JP3815744B2 - オイルフリー２段スクロール式真空ポンプ - Google Patents

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、１のスクロールラップが設けられた端板と他側スクロールラップが設けられた端板の間で両スクロールの相対的な旋回動作をさせることによりオイルフリーの状態でポンプ動作をなさしめるスクロールポンプで前段スクロールポンプと後段スクロールポンプを夫々構成した、オイルフリー２段スクロール式真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、容器を真空にする技術は、ポリビニールの袋の中に食物を入れ、空気を抜いて、空気中に浮かぶ細菌の付着を防止し食物の腐敗を防ぐ真空パック、バキュームカー、採血用試験管、空気の対流による熱伝導を防止するために、魔法瓶、または医療用、工業用、もしくは実験用の冷却冷媒を収納する容器の外壁等、一般生活から低温技術に至るまで幅広く利用されるものである。
密閉容器内を真空にするには、真空ポンプを密閉容器の吸い出し口に連結し、空気及びその他の気体を該真空ポンプによって吸い出すことによって行われる。
低い真空圧力の排気系においては、１個の容器内に油回転ポンプを１個収納して構成されるが、高い真空圧力の排気系においては、油拡散ポンプと油回転ポンプとの組み合わせによるウエット系真空ポンプ装置が用いられている。
しかしながら、この装置はボイラ中にヒータにより加熱して蒸発した油の蒸気を吹き出し、この蒸気により拡散した気体を圧縮し、さらに油回転ポンプにより大気圧まで圧縮して外部に排出するものである。このウエット式排気系によると油蒸気により装置内に付着した油が再蒸発して真空容器内に逆流するという問題があり、コールドキャップ、バッフル、トラップ等を用いて冷却しているため、構成が複雑になり、また、塩素やフッソのような気体と油が反応して油が変質して回転抵抗が増し、能力が低下したり、保守点検がそれだけ面倒になる。
【０００３】
そのために、ドライ式が望まれ、昨今では真空ポンプとしてオイルフリー・スクロール式が注目されている。
オイルフリー・スクロール式真空ポンプは、固定スクロールと、この固定スクロールに植設された第１のラップに嵌合可能な第２のラップを有する旋回スクロールとからなる固定・旋回スクロールタイプと、駆動スクロールと、この駆動スクロールに植設された第１ラップに嵌合可能な第２ラップを有する従動スクロールとからなる駆動・従動スクロールタイプとが存在する。
【０００４】
固定・旋回スクロールタイプは、旋回スクロールを自転させることなく固定スクロールに対して公転させることにより、前記両ラップ間に形成される密閉空間の容積を変化可能に構成している。
したがって、圧縮室として機能する前記密閉空間を形成する両ラップ間の接点が徐々に中心へ向かって移動するように、旋回スクロールを一定の半径で固定スクロールのラップの中心の周りを公転運動させることにより吸入口より取り込まれた気体は第２のラップの巻き終わり端を回り込みながら、両ラップによって形成される密閉空間に取り込まれ、旋回スクロールの公転運動とともに徐々にその容積を減小させつつ中心に向かって移動しながら高圧化されて、密閉空間が吐出ポートと導通したときに外部へ排出されるものである。
また、駆動・従動スクロールタイプは、駆動スクロールと従動スクロールが形成する密閉空間の容積を徐々に減少させつつ中心に向かって移動しながら、高圧化されて密閉空間が吐出ポートと導通して外部へ排出されるものである。
【０００５】
さて、昨今は高真空化の要請とともに、所望の真空圧力を得る作業時間の短縮化が望まれている。
低圧縮比の真空ポンプにおいては、真空化に時間がかかるために、高圧縮比を有する真空ポンプが望まれる。
高圧縮比を得るためには渦巻型スクロールの巻数を増加させることであるが、その場合は、スクロールの外形が大きくなり、高速回転の場合の軸のタワミ等による回転のブレ、固定スクロールと旋回スクロールとによる不均等接触、等による騒音及び熱の発生、耐久性の低下等の問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
これを解決するものとして、スクロールの外形が大きくならないスクロール巻数の少ない真空ポンプを２個用い、前段のポンプの吐出管に後段のポンプの吸入端を接続して両ポンプを駆動する方法が考えられる。
しかしながら、この駆動方法によると、接続された密閉容器内が大気圧に近い始動初期においては、高圧縮比のためにスクロールが形成する空間内が高圧力となり、高熱が発生するという問題があり、この高圧力の圧縮気体を外部に逃がす必要がある。
これに関連した技術としては、固定スクロールと旋回スクロールとの第１空間内の圧力が次の第２空間内の圧力より高くなると、弁手段を介してその第２空間に排出し、その第２空間が外部へ連通する吐出ポートと連通したときに、その気体を外部に排出する装置が、起動時の負荷低減構造として、特開昭６２−４８９７９号公報に開示されている。
【０００７】
この関連技術は、固定スクロールの鏡板の中心部に圧縮気体を外部に排出する吐出ポート、及び、この吐出ポート近傍に弁室を設け、旋回スクロールによりスクロール終端から気体を取り込んだとき、旋回スクロールと固定スクロールにより形成する第１密閉空間内に、前記弁室と連通する第１連通孔を開設するとともに、圧縮気体を外部に排出する以前の圧縮工程及び、前記吐出ポートから圧縮気体を外部に排出する際に、固定スクロールと旋回スクロールにより形成される第２密閉空間内であって、前記吐出ポートの近傍に前記弁室に連通する第２連通孔を設け、前記弁室内の前記第１連通孔開口部に弁手段を設け、前記第１密閉空間内の圧力が前記第２密閉空間内の圧力より大きいと、前記弁手段が開成して前記第１密閉空間内の気体を前記第２密閉空間内に排出するものである。
【０００８】
この上述の技術を、前述のスクロールの外形が大きくならないスクロール巻数の少ない真空ポンプを２個用い、前段のポンプの吐出管に後段のポンプの吸入端を接続して両ポンプを駆動する方法に適用し、前段のポンプに前記弁手段を設けると、第１密閉空間内の圧力が所定値より上昇すると前記弁手段により前記第１連通孔が開成して、第１密閉空間内の圧縮気体を第２密閉空間内に排出することができる。
しかしながら、前記第２密閉空間は旋回スクロールの旋回駆動により吐出ポートと連通し、該吐出ポートは後段のポンプの吸入端に接続している。
そのため、前段ポンプで圧縮した気体はすべて後段ポンプに送られ、前段のポンプと同じように固定スクロールと旋回スクロールが形成する空間内が高圧力となり、高熱が発生するという問題が依然として残る。
本発明は、かかる従来技術の欠点に鑑み、低真空の粘性流域においても発熱を低減する真空ポンプを提供すことを目的としたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、１のスクロールラップが設けられた端板と他側スクロールラップ端面に自己潤滑性のチップシールを介装してスクロールの旋回動作によりオイルフリーの状態でポンプ動作をなさしめるスクロールポンプで前段スクロールポンプと後段スクロールポンプを夫々構成し、前記後段スクロールポンプ部が前記前段スクロールポンプ部のスクロールラップの端板面よりの高さより低い高さを有し、前段後段両スクロールポンプ部を同一のスクロールハウジングに内蔵するとともに、両スクロールポンプ部を共通回転軸に軸支させて同一回転駆動源により回転させてなるオイルフリー２段スクロール式真空ポンプにおいて、前記前段および後段スクロールポンプ部はそれぞれ固定スクロール用ラップと旋回スクロール用ラップよりなり一対に組み合わされて直列に配置されて構成され、前記前段スクロールポンプ部の端板背面と前記後段スクロールポンプ部の端板背面間の空間を前段スクロールポンプ部の吐出口と後段スクロールポンプ部の吸込口とを連絡する中間通路として形成し、後段スクロールポンプ部の固定スクロールの圧縮室を除く端板にバイパス孔を設けて前記中間通路から後部スクロールポンプ部の吐出口に連絡するバイパス路を形成し、このバイパス路に所定圧力以下で閉成する圧力制御弁を設けたことを特徴とする。
【００１０】
また、前記前段スクロールポンプの吸入側に負荷用密閉容器を連接させるとともに、該密閉容器内の真空圧の度合いにより回転数を変更可能な制御手段を設け、該制御手段により前記同一回転駆動源を回転制御可能に構成すると好ましい。
【００１１】
また、前記両ポンプ部は、それぞれ別々の固定スクロール用ラップと旋回スクロール用ラップが嵌合させるとともに、前段スクロールポンプの固定スクロールと後段スクロールポンプの旋回スクロールと対面させて配置して、前記前段スクロールポンプの固定スクロールに設けた吐出ポートを通って前記後段スクロールポンプの旋回スクロールへ圧縮空気を供給可能に構成することを特徴とする前記前段スクロールポンプの固定スクロールに設けた吐出ポートを通って前記後段スクロールポンプの旋回スクロールへ圧縮空気を供給可能に構成すると好ましい。
【００１２】
