JP2591023B2 - 真空ポンプ装置 - Google Patents
真空ポンプ装置Info
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- pump
- rotary
- mechanical booster
- oil
- vacuum
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
- F04C18/3442—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation the surfaces of the inner and outer member, forming the inlet and outlet opening
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、各種の真空機器分野で利用される真空ポン
プ装置に関するものである。
プ装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来よりドライ真空を得るための簡便な手法として、
回転翼形ポンプを油を用いずに使用することが行なわれ
ている（厳密には、ガスの排気流路中に油を用いていな
いもの）。しかし、シールの役割を担う油を用いないた
め、このものは到達真空度を高くできない欠点があり、
例えば通常の油回転真空ポンプで10-3Torr〜10-4Torrの
ものが、ドライで用いると1Torr〜0.1Torrにまで低下し
てしまう。そこで、これを補足するためメカニカルブー
スタポンプ等を別置して付加し、両ポンプの協働で到達
圧力を向上させるように構成することが多い。
回転翼形ポンプを油を用いずに使用することが行なわれ
ている（厳密には、ガスの排気流路中に油を用いていな
いもの）。しかし、シールの役割を担う油を用いないた
め、このものは到達真空度を高くできない欠点があり、
例えば通常の油回転真空ポンプで10-3Torr〜10-4Torrの
ものが、ドライで用いると1Torr〜0.1Torrにまで低下し
てしまう。そこで、これを補足するためメカニカルブー
スタポンプ等を別置して付加し、両ポンプの協働で到達
圧力を向上させるように構成することが多い。
また、油を用いた回転翼形ポンプに対してもメカニカ
ルブースタポンプを連設して使用することがあり、この
場合もさらに高い到達真空度を得ることが可能である。
ルブースタポンプを連設して使用することがあり、この
場合もさらに高い到達真空度を得ることが可能である。
［発明が解決しようとする課題］ このように、メカニカルブースタポンプを回転翼形ポ
ンプに連設して使用するケースは非常に多い。しかるに
は、従来ではこれら二台の真空ポンプを別途設置する必
要があるため、構成されるポンプ装置全体の占有スペー
スが大きくなる欠点があり、取扱い上も好ましくなっ
た。
ンプに連設して使用するケースは非常に多い。しかるに
は、従来ではこれら二台の真空ポンプを別途設置する必
要があるため、構成されるポンプ装置全体の占有スペー
スが大きくなる欠点があり、取扱い上も好ましくなっ
た。
本発明は、このような課題を解決し、コンパクトな構
成で到達圧力の向上を図った真空ポンプ装置を実現する
ことを目的としている。
成で到達圧力の向上を図った真空ポンプ装置を実現する
ことを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、かかる目的を達成するために、次のような
構成を採用したものである。
構成を採用したものである。
すなわち、本発明の真空ポンプ装置は、共通のポンプ
ケース内に、回転翼形ポンプとメカニカルブースタポン
プとを一体に組込んで構成したことを特徴としており、
さらに請求項２では、回転翼形ポンプと駆動軸とメカニ
カルブースタポンプの従動軸とを、クラッチ装置を介し
て断接切替自在に接続していることを特徴としている。
ケース内に、回転翼形ポンプとメカニカルブースタポン
プとを一体に組込んで構成したことを特徴としており、
さらに請求項２では、回転翼形ポンプと駆動軸とメカニ
カルブースタポンプの従動軸とを、クラッチ装置を介し
て断接切替自在に接続していることを特徴としている。
［作用］ このような構成により、回転翼形ポンプとメカニカル
ブースタポンプとをポンプケースに一体に組込むように
すれば、既存のポンプ二台を別途に配置して真空ポンプ
装置を構成するよりも構造的なコンパクト化を図ること
ができるので、装置全体の占有スペースが削減され、取
扱いも一体に行ない得る。
ブースタポンプとをポンプケースに一体に組込むように
すれば、既存のポンプ二台を別途に配置して真空ポンプ
装置を構成するよりも構造的なコンパクト化を図ること
ができるので、装置全体の占有スペースが削減され、取
扱いも一体に行ない得る。
［実施例］ 以下、請求項１の発明に係る一実施例について第１図
および第２図を参照して説明する。この実施例の真空ポ
ンプ装置は、共通のポンプケース１内に、回転翼形ポン
プ２とメカニカルブースタポンプ３とを一体に組込んで
構成し、吸気したガスを両ポンプ２、３で直列に排気す
るようにしている。
および第２図を参照して説明する。この実施例の真空ポ
