JP3884101B2 - オイルフリースクロール真空ポンプ - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、両面にラップを植設した旋回スクロールを駆動して最終圧縮室から圧縮流体を吐出するダブルラップ式のオイルフリースクロール真空ポンプ、詳しくは、前記旋回スクロールの片面毎に圧縮流体を吐出する吐出通路とを備えたオイルフリースクロール真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、容器を真空にする技術は、真空ポンプを密閉容器の吸い出し口に連結し、空気及びその他の気体を該真空ポンプによって吸い出すことによって行われる。
低い真空圧力の排気系においては、１個の容器内に油回転ポンプを１個収納して構成されるが、高い真空圧力の排気系においては、油拡散ポンプと油回転ポンプとの組み合わせによるウエット系真空ポンプ装置が用いられている。
【０００３】
しかしながら、この装置はボイラ中にヒータにより加熱して蒸発した油の蒸気を吹き出し、この蒸気により拡散した気体を圧縮し、さらに油回転ポンプにより大気圧まで圧縮して外部に排出するものである。このウエット式排気系によると油蒸気により装置内に付着した油が再蒸発して真空容器内に逆流するという問題があり、コールドキャップ、バッフル、トラップ等を用いて冷却しているため、構成が複雑になり、また、塩素やフッソのような気体と油が反応して油が変質して回転抵抗が増し、能力が低下したり、保守点検がそれだけ面倒になる。
そのために、ドライ式が望まれ、昨今では真空ポンプとしてオイルフリー・スクロール式が注目されている。
【０００４】
さて、スクロール式真空ポンプは、固定・旋回スクロールを有し、旋回スクロールを自転させることなく固定スクロールに対して公転させることにより、前記両ラップ間に形成される密閉空間の容積を変化可能に構成している。
したがって、圧縮室として機能する前記密閉空間を形成する両ラップ間の接点が徐々に中心へ向かって移動するように、旋回スクロールを一定の半径で固定スクロールのラップの中心の周りを公転運動させることにより吸入口より取り込まれた気体はラップの巻き終わり端を回り込みながら、両ラップによって形成される密閉空間に取り込まれ、旋回スクロールの公転運動とともに徐々にその容積を減小させつつ中心に向かって移動しながら高圧化されて、密閉空間が吐出ポートと導通したときに外部へ排出されるものである。
【０００５】
このスクロール式真空ポンプは、旋回スクロールの端板の一面に旋回ラップを植設したシングルラップ式、と前記端板の両面に旋回ラップを植設したダブルラップ式が存在し、該ダブル式真空ポンプは特開昭５７−２０３８０１号公報（先例１）として知られている。
この技術は旋回スクロール端板に植設されるラップの高さをシングルラップ式の半分にして、シングルラップ式と同じ容量の圧縮流体を処理できるので、ラップの機械加工における削取り深さを浅くして、薄いラップ壁による加工撓みを除くことができ、加工性の良い旋回スクロールを提供できる点で優れている。
【０００６】
しかしながら、圧縮流体の圧縮効率を高めるために、吐出孔を小さくすることが望ましく、かつ、旋回スクロールの中心部に開設した小径の導通孔を介して一方の固定スクロールに設けられた１個の吐出孔から圧縮流体を吐出するため、圧縮流体の吐出に際して、機械損出により排気効率が低下するという問題がある。また、旋回スクロールの導通孔を充分大きくして、機械損出を小さくすると、今度は圧縮効率が低下する。
よって、旋回スクロールの前記導通孔を介さないで、旋回スクロール片面それぞれに対応する吐出孔を設けることが望ましいことになる。そして、旋回スクロール片面それぞれに対応する吐出孔を設けたスクロール流体装置として、特開昭５９−１５６９０号公報（先例２）が知られている。
【０００７】
上述の先例２の構成は図３に示すように、密閉容器１０１内に、固定スクロールを上下二箇所に配置し、上固定スクロール１０８、下固定スクロール１０７を配設する。上固定スクロール１０８の開口孔１１６には吸入管１１３、下固定スクロール１０７の開口孔１１７には吸入管１１４が設けられている。