また、前記後段スクロールポンプの圧縮比を前記前段スクロールポンプの圧縮比より大として構成すると好ましい。
また、前記後段スクロールポンプの最大ガスポケット容積を前記前段スクロールポンプの最小ガスポケット容積より小として構成すると好ましい。
【００１３】
【作用】
本発明は、前段スクロールポンプ部と後段スクロールポンプ部とを直列接続して構成されるオイルフリー２段スクロール式真空ポンプであるため、スクロールの外形が小さく、大径の場合に発生する、高速回転の場合の軸のタワミ等による回転のブレ、固定スクロールと旋回スクロールとによる不均等接触、等による騒音及び熱、または耐久性の低下等の問題がない。
【００１４】
そして、前記前段スクロールポンプ部の吐出空間を前記後段スクロールポンプの吐出空間とバイパス路を介して連通させると共に、該バイパス路上に所定圧以下で閉成する圧力制御弁を設けているので、前記前段スクロールポンプの吸入端に真空にしようとする密閉容器を接続し、始動初期において前記密閉容器内の気圧が大気圧に近い関係上、吸入気体はすでに前段スクロールポンプの圧縮工程において高圧力となり、その圧力が所定圧力を越えると、例えば、後段スクロールポンプの吐出空間の圧力である外部圧力より高くなると前記圧力制御弁が開成し、高圧力の圧縮気体を後段スクロールポンプに送らずに前段スクロールポンプによる圧縮気体を外部に吐出する。
したがって、後段スクロールポンプに大気圧以上の圧縮気体を吸入することがなく、後段スクロールポンプ部において、過度の圧縮により発熱することがないため、高圧力により発熱し、真空ポンプの耐久性を低下もしくは焼き付いて破損させることはない。
【００１５】
また、前記前段及び後段スクロールポンプを共通回転軸に一体的に軸支させ、該回転軸を駆動源に連接し、同一回転駆動源により回転するように構成したため、一つの駆動源によって真空ポンプを駆動することができ、部品点数が少なくコンパクトな真空ポンプが提供される。
また、前段スクロールポンプの吸入側に負荷用密閉容器を連接させるとともに、該密閉容器内の真空圧の度合いにより回転数を変更可能な制御手段を設け、該制御手段により前記同一回転駆動源を回転制御可能に構成した場合は、負荷用密閉容器の圧力が減少するにつれて前段スクロールポンプ及び後段スクロールポンプの回転数を上昇させて、密閉容器内の気体の排出回数を増加させ、処理時間の短縮化をはかることができる。
【００１６】
【００１７】
また、後段スクロールポンプ部の固定スクロールの圧縮機を除く端板にバイパス孔を設けて後部スクロールポンプ部の吐出口に連絡するバイパス路を形成したため、回転駆動しない固定スクロールに単に孔を開設するだけでバイパス路を形成でき、構成が簡単となる。
特に、前段スクロールポンプの固定スクロールと後段スクロールポンプの旋回スクロールと対面させて配置して、前記前段スクロールポンプの固定スクロールに設けた吐出ポートを通って前記後段スクロールポンプの旋回スクロールへ圧縮空気を供給可能に構成した場合は、前段スクロールポンプの固定スクロールと旋回スクロールのラップが形成する初段密閉空間と後段スクロールポンプの固定スクロールと旋回スクロールが形成する最終密閉空間との距離が短くなり、後段スクロールポンプの密閉空間に直ちに取り込まれないで両空間の間に残る気体が少なく効率的な真空ポンプを提供できる。
【００１８】
【００１９】
また、前記後段スクロールポンプの圧縮比を前記前段スクロールポンプの圧縮比より大として構成した場合は、所定容積の前段スクロールポンプに対して負荷用密閉容器の気体を取り組む量が大きく設計でき、処理時間の短縮化がはかれる。
また、前記後段スクロールポンプの最大ガスポケット容積を前記前段スクロールポンプの最小ガスポケット容積より小として構成した場合は、前段スクロールポンプにより吐出された容積以上の容積を取り組まないので後段スクロールポンプの初段ガスポケットである最大ガスポケットにおいて気体が膨張することもなく、後段における圧縮効率を低下させることはない。
また、前記前段スクロールポンプ及び前記後段スクロールポンプのスクロールラップの端板面よりの高さを、前記前段スクロールポンプと後段スクロールポンプとは異なった高さに構成した場合、スクロールの外径を所定の寸法にしたままで、ラップ高さを設定することによって、容易にスクロール機構のガスポケット容積を決定することができる。
【００２０】
【実施例】
以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載される構成部品の寸法、材質、形状、その相対位置などは特に特定的な記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００２１】
図１は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第１実施例を示す構成図、図２（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面図、図３は、図１のＣ−Ｃ断面図、図４は、前段スクロールポンプ部の動作説明図、図５は、後段スクロールポンプの動作説明図、図６は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第２実施例を示す構成図、図７は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第３実施例を示す構成図、図８（ａ）は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第４実施例を示す構成図、図８（ｂ）は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第４実施例を示す構成図、図９は、図８（ａ）に示したスクロール機構の前段側の断面図、図１０は、図８（ａ）に示したスクロール機構の後段側の断面図、図１１は、第１〜第３実施例に係るオイルフリー２段式真空ポンプを駆動する制御装置のブロック構成図、図１２は、第４及び第５実施例に係るオイルフリー２段式真空ポンプを駆動する制御装置のブロック構成図である。
【００２２】
図１において、オイルフリー２段式真空ポンプ本体１は、ハウジング３及び１１によって囲まれた空間に、２個の固定スクロール用ラップ４、５と、それらに対向して設けられた２個の旋回スクロール６、７に植設された旋回スクロール用ラップ８、９と、これらの旋回スクロールを回転駆動する回転駆動軸２８、及びこの駆動軸２８に取り付けられハウジング３を冷却するファン２２により基本的に構成されている。
【００２３】
ハウジング３の内壁３ｅの中央部には、開口孔３ａが開設されるとともに、該開口孔３ａの右方には回転軸受けを保持する、前記開口孔３ａより大径の座ぐり部３ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸２８が前記開口孔３ａに回転自在に嵌合している。
また、ハウジング３の外面には中心部分から外周に向かって放射状に複数のリブ３９が設けられ、該リブ３９の上面には複数の空気抜け穴３６ａが開設されたカバー３６が取り付けられ、ファン２２の回転により図１上、上方から侵入した冷却風が矢印に示すように右方に流れるように構成されている。
【００２４】
また、このハウジング３の内壁３ｅの表面には渦巻状の後段固定スクロール用ラップ５が植設されるとともに、該ラップ５の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。
【００２５】
前記開口孔３ａの近傍には圧縮気体を吐出する開口部３ｂが開設され、該開口部３ｂは逆止め弁２４を介して外部と連通する吐出ポート３ｃと連結している。この逆止め弁２４は開口部３ｂ内の圧縮気体の圧力が外部の大気圧より高いと開成して開口部３ｂは吐出ポート３ｃと連通し圧縮気体を外部に吐出し、開口部３ｂ内の圧力が外部の大気圧より低いと閉成し、外部の気体が開口部３ｂ内に逆流して始動時に余分な駆動負荷を与えないように構成されている。
【００２６】
また、ハウジング３の内壁３ｅ側の気密性を保つさめに周辺部に起立して内壁３ｅ側を囲繞する壁面３ｈと後部固定スクロール用ラップ５の外周部との間に、開口部３ｄが開設され、該開口部３ｄは圧力制御弁２５を介して、外部と連通する吐出ポート３ｃに連通している。
この圧力制御弁２５は、壁面３ｈと後部固定スクロール用ラップ５の外周部との間の密閉空間３ｇ内の圧縮気体の圧力が外部の大気圧より高いと開成して開口部３ｄは吐出ポート３ｃと連通し圧縮気体を外部に吐出し、密閉空間３ｇ内の圧力が外部の大気圧より低いと閉成し、高圧の圧縮気体を後段スクロールポンプが取り込み、後段スクロールポンプ内が所定値以上の温度に上昇しないように制御するものである。
【００２７】
ハウジング３内には、さらに、前記後段固定スクロ−ル用ラップ５と実質的に同じ形状の渦巻き形の後段旋回スクロール用ラップ９が植設された後段旋回スクロール端板７が、前記ラップ５、９同志を１８０度ずらして嵌合させて設けられている。