ンプ装置は、共通のポンプケース１内に、回転翼形ポン
プ２とメカニカルブースタポンプ３とを一体に組込んで
構成し、吸気したガスを両ポンプ２、３で直列に排気す
るようにしている。
具体的に説明すると、回転翼形ポンプ２はドライポン
プとして用いられており、二連形のもので、ポンプケー
ス１に固着して１段固定子21および２段固定子22を配設
するとともに、両固定子21、22の各開口端を、前壁23、
中間壁24、後壁25によってそれぞれ蓋着し、ポンプ室
S1、S2を形成している。そして、これらのポンプ室S1、
S2内に、共通と駆動軸26に同期回転可能に軸着されてな
る１段ロータ27とこれより小径の２段ロータ28とを、そ
れらの偏心位置にそれぞれ収容している。さらに、前記
駆動軸26の一端を前記前壁23を貫通させ、カップリング
41を介してポンプケース側壁11に付設したモータ４の出
力軸42に接続している。
プとして用いられており、二連形のもので、ポンプケー
ス１に固着して１段固定子21および２段固定子22を配設
するとともに、両固定子21、22の各開口端を、前壁23、
中間壁24、後壁25によってそれぞれ蓋着し、ポンプ室
S1、S2を形成している。そして、これらのポンプ室S1、
S2内に、共通と駆動軸26に同期回転可能に軸着されてな
る１段ロータ27とこれより小径の２段ロータ28とを、そ
れらの偏心位置にそれぞれ収容している。さらに、前記
駆動軸26の一端を前記前壁23を貫通させ、カップリング
41を介してポンプケース側壁11に付設したモータ４の出
力軸42に接続している。
前記両ロータ27、28は、それぞれ軸心から逆向きに二
枚の翼板27a、28aを突没自在に突出させており、これら
両翼板27a、28aの各先端を前記１段固定子21および前記
２段固定子22のそれぞれの内周面に摺接させている。そ
して、これらのロータ27、28の駆動回転下に、翼板27
a、28aで仕切られたポンプ室S1、S2の容積を増減させて
周知のポンプ機能を営ませるようにしている。この際、
前記中間壁24には１段ロータ27のポンプ室S1から排気さ
れたガスを２段ロータ28のポンプ室S2内に導入するため
の図示しない排気連絡通路を開設するとともに、この回
転翼形ポンプ２と後述のメカニカルブースタポンプ３と
を仕切る隔壁12に、連通孔13を開口させている。そし
て、この連通孔13より吸気したガスを、先ず１段ロータ
27で圧縮排気し、引続いて２段ロータ28で圧縮排気する
ようにしている。なお、２段ロータ28で排気されたガス
は、２段固定子22外壁に設けた排気弁29から、ポンプケ
ース１に付設した後カバー14内の排気空間に排気され、
しかる後この後カバー14に取着した排気口15より外部に
放出される。
枚の翼板27a、28aを突没自在に突出させており、これら
両翼板27a、28aの各先端を前記１段固定子21および前記
２段固定子22のそれぞれの内周面に摺接させている。そ
して、これらのロータ27、28の駆動回転下に、翼板27
a、28aで仕切られたポンプ室S1、S2の容積を増減させて
周知のポンプ機能を営ませるようにしている。この際、
前記中間壁24には１段ロータ27のポンプ室S1から排気さ
れたガスを２段ロータ28のポンプ室S2内に導入するため
の図示しない排気連絡通路を開設するとともに、この回
転翼形ポンプ２と後述のメカニカルブースタポンプ３と
を仕切る隔壁12に、連通孔13を開口させている。そし
て、この連通孔13より吸気したガスを、先ず１段ロータ
27で圧縮排気し、引続いて２段ロータ28で圧縮排気する
ようにしている。なお、２段ロータ28で排気されたガス
は、２段固定子22外壁に設けた排気弁29から、ポンプケ
ース１に付設した後カバー14内の排気空間に排気され、
しかる後この後カバー14に取着した排気口15より外部に
放出される。
一方、メカニカルブースタポンプ３は前記隔壁12とポ
ンプケース１の外壁とにより形成されるステータの両開
口端に前壁31と後壁32を蓋着してポンプ室S3を閉成し、
このポンプ室S3内に、それぞれ第１従動軸33aと第２従
動軸33bに軸着させてなる一対のルーツ形ロータ34a、34
bを収容するとともに、ポンプケース１に吸気口19を開
設し、また、前記連通孔13をこのポンプ３の排気口とな
している。そして、前記両従動軸33a、33bの他端に、互
いに噛合させてなるタイミングギヤ35a、35bを装着し、
両ルーツ形ロータ34a、34bを逆方向に同期回転させて周
知のポンプ機能を営ましめるようにしている。
ンプケース１の外壁とにより形成されるステータの両開
口端に前壁31と後壁32を蓋着してポンプ室S3を閉成し、
このポンプ室S3内に、それぞれ第１従動軸33aと第２従
動軸33bに軸着させてなる一対のルーツ形ロータ34a、34
bを収容するとともに、ポンプケース１に吸気口19を開
設し、また、前記連通孔13をこのポンプ３の排気口とな
している。そして、前記両従動軸33a、33bの他端に、互
いに噛合させてなるタイミングギヤ35a、35bを装着し、
両ルーツ形ロータ34a、34bを逆方向に同期回転させて周
知のポンプ機能を営ましめるようにしている。
また、このメカニカルブースタポンプ３が前記モータ
４の駆動力を利用し前記回転翼形ポンプ２に連動して駆
動されるように、回転翼形ポンプ２の駆動軸26の一端と
