JPH0225467Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0225467Y2 JPH0225467Y2 JP11628685U JP11628685U JPH0225467Y2 JP H0225467 Y2 JPH0225467 Y2 JP H0225467Y2 JP 11628685 U JP11628685 U JP 11628685U JP 11628685 U JP11628685 U JP 11628685U JP H0225467 Y2 JPH0225467 Y2 JP H0225467Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- column
- gas
- line
- valve
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 25
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 20
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 18
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000011221 initial treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
考案の目的
本考案は水分および／または酸素を含まないガ
スを必要とする生産ライン（例えば半導体工業生
産ライン）の前に取付ける消耗型酸素および／ま
たは水分除去装置に関する。詳しくは、消耗型酸
素および／または水分除去カラムの能力が無くな
つた時、カラム交換する場合浸入する、酸素、水
分等を出口ラインに放出しないようにし、連続使
用を可能にした消耗型酸素および／または水分除
去装置に関する。
スを必要とする生産ライン（例えば半導体工業生
産ライン）の前に取付ける消耗型酸素および／ま
たは水分除去装置に関する。詳しくは、消耗型酸
素および／または水分除去カラムの能力が無くな
つた時、カラム交換する場合浸入する、酸素、水
分等を出口ラインに放出しないようにし、連続使
用を可能にした消耗型酸素および／または水分除
去装置に関する。
従来技術における問題点
除去カラム１筒からなる水分、酸素除去カラム
にあつては交換時その生産ラインへのガスの供給
を止めてカラムの交換を行なつていた。これは生
産ラインを一時中断しなければならず、又運転再
開時交換雰囲気中の酸素・水分等が生産ラインに
浸入する恐れがあつた。
にあつては交換時その生産ラインへのガスの供給
を止めてカラムの交換を行なつていた。これは生
産ラインを一時中断しなければならず、又運転再
開時交換雰囲気中の酸素・水分等が生産ラインに
浸入する恐れがあつた。
第１図に示すような酸素・水分除去カラムを２
個使用する装置は、カラム交換時生産ラインの中
断を避けることができるけれども、交換雰囲気中
の酸素・水分等の生産ラインへの浸入は不可避で
あつた。そのためカラム交換後しばらくはその除
去装置から出た精製ガスは使用しにくいものであ
つた。
個使用する装置は、カラム交換時生産ラインの中
断を避けることができるけれども、交換雰囲気中
の酸素・水分等の生産ラインへの浸入は不可避で
あつた。そのためカラム交換後しばらくはその除
去装置から出た精製ガスは使用しにくいものであ
つた。
考案の構成、作用等
本考案は被処理ガス入口管とガス出口管との間
に少なくとも２つの処理ラインを設け、各ライン
にガス入口側からストツプ弁、消耗型酸素およ
び／または水分除去カラムおよびストツプ弁を設
け、そのカラムから出口管側の地点でこれらの処
理ライン間を結んでパージラインを設け、そのパ
ージラインにはパージガス量調節用のニードル弁
を設け交換カラムおよびパージラインを通つてガ
スが流れるように弁を設けてなる消耗型酸素およ
び／または水分除去装置に関する。
に少なくとも２つの処理ラインを設け、各ライン
にガス入口側からストツプ弁、消耗型酸素およ
び／または水分除去カラムおよびストツプ弁を設
け、そのカラムから出口管側の地点でこれらの処
理ライン間を結んでパージラインを設け、そのパ
ージラインにはパージガス量調節用のニードル弁
を設け交換カラムおよびパージラインを通つてガ
スが流れるように弁を設けてなる消耗型酸素およ
び／または水分除去装置に関する。
図面に従つて本考案を説明する第２図における
各部の説明は次のとおりである： １……ガス入口管、 ２，２′……ストツプ弁、 ３，３′……酸素および／または除去カラム、 ４，４′……三方弁、５……精製ガス出口管、 ６……パージライン、７……ニードル弁、 １０，１０′……処理ライン 被処理ガスがカラム３を通る場合、ストツプ弁
２および８を開とし、ストツプ弁２′および８′を
閉とする。三方弁４をガスが出口管に行くように
するその被処理ガスはカラム３を通つて精製さ
れ、出口管５から排出される。次にカラム３の能
力が低下した時、ストツプ弁２および８を閉と
し、ストツプ弁２′および８′を開とし、三方弁
４′をガスが出口管に行くようにする。その被処
理ガスはカラム３′を通つて精製され、出口管５
から排出される。その間にカラム３を新しいカラ
ムと交換する。カラム３の交換が終ると、ストツ
プ弁２を開とし三方弁４がパージライン６に行く