好ましい実施例によると、この後段固定スクロール用ラップ５と後段旋回スクロール用ラップ９とが形成する最大ガスポケット容積は５６．６ｃｃ、最小ガスポケット容積は１９．１ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．９６に設定されている。
【００２８】
この端板７の中央部には、円筒部７ｂが設けられ、その中心部には開口孔７ａが開設されるとともに、該開口孔７ａの左方には回転軸受けを保持する、前記開口孔７ａより大径の座ぐり部７ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸２８の回転中心より偏芯した軸中心を有する先端軸部２８ａが回転可能に嵌合している。
また、円筒部７ｂの先端面には後述する前段旋回スクロールの端板６の位置決め孔と嵌合して位置決めする複数のピン７ｃが突出するとともに、前段旋回スクロールを固着する複数のネジ孔が削設されている。
【００２９】
また、前記端板７に設けられた後段固定スクロール用ラップ９の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。そして、前述したように、前記各スクロ−ルのラップ５、９は各々他側スクロ−ルと接触する端面に凹設した溝部に、チップシ−ル２３で構成される自己潤滑性シ−ル部材を嵌入させ、無潤滑で摺動可能に達成するとともに、前記後段固定スクロール用ラップ５及び前記後段旋回スクロール用ラップ９とで形成される密閉空間内の外部との気密性の維持を図っている。
【００３０】
また、後段旋回スクロール端板７のラップが植設された面とは反対側の面の外周部分に、一端が後述する前段スクロールポンプのハウジング２に連結されたピンクランクを有した公転機構３７が連結される連結部が１２０゜間隔で偏位された位置に（３個所）設けられている。
したがって、回転駆動軸２８の回転により旋回スクロールの端板７は図１上上下運動を行い、公転機構３７のクランク長さだけ旋回運動を行う事となり、旋回スクロールの端板７は自転を阻止されながら一定の半径で固定スクロールのラップ５中心の周りを公転可能に構成されている。
【００３１】
ハウジング２はパッキング３８を挟んでハウジング３とビス等で固着される。ハウジング２の内壁２ｅの中央部には、開口孔２ａが開設されるとともに、該開口孔２ａには、後段旋回スクロール端板７の円筒部７ｂが回転摺動可能に嵌合している。
また、ハウジング２の外周部には図示しない密閉容器に連結して密閉容器内の気体を吸引する吸入開口部２ｂが開設され、このハウジング２の内壁２ｅの表面には渦巻状の前段固定スクロール用ラップ４が植設されるとともに、該ラップ４の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。
【００３２】
ハウジング２内には、さらに、前記前段固定スクロ−ル用ラップ４と実質的に同じ形状の渦巻き形の前段旋回スクロール用ラップ８が植設された前段旋回スクロール端板６が、前記ラップ４、８同志を１８０度ずらして嵌合させて設けられている。
好ましい実施例によると、この前段固定スクロール用ラップ４と前段旋回スクロール用ラップ８とが形成する最大ガスポケット容積Ｖｍａｘは、１８９．７ｃｃ、最小ガスポケット容積Ｖｍｉｎは８２．７ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．２９に設定されている。
この端板６の中央部には、ラップ８の植立方向に円筒部６ｂが設けられ、該円筒部６ｂの近傍の端板には、後段旋回スクロールの円筒部７ｂに設けられたピン７ｃに嵌合する位置決め孔６ｃと、該位置決め孔と並んで止め孔が設けられ、この前段旋回スクロールは前記止め孔からビス２７によって後段旋回スクロールと一体に固着可能に構成されている。
【００３３】
また、前記端板６に設けられた前段固定スクロール用ラップ８の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。そして、前述したように、前記各スクロ−ルのラップ４、８は各々他側スクロ−ルと接触する端面に凹設した溝部に、チップシ−ル２３で構成される自己潤滑性シ−ル部材を嵌入させ、無潤滑で摺動可能に構成するとともに、前記前段固定スクロール用ラップ４及び前記前段旋回スクロール用ラップ８とで形成される密閉空間内の外部との気密性の維持を図っている。
また、ハウジング１１がパッキング３８を挟んでハウジング２に固着されている。
【００３４】
図１１は、固定スクロールと旋回スクロールの組み合わせに係るスクロール機構を備えた真空ポンプを駆動する制御装置のブロック図であり、（ａ）は、密閉容器３５の吸い出し口には、真空ポンプ本体１の吸入端が接続され、この真空ポンプ本体１はモータ３２により駆動され、このモータ３２は電気制御装置３４により回転制御されるように配線接続され、前記電気制御装置３４は前記密閉容器３５内の気体圧力を測定する測定手段を備え、該測定手段の測定値により、モータ３２の回転数を制御可能に構成されている。
また、（ｂ）は、密閉容器３５の吸い出し口には、真空ポンプ本体１０の吸入端が接続され、この真空ポンプ本体１０は前段スクロール機構をモータ３３、後段スクロール機構をモータ３２により駆動され、これらのモータ３２、３３は電気制御装置３４により回転制御されるように配線接続され、前記電気制御装置３４は前記密閉容器３５内の気体圧力を測定する測定手段を備え、該測定手段の測定値により、モータ３２、３３の回転数を制御可能に構成されている。
【００３５】
次に、かかる実施例の動作を説明する。
図１１（ａ）に示されるように、真空ポンプ本体１の吸入開口部２ｂを配管によって密閉容器３５の吸入端に連結し、真空ポンプ本体１の回転駆動軸２８を、電気制御装置３４に接続されたモータ３２と連結し、電気制御装置３４によりモータ３２を駆動すると、前段旋回スクロール端板６及び後段旋回スクロール端板７は回転を開始する。
【００３６】
回転駆動軸２８の回転により、該回転駆動軸２８とは偏芯した回転軸を有した後段旋回スクロール端板７の軸受け部７ｂは、図２（ａ）に示すようにその外周をハウジング２に開設された開口部２ａの縁に摺接しながら、開口部２ａ内を上下運動を行い、公転機構３７（図３）のクランク長さだけ旋回運動を行う事となり、旋回スクロールの端板７は自転を阻止されながら一定の半径で固定スクロールのラップ４中心の周りを反時計方向に公転する。
【００３７】
したがって、前段旋回スクロール用ラップ８は前段固定スクロール用ラップ４の壁面に摺接しながら図２（ａ）上反時計方向の公転運動を行い、ラップ８の先端８ａはハウジング２の中心部に、ラップ４の終端部に延設されたアール状の壁面２ｈに規制され、そのアール面に沿って旋回し、開口部２ａから圧縮気体を吐出する。
一方、軸受け部７ｂと一体の後段旋回スクロール用ラップ９は、後段固定スクロール用ラップ５の壁面に摺接しながら図２（ｂ）上反時計方向の公転運動を行い、ラップ９の先端９ａはハウジング３の中心部に、ラップ５の終端部に延設されたアール状の壁面３ｈに規制され、そのアール面に沿って旋回して、吐出ポート３ｂから圧縮気体を吐出する。
【００３８】
次に、本実施例の動作を詳細に説明する。
吸入開口部２ｂと密閉容器３５が配管によって連結されると、前段スクロールポンプを構成するハウジング２内の空間２ｇ（図４）は密閉容器３５内と同じ圧力の気体に満たされる。
前段旋回スクロールが回動すると、図４（ａ）、及び（ｄ）に示されるように空間２ｇの気体は、外側が固定スクロール用ラップ４と内側が旋回スクロール用ラップ８で形成される最大ガスポケットＴｍａｘ、及び外側が旋回スクロール用ラップ８と内側が固定スクロール用ラップ４で形成される最大ガスポケットＳｍａｘとして取り込まれる。
【００３９】
これらの最大ガスポケットＴｍａｘ及びＳｍａｘに取り込まれた気体は旋回スクロール用ラップ８の回動により、Ｔｍａｘは（ｂ）に示すように最小ガスポケットＴｍｉｎとして圧縮され、さらに回動して（ｃ）に示すようにラップ８の先端部８ａとアール２ｈとの空隙が開成することにより、そこから圧縮気体は吐出開口部２ａに吐出される。
また、Ｓｍａｘは（ｃ）に示すように最小ガスポケットＳｍｉｎとして圧縮され、さらに旋回スクロールが回動して（ｄ）に示すようにラップ４の中心部の先端部４ａと旋回スクロール８の内壁との間が開成することにより、そこから圧縮気体は吐出開口部２ａに吐出される。
【００４０】
開口部２ａから吐出された圧縮気体は、後段スクロール端板７の中心部分から外周部分に設けられたハウジング３の空間３ｇに向かって流動し、端板７の背面及び空間３ｇに充満する。
初期駆動時は密閉容器３５が大気圧と同じ圧力であり、それがために前段スクロールに取り込まれた気体は大気圧の約２倍となって空間３ｇに充満される。外部と連通する吐出通路３ｃに連通して設けられた開口部３ｄに配設された圧力制御弁２５は、空間３ｇが大気圧より高いために、開成し圧縮気体を外部に排出する。
【００４１】
一方、初期駆動時においては、後段スクロール機構は空間３ｇのみならず各固定スクロール用ラップ５及び旋回スクロール用ラップ９が形成するガスポケット内はほぼ大気圧と同じ圧力の気体が充満している。
