JPS627408A - 真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置 - Google Patents
真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置Info
- Publication number
- JPS627408A JPS627408A JP14395985A JP14395985A JPS627408A JP S627408 A JPS627408 A JP S627408A JP 14395985 A JP14395985 A JP 14395985A JP 14395985 A JP14395985 A JP 14395985A JP S627408 A JPS627408 A JP S627408A
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- Japan
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- oil
- pump
- circulation
- rotary pump
- tank
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- Pending
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えばプラズマエツヂング、プラズマＣＶＤ
、減圧ＣＶＤ等のような真空プロセス装置用いられてい
る油回転ポンプのポンプ油を循環浄化する装置に関ザる
ものである。
、減圧ＣＶＤ等のような真空プロセス装置用いられてい
る油回転ポンプのポンプ油を循環浄化する装置に関ザる
ものである。
従 来 の 技 術
半導体製造プロセスに真空技術を用いた種々のドライプ
ロセス装置が使用されており、その粗引ポンプとして油
回転ポンプが使用されている。半導体製造、加工プロセ
スに使用されている油回転ポンプでは、ガスを多品に使
用するためポンプ油の劣化が起こる。ドライエツチング
では、ハロゲン系のガスを使用するため、ポンプ油の重
合、分解やガスの溶存が起こり、油回転ポンプの初期性
能を長期間維持づ゛ることができない。またプラズマＣ
ＶＤや減圧ＣＶＤｒは、成膜用ガスの反応生成物がポン
プ油に混入するため、■ツヂングの場合と同様に油回転
ポンプの初期性能を長期間維持することができない。こ
のため、ポンプ油の変性成分や混入物を取り除き、初期
性能を長期間維持するためにポンプ油循環浄化装置が使
用されている。
ロセス装置が使用されており、その粗引ポンプとして油
回転ポンプが使用されている。半導体製造、加工プロセ
スに使用されている油回転ポンプでは、ガスを多品に使
用するためポンプ油の劣化が起こる。ドライエツチング
では、ハロゲン系のガスを使用するため、ポンプ油の重
合、分解やガスの溶存が起こり、油回転ポンプの初期性
能を長期間維持づ゛ることができない。またプラズマＣ
ＶＤや減圧ＣＶＤｒは、成膜用ガスの反応生成物がポン
プ油に混入するため、■ツヂングの場合と同様に油回転
ポンプの初期性能を長期間維持することができない。こ
のため、ポンプ油の変性成分や混入物を取り除き、初期
性能を長期間維持するためにポンプ油循環浄化装置が使
用されている。
この目的で従来使用されているポンプ油循環浄化装置は
、油回転ポンプに連結される油循環通路にオイルフィル
タと、循環ポンプと、増油タンクとを配冒し、油回転ポ
ンプ油を上記循環ポンプによって上記オイルフィルタに
通して浄化した後、上記増油タンクに送り込むように構
成されている。
、油回転ポンプに連結される油循環通路にオイルフィル
タと、循環ポンプと、増油タンクとを配冒し、油回転ポ
ンプ油を上記循環ポンプによって上記オイルフィルタに
通して浄化した後、上記増油タンクに送り込むように構
成されている。
発明が解決しようとする問題点
ところで、この種のポンプ油循環浄化ｉｉにおいては、
当然、ある一定期間運転した侵にはオイルフィルタの交
換等のため装置を取り外したり分解する必要がある。そ
のためこのような従来のポンプ油循環浄化装置を、例え
ば減圧ＣｖＤの一種であるＭＯＣＶＤのような人体に非
常に危険なガス（アルシン等）を用いる真空プロセス装
置用の油回転ポンプにそのまま用いることは極めて危険
である。
当然、ある一定期間運転した侵にはオイルフィルタの交
換等のため装置を取り外したり分解する必要がある。そ
のためこのような従来のポンプ油循環浄化装置を、例え
ば減圧ＣｖＤの一種であるＭＯＣＶＤのような人体に非
常に危険なガス（アルシン等）を用いる真空プロセス装
