組込んで構成したことを特徴としており、さ
らに請求項２では、回転翼形ポンプの駆動軸とメカニカ
ルブースタポンプの従動軸とを、クラッチ装置を介して
断接切替自在に接続していることを特徴としている。
［作用］
このような構成により、回転翼形ポンプとメカニカルブ
ースタポンプとをポンプケースに一体に組込むようにす
れば、既存のポンプ二台を別途に配置して真空ポンプ装
置を構成するよりも構造的なコンパクト化を図ることが
できるので、装置全体の占有スペースが削減され、取扱
いも一体に行ない得る。
ースタポンプとをポンプケースに一体に組込むようにす
れば、既存のポンプ二台を別途に配置して真空ポンプ装
置を構成するよりも構造的なコンパクト化を図ることが
できるので、装置全体の占有スペースが削減され、取扱
いも一体に行ない得る。
［実施例］
以下、請求項１の発明に係る一実施例について第１図お
よび第２図を参照して説明する。 この実施例の真空ポ
ンプ装置は、共通のポンプケース１内に、回転翼形ポン
プ２とメカニカルブースタポンプ３とを一体に組込んで
構成し、吸気したガスを両ポンプ２．３で直列に排気す
るようにしている。
よび第２図を参照して説明する。 この実施例の真空ポ
ンプ装置は、共通のポンプケース１内に、回転翼形ポン
プ２とメカニカルブースタポンプ３とを一体に組込んで
構成し、吸気したガスを両ポンプ２．３で直列に排気す
るようにしている。
具体的に説明すると、回転翼形ポンプ２はドライポンプ
として用いられており、二連形のもので、ポンプケース
１に固着して１段固定子２１および２段固定子２２を配
設するとともに、両固定子２１．２２の各開口端を、前
壁２３、中間壁２４、後壁２５によってそれぞれ蓋着し
、ポンプ室Ｓ７、Ｓ２を形成している。そして、これら
のポンプ室３１％Ｓ２内に、共通の駆動軸２６に同期回
転可能に軸着されてなる１段ロータ２７とこれより小径
の２段ロータ２８とを、それらの偏心位置にそれぞれ収
容している。さらに、前記駆動軸２６の一端を前記前壁
２３を貫通させ、カップリング４１を介してポンプケー
ス側壁１１に付設したモータ４の出力軸４２に接続して
いる。
として用いられており、二連形のもので、ポンプケース
１に固着して１段固定子２１および２段固定子２２を配
設するとともに、両固定子２１．２２の各開口端を、前
壁２３、中間壁２４、後壁２５によってそれぞれ蓋着し
、ポンプ室Ｓ７、Ｓ２を形成している。そして、これら
のポンプ室３１％Ｓ２内に、共通の駆動軸２６に同期回
転可能に軸着されてなる１段ロータ２７とこれより小径
の２段ロータ２８とを、それらの偏心位置にそれぞれ収
容している。さらに、前記駆動軸２６の一端を前記前壁
２３を貫通させ、カップリング４１を介してポンプケー
ス側壁１１に付設したモータ４の出力軸４２に接続して
いる。
前記両ロータ２７．２８は、それぞれ軸心から逆向きに
二枚の翼板２７ａ、２８ａを突没自在に突出させており
、これら両翼板２７ａ、２８ａの各先端を前記１段固定
子２１および前記２段固定子２２のそれぞれの内周面に
摺接させている。そして、これらのロータ２７．２８の
駆動回転下に、翼板２７ ａ ｓ ２８ ａで仕切られ
たポンプ室Ｓ１、Ｓ２の容積を増減させて周知のポンプ
機能を営ませるようにしている。この際、前記中間壁２
４には１段ロータ２７のポンプ室Ｓ１から排気されたガ
スを２段ロータ２８のポンプ室Ｓ２内に導入するための
図示しない排気連絡通路を開設するとともに、この回転
翼形ポンプ２と後述のメカニカルブースタポンプ３とを
仕切る隔壁１２に、連通孔１３を開口させている。そし
て、この連通孔１３より吸気したガスを、先ず１段ロー
タ２７で圧縮排気し、引続いて２段ロータ２８で圧縮排
気するようにしている。なお、２段ロータ２８で排気さ
れたガスは、２段固定子２２外壁に設けた排気弁２９か
ら、ポンプケース１に付設した後カバー１４内の排気空
間に排気され、しかる後この後カバー１４に取着した排
気口１５より外部に放出される。
二枚の翼板２７ａ、２８ａを突没自在に突出させており
、これら両翼板２７ａ、２８ａの各先端を前記１段固定
子２１および前記２段固定子２２のそれぞれの内周面に
摺接させている。そして、これらのロータ２７．２８の
駆動回転下に、翼板２７ ａ ｓ ２８ ａで仕切られ
たポンプ室Ｓ１、Ｓ２の容積を増減させて周知のポンプ
機能を営ませるようにしている。この際、前記中間壁２
４には１段ロータ２７のポンプ室Ｓ１から排気されたガ
スを２段ロータ２８のポンプ室Ｓ２内に導入するための
図示しない排気連絡通路を開設するとともに、この回転