これは、各固定スクロールラップと壁面が摺接する旋回スクロールラップ間には僅かの隙間があり、気体の漏洩があり、駆動中にはその気体の漏洩は無視できるが、長時間大気圧内に放置されると前述の隙間から侵入する気体によって大気圧とほぼ同じ圧力となるためである。
【００４２】
したがって、後段スクロール機構は、初期駆動時にほぼ大気圧の気体を取り込み、前段スクロール機構が吐出する気体と空間３ｇに存在する気体とが混合されて、その圧力が大気圧を下回るまで、大気圧の気体を取り込み圧縮する。
そのために、後段スクロール機構の形状寸法は、ラップ端面に嵌入されるチップシール２３の温度特性、旋回スクロールの回転速度、旋回スクロールによる気体の最大取り込み容積、圧縮比、ファン２２による冷却性能、前記空間３ｇの気体圧力が大気圧を下回るまでの時間などを考慮して設計され、後段スクロール機構はその範囲内で運転される。
【００４３】
後段旋回スクロールが回動すると、図５（ａ）、及び（ｄ）に示されるように空間３ｇの気体は、外側が固定スクロール用ラップ５と内側が旋回スクロール用ラップ９で形成される最大ガスポケットＷｍａｘ、及び外側が旋回スクロール用ラップ９と内側が固定スクロール用ラップ５で形成される最大ガスポケットＸｍａｘとして取り込まれる。
【００４４】
これらの最大ガスポケットＷｍａｘ及びＸｍａｘに取り込まれた気体は旋回スクロール用ラップ９の回動により、Ｘｍａｘは（ｂ）に示すように最小ガスポケットＸｍｉｎとして圧縮され、さらに回動して（ｃ）に示すようにラップ９の先端部９ａと固定スクロール用ラップ５の中央部壁面３ｊとの空隙が開成することにより、そこから圧縮気体は吐出開口部３ｂに吐出される。
また、Ｗｍａｘは（ｄ）に示すように最小ガスポケットＷｍｉｎとして圧縮され、さらに回動して（ａ）に示すようにラップ５の中心部のアール部３ｉと旋回スクロール９の先端部９ａとの間が開成することにより、そこから圧縮気体は吐出開口部３ｂに吐出される。
【００４５】
密閉容器３５の排気が進み、該容器内の圧力が低下するにつれて気体の吸入量が低下する。
この圧力低下を検出することによって、電気制御装置３４はモータ３２の回転数を上げ、気体吸入量の低下を補うように動作する。
尚、密閉容器の容量、真空ポンプの性能などを、予め電気制御装置３４内に入力しておき、所定時間経過後にモータ回転数を制御するように構成してもよい。
【００４６】
上述したように、後段スクロールは、ほぼ大気圧の気体を圧縮して外部へ吐出することができ、前段スクロール機構によって、大気圧以上の圧縮気体が供給されても、圧力制御弁によりバイパスして外部に吐出できるように構成されているので、後段スクロール機構によって、それ以上の圧力の気体を取り込み圧縮されることがなく、それにより発生する高温によってスクロール機構の耐久性の低下もしくは破損することがない。
【００４７】
図６は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第２実施例を示す構成図である。
同図において、オイルフリー２段式真空ポンプ本体１０は、ハウジング１３及び２０によって囲まれた空間に、２個の固定スクロール用ラップ１４、１５と、それらに対向して設けられた２個の旋回スクロール端板１６、１７に植設された旋回スクロール用ラップ１８、１９と、これらの旋回スクロールを回転駆動する回転駆動軸２９、３０、及びこの駆動軸２９、３０に取り付けられハウジング１３、２０を冷却するファン２２により基本的に構成されている。
【００４８】
ハウジング１３の内壁１３ｅの中央部には、開口孔１３ａが開設されるとともに、該開口孔１３ａの右方には回転軸受けを保持する、前記開口孔１３ａより大径の座ぐり部１３ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸２９が前記開口孔１３ａに回転自在に嵌合している。
また、ハウジング１３の外面には中心部分から外周に向かって放射状に複数のリブ４１が設けられ、該リブ４１の上面には複数の空気抜け穴３６ａが開設されたカバー３６が取り付けられ、ファン２２の回転により図１上、上方から侵入した冷却風が矢印に示すように右方に流れるように構成されている。
【００４９】
また、このハウジング１３の内壁１３ｅの表面には渦巻状の後段固定スクロール用ラップ１５が植設されるとともに、該ラップ１５の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。
【００５０】
前記開口孔１３ａの近傍には圧縮気体を吐出する開口部１３ｂが開設され、該開口部１３ｂは逆止め弁２４を介して外部と連通する吐出ポート１３ｃと連結している。
この逆止め弁２４は開口部１３ｂ内の圧縮気体の圧力が外部の大気圧より高いと開成して開口部１３ｂは吐出ポート１３ｃと連通し圧縮気体を外部に吐出し、開口部１３ｂ内の圧力が外部の大気圧より低いと閉成し、外部の気体が開口部１３ｂ内に逆流して始動時に余分な駆動負荷を与えないように構成されている。
【００５１】
また、ハウジング１３の内壁１３ｅ側の気密性を保つために周辺部に起立して内壁１３ｅ側を囲繞する壁面１３ｈと後部固定スクロール用ラップ１５の外周部との間に、開口部１３ｄが開設され、該開口部１３ｄは圧力制御弁２５を介し、外部と連通する吐出ポート１３ｃに連通している。
この圧力制御弁２５は、壁面１３ｈと後部固定スクロール用ラップ１５の外周部との間の密閉空間１３ｇ内の圧縮気体の圧力が外部の大気圧より高いと開成して開口部１３ｄは吐出ポート１３ｃと連通し圧縮気体を外部に吐出し、密閉空間１３ｇ内の圧力が外部の大気圧より低いと閉成し、後段スクロールポンプが高い圧力の圧縮気体を取り込み後段スクロールポンプ内が所定値以上の温度に上昇しないように制御するものである。
【００５２】
ハウジング１３内には、さらに、前記後段固定スクロ−ル用ラップ１５と実質的に同じ形状の渦巻き形の後段旋回スクロール用ラップ１９が植設された後段旋回スクロール端板１７が、前記ラップ１５、１９同志を１８０度ずらして嵌合させて設けられている。
好ましい実施例によると、この後段固定スクロール用ラップ１５と後段旋回スクロール用ラップ１９とが形成する最大ガスポケット容積は５６．６ｃｃ、最小ガスポケット容積は１９．１ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．９６に設定されている。
この端板１７の中央部には、円筒部１７ｂが設けられ、その中心部には開口孔１７ａが開設されるとともに、該開口孔１７ａの左方には回転軸受けを保持する前記開口孔１７ａより大径の座ぐり部１７ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸２９の回転中心より偏芯した軸中心を有する先端軸部２９ａが回転可能に嵌合している。
【００５３】
また、前記端板１７に設けられた後段固定スクロール用ラップ１９の端面に自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。そして、前述したように、前記各スクロ−ルのラップ１５、１９は各々他側スクロ−ルと接触する端面に凹設した溝部に、チップシ−ル２３で構成される自己潤滑性シ−ル部材を嵌入させ、無潤滑で摺動可能に達成するとともに、前記後段固定スクロール用ラップ１５及び前記後段旋回スクロール用ラップ１９とで形成される密閉空間内の外部との気密性の維持を図っている。
【００５４】
また、後段旋回スクロール端板１７のラップが植設された面とは反対側の面の外周部分に、一端が後述する前段スクロールポンプのハウジング１２に連結された公転機構４７が連結される連結部が１２０゜間隔で偏位された位置に（３個所）設けられている。
したがって、回転駆動軸２９の回転により旋回スクロールの端板１７は図６上上下運動を行い、公転機構４７のクランク長さだけ旋回運動を行う事となり、旋回スクロールの端板１７は自転を阻止されながら一定の半径で固定スクロールのラップ１５中心の周りを公転可能に構成されている。
【００５５】
ハウジング１２はパッキング３８を挟んでハウジング１３とビス等で固着される。
このハウジング１２の外周部には図示しない密閉容器に連結して密閉容器内の気体を吸引する吸入開口部１２ｂが開設され、このハウジング１２の内壁１２ｅの表面には渦巻状の前段固定スクロール用ラップ１４が植設されるとともに、該ラップ１４の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。
ハウジング１２のラップ１４の植立側の中央部にはラップ１４の端面からの深さが内壁１２ｅより浅く凹部１２ｆが設けられ、その凹部１２ｆの周辺よりに圧縮気体を後段スクロール機構に供給する開口孔１２ａが開設されている。
また、ハウジング１２の外周部の、１２０゜間隔で偏位された位置に（３個所）一端が後段旋回スクロール端板１７と連結した公転機構３７の基部が設けられている。
【００５６】
ハウジング１２内には、さらに、前記前段固定スクロ−ル用ラップ１４と実質的に同じ形状の渦巻形の前段旋回スクロール用ラップ１８が植設された前段旋回スクロール端板１６が、前記ラップ１４、１８同志を１８０度ずらして嵌合させて設けられている。
