JP2017089512A - 真空排気装置 - Google Patents

Abstract

【課題】生産性を確保しつつ、コストの低減を図ることができる真空排気装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る真空排気装置１０は、メインポンプ２０と、逆止弁装置３０と、第１の補助ポンプ４０と、第２の補助ポンプ４１と、切替機構５０とを具備する。メインポンプ２０は、排気口２０ｂ（吐出部）を含む背圧空間２１を有する。逆止弁装置３０は、排気口２０ｂに接続され、排気口２０ｂから大気側へのガスの流れを順方向とする。第１の補助ポンプ４０は、上記背圧空間２１を排気可能に逆止弁装置３０と並列的に接続される。第２の補助ポンプ４１は、上記背圧空間２１を排気可能に逆止弁装置３０及び第１の補助ポンプ４０と並列的に接続される。切替機構５０は、上記背圧空間２１を第１の補助ポンプ４０で排気する第１の排気ラインＬ１と、上記背圧空間２１を第２の補助ポンプ４１で排気する第２の排気ラインＬ２とを選択的に切り替える。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空排気装置に関する。

一般的に、半導体装置や液晶機器等を製造する成膜装置やエッチング装置等の真空処理装置の排気プロセスには、真空ポンプ等のメインポンプと、当該メインポンプよりも排気速度あるいは排気量が小さい真空ポンプである補助ポンプとを有する真空排気装置が用いられることが多い。

例えば、特許文献１乃至３には、メインポンプよりも排気速度が小さい補助ポンプと、メインポンプ側から大気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁とを相互に並列に設け、補助ポンプをメインポンプとともに起動させる真空排気装置が記載されている。

この構成によれば、メインポンプの排気空間の圧力は、補助ポンプの駆動により減圧され、メインポンプの排気作用にかかる負担が大幅に軽減される。従って、モータの消費電力を従来よりも大幅に削減することができ、真空排気装置の消費電力の低減を図ることができるものとしている。

特許３９９２１７６号公報 特許４０４５３６２号公報 特許４１８０２６５号公報

近年、真空処理装置の生産性の向上と真空排気装置のコストの低減とが要求されている。生産性確保のためには、補助ポンプにもメインポンプと同等の耐久性が要求されるが、この場合、補助ポンプが高価となり、真空排気装置のコスト低下を実現できない。一方、高性能の補助ポンプを用いたとしても、何等かの理由で補助ポンプが故障した場合、真空排気装置の運転を停止せざるを得ないため、生産性を確保することができなくなる。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、生産性を確保しつつ、コストの低減を図ることができる真空排気装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る真空排気装置は、メインポンプと、逆止弁装置と、第１の補助ポンプと、第２の補助ポンプと、切替機構とを具備する。
上記メインポンプは、吐出部を含む背圧空間を有する。
上記逆止弁装置は、上記吐出部に接続され、上記吐出部から大気側へのガスの流れを順方向とする。
上記第１の補助ポンプは、上記背圧空間を排気可能に上記逆止弁装置と並列的に接続される。
上記第２の補助ポンプは、上記背圧空間を排気可能に上記逆止弁装置及び上記第１の補助ポンプと並列的に接続される。
上記切替機構は、上記背圧空間を上記第１の補助ポンプで排気する第１の排気ラインと、上記背圧空間を上記第２の補助ポンプで排気する第２の排気ラインとを選択的に切り替える。

上記真空排気装置においては、例えば起動開始直後のようにメインポンプの背圧空間が大気圧以上の場合には、メインポンプの吐出部から大気側へ逆止弁装置を介してガスが排出される。そして、背圧空間の背圧が低下し、逆止弁装置の弁体が、逆止弁装置が全閉状態となる近傍の位置へ移行した場合に、逆止弁装置と並列的に接続された第１の補助ポンプ又は第２の補助ポンプを介してガスが排気される。これにより、メインポンプの消費電力の削減と、到達真空度の向上を図ることが可能となる。

ここで、上記真空排気装置は、補助ポンプを２台有し、メインポンプの背圧空間を第１の補助ポンプで排気する第１の排気ラインと、メインポンプの背圧空間を第２の補助ポンプで排気する第２の排気ラインとを選択的に切り替える切替機構を有する。これにより、第１及び第２の補助ポンプのうち、一方の補助ポンプが劣化又は故障したとしても、他方の補助ポンプでメインポンプの背圧空間を排気することができる。したがって、真空排気装置の性能が低下するリスクが低減されるとともに、生産性も確保される。また、補助ポンプに耐久性の高い高価なポンプを用いる必要がなくなるため、真空排気装置全体のコストを抑えることができる。

上記切替機構は、上記第１の補助ポンプ及び上記第２の補助ポンプ各々の吸気側に設置された第１の弁装置を含んでもよい

上記第１の弁装置は、上記第１の補助ポンプの吸気側に設置された第１の入口弁と、上記第２の補助ポンプの吸気側に設置された第２の入口弁とを有してもよい。

上記第１の入口弁及び上記第２の入口弁は、それぞれ開閉弁であってもよい。

上記第１の入口弁は、上記背圧空間から上記第１の補助ポンプへのガスの流れを順方向とする第１の逆止弁であり、
上記第２の入口弁は、上記背圧空間から上記第２の補助ポンプへのガスの流れを順方向とする第２の逆止弁であってもよい。

上記第１の弁装置は、上記背圧空間に接続される入口と、上記第１の補助ポンプに接続される第１の出口と、上記第２の補助ポンプに接続される第２の出口とを有する三方弁であってもよい。

上記切替機構は、上記第１の補助ポンプ及び上記第２の補助ポンプ各々の排気側に設置された第２の弁装置を含み、
上記第２の弁装置は、上記第１の補助ポンプの排気側に設置された第１の出口弁と、上記第２の補助ポンプの排気側に設置された第２の出口弁とを有してもよい。

上記切替機構は、
上記第１の補助ポンプと上記第１の出口弁との間に連絡する第１のポートと、上記第２の補助ポンプと上記第２の入口弁との間に連絡する第２のポートとを有し、上記第１のポートと上記第２のポートとの間の連通／遮断を切替える第１の切替弁と、
上記第１の補助ポンプと上記第１の入口弁との間に連絡する第３のポートと、上記第２の補助ポンプと上記第２の出口弁との間に連絡する第４のポートとを有し、上記第３のポートと上記第４のポートとの間の連通／遮断を切替える第２の切替弁と
を含む第３の弁装置をさらに有してもよい。