旋回スクロール１１２の平板の両面にラップを上下二方向に設け両歯旋回スクロール１１２を形成して噛み合わせることにより流体押し退け装置を２箇所形成している。
【０００８】
密閉容器１０１内に配置された電動機１０２の駆動軸１０３に固定した駆動歯車１０４により動力を伝達される従動歯車１０５を固定したクランク軸１０６は、二つの固定スクロール１０８、１０７とに設けた軸受に支持され、中央に設けた偏芯軸１０６ａは、両歯の旋回スクロール１１２の平坦部に設けた２個所の軸受に挿入されている。
また、二つの固定スクロールにはそれぞれ上部吐出口１１１、下部吐出口１１０が設けられており、駆動軸１０３の回転に伴い両歯の旋回スクロール１１２は旋回運動を行い、密閉容器１０１に設けられた吐出管１１５から圧縮流体は吐出される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように構成された先例２は、駆動軸１０３から１８０゜反対側に分岐される２本のクランク軸１０６、１０６へ駆動歯車１０４及び従動歯車１０５を介して駆動力が伝達されるために、歯車のバックラッシュによる誤差の解消、また、２本のクランク軸１０６、１０６に設けられた二つの偏芯軸１０６ａから旋回スクロール１１２に駆動力が伝達されるので、個々の偏芯軸１０６ａによる干渉が発生しないように配慮する等高度の技術を必要とした。
【００１０】
一方、昨今は高真空化の要請とともに、所望の真空圧力を得る作業時間の短縮化が望まれている。
低圧縮比の真空ポンプにおいては、真空化に時間がかかるために、高圧縮比を有する真空ポンプが望まれる。
高圧縮比を得るためには渦巻型スクロールの巻数を増加させることであるが、その場合は、スクロールの外形が大きくなり、高速回転の場合の軸のタワミ等による回転のブレ、固定スクロールと旋回スクロールとによる不均等接触、等による騒音及び熱の発生、耐久性の低下等の問題がある。
【００１１】
これを解決するものとして、スクロールの外形が大きくならないスクロール巻数の少ない真空ポンプを２個用い、前段のポンプの吐出管に後段のポンプの吸入端を接続して両ポンプを駆動する方法が考えられる。
この直列駆動方法によると、前段で圧縮した流体を後段のポンプで圧縮するために、前段から後段に流体が移動する間に、油等が介在すると真空ポンプの耐久性劣化につながることになる。
【００１２】
この観点から考察すると、前記先例２は図３に示すように、上部吐出口１１１及び下部吐出口１１０から排出された圧縮流体はフレーム１１８下部の電動機１０２が配置されている空間に充満した後、該空間の圧力が外部より高くなったときに外部に吐出される。
したがって、電動機１０２及び、それを支える部材、その他駆動軸１０３の潤滑油等により汚染する恐れがある。
【００１３】
本発明は、かかる従来技術の欠点に鑑み、ダブルラップ旋回スクロールを有するスクロール機構をドライ系で構成するとともに、圧縮気体の排出効率が低下しないオイルフリースクロール真空ポンプを提供することを目的とする。
また本発明の他の目的は、両固定スクロールラップ間に介在する旋回スクロールにおいて、傾き等による偏荷重、部品間の干渉等がないオイルフリースクロール真空ポンプを提供することである。
また本発明の他の目的は、冷却効率が良く、コンパクトなオイルフリースクロール真空ポンプを提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、端板の両面に旋回ラップを植設した旋回スクロールと、
前記旋回ラップと噛合する固定ラップを前記端板の面と対面する面に植設して前記旋回ラップを摺動可能に、旋回スクロールの両側に配置した一対の固定スクロールと、
前記一対の固定スクロール及び旋回スクロールを貫通して設けられ前記旋回スクロールの端板とは偏芯して嵌合する回転駆動軸とを有し、前記回転駆動軸により前記旋回スクロールを駆動して最終圧縮室から圧縮流体を吐出するダブルラップ式のオイルフリースクロール真空ポンプにおいて、