この前段旋回スクロール端板１６は、その外周部の１２０゜間隔で偏位された位置に（３個所）一端が後段旋回スクロール端板１７と連結した公転機構４７の他端が連結されている。
そして、端板１６の中心部にラップ１８植立方向に向かって円筒部１６ｂが設けられ、該円筒部の先端は前記ハウジング１２の凹部１２ｆの壁面にチップシール２３を介して接触し、回転駆動軸３０の偏心した先端部３０ａに回転可能に設けられている。
好ましい実施例によると、この前段固定スクロール用ラップ４と前段旋回スクロール用ラップ８とが形成する最大ガスポケット容積Ｖｍａｘは、１８９．７ｃｃ、最小ガスポケット容積Ｖｍｉｎは８２．７ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．２９に設定されている。
【００５７】
また、前記端板１６に設けられた前段固定スクロール用ラップ１８の端面に自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。そして、前述したように、前記各スクロ−ルのラップ１４、１８は各々他側スクロ−ルと接触する端面に凹設した溝部に、チップシ−ル２３で構成される自己潤滑性シ−ル部材を嵌入させ、無潤滑で摺動可能に構成するとともに、前記前段固定スクロール用ラップ１４及び前記前段旋回スクロール用ラップ１８とで形成される密閉空間内の外部との気密性の維持を図っている。
【００５８】
また、ハウジング２０がパッキング３８を挟んでハウジング１２に固着されている。
ハウジング２０の内壁２０ｅの中央部には、開口孔２０ａが開設されるとともに、該開口孔２０ａの左方には回転軸受けを保持する、前記開口孔２０ａより大径の座ぐり部２０ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸３０が前記開口孔３０ａに回転自在に嵌合している。
また、ハウジング２０の外面には中心部分から外周に向かって放射状に複数のリブ４０が設けられ、該リブ４０の上面には複数の空気抜け穴３６ａが開設されたカバー３６が取り付けられ、ファン２２の回転により図６上、上方から侵入した冷却風が矢印に示すように左方に流れるように構成されている。
【００５９】
次に、このように構成された第２実施例の動作を図６及び図１１（ｂ）を用いて説明する。
図１１（ｂ）において、電気制御装置３４はモータ３３を回転して前段スクロール機構を駆動する。
図６において、ハウジング１２の吸入開口部１２ｂには大気圧とほぼ同じ圧力の気体が吸入され、前段スクロール機構はその気体を取り込み、圧縮して吐出開口部１２ａからハウジング１３の空間１３ｇに圧縮気体を放出する。
この放出された気体は、初期駆動時においては大気圧より高圧力になっているため、圧力制御弁２５は、その圧縮気体を外部に吐出する。
【００６０】
密閉容器３５の容積、前段旋回スクロールの取り組み容積、及び回転速度などとを考慮して計算される時間経過し、電気制御装置３４はモータ３２を回転させる。
その時点を前後して、その頃には、空間１３ｇに吐出される前段スクロールの圧縮気体の圧力は大気圧を下回り、圧力制御弁２５は閉成する。
爾後、前段スクロール機構が吐出する圧縮気体は後段スクロール機構により圧縮され、吐出開口部１３ｂから外部に吐出される。
真空ポンプの吸引により、密閉容器３５内の圧力が低下するにつれて、電気制御装置３４はモータ３３、３２の回転数を上昇させる。これによって、密閉容器内の気体排気量の低下を補償し、処理時間が短縮される。
【００６１】
図７は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第３実施例を示す構成図である。
同図において、オイルフリー２段式真空ポンプ本体１００は、ハウジング１０２及び１０３によって囲まれた空間に、２個の固定スクロール用ラップ１０４、１０５と、それらに対向して設けられた旋回スクロール端板１０６に植設された旋回スクロール用ラップ１０８、１０７と、この旋回スクロールを回転駆動する回転駆動軸３１、及びこの駆動軸３１に取り付けられハウジング１０３、１０２を冷却するファン２２により基本的に構成されている。
【００６２】
ハウジング１０３の内壁１０３ｅの中央部には、開口孔１０３ａが開設されるとともに、該開口孔１０３ａの右方には回転軸受けを保持する、前記開口孔１０３ａより大径の座ぐり部１０３ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸３１が前記開口孔１０３ａに回転自在に嵌合している。
また、ハウジング１０３の外面には中心部分から外周に向かって放射状に複数のリブ４２が設けられ、該リブ４２の上面には複数の空気抜け穴３６ａが開設されたカバー３６が取り付けられ、ファン２２の回転により図７上、上方から侵入した冷却風が矢印に示すように右方に流れるように構成されている。
【００６３】
また、このハウジング１０３の内壁１０３ｅの表面には渦巻状の後段固定スクロール用ラップ１０５が植設されるとともに、該ラップ１０５の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。
前記開口孔１０３ａの近傍には、圧縮気体を吐出する開口部１０３ｂが開設され、該開口部１０３ｂは逆止め弁２４を介して外部と連通する吐出ポート１０３ｃと連結している。
この逆止め弁２４は開口部１０３ｂ内の圧縮気体の圧力が外部の大気圧より高いと開成して開口部１０３ｂは吐出ポート１０３ｃと連通し圧縮気体を外部に吐出し、開口部１０３ｂ内の圧力が外部の大気圧より低いと閉成し、外部の気体が開口部１３ｂ内に逆流して始動時に余分な駆動負荷を与えないように構成されている。
【００６４】
また、ハウジング１０３の内壁１０３ｅ側の気密性を保つさめに周辺部に起立して内壁１０３ｅ側を囲繞する壁面１０３ｈと後部固定スクロール用ラップ１０５の外周部との間に、開口部１０３ｄが開設され、該開口部１０３ｄは圧力制御弁２５を介して、外部と連通する吐出ポート１０３ｃに連通している。
この圧力制御弁２５は、壁面１０３ｈと後部固定スクロール用ラップ１０５の外周部との間内の密閉空間１０３ｇ内の圧縮気体の圧力が外部の大気圧より高いと開成して開口部１０３ｄは吐出ポート１０３ｃと連通し圧縮気体を外部に吐出し、密閉空間１０３ｇ内の圧力が外部の大気圧より低いと閉成し、後段スクロールポンプが高い圧力の圧縮気体を取り込んで後段スクロールポンプ内が所定値以上の温度に上昇しないように制御するものである。
【００６５】
ハウジング１０２はパッキング３８を挟んでハウジング１０３とビス等で固着される。
このハウジング１０２の外周部には図示しない密閉容器に連結して密閉容器内の気体を吸引する吸入開口部１０２ｂが開設され、このハウジング１０２の内壁１０２ｅの表面には渦巻状の前段固定スクロール用ラップ１０４が植設されるとともに、該ラップ１０４の端面には自己潤滑性とスラスト方向に弾性力を有したチップシール２３が嵌入されている。
【００６６】
ハウジング１０２の内壁１０２ｅの中央部には、開口孔１０２ａが開設されるとともに、該開口孔１０２ａの左方には回転軸受けを保持する、前記開口孔１０２ａより大径の座ぐり部１０２ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸３１が前記開口孔１０２ａに回転自在に嵌合している。
また、ハウジング１０２の外面には中心部分から外周に向かって放射状に複数のリブ４３が設けられ、該リブ４３の上面には複数の空気抜け穴３６ａが開設されたカバー３６が取り付けられ、ファン２２の回転により図７上、上方から侵入した冷却風が矢印に示すように左方に流れるように構成されている。
【００６７】
また、ハウジング１０２の内面中央部近傍には、圧縮気体の吐出開口部１０２ａが開設され、吐出通路１０２ｃを介して後段スクロールに圧縮気体が供給される。
また、ハウジング１０２の外周部の、１２０゜間隔で偏位された位置に（３個所）一端が旋回スクロール端板１０６と連結した公転機構３７の基部が設けられている。
ハウジング１０２内には、さらに、前記前段固定スクロ−ル用ラップ１０４と実質的に同じ形状の渦巻き形の前段旋回スクロール用ラップ１０８が植設された旋回スクロール端板１０６が、前記ラップ１０４、１０８同志を１８０度ずらして嵌合させて設けられている。
好ましい実施例によると、この前段固定スクロール用ラップ４と前段旋回スクロール用ラップ８とが形成する最大ガスポケット容積Ｖｍａｘは、１８９．７ｃｃ、最小ガスポケット容積Ｖｍｉｎは８２．７ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．２９に設定されている。
【００６８】
さらに、旋回スクロール端板１０６の鏡面１０６ｇには前記後段固定スクロ−ル用ラップ１０５と実質的に同じ形状の渦巻き形の後段旋回スクロール用ラップ１０７が植設され、前記ラップ１０５、１０７同志を１８０度ずらして嵌合させて設けられている。
好ましい実施例によると、この後段固定スクロール用ラップ１５と後段旋回スクロール用ラップ１９とが形成する最大ガスポケット容積は５６．６ｃｃ、最小ガスポケット容積は１９．１ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．９６に設定されている。