上記吐出部から排気されるガスの圧力を検出可能な圧力センサと、上記第１の補助ポンプの異常を検出可能な第１の異常検出部と、上記第２の補助ポンプの異常を検出可能な第２の異常検出部とのうち少なくとも１つを含む検出部と、
上記検出部の出力に基づいて、上記切替機構を制御するように構成されたコントローラとを有してもよい。

本発明によれば、生産性を確保しつつ、コストの低減を図ることができる真空排気装置を提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係る真空排気装置の構成を示す配管系統図である。 上記真空排気装置の運転フローを示す図である。 上記真空排気装置における第１の排気ラインを説明する図である。 上記真空排気装置における第２の排気ラインを説明する図である。 本発明の第２の実施形態に係る真空排気装置の構成を示す配管系統図である。 本発明の第３の実施形態に係る真空排気装置の構成を示す配管系統図である。 本発明の第４の実施形態に係る真空排気装置の構成を示す配管系統図である。 本発明の第５の実施形態に係る真空排気装置の構成を示す配管系統図である。 上記真空排気装置における一作用を説明する図である。 上記真空排気装置における他の作用を説明する図である。 第１の実施形態の変形例に係る真空排気装置の構成を示す配管系統図である。 第５の実施形態の変形例に係る真空排気装置の構成を示す配管系統図である。

＜第１の実施形態＞
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る真空排気装置１０の構成を示す配管系統図である。本実施形態に係る真空排気装置１０は、図１に示すように、メインポンプ２０と、逆止弁装置３０と、第１の補助ポンプ４０と、第２の補助ポンプ４１と、切替機構５０とを有する。

メインポンプ２０は、図１に示すように、吸気口２０ａと排気口２０ｂ（吐出部）とを有する。

吸気口２０ａは、真空処理装置１の内部と連通するように接続される。具体的には、吸気口２０ａは、真空処理装置１として例えばスパッタ装置、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置やＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）装置、エッチング装置等のプロセスチャンバの内部と連通している。

排気口２０ｂは、図１に示すように、メインポンプ２０の背圧空間２１に設けられる。排気口２０ｂは、第１の流路Ｆ１を介して、大気と連絡する排気配管Ｄに接続される。

本実施形態のメインポンプ２０は、ルーツ型、クロー型、スクリュー型等の多段式容積移送型のドライ真空ポンプで構成されるが、これに限られず、単段式のメカニカルブースターポンプ等で構成されてもよい。また、本実施形態において、メインポンプ２０の背圧空間２１は、メインポンプ２０の最終段の背圧空間に相当する。

逆止弁装置３０は、図１に示すように、第１の流路Ｆ１に設けられ、第１の流路Ｆ１を介してメインポンプ２０の排気口２０ｂに接続される。ここで、逆止弁装置３０は、排気口２０ｂから大気側への方向を順方向とする逆止機能を備え、排気口２０ｂから大気側へのガスの流れを許容し、それとは逆のガスの流れを禁止する。本実施形態に係る逆止弁装置３０は、メインポンプ２０の排気口２０ｂからの排気圧が大気圧以上のとき（より厳密には、弁体を弁座へ押し付ける圧力を上回るとき）に開弁するように構成される。逆止弁装置３０は、特に限定されないが、例えばディスク式逆止弁等が採用される。

第１の補助ポンプ４０は、図１に示すように、メインポンプ２０の排気口２０ｂと大気（排気配管Ｄ）との間に、逆止弁装置３０に対して並列的に配置される。第１の補助ポンプ４０の吸気側は、コネクタＣ１１を介して第３の流路Ｆ３に着脱可能に接続される。第３の流路Ｆ３は、図１に示すように、第２の流路Ｆ２から分岐した流路であり、第２の流路Ｆ２は、同図に示すように、逆止弁装置３０よりも上流側の第１の流路Ｆ１から分岐した流路である。これにより、第１の補助ポンプ４０は、第１流路Ｆ１、第２の流路Ｆ２及び第３の流路Ｆ３を介して、メインポンプ２０の排気口２０ｂ（あるいは背圧空間２１）を排気することが可能となる

第１の補助ポンプ４０の排気側は、コネクタＣ１２を介して第４の流路Ｆ４に着脱可能に接続される。第４の流路Ｆ４は、図１に示すように、第１の補助ポンプ４０の排気口を排気配管Ｄへ接続する流路である。

第２の補助ポンプ４１は、図１に示すように、メインポンプ２０の排気口２０ｂと大気（排気配管Ｄ）との間に、逆止弁装置３０及び第１の補助ポンプ４０と並列的に配置される。第２の補助ポンプ４１の吸気側は、コネクタＣ２１を介して第５の流路Ｆ５に着脱可能に接続される。第５の流路Ｆ５は、図１に示すように、第２の流路Ｆ２から分岐した流路である。これにより、第２の補助ポンプ４１は、第１流路Ｆ１、第２の流路Ｆ２及び第５の流路Ｆ５を介して、メインポンプ２０の排気口２０ｂ（あるいは背圧空間２１）を排気することが可能となる

第２の補助ポンプ４１の排気側は、コネクタＣ２２を介して第６の流路Ｆ６に直脱可能に接続される。第６の流路Ｆ６は、図１に示すように、第２の補助ポンプ４１の排気口を排気配管Ｄへ接続する流路である。

第１及び第２の補助ポンプ４０，４１は、メインポンプ２０よりも排気速度あるいは排気量が小さい適宜の真空ポンプで構成される。例えば、第１の補助ポンプ４０には、典型的には、ダイアフラムポンプが採用されるが、これに限定されず、例えば、ゲーテポンプ、ベーンポンプ、ピストンポンプ、又はスクロールポンプ等が採用されてもよい。本実施形態では、第１の補助ポンプ４０としてダイアフラムポンプが採用される。これにより、比較的安価に真空排気装置１０を構成することが可能となる。
また、第２の補助ポンプ４１は、第１の補助ポンプ４０と同一の真空ポンプ（ダイアフラムポンプ）で構成されるが、これに限られず、第１の補助ポンプ４０とは異なるポンプで構成されてもよい。

