JP3108228U - 真空ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ポンプ効率を向上させると共に電力消費量を減少させる真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 本考案による真空ポンプ装置は、複数の真空ポンプ（Ｐ１〜Ｐ８）を有している。真空ポンプの各々は、それぞれのロードロックチャンバ（Ｃ１〜Ｃ８）から流体を排出する。真空ポンプ（Ｐ１〜Ｐ８）の出口のところの流体圧力を減少させ、かくして、真空ポンプ（Ｐ１〜Ｐ８）の電力消費量を減少させるため、真空ポンプ（Ｐ１〜Ｐ８）から排出された流体は、排出流体の全てを送出する補助ポンプ（Ｐ_exhaust）に移送される。多数のロードロックチャンバ（Ｃ１〜Ｃ８）が同時に排気されているときの補助ポンプ（Ｐ_exhaust）の過負荷を防止するため、吹出し弁（６０）が排出流体のうち幾分かを選択的に補助ポンプ（Ｐ_exhaust）から迂回させる。
【選択図】 図１

Description

本考案は、ポンプ効率の向上に関し、特に複数のポンプを有する真空ポンプ装置の電力消費量の減少に関する。

真空処理は、薄膜を基板に被着させるために半導体デバイスの製造において常用されている。典型的には、処理チャンバは、真空ポンプを用いて非常に低い圧力まで排気され、この圧力は、プロセスのタイプに応じて、１０^-6ミリバール（１０^-4Ｐａ）という低いレベルであり、供給ガスが排気状態のチャンバに導入されて所望の材料をチャンバ内に設けられている１以上の基板に被着させる。被着の完了時、基板をチャンバから取り出し、別の基板を挿入して被着プロセスを繰り返す。

処理チャンバを所要圧力まで排気するには、相当長い真空ポンプ作動時間が必要である。したがって、基板の交換の際、チャンバ内の圧力を所要レベル又はその近くに維持するため、典型的には、移送チャンバ及びロードロックチャンバが用いられる。ロードロックチャンバは、第１の窓又は通路により移送チャンバに連結されており、この第１の窓又は通路を選択的に開くと、基板を移送チャンバに挿入したりこれから取り出したりすることができる。ロードロックチャンバの容量は、ほんの数リットルから幾つかの大型フラットパネルディスプレイツールのための数千リットルまでの範囲に及ぶ場合がある。ロードロックチャンバは又、第２の窓を有し、この窓を選択的に大気に開くと、基板をロードロックチャンバに挿入したりこれから取り出したりすることができる。使用に当たり、処理チャンバは、処理チャンバ用真空ポンプにより所望の真空状態に維持される。第１の窓を閉じた状態で、第２の窓を大気に開くと、基板をロードロックチャンバ内に挿入することができる。次に、第２の窓を閉じ、ロードロック真空ポンプを用いてロードロックチャンバをこれが移送チャンバと実質的に同一の圧力状態になるまで排気する。次に、第１の窓を開くと、基板を移送チャンバに移送することができる。次に、移送チャンバを処理チャンバと実質的に同一の圧力状態の圧力まで排気し、次いで基板を処理チャンバに移送する。

真空処理を完了すると、処理済基板をロードロックチャンバに送り戻す。第１の窓を閉じて真空チャンバ内の真空を維持した状態で、ロードロックチャンバの圧力を、非反応性ガス、例えば空気又は窒素がロードロックチャンバに流入することができるようにすることにより大気圧状態にする。ロードロックチャンバ内の圧力が大気圧状態又はそれに近い状態にあるとき、第２の窓を開くと処理済基板を取り出すことができる。かくして、ロードロックチャンバに関し、大気から低い又は中位の真空への排気サイクルの繰り返しが必要である。

ロードロックポンプは、典型的には、これらの真空チャンバ内ではオイルレス型である。というのは、真空チャンバ内に潤滑油が存在すると、真空処理が行われるクリーンな環境の汚染が生じる恐れがあるからである。かかる「ドライ」真空ポンプは一般に、噛み合いロータを用いた多段容積型ポンプである。ロータは、各段では同一タイプのプロフィールを有するのがよいが、プロフィールは、段毎に異なっていてもよい。ロードロック真空ポンプとして用いるのに適した、かかるポンプの一例は、ＢＯＣエドワーズ（BOC Edwards ）ドライ真空ポンプの“ｉＬ”シリーズのうちの１つである。