【００６９】
この旋回スクロール端板１０６は、その外周部の１２０゜間隔で偏位された位置に（３個所）基部がハウジング１０２と連結したピンクランク機構３７の一端が、連結されている。
そして、端板１０６の中心部にラップ１０８の植立方向に向かって円筒部１０６ｂが設けられ、該円筒部の先端は前記ハウジング１０２の鏡面１０２ｅにチップシール２３を介して接触し、回転駆動軸３１の偏心した先端部３１ａに回転可能に設けられている。
この端板１０６の中央部に設けられた円筒部１０６ｂの中心部には開口孔１０６ａが開設されるとともに、該開口孔１０６ａの左方には回転軸受けを保持する前記開口孔１０６ａより大径の座ぐり部１０６ｆが設けられ、該座ぐり部に設けられた回転軸受けを介して図示しないモータに連結した回転駆動軸３１の回転中心より偏芯した軸中心を有する偏心部３１ａが回転可能に嵌合している。
【００７０】
次に、このように構成された第３実施例の動作を図７及び図１１（ａ）を用いて説明する。
図１１（ａ）において、電気制御装置３４はモータ３２を回転して旋回スクロール端板１０６を駆動する。
図７において、ハウジング１０２の吸入開口部１０２ｂには大気圧とほぼ同じ圧力の気体が吸入され、前段スクロール機構の旋回ラップ１０８と固定ラップ１０４はその気体を取り込み、圧縮して吐出開口部１０２ａからハウジング１０３の空間１０３ｇに圧縮気体を放出する。
【００７１】
初期駆動時は密閉容器３５が大気圧と同じ圧力であり、それがために前段スクロールに取り込まれた気体は、大気圧の約２倍となって空間１０３ｇに充満される。
外部と連通する吐出通路１０３ｃに連通して設けられた開口部１０３ｄに配設された圧力制御弁２５は、空間１０３ｇが大気圧より高いために、開成し圧縮気体を外部に排出する。
【００７２】
一方、初期駆動時においては、後段スクロール機構は空間１０３ｇのみならず各固定スクロール用ラップ１０５及び旋回スクロール用ラップ１０７が形成するガスポケット内はほぼ大気圧と同じ圧力の気体が充満している。
したがって、後段スクロール機構は、初期駆動時にほぼ大気圧の気体を取り込み、前段スクロール機構が吐出する気体と空間１０３ｇに存在する気体とが混合されて、その圧力が大気圧を下回るまで、大気圧の気体を取り込み圧縮し、圧縮気体は吐出開口部１０３ｂに吐出される。
【００７３】
密閉容器３５の排気が進み、該容器内の圧力が低下するにつれて気体の吸入量が低下する。
この圧力低下を検出することによって、電気制御装置３４はモータ３２の回転数を上げ、気体吸入量の低下を補うように動作する。
尚、密閉容器の容量、真空ポンプの性能などを予め電気制御装置３４に入力しておき、所定時間経過後にモータ回転数を制御するように構成してもよい。
【００７４】
図８は、駆動スクロール及び従動スクロールを用いた本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第４実施例を示す構成図である。
同図において、オイルフリー２段式真空ポンプ本体２００は、モータ５０の回転駆動軸５３の両端に前段真空ポンプ本体２００Ａ及び後段真空ポンプ本体２００Ｂを連結し、後段真空ポンプ２００Ｂの吐出開口部を逆止め弁１２４により外部と連通する吐出通路５７と連結し、前段真空ポンプ２００Ａの吐出開口部と後段真空ポンプ２００Ｂの吸入開口部とを配管５６で連結するとともに、配管５６内が所定圧力以上になると開成して外部に排気する圧力制御弁１２５によって前記吐出通路とバイパスして配置構成されている。
【００７５】
次に、前段真空ポンプ本体２００Ａ及び後段真空ポンプ本体２００Ｂの詳細を説明する。
図９は、前段真空ポンプ本体２００Ａの詳細を示す断面図である。同図において、ハウジング６０Ａ及び６０Ｂは、中間にドーナツ状に形成されたダストハウジング６１を挟んで図示しない取付部材で一体に形成されている。
ハウジング６０Ａの外壁６０Ａｄの中心部には、モータ５０の回転駆動軸５３Ａが回転自在に嵌挿する、内壁６０Ａｂに連通する開口部６０Ａｃが開設され、ハウジング６０Ｂの外壁６０Ｂｄの中心部に、後述する取付座６７の先端軸が回転自在に嵌挿する、内壁６０Ｂｂに連通する開口部６０Ｂｃが開設されている。
【００７６】
取付座６６は、キノコ状に形成され、茎部分を傘の上面に向かって駆動軸５３Ａに嵌合するための連通孔が開設され、傘部分に放射状に３個の取付部６６ｂを有するとともに、該取付部を外れた茎部分に冷却用の空気が流通する３個の開口孔６６ａが開設されている。この取付座６６の茎部分の外周には回転軸受けが嵌合され、該回転軸受けの外周はハウジング６０Ａの孔６０Ａａに固着され、取付座６６は駆動軸５３Ａに固着された状態でハウジング６０Ａ内に回転可能に配置されている。また、ハウジング６０Ａの外面には駆動スクロール６２を冷却する空気を吸入する複数の開口孔６０Ａｇおよび該空気を放出する複数の開口孔６０Ａｉが開設されている。
【００７７】
駆動スクロール６２は、基本的には円盤状のスクロールブレードの背面に設けられた、中心部から外周部に放射状に複数設けられたファンブレード６２ａと、渦巻状のラップ６３とで構成されている。
駆動スクロール６２の背面には、１２０゜の間隔で放射状に３個のファンブレードが起立し、該ファンブレード６２ｃの上部の太肉部には前記取付部６６ｂにより前記取付座６６が取付られている。
また、駆動スクロール６２にはラップ６３が植設され、該駆動スクロールの外周部には１２０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構６８が設けられている。
【００７８】
公転機構６８を介して前記ラップ６３と対面するラップ壁を有するラップ６５を植設した従動スクロール６４が設けられている。
この従動スクロール６４のラップと反対側の面に円筒部６４ｂが設けられ、そして、回転中心にはラップが植設された面から前記円筒部６４の先端面に達する圧縮気体を外部に吐出するための開口孔６４ａが開設されている。
従動スクロール６４の背面には、１２０゜の間隔で放射状に３個のファンブレードが起立し、該ファンブレード６４ａの上部の太肉部には取付部６７ｂにより取付座６７が取付られている。また、円筒部６４ｂの先端面と取付座６７との間にはパッキング６９が挟持され、気密性を保持している。
【００７９】
前記取付座６７は、キノコ状に形成され、従動スクロールの開口孔６４ａから吐出された圧縮気体を外部に排出するために、茎部分を傘の上面に向かって連通孔６７ｃが開設され、傘部分に放射状に３個の取付部６７ｂを有するとともに、該取付部を外れた茎部分に冷却用の空気が流通する３個の開口孔６７ａが開設されている。
この取付座６７の茎部分の外周には回転軸受けが嵌合され、該回転軸受けの外周はハウジング６０Ｂの孔６０Ｂａに固着され、茎部分の先端部分は円筒状に突出して前記ハイジング６０Ｂの開口孔６０Ｂｃに回転可能に嵌合している。
取付座６７は従動スクロール６４を固着した状態でハウジング６０Ｂ内に回転可能に配置されている。
【００８０】
また、ハウジング６０Ｂの外面には従動スクロール６４を冷却する空気を吸入する複数の開口孔６０Ｂｇおよび該空気を放出する複数の開口孔６０Ｂｉが開設されている。
好ましい実施例によると、前記前段駆動スクロール用ラップ６３と前段従動スクロール用ラップ６５とが形成する最大ガスポケット容積Ｖｍａｘは、１８９．７ｃｃ、最小ガスポケット容積Ｖｍｉｎは８２．７ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．２９に設定されている。
【００８１】
図１０は、後段真空ポンプ本体２００Ｂの詳細を示す断面図である。図９と同一部材は同一記号を用いる。
同図において、ハウジング６０Ａ及び６０Ｂは、中間にドーナツ状に形成されたダストハウジング６１を挟んで図示しない取付部材で一体に形成されている。ハウジング６０Ａの外壁６０Ａｄの中心部には、モータ５０の回転駆動軸５３Ｂが回転自在に嵌挿する、内壁６０Ａｂに連通する開口部６０Ａｃが開設され、ハウジング６０Ｂの外壁６０Ｂｄの中心部に、後述する取付座６７の先端軸が回転自在に嵌挿する、内壁６０Ｂｂに連通する開口部６０Ｂｃが開設されている。
【００８２】
取付座６６は、キノコ状に形成され、茎部分を傘の上面に向かって駆動軸５３Ｂに嵌合するための連通孔が開設され、傘部分に放射状に３個の取付部６６ｂを有するとともに、該取付部を外れた茎部分に冷却用の空気が流通する３個の開口孔６６ａが開設されている。この取付座６６の茎部分の外周には回転軸受が嵌合され、該回転軸受の外周はハウジング６０Ａの孔６０Ａａに固着され、取付座６６は駆動軸５３Ｂに固着された状態でハウジング６０Ａ内に回転可能に配置されている。
また、ハウジング６０Ａの外面には駆動スクロール６２を冷却する空気を吸入する複数の開口孔６０Ａｇおよび該空気を放出する複数の開口孔６０Ａｉが開設されている。
【００８３】
駆動スクロール６２は、基本的には円盤状のスクロールブレードの背面に設けられた、中心部から外周部に放射状に複数設けられたファンブレード６２ａと、渦巻状のラップ６３とで構成されている。