切替機構５０は、図１に示すように、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１各々の吸気側に設けられた第１の弁装置５１を含む。第１の弁装置５１は、図１に示すように、第３の流路Ｆ３に設けられた第１の入口弁５１ａと、第５の流路Ｆ５に設けられた第２の入口弁５１ｂとを有する。本実施形態に係る第１の入口弁５１ａ及び第２の入口弁５１ｂは、典型的にはオンオフ弁等の開閉弁であり、例えば電磁弁、空圧弁等で構成される。

図１に示すように、第１の流路Ｆ１、第２の流路Ｆ２、第３の流路Ｆ３及び第４の流路Ｆ４は、第１の補助ポンプ４０によってメインポンプ２０の背圧空間２１を排気することが可能な第１の排気ラインＬ１を構成する。また、第１の流路Ｆ１、第２の流路Ｆ２、第５の流路Ｆ５及び第６の流路Ｆ６は、第２の補助ポンプ４１によって、メインポンプ２０の背圧空間２１を排気することが可能な第２の排気ラインＬ２を構成する。そして、切替機構５０は、第１の排気ラインＬ１と第２の排気ラインＬ２を選択的に切替えることが可能に構成される。

なお、本実施形態においては、第１の排気ラインＬ１は、第１の流路Ｆ１の一部を含む構成とされるが、これに限られず、例えば、第２の流路Ｆ２が直接、メインポンプ２０の排気口２０ｂ（あるいは背圧空間２１）に接続されてもよい。同様に、第２の排気ラインＬ２は、第１の排気ラインＬ１の一部（第１の流路Ｆ１、第２の流路Ｆ２）を含む構成とされるが、これに限られず、例えば、第５の流路Ｆ５が直接、メインポンプ２０の排気口２０ｂ（あるいは背圧空間２１）に接続されてもよい。

上述のように第１及び第２の補助ポンプ４０，４１は、比較的安価なダイアフラムポンプでそれぞれ構成されるため、真空排気装置１０の低コスト化を図ることができる。
しかしながら一般に、補助ポンプとして用いられる低真空ポンプは、メインポンプとして用いられる中高真空ポンプと比較して、耐久性あるいは信頼性の点で劣る場合が多い。このため、補助ポンプに異常が生じると、真空排気装置全体の機能が損なわれてしまい、その結果、真空処理装置１の稼働を停止させざるを得なくなる。
そこで、本実施形態の真空排気装置１０は、切替機構５０により、第１の排気ラインＬ１と第２の排気ラインＬ２とを選択的に切り替え可能に構成されている。これにより、一方の補助ポンプが故障したときは他方の補助ポンプを起動させることができるため、真空処理装置１の駆動を停止させることなく、補助ポンプの交換が可能となる。以下、その詳細について説明する。

図２は、本実施形態に係る真空排気装置１０の運転フローを示す図である。図３及び図４は、本実施形態に係る真空排気装置１０の模式図であり、図３は第１の補助ポンプ４０の駆動時における第１及び第２の入口弁５１ａ，５１ｂの開閉を示す図である。図４は第２の補助ポンプ４１の駆動時における第１及び第２の入口弁５１ａ，５１ｂの開閉を示す図である。なお、図３及び図４において第１及び第２の入口弁５１ａ，５１ｂに併記した「ＯＮ」及び「ＯＦＦ」の符号は、各弁の開閉状態を表しており、「ＯＮ」は弁の開弁状態を、「ＯＦＦ」は弁の閉弁状態をそれぞれ示している。以降の図で示す「ＯＮ」、「ＯＦＦ」も同義とする。

第１及び第２の補助ポンプ４０，４１がいずれも正常である場合、本実施形態では、図３に示すように、第１の補助ポンプ４０を含む第１の排気ラインＬ１が開放され、第２の補助ポンプ４１を含む第２の排気ラインＬ２が閉鎖されるが、これに限られず、図４に示すように、第２の補助ポンプ４１を含む第２の排気ラインＬ２が開放され、第１の補助ポンプ４０を含む第１の排気ラインＬ１が閉鎖されてもよい。

真空処理装置１において真空処理が開始されるに先立って、真空排気装置１０の運転が開始される（Ｓｔ０１）。このとき、図３に示すように、第１の入口弁５１ａは開かれ、第２の入口弁５１ｂは閉じられる。本実施形態では、第１の補助ポンプ４０は、メインポンプ２０と同時に起動されるが、これに限られず、メインポンプ２０が起動してから所定時間経過した後に起動されてもよい。

真空処理装置１内は最初、大気圧であるため、メインポンプ２０の排気口２０ｂからの排気ガスは大気圧より大きい圧力を有する。したがって、当該排気ガスは、第１流路Ｆ１から逆止弁装置３０を開弁させて大気に吐出される。このような状態は、逆止弁装置３０の弁体が、逆止弁装置３０が全閉状態となる近傍の位置へ移行するまで継続される。

メインポンプ２０の背圧が大気圧と同等又はそれ以下になると、メインポンプ２０の背圧空間２１は第１の補助ポンプ４０により優先的に排気され、これにより背圧空間２１が大気圧より低い圧力に減圧される。

このように、本実施形態の真空排気装置１０においては、例えば起動開始直後のようにメインポンプ２０の背圧が大気圧以上の場合には、メインポンプ２０の背圧空間２１は逆止弁装置３０を介して排気される。そして、メインポンプ２０の背圧が低下し、逆止弁装置３０の弁体が、逆止弁装置３０が全閉状態となる近傍の位置へ移行すると、第１の補助ポンプ４０を含む第１の排気ラインＬ１を介して排気される。これにより、メインポンプ２０の消費電力の削減を図ることが可能となるとともに、真空処理装置１を所望の到達真空度まで減圧することが可能となる。

真空処理装置１の内部が目的とする到達真空度に達した後、真空処理装置１において成膜、エッチング等の所定の真空処理が実施される。その間においても、真空排気装置１０の運転は継続され、これにより真空処理装置１の内部は所定の真空度に維持される。真空排気装置１０の運転は、真空処理装置１における真空処理が停止されるまで継続される（Ｓｔ０２）。