翼形ポンプ２と後述のメカニカルブースタポンプ３とを
仕切る隔壁１２に、連通孔１３を開口させている。そし
て、この連通孔１３より吸気したガスを、先ず１段ロー
タ２７で圧縮排気し、引続いて２段ロータ２８で圧縮排
気するようにしている。なお、２段ロータ２８で排気さ
れたガスは、２段固定子２２外壁に設けた排気弁２９か
ら、ポンプケース１に付設した後カバー１４内の排気空
間に排気され、しかる後この後カバー１４に取着した排
気口１５より外部に放出される。
一方、メカニカルブースタポンプ３は前記隔壁１２とポ
ンプケース１の外壁とにより形成されるステータの両開
口端に前壁３１と後壁３２を蓋着してポンプ室Ｓ、を閉
成し、このポンプ室Ｓ３内に、それぞれ第１従動軸３３
ａと第２従動軸３３ｂに軸着させてなる一対のルーツ形
ロータ３４ａ１３４ｂを収容するとともに、ポンプケー
ス１に吸気口１９を開設し、また、前記連通孔１３をこ
のポンプ３の排気口となしている。そして、前記両従動
軸３３ａ、３３ｂの他端に、互いに噛合させてなるタイ
ミングギヤ３５ａ、３５ｂを装着し、両ルーツ形ロータ
３４ａ、３４ｂを逆方向に同期回転させて周知のポンプ
機能を営ましめるようにしている。
ンプケース１の外壁とにより形成されるステータの両開
口端に前壁３１と後壁３２を蓋着してポンプ室Ｓ、を閉
成し、このポンプ室Ｓ３内に、それぞれ第１従動軸３３
ａと第２従動軸３３ｂに軸着させてなる一対のルーツ形
ロータ３４ａ１３４ｂを収容するとともに、ポンプケー
ス１に吸気口１９を開設し、また、前記連通孔１３をこ
のポンプ３の排気口となしている。そして、前記両従動
軸３３ａ、３３ｂの他端に、互いに噛合させてなるタイ
ミングギヤ３５ａ、３５ｂを装着し、両ルーツ形ロータ
３４ａ、３４ｂを逆方向に同期回転させて周知のポンプ
機能を営ましめるようにしている。
また、このメカニカルブースタポンプ３が前記モータ４
の駆動力を利用し前記回転翼形ポンプ２に連動して駆動
されるように、回転翼形ポンプ２の駆動軸２６の一端と
このメカニカルブースタポンプ３の第１従動軸３３ａの
一端とにそれぞれ駆動プーリ２６ａと従動プーリ３６ａ
を装着し、両プーリ２６ａ、３６ａにタイミングベルト
３７を張設して連動可能に連結している。
の駆動力を利用し前記回転翼形ポンプ２に連動して駆動
されるように、回転翼形ポンプ２の駆動軸２６の一端と
このメカニカルブースタポンプ３の第１従動軸３３ａの
一端とにそれぞれ駆動プーリ２６ａと従動プーリ３６ａ
を装着し、両プーリ２６ａ、３６ａにタイミングベルト
３７を張設して連動可能に連結している。
なお、１６は駆動軸２６および両従動軸３３ａ１３３ｂ
を回転可能に支承する軸受、１７はシールである。また
、ポンプケース１に付設したタイミングギヤケース１８
内ではギヤ潤滑のために油を使用しているが、前記シー
ル１７によって油がポンプ室Ｓ、内に漏洩することはな
い。１８ａは油面ゲージである。
を回転可能に支承する軸受、１７はシールである。また
、ポンプケース１に付設したタイミングギヤケース１８
内ではギヤ潤滑のために油を使用しているが、前記シー
ル１７によって油がポンプ室Ｓ、内に漏洩することはな
い。１８ａは油面ゲージである。
しかして、このポンプ装置を駆動すると、吸気口１９よ
り吸入したガスは先ずメカニカルブースタポンプ３で排
気され、引続いて回転翼形ポンプ２の１．２段ロータ２
７．２８で直列に圧縮排気されるため、回転翼形ポンプ
２に油を用いなくとも高い排気性能を発揮することがで
き、通常の油回転ポンプに近い到達真空度が得られる（
１０’Ｔ。
り吸入したガスは先ずメカニカルブースタポンプ３で排
気され、引続いて回転翼形ポンプ２の１．２段ロータ２
７．２８で直列に圧縮排気されるため、回転翼形ポンプ
２に油を用いなくとも高い排気性能を発揮することがで
き、通常の油回転ポンプに近い到達真空度が得られる（
１０’Ｔ。
ｒｒ−１０’ Ｔｏｒｒ程度）。そして、このものはポ
ンプケース１内に両ポンプ２．３を一体に組込んで構成
しているので、モータ４やポンプケース１等を共有させ
て全体を構造的にコンパクト化することができており、
配置するためのスペースが縮小される。また、このよう
なものであれば組立てや操作、取扱い等にも便利となる
。しかも、フォアポンプ側に回転翼形ポンプ２を配設し
ているので、図示の如く容易に大気放出することが可能
となっている。
ンプケース１内に両ポンプ２．３を一体に組込んで構成
しているので、モータ４やポンプケース１等を共有させ
て全体を構造的にコンパクト化することができており、
配置するためのスペースが縮小される。また、このよう
