JPH0317935Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本考案は、例えば半導体工業、窯業関係の廃ガ
スをはじめとして、主に有毒ガスを含む廃ガスを
乾式処理する装置に関し、廃ガス中の有毒ガスが
処理装置の下流側に不測に漏れる危険をなくせる
ものを提供する。

《従来技術》 従来の廃ガスの乾式処理装置としては、固形処
理剤を充填した大容量の本処理室と本処理室の処
理能力を指示するインデイケーターから成る本処
理部に廃ガスを通して有毒ガス等を除去するもの
がある。

この場合、実際の乾式処理方法としては、当該
処理装置を工場の廃ガスラインに設置して連続処
理を行ない、工場の定期的な稼動停止時に同時に
本処理室及びインデイケーターを新規なものに交
換することが行なわれている。

原則として工場の稼動停止時に処理装置の交換
を行なうのは、工場の稼動中に行なうと廃ガスラ
インのバルブから廃ガスが漏れ、その中に含有さ
れる有毒ガスを作業者が吸つてしまう危険がある
ので、安全面からこの危険を避けるためである。

従つて、本処理室には所定停止時から次の停止
時までの期間、例えば１カ月間の処理能力に合わ
せた固形処理剤が予め充填され、また、インデイ
ケーターを本処理室の下流側に設けて、本処理室
から有毒ガスが漏れれば変色等の指示をして、本
処理室の処理能力の低下を示すように構成してい
る。

《考案が解決しようとする問題点》 しかしながら、上記従来技術では、工場の稼動
停止に伴つてインデイケーターの変色指示が出た
場合でも、既に本処理室の処理能力が減退してい
まつている場合が少なくなく、処理装置の下流に
廃ガス中の有毒ガスが漏洩してしまう虞れが大き
かつた。

また、なによりも、現実には工場の稼動中にイ
ンデイケーターの変色指示が出てしまうことがあ
り、この場合でも前記事情により工場の稼動停止
期に入るまでは本処理室の交換はできず、有毒ガ
スの漏洩は避けられないのが実情である。

そこで、この問題点を解消するものとして、本
処理室とインデイケーターから成る本処理部を切
換弁を介して複数並列的に設け、当該複数の本処
理部の間で切換運転を行なうことが考えられる
が、インデイケーターが変色してから他の処理部
に切換操作するまでの間に、やはり廃ガス中の有
毒ガスが漏洩してしまう。

しかも、大容量の本処理室を複数設けるために
処理装置全体が大型になつてしまううえ、本処理
部に合わせた大径の切換弁を必要とすることから
コストアツプを招いてしまう。

本考案は、上記問題点を解決することを技術的
課題とする。

《問題点を解決するための手段》 本考案者等は装置全体をコンパクトにまとめな
がら、しかも工場の定期停止時に処理装置の交換
を合わせてやるという条件の下でも処理装置の下
流側に有毒ガス等が漏れることがないものを開
発、完成した。

即ち、本考案は、前記本処理部の下流側に小容
量の副処理室を直列に接続して、本処理部から出
る廃ガスを副処理室で補助的に処理するととも
に、本処理室の上流側とインデイケーターの下流
側とをバイパスで接続してこのバイパスにバルブ
を介装することを特徴とするものである。

《作用》 工場の稼動中にインデイケーターの変色指示等
が出た場合、本処理室の処理能力は低下している
が、これに直列した副処理室が本処理室から漏れ
た有毒ガスを除去することになる。

この場合、副処理室は本処理室の処理能力が低
下するまでは、有毒ガス等を含まない清浄な廃ガ
スに接触を続けるので、それ自体の処理能力の低
下は本処理室のそれに遅れて進行し、もつて、イ
ンデイケーターの指示が出た時点では副処理室の
処理能力が高いことから、廃ガスの流路をバイパ
スに切換えて副処理室で廃ガス処理を行なうこと
により、工場の稼働中に本処理部を交換すること
ができる。