真空ポンプによって消費される電力に寄与する種々の因子としては、寄生損に打ち勝つための電力、排出された流体を圧縮するための電力及びモータの効率の悪さに起因する電力損失が挙げられる。排出流体を圧縮するのに必要な電力を減少させるため、ポンプの排気圧を減少させることが知られている。例えば、Ulvac Eco-Shock アタッチメントが、真空ポンプから排出されるガスを送出する追加のポンプを提供している。

半導体処理工場では、多くの反応チャンバ内で真空処理を同時に行う場合があり、反応チャンバの各々が、それぞれのロードロックポンプを有している。各ロードロックポンプにかかるアタッチメントを設けると、コストが著しく増大し、しかも真空ポンプ装置に必要な電源の数と真空ポンプ装置の占める総面積の両方が増大する。本考案は、少なくともその好ましい実施形態においてこれらの問題及び他の問題を解決しようとするものである。

本考案は、各々がそれぞれのチャンバから流体を排出する複数の真空ポンプと、真空ポンプから排出された排出流体を、この排出流体を送出するための１つの補助ポンプまで移送する移送手段と、移送手段と流体連通状態にあり、排出流体を補助ポンプから選択的に迂回させる迂回手段とを有することを特徴とする真空ポンプ装置を提供する。

真空ポンプから排出された排出流体を、この排出流体を送出するための補助ポンプまで移送する共通排出部と、２以上の真空ポンプとを連結することによって、真空ポンプの出口のところの流体圧力を約１０００ミリバール（大気圧１０⁵Ｐａ）から例えば１０ミリバール〜１００ミリバール（１０００Ｐａ〜１０⁴Ｐａ）の範囲の圧力に減少させることができる。真空ポンプ入口と真空ポンプ出口の圧力差を１０倍以上減少させる（１／１０以下にする）ことにより、チャンバから排出された流体を圧縮するのに必要な電力を著しく減少させることができ、かくして、真空ポンプの各々の電力消費量を著しく減少させることができる。

複数の真空ポンプが、複数のロードロックチャンバを排気する複数のロードロックポンプである場合、真空ポンプ出口からの排出流体の質量流量は、例えば基板をチャンバ内に挿入した後の比較的高い圧力から排気されているロードロックチャンバの現在の数に応じて様々であろう。その結果、真空ポンプからの質量流量及びかくして補助ポンプの入口のところの圧力は代表的には、時間と共に著しく変化するであろう。例えば、比較的高い圧力の４以上のロードロックチャンバから同時に排気されているとき、ロードロックポンプの排出量が補助ポンプの排出量を超えてしまうと、「過剰」排出流体をポンプから迂回させる。その目的は、補助ポンプから見て上流側の流体圧力が補助ポンプの下流側の流体圧力を超えるのを阻止し、かくして、補助ポンプの入口段及びロードロックポンプの排気段の過負荷を回避することにある。

かくして、容量が比較的低く且つ供給電力が低い単一の補助ポンプを、全ての真空ポンプからの排出流体のポンプとして用いることができる。その結果、真空ポンプの電力消費量の減少による年間費用の節約を鑑みれば、かかる年間費用の節約は、補助ポンプを設けて稼働させるコストを補償してなお余りあることが予想される。

好ましくは、移送手段は、複数の第１の導管と、第１の導管の各々からの排出流体を受け入れる１つの第２の導管とを有し、第１の導管の各々は、それぞれの真空ポンプからの排出流体を第２の導管に移送し、第２の導管は、排出流体を前記補助ポンプに向けて移送する。

好ましくは、迂回手段は、弁を含む。弁は、弁入口と、弁出口と、弁入口と弁出口の圧力差が所定値、例えば約５０ミリバール（５０００Ｐａ）を超えたときに弁入口から弁出口に流れる第２の流れを可能にする流れ発生手段とを有し、弁入口は、排出流体の第２の流れを受け入れる。有利には、弁は、弁出口から弁入口への流体の通過を阻止するために弁座に着座するように構成されたボールを有し、真空ポンプ装置の使用中、ボールは、弁入口のところの加圧された排出流体により弁座から押しやられ、それにより、弁入口から弁出口への排出流体の通過を可能にする。好ましくは、補助ポンプは、弁出口と流体連通状態にある出口を有し、したがって、弁出口とポンプ出口とは同一圧力にある。

