JPH0225466Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0225466Y2 JPH0225466Y2 JP11214885U JP11214885U JPH0225466Y2 JP H0225466 Y2 JPH0225466 Y2 JP H0225466Y2 JP 11214885 U JP11214885 U JP 11214885U JP 11214885 U JP11214885 U JP 11214885U JP H0225466 Y2 JPH0225466 Y2 JP H0225466Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- column
- line
- gas
- purge
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 26
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 21
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 17
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 17
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
考案の目的
本考案は水分および／または酸素を含まないガ
スを必要とする生産ライン（例えば半導体工業生
産ライン）の前に取付ける消耗型酸素および／ま
たは水分除去装置に関する。詳しくは消耗型酸素
および／または水分除去カラムの能力が無くなつ
た時、カラム交換する場合浸入する、酸素、水分
等を出口ラインに放出しないようにし、連続使用
を可能にした消耗型酸素および／または水分除去
装置に関する。
スを必要とする生産ライン（例えば半導体工業生
産ライン）の前に取付ける消耗型酸素および／ま
たは水分除去装置に関する。詳しくは消耗型酸素
および／または水分除去カラムの能力が無くなつ
た時、カラム交換する場合浸入する、酸素、水分
等を出口ラインに放出しないようにし、連続使用
を可能にした消耗型酸素および／または水分除去
装置に関する。
従来技術における問題点
除去カラム１筒からなる水分、酸素除去カラム
にあつては交換時その生産ラインへのガスの供給
を止めてカラムの交換を行なつていた。これは生
産ラインを一時中断しなければならず、又運転再
開時交換雰囲気中の酸素、水分等が生産ラインに
浸入する恐れがあつた。
にあつては交換時その生産ラインへのガスの供給
を止めてカラムの交換を行なつていた。これは生
産ラインを一時中断しなければならず、又運転再
開時交換雰囲気中の酸素、水分等が生産ラインに
浸入する恐れがあつた。
第１図に示すような酸素、水分除去カラムを２
個使用する装置は、カラム交換時生産ラインの中
断を避けることができるけれども、交換雰囲気中
の酸素、水分等の生産ラインへの浸入は不可避で
あつた。そのためカラム交換後しばらくはその除
去装置から出た精製ガスは使用しにくいものであ
つた。
個使用する装置は、カラム交換時生産ラインの中
断を避けることができるけれども、交換雰囲気中
の酸素、水分等の生産ラインへの浸入は不可避で
あつた。そのためカラム交換後しばらくはその除
去装置から出た精製ガスは使用しにくいものであ
つた。
考案の構成、作用等
本考案は被処理ガス入口管とガス出口管との間
に少なくとも２つの処理ラインを設け、各ライン
にガス入口側から消耗型酸素および／または水分
除去カラムおよびストツプ弁を設け、そのカラム
から入口管側の地点でこれらの処理ライン間を結
んでパージラインを設け、そのパージラインには
パージガス量調節用のニードル弁を設け、非交換
カラム、交換カラムおよびパージラインを通つて
ガスが流れるように弁を設けてなる消耗型酸素お
よび／または水分除去装置に関する。
に少なくとも２つの処理ラインを設け、各ライン
にガス入口側から消耗型酸素および／または水分
除去カラムおよびストツプ弁を設け、そのカラム
から入口管側の地点でこれらの処理ライン間を結
んでパージラインを設け、そのパージラインには
パージガス量調節用のニードル弁を設け、非交換
カラム、交換カラムおよびパージラインを通つて
ガスが流れるように弁を設けてなる消耗型酸素お
よび／または水分除去装置に関する。
図面に従つて本考案を説明する。第２図におけ
る各部の説明は次のとおりである： １…ガス入口管 ２，２′…三方弁 ３…酸素および／または除去カラム ４，４′…スドツプ弁 ５…精製ガス出口管 ６…パージライン ７…ニードル弁 １０，１０′…処理ライン 被処理ガスがカラムを３を通る場合三方弁を処
理ライン１０の方にガスが通るように調整し、ス