このメカニカルブースタポンプ３の第１従動軸33aの一
端とにそれぞれ駆動プーリ26aと従動プーリ36aを装着
し、両プーリ26a、36aにタイミングベルト37を張設して
連動可能に連結している。
４の駆動力を利用し前記回転翼形ポンプ２に連動して駆
動されるように、回転翼形ポンプ２の駆動軸26の一端と
このメカニカルブースタポンプ３の第１従動軸33aの一
端とにそれぞれ駆動プーリ26aと従動プーリ36aを装着
し、両プーリ26a、36aにタイミングベルト37を張設して
連動可能に連結している。
なお、16は駆動軸26および両従動軸33a、33bを回転可
能に支承する軸受、17はシールである。また、ポンプケ
ース１に付設したタイミングギヤケース18内ではギヤ潤
滑のために油を使用しているが、前記シール17によって
油がポンプ室S3内に漏洩することはない。18aは油面ゲ
ージである。
能に支承する軸受、17はシールである。また、ポンプケ
ース１に付設したタイミングギヤケース18内ではギヤ潤
滑のために油を使用しているが、前記シール17によって
油がポンプ室S3内に漏洩することはない。18aは油面ゲ
ージである。
しかして、このポンプ装置を駆動すると、吸気口19よ
り吸入したガスは先ずメカニカルブースタポンプ３で排
気され、引続いて回転翼形ポンプ２の１、２段ロータ2
7、28で直列に圧縮排気されるため、回転翼形ポンプ２
に油を用いなくとも高い排気性能を発揮することがで
き、通常の油回転ポンプに近い到達真空度が得られる
（10-2Torr〜10-3Torr程度）。そして、このものはポン
プケース１内に両ポンプ２、３を一体に組込んで構成し
ているので、モータ４やポンプケース１等を共有させて
全体を構造的にコンパクト化することができており、配
置するためのスペースが縮小される。また、このような
ものであれば組立てや操作、取扱い等にも便利となる。
しかも、フォアポンプ側に回転翼形ポンプ２を配設して
いるので、図示の如く容易に大気放出することが可能と
なっている。
り吸入したガスは先ずメカニカルブースタポンプ３で排
気され、引続いて回転翼形ポンプ２の１、２段ロータ2
7、28で直列に圧縮排気されるため、回転翼形ポンプ２
に油を用いなくとも高い排気性能を発揮することがで
き、通常の油回転ポンプに近い到達真空度が得られる
（10-2Torr〜10-3Torr程度）。そして、このものはポン
プケース１内に両ポンプ２、３を一体に組込んで構成し
ているので、モータ４やポンプケース１等を共有させて
全体を構造的にコンパクト化することができており、配
置するためのスペースが縮小される。また、このような
ものであれば組立てや操作、取扱い等にも便利となる。
しかも、フォアポンプ側に回転翼形ポンプ２を配設して
いるので、図示の如く容易に大気放出することが可能と
なっている。
次に、請求項２の発明に係る一実施例について第３図
および第４図を参照して説明する。なお、この実施例の
ポンプ装置は前述の実施例と概ね同一であって、共通す
る部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
および第４図を参照して説明する。なお、この実施例の
ポンプ装置は前述の実施例と概ね同一であって、共通す
る部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
このものは、回転翼形ポンプ２に油を用いる場合、ポ
ンプ室S4、S5および後カバー14内に形成される油槽Ｏに
油を貯溜する。そして、この油を両段のロータ27、28に
よって両ポンプ室S4、S5と前記油槽Ｏとの間を循環して
流通させつつ、メカニカルブースタポンプ３から排気さ
れてきたガスをこの油の流れに連行させて排気するとい
う周知のポンプ機能を営むものである。油槽Ｏに到達し
たガスは、排気口15を通じて外部へ自然放出される。
ンプ室S4、S5および後カバー14内に形成される油槽Ｏに
油を貯溜する。そして、この油を両段のロータ27、28に
よって両ポンプ室S4、S5と前記油槽Ｏとの間を循環して
流通させつつ、メカニカルブースタポンプ３から排気さ
れてきたガスをこの油の流れに連行させて排気するとい
う周知のポンプ機能を営むものである。油槽Ｏに到達し
たガスは、排気口15を通じて外部へ自然放出される。
このものはメカニカルブースタポンプ３の第１従動軸
33aにクラッチ装置６を軸着している。すなわち、この
クラッチ装置６は二次側を前記従動軸33aに接続し、一
次側に、回転翼形ポンプ２の駆動軸26に軸着した駆動プ
ーリ26aと対をなす従動プーリ36aを軸着しており、両プ
ーリ26a、36a間にタイミングベルト37を張設して、第１
従動軸33aを第２従動軸33bとともに駆動軸26へ断接切替
自在に接続している。そして、このものは始動初期に前
記クラッチ装置６を切離しておき、ポンプ装置がある程
度定常運転に入ってから該クラッチ装置６を接続するよ
うに操作される。
33aにクラッチ装置６を軸着している。すなわち、この
クラッチ装置６は二次側を前記従動軸33aに接続し、一
次側に、回転翼形ポンプ２の駆動軸26に軸着した駆動プ
ーリ26aと対をなす従動プーリ36aを軸着しており、両プ
ーリ26a、36a間にタイミングベルト37を張設して、第１