前記旋回スクロールの端板と偏芯して嵌合する回転駆動軸の両側は前記一対の固定スクロール側の夫々軸受により回転可能に保持されているとともに、前記回転駆動軸により前記旋回スクロールを駆動して前記旋回スクロールの片面毎に最終圧縮室から圧縮流体を吐出する吐出孔とを備え、
該吐出孔に連接する吐出通路が前記一対の固定スクロール外面に取付られ、前記回転駆動軸の駆動源を収納したハウジングの外方に前記吐出通路を延設して構成したオイルフリースクロール真空ポンプを複数直列に接続するとともに、前段の真空ポンプの吐出通路は
弁手段を介して外部と連通させ、前段の真空ポンプの圧縮流体の圧力が所定圧力以上までは前記弁手段を開成させて外部と導通させ圧縮流体の圧力が所定圧力以下で前記弁手段を閉成させて前段の真空ポンプと後段の真空ポンプとを接続するように構成したことを特徴とする。
【００２１】
このように、ドライ系の圧縮流体を排出する吐出通路を前記ハウジングの外方に延設して構成しているので、旋回スクロールの駆動源により潤滑油等が圧縮流体に混入する恐れがなく、前段ポンプと後段ポンプとを直列に接続することができ、高圧縮比を実現することができる。
【００２２】
また、複数のオイルフリースクロール真空ポンプを直列に接続するとともに、前記吐出通路に外部と導通する弁手段を介在しているので、前記前段ポンプの吸入端に真空にしようとする密閉容器を接続し、始動初期において前記密閉容器内の気圧が大気圧に近い関係上、吸入気体はすでに前段ポンプの圧縮工程において高圧力となり、前記弁手段により高圧力の圧縮流体を後段ポンプに送らずに前記弁手段により外部に吐出する。そして、前段ポンプによる圧縮流体が所定圧力を下回った場合は、前記弁手段が閉鎖し、前段ポンプによる圧縮流体は後段ポンプによりさらに圧縮される。
したがって、後段ポンプに大気圧以上の圧縮流体を吸入することがなく、後段ポンプにおいて、過度の圧縮により発熱することがないため、高圧力により発熱し、真空ポンプの耐久性を低下もしくは焼き付いて破損させることはない。
【００２３】
また、複数の真空ポンプを接続しているので、前記前段及び後段ポンプを別々の回転駆動源で回転可能に構成され、前段ポンプの圧縮比による圧縮気体の負荷と後段ポンプの圧縮比による圧縮気体の負荷に対する最適な回転を駆動源に付与することができるとともに、負荷用密閉容器の吸入初期段階において前段ポンプの圧縮気体圧力が大気圧を越える状態においては、すなわち、密閉容器内の真空の度合いが低い粘性流域においては、前段のポンプのみを駆動して前記弁手段を介して外部に排気し、前段ポンプの圧縮気体圧力が大気圧を下回った後に、後段ポンプを回転駆動することができ、経済的な運転を行う事ができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載される構成部品の寸法、材質、形状、その相対位置などは特に特定的な記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００２５】
図１は、本発明の参考例に係るオイルフリースクロール真空ポンプの基本構成図、図２は、本発明に係るオイルフリースクロール真空ポンプを２段式とした基本構成図、図３は、従来例を示す図である。
【００２６】
図１において、ポンプ本体１の回転軸１１は右端をモータ２の駆動軸に連結され、モータ２の回転力により回転可能に設けられている。
この回転軸１１の中央部分は、その外周が回転中心軸線よりは幾分膨らんだ偏芯部１１ａを有し、その偏芯部１１ａの両端部はハウジング４及び５の軸受及びパッキング部に支持され、回転可能に設けられている。
【００２７】
固定スクロールを構成するハウジング４及び５は、それぞれ円蓋状をなし、ケーシングとして機能するその周壁をシール部材を介して当接させてその内部に密閉空間を形成している。
ハウジング４には、ラップ摺動面４ｂが軸方向垂直に設けられ、その摺動面４ｂには、その中央部分に、前述の回転軸１１の偏芯部１１ａを外れた、偏芯しない部分が回転可能に嵌合する開口部が設けられ、その開口部近傍を先端として渦巻状のラップ７が植設され、該ラップ７の上縁には溝が設けられ、該溝には相手側摺動面と接触して密閉状態を完全にするフッソ系樹脂等の自己潤滑性のあるチップシール１４が嵌入されている。