《考案の効果》 本処理室と合わせて副処理室でも補助的に廃ガ
スの処理を行なうので、本処理室の処理能力が低
下した場合にも、副処理室で廃ガス処理を行なつ
て処理装置の下流側に有毒ガス等が不測に漏れる
ことをなくせる。

しかも、インデイケーターの指示が出ると、直
ちにバルブを開閉操作することにより、廃ガスの
流路をバイパスに切換えて副処理室で廃ガスを処
理することができるので、工場が稼働中であつて
も有毒ガスを漏出させることなく処理能力の低下
した本処理部を交換することができる。

また、本処理室に直列に接続する副処理室は小
容量なので、前記従来技術の項で述べたような並
列切換装置のように大型になることもなく、処理
装置全体をコンパクトにまとめられる。

《実施例》 以下、本考案の実施例を図面に基いて説明す
る。

図面は廃ガスの乾式処理装置の概略説明図であ
り、乾式処理装置１は本処理部２と副処理室３を
直列に接続して成り、本処理部２は固形処理剤を
充填した大容量の本処理室４と本処理室４の処理
能力を指示するインデイケーター５とから構成さ
れる。

本処理室４に充填される処理剤は処理する廃ガ
スに対応して定めなければならず、例えば、
SiH₄系の廃ガスの処理にはFeCl₃の充填剤、ま
た、半導体製造やエキシマレーザーに用いた各種
ハロゲン系の廃ガス処理にはアルカリの中和剤が
各々使用される。

処理剤の形態は、か粒状若しくは粉末状の固形
である。

インデイケーター５には、例えばメチレンブル
ー、メチルレツド等の指示薬を活性アルミナ等に
含浸させておき、有毒ガス等の除去処理の対象と
なつているガスが本処理室２から漏れれば、これ
と反応して変色指示等をするように構成する。

副処理室３は本処理室４に比べて小容量に設計
し（例えば本処理室の1/10程度に設計する）、そ
の中に本処理室と同じ処理剤を充填する。

前記インデイケーター５は、本処理室４の下流
側であれば良いので、具体的には本処理室４と別
体に設けずとも、その最下流側に一体的に組み付
けても差し支えない。

従つて、廃ガスの処理ラインを系統的にみれ
ば、廃ガスラインＬには本処理室４、インデイケ
ーター５及び副処理室３が上流から下流にかけて
順次カートリツジタイプを形成しながら直列に取
り付けられることになる。

そして、本処理室４の上流側とインデイケータ
ー５の下流側とはバイパス８で接続し、このバイ
パス８にバルブ１０を１個介装してある。

また、本処理室４の上流側であつてバイパス分
岐点よりも下流側の位置にバルブ６が、本処理室
４の下流側であつてバイパス合流点よりも上流側
の位置にバルブ７がそれぞれ介装してある。

従つて、インデイケーター５の指示が出ると、
直ちにバイパス８に介装したバルブ１０を開き、
本処理室の上流側と下流側にそれぞれ介装したバ
ルブ６，７を閉じることにより廃ガスの流路をバ
イパスに切換えて副処理室３で廃ガスを処理でき
るので、工場の稼働停止期に関係なく工場の稼働
中であつても本処理部の交換を行なうことができ
る。

【図面の簡単な説明】

図面は廃ガスの乾式処理装置の概略説明図であ
る。 １……廃ガスの乾式処理装置、２……本処理
部、３……副処理室、４……本処理室、５……イ
ンデイケーター、８……バイパス、１０……バル
プ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 固形処理剤を充填した大容量の本処理室と本処
   理室の処理能力を指示するインデイケータから成
   る本処理部に廃ガスを通して有毒ガス等を除去す
   る廃ガスの乾式処理装置において、 本処理部の下流側に小容量の副処理室を直列に
   接続して、本処理部から出る廃ガスを副処理室で
   補助的に処理するとともに、本処理室の上流側と
   インデイケーターの下流側とをバイパスで接続し
   てこのバイパスにバルブを介装することを特徴と
   する廃ガスの乾式処理装置。