一方、例えば長時間の駆動による損耗等により、第１の補助ポンプ４０のポンプ性能が低下する場合がある。第１の補助ポンプ４０のポンプ性能の低下（故障）が検出されると（Ｓｔ０３）、第２の補助ポンプ４１が起動し、さらに図４に示すように、第１の入口弁５１ａが閉じ、かつ第２の入口弁５１ｂが開放される（Ｓｔ０４）。そして、第１の補助ポンプ４０の駆動が停止する。

なお、第１の補助ポンプ４０のポンプ性能の低下の検出には、典型的にはポンプ部構成部品の振動や音響を検出し、周波数解析等で正常時における振動や音響との差異が算出されることによりポンプ性能の低下が検出される。

第１の補助ポンプ４０のポンプ性能の低下の検出には、振動や音響以外にも、例えば第１の補助ポンプ４０の各部位（軸受部、モータ巻線部又はモータケース部等）の温度が参照されてもよいし、第１の補助ポンプ４０における駆動モータの駆動電流等が参照されてもよい。また、第１及び第２の入口弁５１ａ，５１ｂの開閉操作、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１の起動および停止操作は、作業者が行ってもよいし、自動で行ってもよい。

以上のようにして、メインポンプ２０の背圧空間２１の排気経路が第１の排気ラインＬ１から第２の排気ラインＬ２に切り替えられる。つまり、メインポンプ２０の背圧空間２１を排気する補助ポンプが、第１の補助ポンプ４０から第２の補助ポンプ４１に切り替えられ、これによりメインポンプ２０の背圧空間２１は、第２の排気ラインＬ２を介して排気される。

これにより、第１の補助ポンプ４０の動作不良に伴う真空排気装置１０の排気性能の低下を防止でき、したがって真空処理装置１における安定した真空処理が確保される。

運転が停止された第１の補助ポンプ４０は、第１の排気ラインＬ１から第２の排気ラインＬ２へ切り替えられた後、第１の排気ラインＬ１から取り外され、代わりに、正常な真空ポンプが第１の補助ポンプ４０として第１の排気ラインＬ１に接続される（Ｓｔ０５）。このような第１の補助ポンプ４０の交換作業は、典型的には、作業者による手作業で行われる。

同様に、例えば長時間の駆動による損耗等により、第２の補助ポンプ４１のポンプ性能の低下（故障）が検出されると（Ｓｔ０６）、新しく交換された第１の補助ポンプ４０が起動し、さらに図３に示すように、第２の入口弁５１ｂが閉じ、かつ第１の入口弁５１ａが開放される（Ｓｔ０７）。そして、第２の補助ポンプ４１の駆動が停止する。

なお、第２の補助ポンプ４１のポンプ性能の低下の検出には、典型的にはポンプ部構成部品の振動や音響を検出し、周波数解析等で正常時における振動や音響との差異が算出されることによりポンプ性能の低下が検出される。

第２の補助ポンプ４１のポンプ性能の低下の検出には、振動や音響以外にも、例えば第２の補助ポンプ４１の各部位（軸受部、モータ巻線部又はモータケース部等）の温度が参照されてもよいし、第２の補助ポンプ４１における駆動モータの駆動電流等が参照されてもよい。

以上のようにして、メインポンプ２０の背圧空間２１の排気経路が第２の排気ラインＬ２から第１の排気ラインＬ１に切り替えられる。つまり、メインポンプ２０の背圧空間２１を排気する補助ポンプが、第２の補助ポンプ４１から第１の補助ポンプ４０に切り替えられ、これによりメインポンプ２０の背圧空間２１は、再び、第１の排気ラインＬ１を介して排気される。

その後、第２の補助ポンプ４１は、正常な真空ポンプに交換される（Ｓｔ０８）。第２の補助ポンプ４１の交換作業は、典型的には、作業者による手作業で行われる。以降、上述のＳｔ０２からＳｔ０８の工程が繰り返され、真空処理装置１における真空処理が停止するまで、真空排気装置１０の運転が継続される。真空処理の停止後は、真空排気装置１０の運転も停止される（Ｓｔ０９）。

以上のように、本実施形態に係る真空排気装置１０は、メインポンプ２０の背圧空間２１を排気する排気系統として第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２を備えている。このため、稼働中の一方の排気ラインに故障が生じたとしても、代わりに他方の排気ラインを稼働させることができるため、真空排気装置１０による所期の排気作用が確保される。これにより真空排気装置１０の信頼性が向上するとともに、真空処理装置１の稼働率が高まることで生産性の向上が図れるようになる。

また、本実施形態の真空排気装置１０によれば、第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２を構成する第１及び第２の補助ポンプ４０，４１に高い耐久性が要求されないため、比較的安価なポンプ装置を第１及び第２の補助ポンプ４０，４１として採用することができる。これにより、真空排気装置１０全体の低コスト化を実現することが可能となる。

＜第２の実施形態＞
図５は、本実施形態に係る真空排気装置１００の構成を示す配管系統図である。以下、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

本実施形態に係る真空排気装置１００は、図５に示すように、メインポンプ２０と、逆止弁装置３０と、第１の補助ポンプ４０と、第２の補助ポンプ４１と、切替機構５０とを有する点で第１の実施形態と共通するが、検出部６０とコントローラ７０とをさらに有する点で第１の実施形態と異なる。

検出部６０は、開閉センサ６１と、第１の異常検出部６２と、第２の異常検出部６３とを含む。検出部６０は、開閉センサ６１、第１の異常検出部６２又は第２の異常検出部６３により検出された情報をコントローラ７０に出力するように構成される。なお、検出部６０には、開閉センサ６１と、第１の異常検出部６２と、第２の異常検出部６３とのうち、少なくとも一つが含まれていればよい。

開閉センサ６１は、逆止弁装置３０の弁体の位置を検出し、検出した情報をコントローラ７０に出力するように構成される。具体的には、開閉センサ６１は逆止弁装置３０の弁体の位置を逆止弁装置３０が全閉状態から全開状態となる範囲まで検出可能に構成される。また、開閉センサ６１は、逆止弁装置３０の開閉動作を機械的あるいは電気的に検出するセンサで構成されてもよいし、逆止弁装置３０の開弁圧が既知であれば逆止弁装置３０の入口側の圧力を検出するセンサで構成されてもよい。