駆動スクロール６２の背面には、１２０゜の間隔で放射状に３個のファンブレードが起立し、該ファンブレード６２ａの上部の太肉部には前記取付部６６ｂにより前記取付座６６が取付られている。
また、駆動スクロール６２にはラップ６３が植設され、該駆動スクロールの外周部には１２０゜ずつ円周方向３箇所に３対の公転機構６８が設けられている。
【００８４】
公転機構６８を介して前記ラップ６３と対面するラップ壁を有するラップ６５を植設した従動スクロール６４が設けられている。
この従動スクロール６４のラップと反対側の面に円筒部６４ｂが設けられ、そして、回転中心にはラップが植設された面から前記円筒部６４の先端面に達する圧縮気体を外部に吐出するための開口孔６４ａが開設されている。
従動スクロール６４の背面には、１２０゜の間隔で放射状に３個のファンブレードが起立し、該ファンブレード６４ｃの上部の太肉部には取付部６７ｂにより取付座６７が取付られている。また、円筒部６４ｂの先端面と取付座６７との間にはパッキング６９が挟持され、気密性を保持している。
【００８５】
前記取付座６７は、キノコ状に形成され、従動スクロール開口孔６４ａか吐出された圧縮気体を外部に排出するために、茎部分を傘の上面に向かって連通孔６７ｃが開設され、傘部分に放射状に３個の取付部６７ｂを有するとともに、該取付部を外れた茎部分に冷却用の空気が流通する３個の開口孔６７ａが開設されている。
この取付座６７の茎部分の外周には回転軸受けが嵌合され、該回転軸受けの外周はハウジング６０Ｂの孔６０Ｂａに固着され、茎部分の先端部分は円筒状に突出して前記ハウジング６０Ｂの開口孔６０Ｂｃに回転可能に嵌合している。
取付座６７は従動スクロール６４を固着した状態でハウジング６０Ｂ内に回転可能に配置されている。
【００８６】
また、ハウジング６０Ｂの外面には従動スクロール６４を冷却する空気を吸入する複数の開口孔６０Ｂｇおよび該空気を放出する複数の開口孔６０Ｂｉが開設されている。
好ましい実施例によると、この後段駆動スクロール用ラップ６３と後段従動スクロール用ラップ６５とが形成する最大ガスポケット容積は５６．６ｃｃ、最小ガスポケット容積は１９．１ｃｃ、容積比（最大容積／最小容積＝圧縮比）は２．９６に設定されている。
【００８７】
図１２は、駆動スクロールと従動スクロールの組み合わせに係るスクロール機構を備えた真空ポンプを駆動する制御装置のブロック図であり、（ａ）は、密閉容器３５の吸い出し口には、配管５９により前段真空ポンプ本体２００Ａの吸入端が接続され、この前段真空ポンプ本体２００Ａの吐出開口部と後段真空ポンプ本体２００Ｂの吸入端とを配管５６と接続し、後段真空ポンプ本体２００Ｂの吐出開口部と吸入端とを配管５７でバイパスされている。
この前段真空ポンプ本体２００Ａはモータ５０の回転駆動軸５３Ａに連結し、後段真空ポンプ本体２００Ｂはモータ５０の回転駆動軸５３Ｂに連結され、このモータ５０は電気制御装置３４により回転制御されるように配線接続され、前記電気制御装置３４は前記密閉容器３５内の気体圧力を測定する測定手段を備え、該測定手段の測定値により、モータ３２の回転数を制御可能に構成されている。
【００８８】
また、（ｂ）は、密閉容器３５の吸い出し口には、配管５９により前段真空ポンプ本体３００Ａの吸入端が接続され、この前段真空ポンプ本体３００Ａの吐出開口部と後段真空ポンプ本体３００Ｂの吸入端とを配管５６と接続し、後段真空ポンプ本体３００Ｂの吐出開口部と吸入端とを配管５７でバイパスされている。この前段真空ポンプ本体３００Ａは、モータ５１の回転駆動軸５４に連結し、後段真空ポンプ本体３００Ｂはモータ５２の回転駆動軸５５に連結され、これらのモータ５１、５２は電気制御装置３４により回転制御されるように配線接続され、前記電気制御装置３４は前記密閉容器３５内の気体圧力を測定する測定手段を備え、該測定手段の測定値により、モータ３２の回転数を制御可能に構成されている。
【００８９】
このように構成された第４実施例の動作を図８（ａ）、図９、図１０及び図１２（ａ）を用いて説明する。
密閉容器３５を真空ポンプ本体２００Ａに接続し、電気制御装置３４によってモータ５０を回転駆動すると、回転駆動軸５３Ａにより駆動スクロール６２が回転する。この回転駆動力は公転機構６８によって従動スクロール６４に回転力が伝達され、従動スクロール６４は駆動する。
この駆動および従動スクロールにより圧縮された圧縮気体は図９上吐出通路６７ｃを通って、配管５６から後段真空ポンプ２００Ｂの吸入端６１ａに供給される。
【００９０】
このとき配管５６内は前段真空ポンプの吐出気体で充満され、その圧力は外部大気圧より高く、圧力制御弁１２５はその圧力により開成し、内部の圧縮気体を外部に排気する。
配管５６内の気体の圧力が大気圧を下回ると、圧力制御弁１２５は閉成する。
【００９１】
一方、後段真空ポンプ２００Ｂは、回転駆動軸５３Ｂの回転とともに前段真空ポンプ２００Ａが動作を始める同時に駆動し、駆動スクロール６２及び従動スクロール６４により圧縮した気体は吐出通路６７ｃを通って逆止め弁１２４を押して外部に排出する。
密閉容器３５内の圧力が低下するにつれて、電気制御装置３４はモータ５０の回転数を上げ、気体吸入量の低下を補う。
【００９２】
図８（ｂ）は、駆動スクロール及び従動スクロールを用いた本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第５実施例を示す構成図である。前述の第４実施例と同一部材は同一符号を用いる。
同図において、オイルフリー２段式真空ポンプ本体３００は、モータ５１の回転駆動軸５４、及びモータ５２の回転駆動軸５５に前段真空ポンプ本体３００Ａ及び後段真空ポンプ本体３００Ｂを連結し、後段真空ポンプ３００Ｂの吐出開口部を逆止め弁１２４により外部と連通する吐出通路５７と連結し、前段真空ポンプ３００Ａの吐出開口部と後段真空ポンプ３００Ｂの吸入開口部とを配管５６で連結するとともに、配管５６内が所定圧力以上になると開成して外部に排気する排気バルブ１２５によって前記吐出通路とバイパスして配置構成されている。
【００９３】
ここにおいて、ブロックで示される前段真空ポンプ本体３００Ａは、図９に示す前段真空ポンプ本体２００Ａと同一の構成であり、また、後段真空ポンプ本体３００Ｂは、図１０に示す後段真空ポンプ本体２００Ｂと同一であり、第４実施例との相違点は、第４実施例が同一モータで前段及び後段真空ポンプを駆動するのに対して、本実施例は前段及び後段真空ポンプをそれぞれ別のモータで駆動する点である。
【００９４】
次に、この実施例の動作を図８（ｂ）、図９、図１０および図１２（ｂ）を用いて説明する。
密閉容器３５を真空ポンプ本体３００Ａに接続し、電気制御装置３４によってモータ５１を回転駆動すると、回転駆動軸５４により駆動スクロール６２が回転する。この回転駆動力は公転機構６８によって従動スクロール６４に回転力が伝達され、従動スクロール６４は駆動する。
この駆動および従動スクロールにより圧縮された圧縮気体は、配管５６から後段真空ポンプ３００Ｂに供給される。
【００９５】
このとき配管５６内は前段真空ポンプの吐出気体で充満され、その圧力は外部大気圧より高く、排気バルブ１２５はその圧力により開成し、内部の圧縮気体を外部に排気する。これは配管５６内の気体の圧力が大気圧を下回るまで続けられる。
【００９６】
密閉容器３５の容積、前段スクロール機構の取り組み容積、及び回転速度などとを考慮して計算される時間経過し、電気制御装置３４はモータ５２を回転させる。
その時点を前後して、その頃には、配管５６に吐出される前段スクロール機構の圧縮気体の圧力は大気圧を下回り、圧力制御弁１２５は閉成する。
爾後、前段スクロール機構が吐出する圧縮気体は後段スクロール機構により圧縮され、逆止め弁１２４を開成して外部に吐出される。
【００９７】
真空ポンプの吸引により、密閉容器３５内の圧力が低下するにつれて、電気制御装置３４はモータ５１、５２の回転数を上昇させる。これによって、密閉容器内の気体排気量の低下を補償し、処理時間が短縮される。
【００９８】
尚、第２実施例及び第５実施例ともに、後段真空ポンプを駆動するモータの始動時期を、密閉容器の容積と前段真空ポンプの性能とを考慮して演算して決定しているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、圧力制御弁の開閉動作に連動して動作する移動片もしくは、センサ等を配置して、それにより検出して後段真空ポンプを駆動させてもよい。
【００９９】
また、第４実施例及び第５実施例は、それぞれ前段及び後段真空ポンプに、固定スクロール及び旋回スクロール機構の組み合わせ、もしくは駆動スクロールと従動スクロールの組み合わせで説明したが、これは前段真空ポンプに前者の組み合わせを用い、後段真空ポンプに後者の組み合わせを用いてもよく、さらに、前段スクロールポンプに後者の組み合わせを用い、後段スクロールポンプに前者の組み合わせをもちいても良い事は勿論のことである。
【０１００】
以上説明したように、本実施例は、前段スクロールポンプ部と後段スクロールポンプ部とを直列接続して構成されるオイルフリー２段式真空ポンプであるため、スクロールの外形が小さくすることができる。