【００２８】
前記ラップ７の先端の近傍の摺動面４ｂに開口部を有する吐出孔４ｃが開設され、該吐出孔４ｃから吐出通路４ｄを通ってハウジング４の外周面４ａに設けた吐出口部９Ｂから外部に圧縮気体が排出されるように構成されている。
【００２９】
また、ハウジング４の周壁部分には、１２０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構１７が設けられている。
この公転機構１７は、後述する旋回スクロールと連結している。
また、ハウジング４の外周部４ａには、吸入口部８が設けられ、該吸入口部８は図示しない、真空にしようとする容器と連結され、その容器から開口部８ａを介して、前記容器内の気体が吸引される。
【００３０】
一方、ハウジング５には、ラップ摺動面５ｂが軸方向垂直に設けられ、その摺動面５ｂには、その中央部分に、前述の回転軸１１の偏芯部１１ａを外れた、偏芯しない部分が回転可能に嵌合する開口部が設けられ、その開口部近傍を周端として渦巻状のラップ６が植設され、該ラップ６の上縁には溝が設けられ、該溝には相手側摺動面と接触して密閉状態を完全にするチップシール１４が嵌入されている。
前記ラップ６の先端の近傍の摺動面５ｂに開口部を有する吐出孔５ｃが開設され、該吐出孔５ｃから吐出通路５ｄを通ってハウジング５の外周面５ａに設けた吐出口部９Ａから外部に圧縮気体が排出されるように構成されている。
【００３１】
ハウジング４及び５が形成する内部空間には、旋回スクロール３が公転可能に嵌挿される。
旋回スクロール３は、円盤状に形成されたプレートの摺動面３ｄ及び３ｅに前記固定スクロールに設けられたラップと嵌合可能なラップ２６及び２７が植設されている。
【００３２】
旋回スクロール３の中央部分には、前述した回転軸１１の偏芯部分１１ａが回転可能に嵌合する開口部３ａが開設され、該開口部３ａの周囲は、前記回転軸１１の偏芯部分１１ａの全長に亙ってラップ２６及び２７によって囲繞するように構成されている。
【００３３】
また、ハウジング５の外側と、ハウジング４の外側の回転軸１１には、この真空ポンプを冷却するファン１２、１３が設けられ、これらのファンを保護するカバー１８、１９が複数の空気流通孔を有してハウジング５及び４に取付られている。
また、旋回スクロール３の外周部には、前述したようにハウジング４に一端が支持され、１２０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構１７の他端が支持され、該公転機構１７を介して前記固定スクロールとは偏心した回転中心を有して公転するように配置される。
【００３４】
次に、上述のごとく構成された本参考例の動作を説明する。
図１において、回転軸１１が回転すると、旋回スクロール３が公転し、図示しない容器から気体を吸入し、固定スクロールのラップ６、７の外周から気体を旋回スクロールのラップ２６及び２７によって、それらの固定スクロール及び旋回スクロールのラップによって形成する密閉空間に取り込み、この密閉空間によって圧縮され、圧縮気体は吐出孔４ｃ及び５ｃから排出される。
【００３５】
このように、本参考例においては、旋回スクロール３の片面（旋回ラップ２６、及び２７）毎に設けられた吐出通路５ｄ、４ｄから圧縮気体を排出できるために、圧縮気体の排出効率が向上する。
そして、前記固定スクロール外面５ｅ、４ｅに取付られ、前記回転駆動軸の駆動源を収納したハウジング１９の外方に前記吐出通路５ｄ、４ｄを延設しているので、この真空ポンプを複数接続して運転する場合でも、ドライ系の状態を確保できる。
【００３６】
また、前記旋回スクロール３の端板と偏芯して嵌合する回転駆動軸１１ａの両側は前記固定スクロール側の軸受１５、１６により回転可能に保持して構成されているので、固定スクロールに対して回転駆動軸が安定し、高速回転の場合の軸のタワミ等による回転のブレ、軸のタワミ等によって生じる固定スクロールと旋回スクロールとによる不均等接触、等による騒音及び熱、または耐久性の低下等の問題がない。