ようにする。ニードル弁７によりガス量を調整
し、並流方向に被処理ガスを流し、カラム交換の
際に処理ライン１０中に残留していたガスをパー
ジする。パージが完了する時、ストツプ弁２、三
方弁４、ニードル弁７を閉とする。
各部の説明は次のとおりである： １……ガス入口管、 ２，２′……ストツプ弁、 ３，３′……酸素および／または除去カラム、 ４，４′……三方弁、５……精製ガス出口管、 ６……パージライン、７……ニードル弁、 １０，１０′……処理ライン 被処理ガスがカラム３を通る場合、ストツプ弁
２および８を開とし、ストツプ弁２′および８′を
閉とする。三方弁４をガスが出口管に行くように
するその被処理ガスはカラム３を通つて精製さ
れ、出口管５から排出される。次にカラム３の能
力が低下した時、ストツプ弁２および８を閉と
し、ストツプ弁２′および８′を開とし、三方弁
４′をガスが出口管に行くようにする。その被処
理ガスはカラム３′を通つて精製され、出口管５
から排出される。その間にカラム３を新しいカラ
ムと交換する。カラム３の交換が終ると、ストツ
プ弁２を開とし三方弁４がパージライン６に行く
ようにする。ニードル弁７によりガス量を調整
し、並流方向に被処理ガスを流し、カラム交換の
際に処理ライン１０中に残留していたガスをパー
ジする。パージが完了する時、ストツプ弁２、三
方弁４、ニードル弁７を閉とする。
第３図に示される装置では三方弁の代りにスト
ツプ弁１２，１３，１２′，１３′を設けた。最初
カラム３を使用しての処理では弁２，１２，８を
開とし、弁２′および８′を閉とする。カラム３の
交換の際には、弁２′，１２′および８′を開とし、
バルブ２および８を閉とし、カラム３を交換す
る。パージ工程ではストツプ弁２，１２および１
３を開とし、弁８を閉とし、ニードル弁を調節し
て処理ライン１０中に残留するガスをパージす
る。
ツプ弁１２，１３，１２′，１３′を設けた。最初
カラム３を使用しての処理では弁２，１２，８を
開とし、弁２′および８′を閉とする。カラム３の
交換の際には、弁２′，１２′および８′を開とし、
バルブ２および８を閉とし、カラム３を交換す
る。パージ工程ではストツプ弁２，１２および１
３を開とし、弁８を閉とし、ニードル弁を調節し
て処理ライン１０中に残留するガスをパージす
る。
第２図に示すように出口管５にフイルター９を
設けてもよい。
設けてもよい。
第４図はニードル弁を２つ設け、それぞれの処
理ラインからパージできるようにしたものであ
る。またパージ時間を短縮するためにはニードル
弁７の開度を大きくしてパージラインの流量を増
加させればよい。
理ラインからパージできるようにしたものであ
る。またパージ時間を短縮するためにはニードル
弁７の開度を大きくしてパージラインの流量を増
加させればよい。
本考案では処理ラインは必ずしも２つに限定さ
れず、３つ以上の処理ライン（酸素および／また
は水分除去カラムを含むライン）を設けても良
い。この場合、各処理ラインの前記カラムの前の
地点でパージラインを設け、交換カラム、および
パージラインを通つてガスが流れるように弁を設
けることもできる。
れず、３つ以上の処理ライン（酸素および／また
は水分除去カラムを含むライン）を設けても良
い。この場合、各処理ラインの前記カラムの前の
地点でパージラインを設け、交換カラム、および
パージラインを通つてガスが流れるように弁を設
けることもできる。
考案の効果
これまでカラム交換時浸入した酸素・水分は出
口から放出しなければいけなかつたが、本考案の
ようにパージ出口から放出することにより、出口
へ放出することがなくなる。またそれによつて連
続除去が可能になり生産ラインにも使用可能にな
つた。
口から放出しなければいけなかつたが、本考案の
ようにパージ出口から放出することにより、出口
へ放出することがなくなる。またそれによつて連
続除去が可能になり生産ラインにも使用可能にな
つた。
第１図は従来技術の装置のフローシートであ
る、そして第２〜４図は本考案装置のフローシー
トである。 １……ガス入口管、２，２′……ストツプ弁、
３，３′……酸素および／または水分除去カラム、
４，４′……三方弁、５……ガス出口管、６……
パージライン、７……ニードル弁、８……ストツ
プ弁、９……フイルター、１０，１０′……処理
ライン、１１……三方弁、１２，１２′……スト
ツプ弁、１３，１３′……ストツプ弁。
る、そして第２〜４図は本考案装置のフローシー
トである。 １……ガス入口管、２，２′……ストツプ弁、
３，３′……酸素および／または水分除去カラム、
４，４′……三方弁、５……ガス出口管、６……
パージライン、７……ニードル弁、８……ストツ
プ弁、９……フイルター、１０，１０′……処理
ライン、１１……三方弁、１２，１２′……スト
ツプ弁、１３，１３′……ストツプ弁。
Claims (1)
- 被処理ガス入口管とガス出口管との間に少なく
とも２つの処理ラインを設け、各ラインにガス入
口側からストツプ弁、消耗型酸素および／または
水分除去カラムおよびストツプ弁を設け、そのカ
ラムから出口管側の地点でこれらの処理ラインか
らパージラインを設け、そのパージラインにはパ
ージガス量調節用のニードル弁を設け、交換カラ
ムおよびそのパージラインを通つてガスが流れる
ように弁を設けてなる消耗型酸素および／または