このような構成によれば、運転開始時に第１の補助ポンプ４０又は第２の補助ポンプ４１をメインポンプ２０と同時に起動させる方法に代えて、メインポンプ２０の起動後、逆止弁装置３０の弁体が、逆止弁装置３０が全閉状態となる近傍の位置へ移行したことを開閉センサ６１が検知したとき、第１の補助ポンプ４０を起動させる方法が採用可能となる。

上述のように、真空排気装置１０の運転開始時は、メインポンプ２０の背圧空間２１は主として逆止弁装置３０を有する第１の流路Ｆ１を介して排気されるため、逆止弁装置３０が閉弁してから第１の補助ポンプ４０又は第２の補助ポンプ４１を起動させてもメインポンプ２０の背圧空間２１を効果的に排気することができる。これにより、真空排気装置１０全体のさらなる低消費電力化を図ることが可能となる。

また、開閉センサ６１の出力が、メインポンプ２０の背圧空間２１を排気する第１又は第２の補助ポンプ４０，４１のポンプ性能が低下しメインポンプ２０の背圧が上昇することに起因する逆止弁装置３０の開弁の検出に用いられてもよい。この場合、開閉センサ６１は、第１の補助ポンプ４０又は第２の補助ポンプ４２の異常検知センサとして機能させることができる。

開閉センサ６１の設置箇所は特に限定されないが、典型的には図５に示すように、逆止弁装置３０に設けられる。

第１の異常検出部６２は、典型的には第１の補助ポンプ４０の構成部品の振動や音響を検出し、周波数解析等で通常状態における振動や音響との変化を算出することによって第１の補助ポンプ４０の異常を検出し、検出した情報をコントローラ７０に出力するように構成される。

第１の異常検出部６２は、振動や音響以外にも、第１の補助ポンプ４０の各部位（軸受部、モータ巻線部又はモータケース部等）の温度や、第１の補助ポンプ４０における駆動モータの駆動電流等を検出し、検出した情報をコントローラ７０に出力するように構成されることもできる。

第１の異常検出部６２の設置箇所は特に限定されないが、典型的には図５に示すように第１の補助ポンプ４０に設けられる。本実施形態では、第１の異常検出部６２は、例えば、
音響センサ、振動センサ、サーマルセンサ又は電流リミッタ等が採用される。

同様に、第２の異常検出部６３は、典型的には第２の補助ポンプ４１の構成部品の振動や音響を検出し、周波数解析等で通常状態における振動や音響との変化を算出することによって第２の補助ポンプ４１の異常を検出し、検出した情報をコントローラ７０に出力するように構成される。

第２の異常検出部６３は、振動や音響以外にも、第２の補助ポンプ４１の各部位（軸受部、モータ巻線部又はモータケース部等）の温度や、第２の補助ポンプ４１における駆動モータの駆動電流等を検出し、検出した情報をコントローラ７０に出力するように構成されることもできる。

第２の異常検出部６３の設置箇所は特に限定されないが、典型的には図５に示すように第２の補助ポンプ４１に設けられる。本実施形態では、第２の異常検出部６３は、第１の異常検出部６２と同一の構成とすることができる。

コントローラ７０は、検出部６０の出力に基づき、切替機構５０と、第１の補助ポンプ４０と、第２の補助ポンプ４１とを制御するように構成される。具体的には、図５に示すように、開閉センサ６１、第１の異常検出部６２又は第２の異常検出部６３の検出信号に基づき、第１及び第２の入口弁５１ａ，５１ｂの開閉と、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１の起動／停止を制御可能に構成される。

コントローラ７０は、検出部６０の検出信号に基づいて動作するシーケンス回路（リレー回路）で構成することができる。これにより、コントローラ７０の構造を簡素化でき、低コストでコントローラ７０を構成することが可能となる。なお勿論、コントローラ７０は、ＣＰＵやメモリ等を含むコンピュータで構成することも可能である。

本実施形態に係る真空排気装置１００は、図５に示すように、第１および第２の排気ラインＬ１，Ｌ２の一部に設置された真空スイッチ６４を有してもよい。真空スイッチ６４は、第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２の内圧が所定の圧力以上に増加したことを検出し、その検出信号をコントローラ７０へ出力するように構成される。

本実施形態では、図５に示すように真空スイッチ６４は第２の流路Ｆ２に設置される。真空スイッチ６４は、例えば、第１の排気ラインＬ１を介してメインポンプ２０の背圧空間２１が排気されているときは、第１の排気ラインＬ１の内圧の上昇を監視し、これが上記所定の圧力以上に増加したときは第１の補助ポンプ４０の故障とみなしてコントローラ７０へ異常を表す信号を出力する。これにより、第１の排気ラインＬ１から第２の排気ラインＬ２へ切り替えるための制御信号をコントローラ７０において生成させることができる。このように、真空スイッチ６４は、第１の補助ポンプ４０のポンプ性能を監視するセンサとして機能する。

ここで、真空スイッチ６４が検出する第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２の内圧は、逆止弁装置３０が開弁する圧力よりも十分低い圧力である。これにより第１の補助ポンプ４０のポンプ性能が低下し、第１の排気ラインＬ１の内圧が上昇したとしても、逆止弁装置３０を開弁させることなく、第１の排気ラインＬ１から第２の排気ラインＬ２へ切り替えることが可能となる。

これにより、メインポンプ２０の消費電力の削減を図ることが可能となるとともに、真空処理装置１を所望の到達真空度を維持することができる。よって第１の補助ポンプ４０の動作不良に伴う真空排気装置１００の排気性能の低下を防止でき、真空処理装置１における安定した真空処理が確保される。

なお、第２の排気ラインＬ２を介してメインポンプ２０の背圧空間２１が排気されている場合についても同様に、真空スイッチ６４は、第２の補助ポンプ４１のポンプ性能を監視するセンサとして機能する。

真空スイッチ６４の設置箇所は第２の流路Ｆ２に限定されず、例えば、第３の流路Ｆ３及び第５の流路Ｆ５にそれぞれ１つずつ設置されてもよい。また、真空スイッチ６４を、第１及び第２の異常検出部６２，６３の一部として用いられてもよいし、第１及び第２の異常検出部６２，６３の代わりとして用いられてもよい。さらに、真空スイッチ６４に代えて、圧力センサが用いられてもよい。