その結果、大径の場合に発生する、高速回転の場合の軸のタワミ等による回転のブレ、固定スクロールと旋回スクロールとによる不均等接触、等による騒音及び熱、または耐久性の低下等の問題がない。
【０１０１】
そして、前記前段スクロールポンプ部の吐出空間を前記後段スクロールポンプの吐出空間とバイパス路を介して連通させると共に、該バイパス路上に所定圧以下で閉成する圧力制御弁を設けているので、前記前段スクロールポンプの吸入端に真空にしようとする密閉容器を接続し、始動初期において前記密閉容器内の気圧が大気圧に近い関係上、吸入気体はすでに前段スクロールポンプの圧縮工程において高圧力となり、その圧力が所定圧力を越えると、例えば、後段スクロールポンプの吐出空間の圧力である外部圧力より高くなると前記圧力制御弁が開成し、前段スクロールポンプによる圧縮気体を外部に吐出する。
したがって、後段スクロールポンプに大気圧以上の圧縮気体が吸入されることがないために、後段スクロールポンプ部において、過度の圧縮により発熱することがなく、高圧力により発熱して、真空ポンプの耐久性を低下もしくは焼き付いて破損させることはない。
【０１０２】
また、前記前段及び後段スクロールポンプを共通回転軸に一体的に軸支させ、該回転軸を駆動源に連接し、同一回転駆動源により回転するように構成した場合は、一つの駆動源によって真空ポンプを駆動することができ、部品点数が少なくコンパクトな真空ポンプが提供される。
また、前段スクロールポンプの吸入側に負荷用密閉容器を連接させるとともに、該密閉容器内の真空圧の度合いにより回転数を変更可能な制御手段を設け、該制御手段により前記同一回転駆動源を回転制御可能に構成した場合は、負荷用密閉容器の圧力が減少するにつれて前段スクロールポンプ及び後段スクロールポンプの回転数を上昇させて、密閉容器内の気体の排出回数を増加させ、処理時間の短縮化をはかることができる。
【０１０３】
また、前記前段及び後段スクロールポンプを別々の回転駆動源で回転るように構成した場合は、前段スクロールポンプの圧縮比による圧縮気体の負荷と後段スクロールポンプの圧縮比による圧縮気体の負荷に対する最適な回転駆動源をそれぞれのポンプに適用することができる。
また、負荷用密閉容器の吸入初期段階において前段スクロールポンプの圧縮気体圧力が大気圧を越える状態においては、すなわち、密閉容器内の真空の度合いが低い粘性流域においては、前段のポンプのみを駆動して圧力制御弁により外部に排気し、前段スクロールポンプの圧縮気体圧力が大気圧を下回って後に、後段スクロールポンプを回転駆動することができ、経済的な運転を行う事ができる。
また、この場合、前段及び後段のポンプの旋回スクロールをポンプ本体の両側から駆動することができ、前段及び後段のポンプの旋回スクロールを同じ駆動源によって回転駆動するのと比べて、回転駆動源から延在する回転軸の旋回スクロールを固定する位置が回転駆動源から短くなり、その分、軸のソリ等による回転のブレが少なくなる。
【０１０４】
また、固定スクロールと旋回スクロールとの組み合わせであって、固定スクロールの底壁上にバイパス孔を設けて前記バイパス路を構成した場合は、回転駆動しない固定スクロールに単に孔を開設するだけでバイパス路を形成でき、構成が簡単となる。
特に、前段スクロールポンプの固定スクロールと後段スクロールポンプの旋回スクロールと対面させて配置して、前記前段スクロールポンプの固定スクロールに設けた吐出ポートを通って前記後段スクロールポンプの旋回スクロールへ圧縮空気を供給可能に構成した場合は、前段スクロールポンプの固定スクロールと旋回スクロールのラップが形成する最終密閉空間と後段スクロールポンプの固定スクロールと旋回スクロールが形成する初段密閉空間との距離が短くなり、後段スクロールポンプの密閉空間に直ちに取り込まれないで両空間の間に残る気体が少なく効率的な真空ポンプを提供できる。
【０１０５】
【効果】
以上記載したごとく、本発明においては、低真空の粘性流域においても発熱を低減する経済的な真空ポンプを提供すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの、第１実施例を示す構成図である。
【図２】 （ａ）は図１のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】 図１のＣ−Ｃ断面図でる。
【図４】 前段スクロールポンプ部の動作説明図である。
【図５】 後段スクロールポンプの動作説明図である。
【図６】 本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの、第２実施例を示す構成図である。
【図７】 本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの、第３実施例を示す構成図である。
【図８】 （ａ）は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第４実施例を示す構成図、図８（ｂ）は、本発明に係るオイルフリー２段式真空ポンプの第４実施例を示す構成図である。
【図９】 図８（ａ）に示したスクロール機構の前段側の断面図である。
【図１０】 図８（ａ）に示したスクロール機構の後段側の断面図である。
【図１１】 第１〜第３実施例に係るオイルフリー２段式真空ポンプを駆動する制御装置のブロック構成図である。
【図１２】 第４及び第５実施例に係るオイルフリー２段式真空ポンプを駆動する制御装置のブロック構成図である。
【符号の説明】
１、１０、１００、２００、３００ オイルフリー２段式真空ポンプ本体
２、１２、１０２、３、１３、１０３ ハウジング
４、１４、１０４ 前段固定スクロール用ラップ
５、１５、１０５ 後段固定スクロール用ラップ
６、１６、 前段旋回スクロール端板
７、１７ 後段旋回スクロール端板
８、１８ 前段旋回スクロール用ラップ
９、１９ 後段旋回スクロール用ラップ
１１〜１３、２０、２１、６０ ハウジング
２２ ファン
２３ チップシール
２４、１２４ 逆止め弁
２５、１２５ 圧力制御弁
２６ バランスウエイト
２８〜３１、５３〜５５ 回転駆動軸
３２、３３、５０〜５２ モータ
３４ 電気制御装置
３５ 密閉容器
３６ カバー
３７、４７、６８ 公転機構
３８、６９ パッキング
３９〜４３ リブ
５６〜５９ 配管
６１ ダストハウジング
６２ 駆動スクロール
６３ 駆動スクロール用ラップ
６４ 従動スクロール
６５ 従動スクロール用ラップ
６６、６７ 取付座

Claims (5)

1. １のスクロールラップが設けられた端板と他側スクロールラップ端面に自己潤滑性のチップシールを介装してスクロールの旋回動作によりオイルフリーの状態でポンプ動作をなさしめるスクロールポンプで前段スクロールポンプと後段スクロールポンプを夫々構成し、前記後段スクロールポンプ部が前記前段スクロールポンプ部のスクロールラップの端板面よりの高さより低い高さを有し、前段後段両スクロールポンプ部を同一のスクロールハウジングに内蔵するとともに、両スクロールポンプ部を共通回転軸に軸支させて同一回転駆動源により回転させてなるオイルフリー２段スクロール式真空ポンプにおいて、
   前記前段および後段スクロールポンプ部はそれぞれ固定スクロール用ラップと旋回スクロール用ラップよりなり一対に組み合わされて直列に配置されて構成され、前記前段スクロールポンプ部の端板背面と前記後段スクロールポンプ部の端板背面間の空間を前段スクロールポンプ部の吐出口と後段スクロールポンプ部の吸込口とを連絡する中間通路として形成し、後段スクロールポンプ部の固定スクロールの圧縮室を除く端板にバイパス孔を設けて前記中間通路から後部スクロールポンプ部の吐出口に連絡するバイパス路を形成し、このバイパス路に所定圧力以下で閉成する圧力制御弁を設けたことを特徴とするオイルフリー２段スクロール式真空ポンプ。
2. 前記前段スクロールポンプの吸入側に、負荷用密閉容器を連接させるとともに、該密閉容器内の真空圧の度合いにより回転数を変更可能な制御手段を設け、該制御手段により前記同一回転駆動源を回転制御可能に構成したことを特徴とする請求項１記載のオイルフリー２段スクロール式真空ポンプ。
3. 前記両ポンプ部は、それぞれ別々の固定スクロール用ラップと旋回スクロール用ラップが嵌合させるとともに、前段スクロールポンプの固定スクロールと後段スクロールポンプの旋回スクロールと対面させて配置して、前記前段スクロールポンプの固定スクロールに設けた吐出ポートを通って前記後段スクロールポンプの旋回スクロールへ圧縮空気を供給可能に構成することを特徴とする請求項１記載のオイルフリー２段スクロール式真空ポンプ。
4. 前記後段スクロールポンプの圧縮比を前記前段スクロールポンプの圧縮比より大としたことを特徴とする請求項１記載のオイルフリー２段スクロール式真空ポンプ。
5. 前記後段スクロールポンプの最大ガスポケット容積を前記前段スクロールポンプの最小ガスポケット容積より小としたことを特徴とする請求項４記載のオイルフリー２段スクロール式真空ポンプ。

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