水分除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11628685U JPH0225467Y2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11628685U JPH0225467Y2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224925U JPS6224925U (ja) | 1987-02-16 |
| JPH0225467Y2 true JPH0225467Y2 (ja) | 1990-07-12 |
Family
ID=31000731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11628685U Expired JPH0225467Y2 (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0225467Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007044667A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 排ガス処理装置及び方法 |
| JP5499149B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2014-05-21 | 大陽日酸株式会社 | 排ガス処理方法 |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP11628685U patent/JPH0225467Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6224925U (ja) | 1987-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES483739A1 (es) | Un procedimiento para reducir la concentracion de uno o mas primeros gases en una mezcla de los mismos con un segundo - gas, junto con un aparato correspondiente. | |
| GB1420159A (en) | Apparatus for separating solid particles from a gaseous medium | |
| JPH0225467Y2 (ja) | ||
| CN105642117A (zh) | 错流式液膜过滤技术及其过滤器操作方法 | |
| JPH0225466Y2 (ja) | ||
| US3568833A (en) | Ion exchange method and apparatus | |
| US3993562A (en) | Loop-style continuous ion exchange unit | |
| US5873388A (en) | System for stabilization of pressure perturbations from oxidation systems for treatment of process gases from semiconductor manufacturing operations | |
| CN205517276U (zh) | 一种错流式液体过滤器 | |
| JPS60500203A (ja) | 吸着床の締まりを防止する方法 | |
| JPS63252528A (ja) | 空気の浄化方法 | |
| JP2000035148A (ja) | 集積形流体制御装置 | |
| GB1492343A (en) | Device for separating cleaning agent from the exhaust air of dry cleaning machines | |
| JPS533964A (en) | Apparatus for gas treatment | |
| JPS5230783A (en) | Wet desulfurization process of exhaust gas | |
| JPS55165124A (en) | Adsorbing apparatus for corrosive gas | |
| GB1521297A (en) | Method and apparatus for continuously removing moisture from a fluid | |
| JPH062734Y2 (ja) | 除湿装置 | |
| JP2532429Y2 (ja) | 乾式脱硫装置 | |
| JPH0317935Y2 (ja) | ||
| SU1243683A1 (ru) | Устройство дл термообработки зеленого чайного листа | |
| JPH0224568B2 (ja) | ||
| JPS55147121A (en) | Water making equipment | |
| GB725446A (en) | Improvements in or relating to tower purifying plants | |
| JPH0490820A (ja) | 吸着装置及びその運転方法 |