JP3107794U - 真空排気装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空チャンバの排気側にメカニカルブースタと粗引き真空ポンプの順序でそれらを直列に設けてなる真空排気装置において、その粗引き真空ポンプを多段ルーツ式真空ポンプ18とし、メカニカルブースタをルーツ式真空ポンプ13とし、その多段ルーツ式真空ポンプ18の設計排気速度をルーツ式真空ポンプ13の排気速度の1/5〜1/20に設け、そのルーツ式真空ポンプ13の駆動モータ14をインバータ方式による回転数制御を行なうことによって当該ルーツ式真空ポンプを大気圧から運転することができるように構成した。
【選択図】 図1
Description
この真空排気装置は、多段ルーツ式真空ポンプ(粗引き真空ポンプ)の設計排気速度をルーツ式真空ポンプ(メカニカルブースタ)の排気速度の1/5〜1/20としているので、従来の真空排気装置に比べて多段ルーツ式真空ポンプの動力が小さくなり、省エネルギー化、省スペース化を図ることができる。加えて、ルーツ式真空ポンプを大気圧から運転することができるので、当該装置の稼働率が向上する。
この真空排気装置は、複数の多段ルーツ式真空ポンプを単独でも運転することができるので、大気圧から1kPa程度までの間を全数にて運転して排気時間の短縮化を図り、1kPa程度に達したところで単独運転に切り替えるという運転方法を採ることにより、省エネルギー化を図ることができる。加えて、保守点検等の場合に、点検対象の多段ルーツ式真空ポンプの運転を停止して他の多段ルーツ式真空ポンプを運転させることにより、真空排気装置を停止させることなく稼動することができる。
図1に示す第1実施例の真空排気装置V1は、半導体製造装置等の真空チャンバcの真空排気を行なうものである。その真空チャンバcの排気側には、メカニカルブースタとしてのルーツ式真空ポンプ13を開閉弁12が介装された配管11によって接続し、そのルーツ式真空ポンプ13の後段に粗引き真空ポンプとしての多段ルーツ式真空ポンプ18を配管16により直列に接続している。
図2に示すように、第2実施例の真空排気装置V2は、メカニカルブースタとしてのルーツ式真空ポンプの排気用管路に粗引き真空ポンプとしての複数の多段ルーツ式真空ポンプを並列に設けている。
即ち、真空チャンバcの排気側には、ルーツ式真空ポンプ23を開閉弁22が介装された配管21によって接続している。そのルーツ式真空ポンプ23の排気用管路26には、2台の多段ルーツ式真空ポンプ28を並列に接続している。
なお、上記グラフは、2台の多段ルーツ式真空ポンプ28を一緒に運転している状態のデータである。
図6に第3実施例の真空排気装置V3を示す。この真空排気装置V3は、前述した第2実施例の真空排気装置V2の構成に準じた構成とされている。
即ち、真空チャンバcの排気側には、ルーツ式真空ポンプ33を開閉弁32が介装された配管31によって接続している。そのルーツ式真空ポンプ33の排気用管路36には、2台の多段ルーツ式真空ポンプ38を並列に接続している。
V1・・・第1実施例の真空排気装置
13・・・ルーツ式真空ポンプ(メカニカルブースタ)
14・・・駆動モータ
15・・・制御部
18・・・多段ルーツ式真空ポンプ(粗引き真空ポンプ)
V2・・・第2実施例の真空排気装置
23・・・ルーツ式真空ポンプ(メカニカルブースタ)
24・・・駆動モータ
25・・・制御部
27・・・開閉弁
28・・・多段ルーツ式真空ポンプ(粗引き真空ポンプ)
V3・・・第3実施例の真空排気装置
Claims (2)
- 真空チャンバの排気側にメカニカルブースタと粗引き真空ポンプの順序でそれらを直列に設けてなる真空排気装置において、
その粗引き真空ポンプを多段ルーツ式真空ポンプとし、前記メカニカルブースタをルーツ式真空ポンプとし、その多段ルーツ式真空ポンプの設計排気速度をルーツ式真空ポンプの排気速度の1/5〜1/20に設け、そのルーツ式真空ポンプの駆動モータをインバータ方式による回転数制御を行なうことによって当該ルーツ式真空ポンプを大気圧から運転することができるように構成したことを特徴とする真空排気装置。 - 前記ルーツ式真空ポンプの排気用管路に複数の多段ルーツ式真空ポンプを並列に設け、その排気用管路に介装された開閉弁を切り替えることにより各々の多段ルーツ式真空ポンプを単独運転可能に設けたことを特徴とする請求項1に記載の真空排気装置。
Priority Applications (1)
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JP2004005558U JP3107794U (ja) | 2004-09-17 | 2004-09-17 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004005558U JP3107794U (ja) | 2004-09-17 | 2004-09-17 | 真空排気装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3107794U true JP3107794U (ja) | 2005-02-17 |
Family
ID=43270493
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004005558U Expired - Lifetime JP3107794U (ja) | 2004-09-17 | 2004-09-17 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3107794U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107724158A (zh) * | 2017-11-07 | 2018-02-23 | 中联西北工程设计研究院有限公司 | 一种低能耗零排放托辊机变频真空环保系统 |
CN108825503A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-16 | 重庆开山压缩机有限公司 | 喷油螺杆式真空泵的补气装置 |
CN107724158B (zh) * | 2017-11-07 | 2024-05-31 | 中联西北工程设计研究院有限公司 | 一种低能耗零排放托辊机变频真空环保系统 |
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2004
- 2004-09-17 JP JP2004005558U patent/JP3107794U/ja not_active Expired - Lifetime
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