置用の油回転ポンプにそのまま用いることは極めて危険
である。
そこで、本発明の目的は、人体に非常に危険なガスを使
用する真空プロセス装置用の油回転ポンプにも安全に使
用づることができるポンプ油循環浄化装置を記載するこ
とにある。
用する真空プロセス装置用の油回転ポンプにも安全に使
用づることができるポンプ油循環浄化装置を記載するこ
とにある。
問題点を解決するだめの手段
上記の目的を達成するために、本発明による真空プロセ
ス装置用油回転ポンプ油１ｆＪ環浄化装置においては、
油循環通路中に浄化１べぎ油に溶存しているプロセスガ
スを排出づるバブリング装置が設けられ、このバブリン
グ装置は増油タンクに配置され得る。
ス装置用油回転ポンプ油１ｆＪ環浄化装置においては、
油循環通路中に浄化１べぎ油に溶存しているプロセスガ
スを排出づるバブリング装置が設けられ、このバブリン
グ装置は増油タンクに配置され得る。
油循環通路におけるオイルフィルタ、循環ポンプおよび
増油タンクの各連結部にはクイックカップリングが使用
され得る。
増油タンクの各連結部にはクイックカップリングが使用
され得る。
また、本発明による装置においては、上記バブリング１
Ａ置に加えて、上記増油タンクを常にオーバーフロー状
態に維持して上記増油タンク内に気体溜りの生じるのを
防止する装置が上記オイルフィルタに並列に設けられ得
る。
Ａ置に加えて、上記増油タンクを常にオーバーフロー状
態に維持して上記増油タンク内に気体溜りの生じるのを
防止する装置が上記オイルフィルタに並列に設けられ得
る。
作 用
このように構成した本発明による真空プロセス装置用油
回転ポンプ油循環浄化装置においては、浄化ずべきポン
プ油中に溶存しているアリシン等の人体に危険なガスの
バブリング装置によるバブリング操作は、例えば窒素ガ
ス等の不活性ガスのパージによって行なわれる。これに
Ｊ：す、油交換等は有毒ガスの危険なしに行なうことが
できる。
回転ポンプ油循環浄化装置においては、浄化ずべきポン
プ油中に溶存しているアリシン等の人体に危険なガスの
バブリング装置によるバブリング操作は、例えば窒素ガ
ス等の不活性ガスのパージによって行なわれる。これに
Ｊ：す、油交換等は有毒ガスの危険なしに行なうことが
できる。
油循環通路におけるオイルフィルタに並列に設けられる
気体溜り防止装置はオイルフィルタによって生じ得るそ
れの人口側と出口側との圧力差を実質的になくすためオ
イルフィルタをバイパスしてポンプ油を直接増油タンク
に送り込むように作用する。また、装置の各連結部に取
り付りられたクイックカップリングは、（列えばオイル
フィルりの交換のように装置の少なくとも一部または全
部を分解づる場合にポンプ油は勿論のことその中に溶存
しているイｊ汚なガスや反応生成物等が外部に漏れるの
を４１止する。
気体溜り防止装置はオイルフィルタによって生じ得るそ
れの人口側と出口側との圧力差を実質的になくすためオ
イルフィルタをバイパスしてポンプ油を直接増油タンク
に送り込むように作用する。また、装置の各連結部に取
り付りられたクイックカップリングは、（列えばオイル
フィルりの交換のように装置の少なくとも一部または全
部を分解づる場合にポンプ油は勿論のことその中に溶存
しているイｊ汚なガスや反応生成物等が外部に漏れるの
を４１止する。
実 施 例
以下、添附図面を参照して本発明の実施例について説明
する。
する。
第１図には本発明による装置の構成を示し、１はパネル
２（その一部を示す）内に配置された油回転ポンプで、
この油回転ポンプ２にクイックカップリング３．４を介
して本発明による油回転ポンプ油循環浄化装置が連結さ
れる。油回転ポンプ油循環浄化装置は循環ポンプを成づ
トロコイドポンプ５、オイルフィルタ６および増油タン
ク７を右し、これらの構成要素は油循環通路８に図示さ
れたように挿置されている。トロコイドポンプ５の上流
において油循環通路には給油用カブラ９が設【ノられて
いる。ｌ・ロロイドボンプ５とオイルフィルタ６との間
の油循環通路には図示したように圧力ｉｔ １０お」；
びクイックカップリング１１が設けられている。′Ａイ
ルフィルタ６の上流と下流との間には調節弁１２を備え
たバイパス通路１３がオイルフィルタ６に並列に設けら
れている。１／１１５はぞれぞれオイルフィルタ６のＦ
流側の連結部Ｊ３よび増油タンク７の、に流側の連結部
におけるクイックカップリングである。Ｊｆ１油タング
−にはパージ用のＮ ガス導入ｌ」１６およびＮ２ガス
導出１］１７、ドレンバルブ１８並びに圧力計１９が取
り付けられている。また増油タンク７のＦ ｉ ｍＩｌ
にはクイックカップリング２０が示されている。
２（その一部を示す）内に配置された油回転ポンプで、
この油回転ポンプ２にクイックカップリング３．４を介