従動軸33aを第２従動軸33bとともに駆動軸26へ断接切替
自在に接続している。そして、このものは始動初期に前
記クラッチ装置６を切離しておき、ポンプ装置がある程
度定常運転に入ってから該クラッチ装置６を接続するよ
うに操作される。
しかして、このような構成のものであれば、前記実施
例と同様の作用効果が得られる。
例と同様の作用効果が得られる。
以上、本発明の各実施例について説明したが、回転翼
形ポンプは二連形のものに限らず、連設しないものや三
連以上に連接したものであっても構わない。その他、装
置の断面形状を始め、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で
種々変形が可能である。
形ポンプは二連形のものに限らず、連設しないものや三
連以上に連接したものであっても構わない。その他、装
置の断面形状を始め、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で
種々変形が可能である。
［発明の効果］ 本発明は、以上のような構成により、コンパクトな構
成で到達圧力の向上された真空ポンプ装置を提供するこ
とができる。
成で到達圧力の向上された真空ポンプ装置を提供するこ
とができる。
第１図および第２図は請求項１記載の発明の一実施例を
示し、第１図はポンプ装置の側断面図、第２図は同正断
面図である。また、第３図および第４図は請求項２記載
の発明の一実施例を示し、第３図は第１図に対応する側
断面図、第４図は第２図に対応する正断面図である。 １……ポンプケース ２……回転翼形ポンプ ３……メカニカルブースタポンプ ６……クラッチ装置 26……駆動軸 33a、33b……従動軸
示し、第１図はポンプ装置の側断面図、第２図は同正断
面図である。また、第３図および第４図は請求項２記載
の発明の一実施例を示し、第３図は第１図に対応する側
断面図、第４図は第２図に対応する正断面図である。 １……ポンプケース ２……回転翼形ポンプ ３……メカニカルブースタポンプ ６……クラッチ装置 26……駆動軸 33a、33b……従動軸
Claims (2)
- 【請求項１】共通のポンプケース内に、回転翼形ポンプ
とメカニカルブースタポンプとを一体に組込んで構成し
たことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 【請求項２】回転翼形ポンプの駆動軸とメカニカルブー
スタポンプの従動軸とを、クラッチ装置を介して断接切
替自在に接続していることを特徴とする請求項１記載の
真空ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63041682A JP2591023B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 真空ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63041682A JP2591023B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 真空ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01216092A JPH01216092A (ja) | 1989-08-30 |
| JP2591023B2 true JP2591023B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=12615200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63041682A Expired - Lifetime JP2591023B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 真空ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591023B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211556A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
| DE102006004525A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-02 | Leybold Vacuum Gmbh | Wälzkolben-Vakuumpumpe |
| CN102444564B (zh) * | 2011-11-21 | 2014-12-24 | 浙江飞越机电有限公司 | 一体式真空泵 |
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-
1988
- 1988-02-24 JP JP63041682A patent/JP2591023B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01216092A (ja) | 1989-08-30 |
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