トツプ弁４を開とする。ストツプ弁４′を閉とす
る。次にカラム３の能力が低下した時、ストツプ
弁４′を開にし、三方弁２′を処理ライン１０′に
ガスが通るように調整し、三方弁２およびストツ
プ弁４を閉とする。その間にカラム３を交換す
る。カラム３の交換が終ると、ストツプ弁４を開
とし、三方弁２をガスが処理ライン１０からパー
ジライン６にガスが通るように調整し、ニードル
弁７によりガス量を調整し、カラム３′から出た
精製ガスの一部を向流方向にカラム３を通し、パ
ージライン６を通つて、処理ライン１０およびカ
ラム３に残つているガスをパージする。パージが
完了する時はストツプ弁４、三方弁２、ニードル
弁７を閉とする。
る各部の説明は次のとおりである： １…ガス入口管 ２，２′…三方弁 ３…酸素および／または除去カラム ４，４′…スドツプ弁 ５…精製ガス出口管 ６…パージライン ７…ニードル弁 １０，１０′…処理ライン 被処理ガスがカラムを３を通る場合三方弁を処
理ライン１０の方にガスが通るように調整し、ス
トツプ弁４を開とする。ストツプ弁４′を閉とす
る。次にカラム３の能力が低下した時、ストツプ
弁４′を開にし、三方弁２′を処理ライン１０′に
ガスが通るように調整し、三方弁２およびストツ
プ弁４を閉とする。その間にカラム３を交換す
る。カラム３の交換が終ると、ストツプ弁４を開
とし、三方弁２をガスが処理ライン１０からパー
ジライン６にガスが通るように調整し、ニードル
弁７によりガス量を調整し、カラム３′から出た
精製ガスの一部を向流方向にカラム３を通し、パ
ージライン６を通つて、処理ライン１０およびカ
ラム３に残つているガスをパージする。パージが
完了する時はストツプ弁４、三方弁２、ニードル
弁７を閉とする。
第３図に示される装置では三方弁の代りにスト
ツプ弁１２，１３，１２′，１３′を設けた。最初
カラム３を使用してその処理では弁１３，４を開
とし、弁１３′，４′を閉とする。カラム３の交換
の場合、弁１３′，４′を開とし、バルブ１３，４
を閉とし、カラム３を交換する。パージ工程で
は、４，１２を開とし、ニードル弁７でガス量を
調整する。
ツプ弁１２，１３，１２′，１３′を設けた。最初
カラム３を使用してその処理では弁１３，４を開
とし、弁１３′，４′を閉とする。カラム３の交換
の場合、弁１３′，４′を開とし、バルブ１３，４
を閉とし、カラム３を交換する。パージ工程で
は、４，１２を開とし、ニードル弁７でガス量を
調整する。
第４図は出口管５にフイルター９を設けたもの
である。
である。
第５図はニードル弁を２つ設け、それぞれの処
理ラインからパージできるようにしたものであ
る。またパージ時間を短縮するためにはニードル
弁７の開度を大きくしてパージラインの流量を増
加させればよい。
理ラインからパージできるようにしたものであ
る。またパージ時間を短縮するためにはニードル
弁７の開度を大きくしてパージラインの流量を増
加させればよい。
本考案では処理ラインは必ずしも２つに限定さ
れず、３つ以上の処理ライン（酸素および／また
は水分除去カラムを含むライン）を設けても良
い。この場合各処理ラインの前記カラムの前の地
点でパージラインを設け、他のカラム、そのパー
ジラインの起点である処理、ライン上のカラム、
およびそのパージラインを通つてガスが流れるよ
うに弁を設ける。
れず、３つ以上の処理ライン（酸素および／また
は水分除去カラムを含むライン）を設けても良
い。この場合各処理ラインの前記カラムの前の地
点でパージラインを設け、他のカラム、そのパー
ジラインの起点である処理、ライン上のカラム、
およびそのパージラインを通つてガスが流れるよ
うに弁を設ける。
考案の効果
これまでカラム交換時浸入した酸素・水分は出
口から放出しなければいけなかつたが、本考案の
ようにパージ出口から放出することにより、出口
へ放出することがなくなる。またそれによつて連
続除去が可能になり生産ラインにも使用可能にな
つた。
口から放出しなければいけなかつたが、本考案の
ようにパージ出口から放出することにより、出口
へ放出することがなくなる。またそれによつて連
続除去が可能になり生産ラインにも使用可能にな
つた。
第１図は従来技術の装置のフローシートであ
る、そして第２〜５図は本考案装置のフローシー
トである。 １……ガス入口管、２，２′……三方弁、３，
３′……酸素および／または水分除去カラム、４，
４′……ストツプ弁、５……ガス出口弁、６……
パージライン、７，７′……ニードル弁、９……
フイルター、１０，１０′……処理ライン、１１
……三方弁、１２，１２′……ストツプ弁、１３，
１３′……ストツプ弁。
る、そして第２〜５図は本考案装置のフローシー
トである。 １……ガス入口管、２，２′……三方弁、３，
３′……酸素および／または水分除去カラム、４，
４′……ストツプ弁、５……ガス出口弁、６……