なものであれば組立てや操作、取扱い等にも便利となる
。しかも、フォアポンプ側に回転翼形ポンプ２を配設し
ているので、図示の如く容易に大気放出することが可能
となっている。
次に、請求項２の発明に係る一実施例について第３図お
よび第４図を参照して説明する。なお、この実施例のポ
ンプ装置は前述の実施例と概ね同一であって、共通する
部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
よび第４図を参照して説明する。なお、この実施例のポ
ンプ装置は前述の実施例と概ね同一であって、共通する
部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
このものは、回転翼形ポンプ２に油を用いる場合、ポン
プ室Ｓ４、ＳＳおよび後カバー１４内に形成される油槽
Ｏに油を貯溜する。そして、この油を両段のロータ２７
．２８によって両ポンプ室Ｓ４、ＳＳと前記油槽Ｏとの
間を循環して流通させつつ、メカニカルブースタポンプ
３から排気されてきたガスをこの油の流れに連行させて
排気するという周知のポンプ機能を営むものである。油
槽０に到達したガスは、排気口１５を通じて外部へ自然
放出される。
プ室Ｓ４、ＳＳおよび後カバー１４内に形成される油槽
Ｏに油を貯溜する。そして、この油を両段のロータ２７
．２８によって両ポンプ室Ｓ４、ＳＳと前記油槽Ｏとの
間を循環して流通させつつ、メカニカルブースタポンプ
３から排気されてきたガスをこの油の流れに連行させて
排気するという周知のポンプ機能を営むものである。油
槽０に到達したガスは、排気口１５を通じて外部へ自然
放出される。
このものはメカニカルブースタポンプ３の第１従動軸３
３ａにクラッチ装置６を軸着している。
３ａにクラッチ装置６を軸着している。
すなわち、このクラッチ装置６は二次側を前記従動軸３
３ａに接続し、−次側に、回転翼形ポンプ２の駆動軸２
６に軸着した駆動プーリ２６ａと対をなす従動プーリ３
６ａを軸着しており、両プーリ２６ａ、３６ａ間にタイ
ミングベルト３７を張設して、第１従動軸３３ａを第２
従動軸３３ｂとともに駆動軸２６へ断接切替自在に接続
している。
３ａに接続し、−次側に、回転翼形ポンプ２の駆動軸２
６に軸着した駆動プーリ２６ａと対をなす従動プーリ３
６ａを軸着しており、両プーリ２６ａ、３６ａ間にタイ
ミングベルト３７を張設して、第１従動軸３３ａを第２
従動軸３３ｂとともに駆動軸２６へ断接切替自在に接続
している。
そして、このものは始動初期に前記クラッチ装置６を切
離しておき、ポンプ装置がある程度定常運転に入ってか
ら該クラッチ装置６を接続するように操作される。
離しておき、ポンプ装置がある程度定常運転に入ってか
ら該クラッチ装置６を接続するように操作される。
しかして、このような構成のものであれば、前記実施例
と同様の作用効果が得られる。
と同様の作用効果が得られる。
以上、本発明の各実施例について説明したが、回転翼形
ポンプは二連形のものに限らず、連設しないものや二連
以上に連設したものであっても構わない。その他、装置
の断面形状を始め、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種
々変形が可能である。
ポンプは二連形のものに限らず、連設しないものや二連
以上に連設したものであっても構わない。その他、装置
の断面形状を始め、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種
々変形が可能である。
［発明の効果］
本発明は、以Ｈのような構成により、コンパクトな構成
で到達圧力の向上された真空ポンプ装置を提供すること
ができる。
で到達圧力の向上された真空ポンプ装置を提供すること
ができる。
第１図および第２図は請求項１記載の発明の一実施例を
示し、第１図はポンプ装置の側断面図、第２図は同正断
面図である。また、第３図および第４図は請求項２記載
の発明の一実施例を示し、第３図は第１図に対応する側
断面図、第４図は第２図に対応する正断面図である。 １・・・ポンプケース ２・・・回転翼形ポンプ ３・・・メカニカルブースタポンプ ６・・・クラッチ装置 ２６・・・駆動軸 ３３ａ、３３ｂ・−・従動軸
示し、第１図はポンプ装置の側断面図、第２図は同正断
面図である。また、第３図および第４図は請求項２記載
の発明の一実施例を示し、第３図は第１図に対応する側
断面図、第４図は第２図に対応する正断面図である。 １・・・ポンプケース ２・・・回転翼形ポンプ ３・・・メカニカルブースタポンプ ６・・・クラッチ装置 ２６・・・駆動軸 ３３ａ、３３ｂ・−・従動軸