して本発明による油回転ポンプ油循環浄化装置が連結さ
れる。油回転ポンプ油循環浄化装置は循環ポンプを成づ
トロコイドポンプ５、オイルフィルタ６および増油タン
ク７を右し、これらの構成要素は油循環通路８に図示さ
れたように挿置されている。トロコイドポンプ５の上流
において油循環通路には給油用カブラ９が設【ノられて
いる。ｌ・ロロイドボンプ５とオイルフィルタ６との間
の油循環通路には図示したように圧力ｉｔ １０お」；
びクイックカップリング１１が設けられている。′Ａイ
ルフィルタ６の上流と下流との間には調節弁１２を備え
たバイパス通路１３がオイルフィルタ６に並列に設けら
れている。１／１１５はぞれぞれオイルフィルタ６のＦ
流側の連結部Ｊ３よび増油タンク７の、に流側の連結部
におけるクイックカップリングである。Ｊｆ１油タング
−にはパージ用のＮ ガス導入ｌ」１６およびＮ２ガス
導出１］１７、ドレンバルブ１８並びに圧力計１９が取
り付けられている。また増油タンク７のＦ ｉ ｍＩｌ
にはクイックカップリング２０が示されている。
増油タンク７の一例を第２図に示し、第２図において第
１図に示ずものに対応した部分は第１図と同じ符号で示
す、Ｊ？＋１油タンク７はオイルタンクハウジング２１
およびハウジング上蓋２２とを備え、オイルタンクハウ
ジング２１内にはバブリング装置を構成している多孔質
ペイプ部材２３が配置され、この多孔質パイプ部材２３
はオイルタンクハウジング２１の外側に取り付番ノられ
たパージ用のＮ２ガス導入口１６に連通している。
１図に示ずものに対応した部分は第１図と同じ符号で示
す、Ｊ？＋１油タンク７はオイルタンクハウジング２１
およびハウジング上蓋２２とを備え、オイルタンクハウ
ジング２１内にはバブリング装置を構成している多孔質
ペイプ部材２３が配置され、この多孔質パイプ部材２３
はオイルタンクハウジング２１の外側に取り付番ノられ
たパージ用のＮ２ガス導入口１６に連通している。
このＪ：うに構成した装置の動作において、ポンプ油の
バブリングはパージ用のＮ２”ｊス導入ロ１６を通して
多孔質バイブ部材２３にＮ２ガスを供給することにより
Ｎ２ガスのパージによって行なわれる。実験例によれば
、アルシンガスが多量に溶存することが確かめられてい
るＭＯＣＶＤ装四に適用した場合に、パージ当初、数ｉ
ｏｐｐｍのｍ麿でポンプ油中から排出されていたものが
、１０分間程度のパージ後にはｏ、ｉｐｐｍ以下になっ
た。またオイルフィルタ６にお１ノるポンプ油の流れ抵
抗のためにその−Ｌ流側と下流側との間に実質的な圧力
勾配が生じないようにトロコイドポンプ５によって送ら
れてきたポンプ油の一部をオイルフィルタ６を通さずに
直接増油タンク７に流し、それにより、増油タンク７は
常にオーバーフローの状態に維持され、増油タンク７の
上部に気体溜りができないようにされる。
バブリングはパージ用のＮ２”ｊス導入ロ１６を通して
多孔質バイブ部材２３にＮ２ガスを供給することにより
Ｎ２ガスのパージによって行なわれる。実験例によれば
、アルシンガスが多量に溶存することが確かめられてい
るＭＯＣＶＤ装四に適用した場合に、パージ当初、数ｉ
ｏｐｐｍのｍ麿でポンプ油中から排出されていたものが
、１０分間程度のパージ後にはｏ、ｉｐｐｍ以下になっ
た。またオイルフィルタ６にお１ノるポンプ油の流れ抵
抗のためにその−Ｌ流側と下流側との間に実質的な圧力
勾配が生じないようにトロコイドポンプ５によって送ら
れてきたポンプ油の一部をオイルフィルタ６を通さずに
直接増油タンク７に流し、それにより、増油タンク７は
常にオーバーフローの状態に維持され、増油タンク７の
上部に気体溜りができないようにされる。
４【お、図示実施例では、バブリング装置を増油タンク
７内に設けているが、必要によりバブリング装置を油循
環通路の適当な位置に設けてもよい。
７内に設けているが、必要によりバブリング装置を油循
環通路の適当な位置に設けてもよい。
またパージ用としてＮ２ガスを用いているが、当然他の
不活性ガスを用いることができる。ざらに、図面には示
しでないが、装置の各構成要素におけるシール材として
Ｏリングを使用するのが好ましい。バイパス通路１３に
設（プられた調節弁１２の０１作は、トロコイドポンプ
５の下流側に設けられた圧力計１０６よび増油タンク７
に設けられた圧力Ｊ］１９で測定された圧力値に応じて
自動制御されるようにしてもよい。
不活性ガスを用いることができる。ざらに、図面には示
しでないが、装置の各構成要素におけるシール材として
Ｏリングを使用するのが好ましい。バイパス通路１３に
設（プられた調節弁１２の０１作は、トロコイドポンプ
５の下流側に設けられた圧力計１０６よび増油タンク７
に設けられた圧力Ｊ］１９で測定された圧力値に応じて