以上のように、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。特に本実施形態によれば、第１の排気ラインＬ１と第２の排気ラインＬ２との切替えを自動的に行うことができるため、真空排気装置１００の操作性が向上するとともに、作業者の熟練度に関係なく安定かつ適正な切替動作が確保される。

＜第３の実施形態＞
図６は、本実施形態に係る真空排気装置２００の構成を示す配管系統図である。以下、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

本実施形態に係る真空排気装置２００は、メインポンプ２０と、逆止弁装置３０と、第１の補助ポンプ４０と、第２の補助ポンプ４１と、切替機構とを有する点で第１の実施形態と共通するが、切替機構８０の構成が第１の実施形態と異なる。

本実施形態における切替機構８０は、第１の補助ポンプ４０及び第２の補助ポンプ４１各々の吸気側に設置された第１の弁装置８１を含む。第１の弁装置８１は、第１の補助ポンプ４０の吸気側に設置された第１の入口弁８１ａと、第２の補助ポンプ４１の吸気側に設置された第２の入口弁８１ｂとを有し、これら第１及び第２の入口弁８１ａ，８１ｂは、それぞれメインポンプ２０の背圧空間２１から第１及び第２の補助ポンプ４０，４１へのガスの流れを順方向とする第１及び第２の逆止弁で構成されている。

本実施形態においては、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１のうちいずれか１つの補助ポンプを起動させることで、当該補助ポンプが属する排気ラインを開放し、かつ他方の排気ラインを閉鎖することができる。

例えば、メインポンプ２０の背圧空間２１が大気圧と同等又はそれ以下である状態において、第１の補助ポンプ４０が起動し、第２の補助ポンプ４１が運転を停止しているときは、第１の入口弁８１ａの背圧（出口側の圧力）が所定の真空度に維持されるため、第１の排気ラインＬ１を介してメインポンプ２０の排気口２０ｂ（背圧空間２１）を排気することが可能となる。一方、第２の補助ポンプ４１は運転が停止されているため、第２の入口弁８１ｂの背圧は大気圧に維持される。これにより、第２の排気ラインＬ２の閉鎖状態が維持される。

一方、運転中の第１の補助ポンプ４０が故障等により所期のポンプ性能を維持できなくなると、第１の入口弁８１ａが開弁しなくなることで、第１の排気ラインＬ１が機能不全に陥る。そこで、第１の補助ポンプ４０の故障が検出されたときは、第２の補助ポンプ４１を起動させることで、第２の排気ラインＬ２を開放する。これにより、メインポンプ２０の背圧空間２１を継続して排気することが可能となる。
なお、補助ポンプの故障検出には例えば上述の第２の実施形態と同様に、第１及び第２の入口弁８１ａ，８１ｂの弁体位置を検出する手法や、真空スイッチを用いる手法により検出可能である。

以上のように、本実施形態においても第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。特に本実施形態によれば、第１及び第２の入口弁８１ａ，８１ｂがそれぞれ逆止弁で構成されているため、これら各弁の開閉操作を必要とすることなく、第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２間の切り替えが可能となる。これにより、作業性の向上が図れるようになる。

＜第４の実施形態＞
図７は、本実施形態に係る真空排気装置３００の構成を示す配管系統図である。以下、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

本実施形態に係る真空排気装置３００は、メインポンプ２０と、逆止弁装置３０と、第１の補助ポンプ４０と、第２の補助ポンプ４１と、切替機構とを有する点で第１の実施形態と共通するが、切替機構９０の構成が第１の実施形態と異なる。

本実施形態における切替機構９０は、第１の補助ポンプ４０及び第２の補助ポンプ４１各々の吸気側に設置された弁装置（第１の弁装置）であって、メインポンプ２０の背圧空間２１に接続される入口Ｇと、第１の補助ポンプ４０に接続される第１の出口Ｖ１と、第２の補助ポンプ４１に接続される第２の出口Ｖ２とを有する三方弁９１で構成される。三方弁９１は、第２の流路Ｆ２から第３及び第５の流路Ｆ３，Ｆ５へ分岐する分岐点に設けられる。

三方弁９１は、第２の流路Ｆ２と第３の流路Ｆ３とが連通するときは、第２の流路Ｆ２と第５の流路Ｆ５との連通を遮断し、第２の流路Ｆ２と第５の流路Ｆ５とが連通するときは、第２の流路Ｆ２と第３の流路Ｆ３との連通を遮断する機能を有する。したがって、上述の第３の実施形態と同様に、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１のうちいずれか１つの補助ポンプを起動させることで、当該補助ポンプが属する排気ラインを開放し、かつ他方の排気ラインを閉鎖することができる。

以上のように、本実施形態においても上述の第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。特に本実施系携帯によれば、切替機構９０が単一の三方弁９１で構成されるため、真空排気装置３００の構造の簡素化と部品点数の削減による低コスト化を実現することが可能となる。

＜第５の実施形態＞
図８は、本実施形態に係る真空排気装置４００の構成を示す配管系統図である。以下、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

本実施形態に係る真空排気装置４００は、メインポンプ２０と、逆止弁装置３０と、第１の補助ポンプ４０と、第２の補助ポンプ４１と、切替機構とを有する点で第１の実施形態と共通するが、切替機構１５０の構成が第１の実施形態と異なる。

本実施形態における切替機構１５０は、第１の補助ポンプ４０及び第２の補助ポンプ４１各々の吸気側に設置された第１の弁装置５１と、第１の補助ポンプ４０及び第２の補助ポンプ４１各々の排気側に設置された第２の弁装置５２とを含む。第１の弁装置５１は、第１の補助ポンプ４０の吸気側に設置された第１の入口弁５１ａと、第２の補助ポンプ４１の吸気側に設置された第２の入口弁５１ｂとを有する。第２の弁装置５２は、第１の補助ポンプ４０の排気側に設置された第１の出口弁５２ａと、第２の補助ポンプ４１の排気側に設置された第２の出口弁５２ｂとを有する。