好ましくは、移送手段は、真空ポンプから排出された流体が補助ポンプに向かって流れる第１の流れと迂回手段に向かって流れる第２の流れに分離する分離手段を補助ポンプの上流側に有している。

一実施形態では、真空ポンプからの排出流体の流れを２つの流れに分割する分岐部を含むのが良い。別の実施形態では、分離手段は、三方弁を含んでも良く、この三方弁は、真空ポンプから排出された流体を受け入れる三方弁入口と、受け入れた排出流体を補助ポンプに向かって流出させる第１の三方弁出口と、受け入れた排出流体を補助ポンプを迂回させて流出させる第２の三方弁出口とを有する。受け入れた排出流体を第１の三方弁出口だけから流出させたり、受け入れた排出流体を第１の三方弁出口と第２の三方弁出口の両方から流出させたりするように三方弁を選択的に制御する三方弁制御手段を有するのが良い。例えば、三方弁入口のところの排出流体の圧力を検出するセンサを有し、三方弁制御手段は、センサからの出力に基づいて前記三方弁を制御する。これにより、三方弁入口のところの圧力が所定レベルを超えていれば、例えば、比較的高い圧力の４以上のチャンバから排気される場合、第２の三方弁出口を開くのが良い。第２の三方弁出口から見て下流側に設けられた吹出し（blow-off）弁は、三方弁が故障した場合、圧力が所定レベルを下回ると第２の三方弁出口を閉じる安全機能を発揮することができる。

変形例として又は追加例として、真空ポンプの電力消費量をモニタするモニタ手段を有し、三方弁制御手段は、モニタ手段からの出力に基づいて三方弁を制御しても良い。これにより、ポンプの電力消費量が所定レベルを超えて増大すると第２の三方弁出口を開くことができ、これは又、比較的高い圧力の多くのチャンバから真空ポンプによって廃棄される現在の排気状態及びかくして補助ポンプに移送されている排気ガスの流量の現在の又は予想される増加を表す。別の変形実施形態では、モニタ手段は、チャンバと真空ポンプとの間に設けられる弁の開閉をモニタしても良い。

本真空ポンプ装置は、好ましくは、移送手段と流体連通状態にあり、補助ポンプを用いた送出のために追加のチャンバを有している。かかるチャンバを設けることにより、比較的高い圧力の１以上のロードロックチャンバから排気される場合、補助ポンプの入口のところの圧力増加を減少させることができ、それにより、補助ポンプの過負荷を回避するのを助ける。

排出流体の最小圧力を真空ポンプにより連続的に送出されるパージガスの量で制御しても良い。しかしながら、パージガスを用いない場合、排出流体を補助ポンプの極限真空と同じくらい低いレベルに減圧させると、この極限真空は、補助ポンプの特性に応じて１ミリバール（１００Ｐａ）未満になり得る。排気流体を例えば５ミリバール（５００Ｐａ）未満に減圧させると、真空ポンプ装置の総合効率が減少するので、本真空ポンプ装置は、好ましくは、補助ポンプの電力消費量を制御する手段を有する。この場合、補助ポンプが例えば５ミリバール（５００Ｐａ）未満の真空を引くのを阻止することが必要な場合、電力消費量を減少させるのが良い。

次に、本考案の好ましい特徴を添付の図面を参照して例示としてのみ説明する。
図１を参照すると、真空ポンプシステム１０の実施形態が、複数の真空ポンプＰ１〜Ｐ８を有し、真空ポンプＰ１〜Ｐ８の各々がそれぞれの弁Ｖ１〜Ｖ８を介してそれぞれのチャンバＣ１〜Ｃ８に連結されている。図１には８つの真空ポンプが示されているが、任意適当な数の真空ポンプを設けてもよい。この実施形態では、チャンバＣ１〜Ｃ８は各々、半導体処理システムのロードロックチャンバであり、真空ポンプＰ１〜Ｐ８は各々、ロードロックポンプである。ロードロックポンプとして用いるのに適したポンプの例としては、ＢＯＣエドワーズｉＬ７０及びｉＬ６００ドライポンプが挙げられる。

ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８の各々の出口は、それぞれの導管２０に連結されている。導管２０は、ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８から排出された流体を共通排出部３０に移送し、この共通排出部３０は、導管３２，３４を含んでいる。分岐部Ｎ５は、ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８から排出された流体の全てを受け入れるための入口４０と、排出流体を補助ポンプである排気ポンプＰ_exhaustの入口５０に向けて流出させる第１の出口４２と、排出流体を吹出し弁６０の入口６２に向けて流出させる第２の出口４４とを有している。この排気ポンプＰ_exhaustも又、ドライポンプ、例えばＢＯＣエドワーズｉＬ７０ポンプの形態をしているのがよい。排気ポンプＰ_exhaustは、導管５４，５６を介して吹出し弁６０の出口６４に連結された出口５２を有している。

使用に当たり、ロードロックチャンバＣ１〜Ｃ８をロードロックポンプＰ１〜Ｐ８によって代表的には１０^-2〜１０^-3ミリバール（１〜０．１Ｐａ）の範囲の低圧状態に維持する。ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８から排出された流体を排気ポンプＰ_exhaustに移送し、この排気ポンプＰ_exhaustは、この排出流体を大気中に放出する。図１に示すように、軽いパージガス、例えば窒素を例えば４slpmでロードロックポンプＰ１〜Ｐ８の各々に供給するのがよく、したがって、かかるパージガスが存在している状態でロードロックポンプＰ１〜Ｐ８から排出され、引き続いて、排気ポンプＰ_exhaustに移送される流体の量は、少なくとも３２slpmであろう。かかる流量では、排気ポンプＰ_exhaustは、ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８の出口のところの流体圧力を１００ミリバール（１０⁴Ｐａ）未満、代表的には約１２ミリバール（１２００Ｐａ）以下に減少させることができる。図２を参照すると、ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８の排気圧力を１０００ミリバール（大気圧１０⁵Ｐａ）から約１２ミリバール（１２００Ｐａ）に減少させることにより、ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８の電力消費量を著しく減少させることができる。例えば、６０Ｈｚにおいて約５ミリバール（５００Ｐａ）の排気圧力で動作する単一のＢＯＣエドワーズｉＬ６００Ｎポンプについての平均電力節約量は、約０．６ｋＷであると予測され、これは、年間約３００ドルの費用節約となる。図１に示すような８ポンプシステム、例えば、５つのｉＬ７０ポンプと３つのｉＬ６００ポンプの場合、年間費用節約は、１０００ドルを超えると予測される。

使用に当たり、ロードロックチャンバＣ１〜Ｃ８の各々を例えば非反応性ガス、例えば空気又は窒素の源を用いて大気圧まで徐々に加圧して戻す。例えばロードロックチャンバＣ１についてこの加圧を考えると、先ず、弁Ｖ１を閉じてロードロックポンプＰ１をチャンバＣ１から隔離する。次に、ガスをチャンバＣ１に供給してチャンバを最高大気圧まで戻して処理済の基板をチャンバＣ１から取り出し、未処理の基板を次の処理のために挿入することができる。次に、弁Ｖ１を開いてチャンバＣ１をロードロックポンプＰ１により排気できるようにする。

チャンバが排気されている間、ポンプＰ１から排出される流体の質量流量の増大が生じ、これにより排気ポンプＰ_exhaustの入口５０のところの排出流体の圧力が増大することになる。排気ポンプＰ_exhaustの入口５０のところの圧力が排気ポンプＰ_exhaustの出口５２のところの圧力を超えていないならば、排気ポンプＰ_exhaustは、排出流体を効率的に送出することができる。しかしながら、ロードロックチャンバＣ１〜Ｃ８に接続されている処理チャンバ（図示せず）の各々で行われているプロセスの長さに応じて、２以上のロードロックチャンバＣ１〜Ｃ８を同時に排気することがありうる。吹出し弁６０を排気ポンプＰ_exhaustの入口５０と流体連通状態に設けることにより、ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８からの流体の流量が排気ポンプＰ_exhaustを過負荷状態にするほど多い状況を回避することが可能である。例えば、吹出し弁６０の入口６２と出口６４の圧力差が例えば５０ミリバール（５０００Ｐａ）よりも大きくなると、加圧された排出流体により吹出し弁６０のボール６６が弁座６８から離れ、それにより、排出流体が排気ポンプＰ_exhaustの入口５０を迂回して大気中に放出される。この圧力差が減少していったん５０ミリバール（５０００Ｐａ）以下に戻ると、吹出し弁６０が閉じ、排出流体の全てが再度排気ポンプＰ_exhaustを介して送出される。