自動制御されるようにしてもよい。
発 明 の 効 果
以上説明してぎたように、本発明による真空プロレス装
置用油回転ポンプ油循環浄化装冒においては、油循環通
路中に浄化すべき油に溶存しているプロセスガスを排出
するバブリング装置を設【ノているので、ポンプ油中に
溶存している有毒なガスを常に予定の安全レベル以下に
保つことができ、それにより、ポンプ油やオイルフィル
タの交換、装置の補ｒｉ時等に作業者の安全が確保され
得る。
置用油回転ポンプ油循環浄化装冒においては、油循環通
路中に浄化すべき油に溶存しているプロセスガスを排出
するバブリング装置を設【ノているので、ポンプ油中に
溶存している有毒なガスを常に予定の安全レベル以下に
保つことができ、それにより、ポンプ油やオイルフィル
タの交換、装置の補ｒｉ時等に作業者の安全が確保され
得る。
また、増油タンクを常にオーバーフロー状態に維持して
上記増油タンク内に気体溜りの牛じないように構成して
いるので、右７ｉｊ ＜’＝ガスが増油タンク内等の油
循環通路内に溜ることがなく、従って、増油タンクや油
循環通路を開けた際に、＋！’ＩＩ １ｌｉｌ １．［
ｌのそのような有毒なガス等を含んだ気体が突出するこ
とがなく、操作の安全性が確保され得る。
上記増油タンク内に気体溜りの牛じないように構成して
いるので、右７ｉｊ ＜’＝ガスが増油タンク内等の油
循環通路内に溜ることがなく、従って、増油タンクや油
循環通路を開けた際に、＋！’ＩＩ １ｌｉｌ １．［
ｌのそのような有毒なガス等を含んだ気体が突出するこ
とがなく、操作の安全性が確保され得る。
本発明はこのような効果を右しているので、特にアルシ
ン等の危険なプロセスガスを使用する減［［Ｍ ＯＣＶ
Ｄ装置用油回転ポンプ油循環ぴ化［ｆに有利に適用さ
れ得る。
ン等の危険なプロセスガスを使用する減［［Ｍ ＯＣＶ
Ｄ装置用油回転ポンプ油循環ぴ化［ｆに有利に適用さ
れ得る。
第１図は本発明による真空プロセス装置用油回転ポンプ
油循環浄化装置の一実施例を示すブロック線図、第２図
は本発明による装置に用いられる増油タンクの一例を示
す概略断面図である。 図中、１：油回転ポンプ、５：循環ポンプ、６：オイル
フィルタ、７：増油タンク、８：油循環通路、１２：調
節弁、１３：バイパス通路、１６゜１７．２３：バブリ
ング装置 第１図
油循環浄化装置の一実施例を示すブロック線図、第２図
は本発明による装置に用いられる増油タンクの一例を示
す概略断面図である。 図中、１：油回転ポンプ、５：循環ポンプ、６：オイル
フィルタ、７：増油タンク、８：油循環通路、１２：調
節弁、１３：バイパス通路、１６゜１７．２３：バブリ
ング装置 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、油回転ポンプに連結される油循環通路にオイルフィ
ルタと、循環ポンプと、増油タンクとを配置し、油回転
ポンプ油を上記循環ポンプによつて上記オイルフィルタ
に通して浄化したのち、上記増油タンクに送り込むよう
にした真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置
において、上記油循環通路中に浄化すべき油に溶存して
いるプロセスガスを排出するバブリング装置を設けたこ
とを特徴とする真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環
浄化装置。 ２、バブリング装置が増油タンクに配置されている特許
請求の範囲第１項に記載の真空プロセス装置用油回転ポ
ンプ油循環浄化装置。 ３、油循環通路におけるオイルフィルタ、循環ポンプお
よび増油タンクの各連結部がクイックカップリングから
成つている特許請求の範囲第１項に記載の真空プロセス
装置用油回転ポンプ油循環浄化装置。 ４、油回転ポンプに連結される油循環通路にオイルフィ
ルタと、循環ポンプと、増油タンクとを配置し、油回転
ポンプ油を上記循環ポンプによつて上記オイルフィルタ
に通して浄化したのち、上記増油タンクに送り込むよう
にした真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置
において、上記油循環通路中に浄化すべき油に溶存して
いるプロセスガスを排出するバブリング装置を設け、ま
た上記増油タンクを常にオーバーフロー状態に維持して
上記増油タンク内に気体溜りの生じるのを防止するバイ
パス通路を上記オイルフィルタに並列に設けたことを特
徴とする真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装
置。 ５、バブリング装置が増油タンクに配置されている特許
請求の範囲第４項に記載の真空プロセス装置用油回転ポ