切替機構１５０は、第３の弁装置５３をさらに有する。第３の弁装置５３は、第１の切替弁５３ａと、第２の切替弁５３ｂとを有する。

第１の切替弁５３ａは、図８に示すように、第４の流路Ｆ４と第５の流路Ｆ５とに接続される第８の流路Ｆ８に設けられる。第１の切替弁５３ａは、第１の補助ポンプ４０と第１の出口弁５２ａとの間に連絡する第１のポートＰ１と、第２の補助ポンプ４１と第２の入口弁５１ｂとの間に連絡する第２のポートＰ２とを有し、第１のポートＰ１と第２のポートＰ２との間の連通／遮断を切り替えることが可能に構成される。したがって、第４の流路Ｆ４と第５の流路Ｆ５との間の連通／遮断が、第１の切替弁５３ａにより切り替え可能となる。

第２の切替弁５３ｂは、図８に示すように、第３の流路Ｆ３と第４の流路Ｆ４とに接続される第７の流路Ｆ７に設けられる。第２の切替弁５３ｂは、第１の補助ポンプ４０と第１の入口弁５１ａとの間に連絡する第３のポートＰ３と、第２の補助ポンプ４１と第２の出口弁５２ｂとの間に連絡する第４のポートＰ４とを有し、第３のポートＰ３と第４のポートＰ４との間の連通／遮断を切り替えることが可能に構成される。したがって、第３の流路Ｆ３と第６の流路Ｆ６との間の連通／遮断が、第２の切替弁５３ｂにより切り替え可能となる。

第１及び第２の入口弁５１ａ，５１ｂ、第１及び第２の出口弁５２ａ，５２ｂ、そして第１及び第２の切替弁５３ａ，５３ｂはそれぞれ、オンオフ弁等の開閉弁であり、例えば電磁弁、空圧弁等で構成される。

次に、本実施形態に係る真空排気装置４００の作用について説明する。図９及び図１０は、メインポンプ２０の背圧空間２１の圧力が大気圧と同等又はそれ以下にあるときの真空排気装置４００における各弁の開閉状態と、流路内の減圧状態を示す図である。

メインポンプ２０の背圧空間２１が第１の排気ラインＬ１で排気される場合、図９に示すように、第１の入口弁５１ａ、第１の出口弁５２ａ及び第２の切替弁５３ｂが開放され、第２の入口弁５１ｂ、第２の出口弁５２ｂ及び第１の切替弁５３ａが閉鎖される。これにより、図中の太実線で示す流路内が第１の補助ポンプ４０によるポンプ作用で減圧（排気）されることとなる。
なお、第２の補助ポンプ４１の排気側が吸気側よりも減圧されるため、運転停止中の第２の補助ポンプ４１の内部を通って、第２の補助ポンプ４１の吸気側のガスがその排気側へ排気される場合もある。

このような状態で、第１の補助ポンプ４０に故障等の異常が検出されると、第１の実施形態と同様に、第２の補助ポンプ４１の起動が開始される。そして、図１０に示すように、第１の入口弁５１ａ、第１の出口弁５２ａ及び第２の切替弁５３ｂが閉鎖され、第２の入口弁５１ｂ、第２の出口弁５２ｂ及び第１の切替弁５３ａが開放される。これにより、図中の太実線で示すように、第１の排気ラインＬ１に代わって、第２の排気ラインＬ２がメインポンプ２０の背圧空間２１を排気することが可能となる。なお、第２の切替弁５３ｂは、第１の補助ポンプ４０の交換後に開放される。

以上のように、運転停止中の第２の補助ポンプ４１の排気側（及び吸気側）が第１の補助ポンプ４０のポンプ作用で大気圧以下に減圧されていることで、第２の補助ポンプ４１の起動時における運転負荷を低減することができるとともに、第２の補助ポンプ４１の立ち上がり時間を短縮することができる。

なお、第２の排気ラインＬ２から第１の排気ラインＬ１への切替動作は、図９に示すように各弁の開閉状態を切り替えることで実行される。この場合も、上述と同様の作用効果を得ることができる。

以上のように、本実施形態においても上述の第１の実施形態と同様の作用効果を得ることが可能となる。特に本実施形態によれば、第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２の切替時において、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１の立ち上がり時間を短くすることができるため、メインポンプ２０の背圧空間２１の圧力変動を抑えることが可能となる。

［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加えることは勿論である。

例えば以上の各実施形態では、第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２がメインポンプ２０の排気口２０ｂに接続されたが、これに限られず、排気口２０ｂを介さない別の経路で背圧空間２１へ接続されてもよい。また、メインポンプ２０に多段式の容積移送型真空ポンプが採用されている場合、第１及び第２の排気ラインＬ１，Ｌ２が接続される背圧空間は、最終段の背圧空間だけでなく、それよりも上流側の中間段の背圧空間であってもよい。また、排気口２０ｂには消音機能を有するサイレンサや、メインポンプ２０から排気されるガス由来の生成物を捕捉するトラップ等の補機が搭載されてもよい。

さらに、以上の第１の実施形態（図１）では、切替機構５０として、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１の吸気側に設置された第１の弁装置５１（第１及び第２の入口弁５１ａ，５１ｂ）を例に挙げて説明した。これに代えて、切替機構５０は、図１１に示すように、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１の排気側に設置された第２の弁装置５２（第１及び第２の出口弁５２ａ，５２ｂ）をさらに備えていてもよい。

この場合、例えば第１の排気ラインＬ１でメインポンプ２０の背圧空間２１を排気する場合は、第１の入口弁５１ａ、第２の入口弁５１ｂ及び第１の出口弁５２ａを開放し、第２の出口弁５２ｂを閉鎖する。これにより、運転停止中の第２の補助ポンプ４１の吸気側も排気されるため、第２の排気ラインＬ２への切替時、上述の第５の実施形態（図８）と同様に、第２の補助ポンプ４１の立ち上がり時間を短くすることができる。
また、補助ポンプの種類によっては、運転停止中の第２の補助ポンプ４１の内部を通って、第２の補助ポンプ４１の排気側のガスがその吸気側へ吸引される場合もある。このような場合には、第２の出口弁５２ｂが閉鎖されているため、第２の補助ポンプ４１の排気側もその吸気側と同様に減圧されることになるため、第２の補助ポンプ４１の立ち上がり時間の更なる短縮を図ることが可能となる。
同様に、第２の排気ラインＬ２でメインポンプ２０の背圧空間２１を排気する場合については、第１の入口弁５１ａ、第２の入口弁５１ｂ及び第２の出口弁５２ｂを開放し、第１の出口弁５２ａを閉鎖すればよい。