排出流体の最小圧力は、真空ポンプが連続的に送出するパージガスの量で制御される。しかしながら、パージガスを用いない場合、排出流体を排気ポンプＰ_exhaustの極限真空と同じくらい低いレベルに減圧されることがあり、この極限真空は、１ミリバール（１００Ｐａ）未満になり得る。排気流体を例えば５ミリバール（５００Ｐａ）未満に減圧させると、真空ポンプ装置の総合効率が減少することがあるので、排気ポンプＰ_exhaustの電力消費量を制御する制御系を設けるのがよい。この場合、排気ポンプＰ_exhaustが例えば５ミリバール（５００Ｐａ）未満の真空を引くのを阻止することが必要なとき、電力消費量を減少させることができる。

図１に示すように、ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８から見て下流側には、排気ポンプＰ_exhaustを用いて排出するための追加のチャンバ７０が設けられるのがよい。かかるチャンバ７０を設けることにより、１以上のロードロックチャンバＣ１〜Ｃ８を排気したときの排気ポンプＰ_exhaustの入口５０のところの圧力増大を減少させることができ、これは、排気ポンプＰ_exhaustの入口段及びロードロックポンプＰ１〜Ｐ８の排出段の過負荷を回避するのを助けることができる。

上述の説明は本考案の一実施形態を示しており、実用新案登録請求の範囲に記載された本考案の真の範囲から逸脱しない本考案の別の実施形態を、当業者は疑いなく想到できることを理解するべきである。

例えば、吹出し弁６０に代えて又はこれに追加して、分岐部Ｎ５のところに三方弁を設けても良い。三方弁は、排出流体を排気ポンプＰ_exhaustに差し向け及び／又はこれを迂回させるように差し向け、それにより、排気ポンプＰ_exhaustの過負荷を回避するよう制御可能である。例えば、入口４０のところの排出流体の圧力を検出するセンサが設けられる。センサからの出力に応じて、三方弁を制御すると、入口４０のところの圧力が所定レベルを超えている場合、例えば、４以上のロードロックチャンバが同時に排気されている場合、流体が第２の出口４４を通るように差し向け、即ち、排気ポンプＰ_exhaustから迂回させることができる。変形例として又は追加例として、ロードロックポンプの電力消費量をモニタしても良く、この場合、ロードロックポンプの電力消費量が所定レベルを超えて増加した場合、三方弁を制御して第２の出口４４を開くのがよい。ロードロックポンプＰ１〜Ｐ８の電力消費量は又、比較的高い圧力の多くのチャンバからロードロックポンプＰ１〜Ｐ８によって排気された現在の排気状態及びかくして排気ポンプＰ_exhaustに移送されている排気ガスの流量の現在の又は予想される増加を表す。別の変形実施形態では、弁Ｖ１〜Ｖ８の状態をモニタすることにより三方弁を制御しても良い。第２の出口４４から見て下流側に設けられた吹出し弁６０が、三方弁の故障の場合、入口４０のところの流体圧力が所定レベルを下回ると第２の出口４４を閉じる安全機能を発揮しても良い。

以上要するに、真空ポンプシステムは、複数の真空ポンプを有し、真空ポンプの各々は、それぞれのロードロックチャンバからそれぞれの流体を排出する。真空ポンプ出口のところの流体圧力を減少させ、かくして、真空ポンプの電力消費量を減少させるため、真空ポンプから排出された流体は、排出流体の全てを送出する補助ポンプに移送される。多数のロードロックチャンバが同時に排気されているときの補助ポンプの過負荷を防止するため、吹出し弁が排出流体のうち幾分かを選択的に補助ポンプから迂回させる。