パージライン、７，７′……ニードル弁、９……
フイルター、１０，１０′……処理ライン、１１
……三方弁、１２，１２′……ストツプ弁、１３，
１３′……ストツプ弁。
Claims (1)
- 被処理ガス入口管とガス出口管との間に少なく
とも２つの処理ラインを設け、各ラインにガス入
口側から消耗型酸素および／または水分除去カラ
ムおよびストツプ弁を設け、そのカラムから入口
管側の地点でこれらの処理ラインからパージライ
ンを設け、そのパージラインにはパージガス量調
節用のニードル弁を設け、非交換カラム、交換カ
ラムおよびそのパージラインを通つてガスが流れ
るように弁を設けてなる消耗型酸素および／また
は水分除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11214885U JPH0225466Y2 (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11214885U JPH0225466Y2 (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6220625U JPS6220625U (ja) | 1987-02-07 |
| JPH0225466Y2 true JPH0225466Y2 (ja) | 1990-07-12 |
Family
ID=30992744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11214885U Expired JPH0225466Y2 (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0225466Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-07-22 JP JP11214885U patent/JPH0225466Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6220625U (ja) | 1987-02-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6022965B2 (ja) | 気体状混合物中の所定の気体比率の増大方法とその装置 | |
| JPS5973029A (ja) | 真空スイング吸着プロセスを制御する方法お | |
| JPH08224429A (ja) | 精製装置 | |
| EP0663229A4 (en) | METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING NITROGEN-rich GAS. | |
| GB1420159A (en) | Apparatus for separating solid particles from a gaseous medium | |
| JPH0225466Y2 (ja) | ||
| JPH0225467Y2 (ja) | ||
| JP4180374B2 (ja) | 吸着によってガスを処理する方法および対応する装置 | |
| JPS6022964B2 (ja) | ガス分離のための圧変動吸着法及びシステム | |
| JPS63252528A (ja) | 空気の浄化方法 | |
| JPH04371209A (ja) | 圧力差再生方式吸着塔の再生法 | |
| JPH0312315A (ja) | 不活性ガスの精製方法 | |
| JP2000035148A (ja) | 集積形流体制御装置 | |
| JPS5547203A (en) | Separating method for oxygen in air | |
| JPS5895181A (ja) | 空気分離装置の前処理方法 | |
| GB1492343A (en) | Device for separating cleaning agent from the exhaust air of dry cleaning machines | |
| JPH047154Y2 (ja) | ||
| CN209177993U (zh) | 氢气纯化装置 | |
| JPH0490820A (ja) | 吸着装置及びその運転方法 | |
| JPS63141621A (ja) | 圧力変動式吸着法 | |
| JPS59171731U (ja) | 乾式除湿装置 | |
| JP2532429Y2 (ja) | 乾式脱硫装置 | |
| JPS587329B2 (ja) | ガスコンゴウブツ ノ ブンベツソウチ | |
| JPS5827198Y2 (ja) | 配管内ガスパ−ジ装置 | |
| JPH04278175A (ja) | 空気分離装置前処理装置の制御方法 |