さらに以上の第５の実施形態（図８）では、第３の弁装置５３が第１及び第２の切替弁５３ａ，５３ｂで構成されたが、これに代えて、図１２に示すように、単一の三方弁５３ｃで構成されてもよい。

三方弁５３ｃは、電磁三方弁で構成され、第１及び第２の補助ポンプ４０，４１の吸気側（例えば第５の流路Ｆ５）に接続される第１の接続口Ｒ１と、第１の補助ポンプ４０の排気側（第４の流路Ｆ４）に接続される第２の接続口Ｒ２と、第２の補助ポンプ４１の排気側（第６の流路Ｆ６）に接続される第３の接続口Ｒ３とを有する。そして、三方弁５３ｃは、第１の接続口Ｒ１と第３の接続口Ｒ３とが相互に連通する第１の状態と、第１の接続口Ｒ１と第２の接続口Ｒ２とが相互に連通する第２の状態とを切り替え可能に構成される。

そして、三方弁５３ｃは、第１の排気ラインＬ１でメインポンプ２０の背圧空間２１を排気する場合には上記第１の状態に切り替えられ、第２の排気ラインＬ２でメインポンプ２０の背圧空間２１を排気する場合には上記第２の状態に切り替えられる。これにより、上述の第５の実施形態と同様の作用効果を得ることが可能となる。

さらに、以上の実施形態では、メインポンプ２０の補助ポンプとして、第１の補助ポンプ４０と第２の補助ポンプ４１とが用いられたが、これに限られず、補助ポンプが３台以上設置されてもよい。この場合、３つ以上の排気ラインと、これら３つ以上の排気ラインから１つの排気ラインを選択する切替機構とが設けられる。

さらに、本発明に係る真空排気装置は、ターボ分子ポンプやクライオポンプ等の高真空排気ポンプの後段に接続される補助排気システムとして適用されることも可能である。

１０，１００，２００，３００，４００・・・真空排気装置
２０・・・メインポンプ
２１・・・背圧空間
３０・・・逆止弁装置
４０・・・第１の補助ポンプ
４１・・・第２の補助ポンプ
５０，８０，９０，１５０・・・切替機構
５１・・・第１の弁装置
５１ａ，８１ａ・・・第１の入口弁
５１ｂ，８１ｂ・・・第２の入口弁
５２・・・第２の弁装置
５２ａ・・第１の出口弁
５２ｂ・・第２の出口弁
５３・・・第３の弁装置
５３ａ・・第１の切替弁
５３ｂ・・第２の切替弁
６０・・・検出部
７０・・・コントローラ
９１，５３ｃ…三方弁
Ｌ１・・・第１の排気ライン
Ｌ２・・・第２の排気ライン

Claims (9)

1. 吐出部を含む背圧空間を有するメインポンプと、
   前記吐出部に接続され、前記吐出部から大気側へのガスの流れを順方向とする逆止弁装置と、
   前記背圧空間を排気可能に前記逆止弁装置と並列的に接続された第１の補助ポンプと、
   前記背圧空間を排気可能に前記逆止弁装置及び前記第１の補助ポンプと並列的に接続された第２の補助ポンプと、
   前記背圧空間を前記第１の補助ポンプで排気する第１の排気ラインと、前記背圧空間を前記第２の補助ポンプで排気する第２の排気ラインとを選択的に切り替える切替機構と
   を具備する真空排気装置。
2. 請求項１に記載の真空排気装置であって、
   前記切替機構は、前記第１の補助ポンプ及び前記第２の補助ポンプ各々の吸気側に設置された第１の弁装置を含む
   真空排気装置。
3. 請求項２に記載の真空排気装置であって、
   前記第１の弁装置は、前記第１の補助ポンプの吸気側に設置された第１の入口弁と、前記第２の補助ポンプの吸気側に設置された第２の入口弁とを有する
   真空排気装置。
4. 請求項３に記載の真空排気装置であって、
   前記第１の入口弁及び前記第２の入口弁は、それぞれ開閉弁である
   真空排気装置。
5. 請求項３に記載の真空排気装置であって、
   前記第１の入口弁は、前記背圧空間から前記第１の補助ポンプへのガスの流れを順方向とする第１の逆止弁であり、
   前記第２の入口弁は、前記背圧空間から前記第２の補助ポンプへのガスの流れを順方向とする第２の逆止弁である
   真空排気装置。
6. 請求項２に記載の真空排気装置であって、
   前記第１の弁装置は、前記背圧空間に接続される入口と、前記第１の補助ポンプに接続される第１の出口と、前記第２の補助ポンプに接続される第２の出口とを有する三方弁である
   真空排気装置。
7. 請求項３に記載の真空排気装置であって、
   前記切替機構は、前記第１の補助ポンプ及び前記第２の補助ポンプ各々の排気側に設置された第２の弁装置を含み、
   前記第２の弁装置は、前記第１の補助ポンプの排気側に設置された第１の出口弁と、前記第２の補助ポンプの排気側に設置された第２の出口弁とを有する
   真空排気装置。
8. 請求項７に記載の真空排気装置であって、
   前記切替機構は、
   前記第１の補助ポンプと前記第１の出口弁との間に連絡する第１のポートと、前記第２の補助ポンプと前記第２の入口弁との間に連絡する第２のポートとを有し、前記第１のポートと前記第２のポートとの間の連通／遮断を切り替える第１の切替弁と、
   前記第１の補助ポンプと前記第１の入口弁との間に連絡する第３のポートと、前記第２の補助ポンプと前記第２の出口弁との間に連絡する第４のポートとを有し、前記第３のポートと前記第４のポートとの間の連通／遮断を切り替える第２の切替弁と
   を含む第３の弁装置をさらに有する
   真空排気装置。
9. 請求項１〜８のいずれか１つに記載の真空排気装置であって、
   前記逆止弁装置の開閉状態を検出する開閉センサと、前記第１の補助ポンプの異常を検出可能な第１の異常検出部と、前記第２の補助ポンプの異常を検出可能な第２の異常検出部とのうち少なくとも１つを含む検出部と、
   前記検出部の出力に基づいて、前記切替機構を制御するように構成されたコントローラとを有する
   真空排気装置。

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