【００３７】
また、前記軸受１５、１６の外側は、前記回転駆動軸１１ａと同一の駆動源により回転して前記固定スクロールを冷却するファン１２、１３が取付られているので、旋回スクロール３を駆動する一つの駆動源２により両固定スクロールの外面４ｅ、５ｅを冷却することができ、余分な駆動源によりファンを駆動する必要がなく、構成が簡単化し、コンパクトなスクロール機構が提供される。
【００３８】
また、前記旋回スクロール３の端板と偏芯して嵌合する回転駆動軸１１ａの両側は前記固定スクロール側の軸受１５、１６により回転可能に保持され、前記軸受１５、１６の外側は、前記回転駆動軸１１ａと同一の駆動源２により回転して前記固定スクロールを冷却するファン１２、１３が取付られ、前記ファンと前記固定スクロールの外面との間には圧縮流体を吐出する吐出通路４ｄ、５ｄが設けられるように構成されているので、前記ファン１２、１３と前記固定スクロールの外面５ｅ、４ｅとの間の空間に、前記軸受及び前記ファンから必要の肉厚を取って前記軸受、ファンとともに前記吐出通路４ｄ、５ｄを形成することができ、排出効率が低下しないコンパクトなスクロール機構が提供される。
【００３９】
また、本参考例によると、前記ファン１２、１３と前記固定スクロールの外面４ｅ、５ｅとの間の空間が、枠体、ハウジング等の取付部を除いて前記軸受１５、１６外周から外部に向かって３６０゜にわたって開放しているので、この吐出通路５ｄ、４ｄは、図１の側面から見て、ほぼ３６０゜にわたって配設することができる。吐出口９Ａａ、９Ｂａに位置設定に、設計の自由度が大きい。
【００４０】
図２は、本発明に係るオイルフリースクロール真空ポンプを２段式とした基本構成図であり、真空ポンプ１Ａ及び１Ｂを直列に接続したものである。
図２において、前段の真空ポンプ１Ａの吐出口９Ａは配管２３を介して後段の真空ポンプ１Ｂの吸入口８に接続され、前段の真空ポンプ１Ａの吐出口９Ｂは電磁弁２１及び配管２４を介して配管２３と連結するとともに、電磁弁２２を介して外部と連通している。
【００４１】
前記電磁弁２１および２２は、前段の圧縮流体の圧力が１０００〜１００Ｐａまでは開成し、始動初期における前段ポンプ１Ａの高圧の流体が後段ポンプ１Ｂが取り込まないように電磁弁２２から外部に排出されるように構成されている。 前記圧縮流体の圧力が１０００〜１００Ｐａを下回ると、電磁弁２１、２２は閉成される。この圧縮流体の圧力は、図示しない真空にしようとする容器の内部圧力を測定してもよいが、前記容器の容量と前段ポンプ１Ａの動作性能とによる排気特性をマップとして、コントローラ１０に記憶しておいて、それにより前記電磁弁２１、２２を制御してもよい。
コントローラ１０は、上述したように、出力端子を前記電磁弁２１、および２２の制御端子に接続して各電磁弁の開閉を制御するとともに、前段ポンプ１Ａ、及び後段ポンプ１Ｂの駆動源に接続して、各駆動源を回転制御するように構成されている。
【００４２】
このように構成された本実施例は、図２において、コントローラ１０は電磁弁２１および２２を開成させ、初期駆動時に、前段ポンプ１Ａの駆動により、図示しない真空にしようとする容器から前段ポンプ１Ａの吸入口８に、気体が吸入され、該気体は前段ポンプ１Ａにより圧縮され、高圧の気体が吐出口９Ａ及び９Ｂから排出される。
吐出口９Ａからの圧縮気体は電磁弁２１を介して吐出口９Ｂからの圧縮気体とともに電磁弁２２から外部に排出される。
【００４３】
そして、前記圧縮気体の圧力が１０００〜１００Ｐａを下回ると、電磁弁２１、２２は閉成され、吐出口９Ｂから排出されていた固定スクロール７及び旋回スクロール２７によって圧縮された圧縮気体は電磁弁２１が閉成されているので、吐出孔５ｃ（図１）から固定スクロール６および旋回スクロール２６によって圧縮される圧縮気体とともに吐出口９Ａを通って配管２３により、後段ポンプ１Ｂに送出される。
【００４４】
これに同期して後段のポンプが駆動し、該後段ポンプによる圧縮気体の圧縮を開始する。このときには、前段ポンプによる圧縮気体は低真空の粘性域を脱しているので、後段ポンプにおける高温度による発熱の問題はない。