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、共通のポンプケース内に、回転翼形ポンプとメカニ
カルブースタポンプとを一体に組込んで構成したことを
特徴とする真空ポンプ装置。 ２、回転翼形ポンプの駆動軸とメカニカルブースタポン
プの従動軸とを、クラッチ装置を介して断接切替自在に
接続していることを特徴とする請求項１記載の真空ポン
プ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63041682A JP2591023B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 真空ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63041682A JP2591023B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 真空ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01216092A true JPH01216092A (ja) | 1989-08-30 |
| JP2591023B2 JP2591023B2 (ja) | 1997-03-19 |
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ID=12615200
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591023B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211556A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
| WO2007088103A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-09 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wälzkolben-vakuumpumpe |
| CN102444564A (zh) * | 2011-11-21 | 2012-05-09 | 浙江飞越机电有限公司 | 一体式真空泵 |
| WO2018224409A1 (de) * | 2017-06-09 | 2018-12-13 | Leybold Gmbh | Trockenverdichtende vakuumpumpe |
| CN109340082A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-02-15 | 郑旺旺 | 一种适用于大型真空部件的抽气机组 |
-
1988
- 1988-02-24 JP JP63041682A patent/JP2591023B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211556A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
| WO2007088103A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-09 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wälzkolben-vakuumpumpe |
| CN102444564A (zh) * | 2011-11-21 | 2012-05-09 | 浙江飞越机电有限公司 | 一体式真空泵 |
| WO2018224409A1 (de) * | 2017-06-09 | 2018-12-13 | Leybold Gmbh | Trockenverdichtende vakuumpumpe |
| CN109340082A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-02-15 | 郑旺旺 | 一种适用于大型真空部件的抽气机组 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2591023B2 (ja) | 1997-03-19 |
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