真空ポンプ装置を示す図である。 ＢＯＣエドワーズｉＬ６００ポンプについての排気圧力と電力消費量の変化の状態を示す図である。

符号の説明

１０ 真空ポンプ装置
２０ 導管
３０ 共通排出部
３２ 導管
３４ 導管
４０ 分岐部入口
４２ 分岐部の第１の出口
４４ 分岐部の第２の出口
５２ 排気ポンプ出口
６０ ボール弁
６２ 入口
６４ 出口
６６ ボール
６８ 弁座
７０ 追加のチャンバ
Ｃ１〜Ｃ８ ロードロックチャンバ
Ｎ５ 分岐部
Ｐ１〜Ｐ８ 真空ポンプ
Ｐ_exhaust 補助ポンプである排気ポンプ
Ｖ１〜Ｖ８ 弁

Claims (15)

1. 各々がそれぞれのチャンバから流体を排出する複数の真空ポンプと、
   前記真空ポンプから排出された排出流体を、この排出流体を送出するための１つの補助ポンプまで移送する移送手段と、
   前記移送手段と流体連通状態にあり、排出流体を前記補助ポンプから選択的に迂回させる迂回手段と、を有していることを特徴とする真空ポンプ装置。
2. 前記移送手段は、複数の第１の導管と、前記第１の導管の各々からの排出流体を受け入れる１つの第２の導管と、を有し、前記第１の導管の各々は、それぞれの真空ポンプからの排出流体を前記第２の導管に移送し、前記第２の導管は、排出流体を前記補助ポンプに向けて移送することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
3. 前記迂回手段は、弁を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の真空ポンプ装置。
4. 前記弁は、弁入口と、弁出口と、前記弁入口と前記弁出口の圧力差が所定値を超えたときに前記弁入口から前記弁出口に流れる第２の流れを可能にする流れ発生手段と、を有し、前記弁入口は、排出流体の前記第２の流れを受け入れることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ装置。
5. 前記弁は、前記弁出口から前記弁入口への流体の通過を阻止するために弁座に着座するように構成されたボールを有し、真空ポンプ装置の使用中、前記ボールは、前記弁入口のところの加圧された排出流体により前記弁座から押しやられ、それにより、前記弁入口から前記弁出口への排出流体の通過を可能にすることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ装置。
6. 前記補助ポンプは、前記弁出口と流体連通状態にある出口を有していることを特徴とする請求項４又は５に記載の真空ポンプ装置。
7. 前記移送手段は、前記真空ポンプから排出された流体が前記補助ポンプに向かって流れる第１の流れと前記迂回手段に向かって流れる第２の流れに分離する分離手段を前記補助ポンプの上流側に有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
8. 前記分離手段は、三方弁を含み、この三方弁は、前記真空ポンプから排出された流体を受け入れる三方弁入口と、受け入れた排出流体を前記補助ポンプに向かって流出させる第１の三方弁出口と、受け入れた排出流体を前記補助ポンプを迂回させて流出させる第２の三方弁出口と、を有することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ装置。
9. 受け入れた排出流体を前記第１の三方弁出口だけから流出させたり、受け入れた排出流体を前記第１の三方弁出口と前記第２の三方弁出口の両方から流出させたりするように前記三方弁を選択的に制御する三方弁制御手段を有していることを特徴とする請求項８に記載の真空ポンプ装置。
10. 前記三方弁入口のところの排出流体の圧力を検出するセンサを有し、前記三方弁制御手段は、前記センサからの出力に基づいて前記三方弁を制御することを特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ装置。
11. 前記真空ポンプの電力消費量をモニタするモニタ手段を有し、前記三方弁制御手段は、前記モニタ手段からの出力に基づいて前記三方弁を制御することを特徴とする請求項９又は１０に記載の真空ポンプ装置。
12. 前記移送手段と流体連通状態にあり、前記補助ポンプを用いた送出のために追加のチャンバを有していることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
13. 前記補助ポンプの電力消費量を制御する電力消費量制御手段を有していることを特徴とする請求項１〜１２のうちいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
14. 前記真空ポンプは、複数のロードロック真空ポンプを含み、前記ロードロック真空ポンプの各々は、それぞれのロードロックチャンバを排気することを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
15. 前記流体は、気体であることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。

Images