そして、後段のポンプ１Ｂにより圧縮気体はさらに圧縮され、高圧縮比を実現することができる。
【００４５】
このように、ドライ系の圧縮流体を排出する吐出通路を前記ハウジングの外方に延設して構成しているので、旋回スクロールの駆動源により潤滑油等が圧縮流体に混入する恐れがなく、前段ポンプと後段ポンプとを直列に接続することができ、高圧縮比を実現することができる。
【００４６】
また、複数のオイルフリースクロール真空ポンプを直列に接続するとともに、前記吐出通路に外部と導通する弁手段を介在しているので、前記前段ポンプの吸入端に真空にしようとする密閉容器を接続し、始動初期において前記密閉容器内の気圧が大気圧に近い関係上、吸入気体はすでに前段ポンプの圧縮工程において高圧力となり、前記弁手段により高圧力の圧縮流体を後段ポンプに送らずに前段ポンプから外部に吐出する。そして、前段ポンプによる圧縮流体が所定圧力を下回った場合は、前記弁手段が閉鎖し、前段ポンプによる圧縮流体は後段ポンプによりさらに圧縮される。
したがって、後段ポンプに大気圧以上の圧縮流体を吸入することがなく、後段ポンプにおいて、過度の圧縮により発熱することがないため、高圧力により発熱し、真空ポンプの耐久性を低下もしくは焼き付いて破損させることはない。
【００４７】
また、複数の真空ポンプを接続しているので、前記前段及び後段ポンプを別々の回転駆動源で回転するように構成され、前段ポンプの圧縮比による圧縮気体の負荷と後段ポンプの圧縮比による圧縮気体の負荷に対する最適な回転を駆動源に付与することができるとともに、負荷用密閉容器の吸入初期段階において前段ポンプの圧縮気体圧力が大気圧を越える状態においては、すなわち、密閉容器内の真空の度合いが低い粘性流域においては、前段のポンプのみを駆動して前記弁手段を介して外部に排気し、前段ポンプの圧縮気体圧力が大気圧を下回った後に、後段ポンプを回転駆動することができ、経済的な運転を行う事ができる。
【００４８】
【発明の効果】
以上記載したごとく、本発明においては、圧縮気体の排出効率が低下しないオイルフリースクロール真空ポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の参考例に係るオイルフリースクロール真空ポンプの基本構成図である。
【図２】 本発明に係るオイルフリースクロール真空ポンプを２段式とした基本構成図である。
【図３】 従来例を示す図である。

Claims (1)

1. 端板の両面に旋回ラップを植設した旋回スクロールと、
   前記旋回ラップと噛合する固定ラップを前記端板の面と対面する面に植設して前記旋回ラップを摺動可能に、旋回スクロールの両側に配置した一対の固定スクロールと、
   前記一対の固定スクロール及び旋回スクロールを貫通して設けられ前記旋回スクロールの端板とは偏芯して嵌合する回転駆動軸とを有し、前記回転駆動軸により前記旋回スクロールを駆動して最終圧縮室から圧縮流体を吐出するダブルラップ式のオイルフリースクロール真空ポンプにおいて、
   前記旋回スクロールの端板と偏芯して嵌合する回転駆動軸の両側は前記一対の固定スクロール側の夫々軸受により回転可能に保持されているとともに、前記回転駆動軸により前記旋回スクロールを駆動して前記旋回スクロールの片面毎に最終圧縮室から圧縮流体を吐出する吐出孔とを備え、
   該吐出孔に連接する吐出通路が前記一対の固定スクロール外面に取付られ、前記回転駆動軸の駆動源を収納したハウジングの外方に前記吐出通路を延設して構成したオイルフリースクロール真空ポンプを複数直列に接続するとともに、前段の真空ポンプの吐出通路は弁手段を介して外部と連通させ、前段の真空ポンプの圧縮流体の圧力が所定圧力以上までは前記弁手段を開成させて外部と導通させ圧縮流体の圧力が所定圧力以下で前記弁手段を閉成させて前段の真空ポンプと後段の真空ポンプとを接続するように構成したことを特徴とするオイルフリースクロール真空ポンプ。

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