ンプ油循環浄化装置。 ６、油循環通路におけるオイルフィルタ、循環ポンプお
よび増油タンクの各連結部がクイックカップリングから
成つている特許請求の範囲第４項に記載の真空プロセス
装置用油回転ポンプ油循環浄化装置。 ７、増油タンク内に気体溜りの生じるのを防止するバイ
パス通路が、オイルフィルタの入口側と出口側との間に
実質的な差圧の生じるのを防止するようにされる特許請
求の範囲第４項に記載の真空プロセス装置用油回転ポン
プ油循環浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14395985A JPS627408A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14395985A JPS627408A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS627408A true JPS627408A (ja) | 1987-01-14 |
Family
ID=15351028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14395985A Pending JPS627408A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS627408A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010133310A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Shimadzu Emit Co Ltd | 油回転真空ポンプ |
| CN104623930A (zh) * | 2015-01-29 | 2015-05-20 | 国家电网公司 | 一种应用于光声光谱原理油中溶解气体分析的脱气装置 |
| CN107376454A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-24 | 安徽中鼎橡塑制品有限公司 | 一种双桶式真空设备 |
| CN111257068A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-06-09 | 许昌许继软件技术有限公司 | 一种变压器油中溶解气体置换方法及装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6051511A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-23 | Anelva Corp | 油浄化装置 |
-
1985
- 1985-07-02 JP JP14395985A patent/JPS627408A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6051511A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-23 | Anelva Corp | 油浄化装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010133310A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Shimadzu Emit Co Ltd | 油回転真空ポンプ |
| CN104623930A (zh) * | 2015-01-29 | 2015-05-20 | 国家电网公司 | 一种应用于光声光谱原理油中溶解气体分析的脱气装置 |
| CN104623930B (zh) * | 2015-01-29 | 2016-07-06 | 国家电网公司 | 一种应用于光声光谱原理油中溶解气体分析的脱气装置 |
| CN107376454A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-24 | 安徽中鼎橡塑制品有限公司 | 一种双桶式真空设备 |
| CN111257068A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-06-09 | 许昌许继软件技术有限公司 | 一种变压器油中溶解气体置换方法及装置 |
| CN111257068B (zh) * | 2019-10-22 | 2024-02-06 | 许昌许继软件技术有限公司 | 一种变压器油中溶解气体置换方法及装置 |
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