KR20040030063A - 일체형 블록, 화학약품 전달 시스템 및 초고순도화학약품의 전달 방법 - Google Patents

일체형 블록, 화학약품 전달 시스템 및 초고순도화학약품의 전달 방법 Download PDF

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KR20040030063A
KR20040030063A KR10-2004-7000690A KR20047000690A KR20040030063A KR 20040030063 A KR20040030063 A KR 20040030063A KR 20047000690 A KR20047000690 A KR 20047000690A KR 20040030063 A KR20040030063 A KR 20040030063A
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파가네시조지프이
주르식그레고리엠
혼다로린와이
나카모토나오유키
니시카와유키노부
뒬피에르브으
라모길롬므
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레르 리뀌드, 소시에떼 아노님 아 디렉또와르 에 꽁세예 드 쉬르베양스 뿌르 레뛰드 에 렉스쁠로아따시옹 데 프로세데 죠르쥬 끌로드
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Abstract

본 발명은 일체형 블록, 화학약품 전달 시스템 및 초고순도 화학약품을 사용 지점에 또는 또다른 일체형 블록에 전달하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 충전 컨테이너 블록, 가압 가스 블록, 정화 가스 블록, 폐기물 회수 블록, 진공 블록, 용제 공급 블록, 가스 제거 블록, 제어 블록, 및 여과 블록을 포함하는 일체형 블록에 관한 것이다. 각종의 일체형 블록은 화학약품 전달 시스템을 형성하기 위하여 선택될 수 있으며, 이는 소정의 적용예에 특히 적절하다. 화학약품 전달 시스템은 통상적으로 화학약품 컨테이너 블록, 화학약품 전달 블록, 및 화학약품 컨테이너 블록 및 화학약품 전달 블록과 직렬인 사용 지점 뿐 아니라, 1 이상의 일체형 블록을 포함한다. 또한, 본 발명은 초고순도 화학약품을 수용하는 화학약품 컨테이너 블록을 화학약품 전달 블록에 연결하고, 초고순도 화학약품을 사용 지점에 투입함으로써 초고순도 화학약품을 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점으로 전달하기 위한 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 1 이상의 일체형 블록의 사용에 관한 것이다. 본 발명의 화학약품 전달 시스템 및 방법은 각종의 적용예에 사용될 수 있다. 특히, 본 발명은 전자제품 제조, 광섬유 제조 또는 반도체 제조에 사용될 수 있다.

Description

일체형 블록, 화학약품 전달 시스템 및 초고순도 화학약품의 전달 방법{INTEGRAL BLOCKS, CHEMICAL DELIVERY SYSTEMS AND METHODS FOR DELIVERING AN ULTRAPURE CHEMICAL}
발명의 분야
본 발명은 일체형 블록, 화학약품 전달 시스템 및 초고순도 화학약품을 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점으로 전달하는 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 화학약품 전달 시스템 및 초고순도 화학약품을 제조 공정 도구, 예컨대 반도체 도구 및 광섬유 제조 공정 도구에 전달하기 위한 방법에 관한 것이다.
발명의 배경
화학약품 전구체는 집적 회로 및 광섬유 제품의 제조 공정에서 필름을 성장시키는데 사용된다. 이러한 화학약품 전구체는 통상적으로 초고순도 레벨을 가지며, 화학약품 컨테이너로부터 화학약품 전달 시스템을 갖는 사용 지점으로 공급된다. 화학약품은 전달 라인 및 이러한 연결 지점이 적절하게 정화 및 세정되지 않는 경우 쉽게 오염될 수 있다. 오염물로는 주위 대기, 입상 물질 및 수분 등이 있다. 또한, 오염물은 화학약품 전구체 및 주위 공기 또는 수분의 반응 산물을 포함할 수도 있다. 오염물은 라인이 적절히 보호되지 않는 경우 주위 대기로부터 전달 라인으로 확산될 수 있다. 임의의 오염물은 생산 수율을 심각하게 떨어뜨릴 수 있다.예를 들면, 입상 불순물은 증착 필름의 유전 성질을 변화시킬 수 있으며, 전도성 접속을 단락시킬 수도 있다.
대부분의 화학약품 전구체는 화학 증착전에 도구에 액상 상태로 전달된다. 특정의 화학약품은 실온에서는 그 자체가 액상이며, 예컨대 TEOS (테트라에틸오르토실리케이트) 또는 TiCl4등이 있다. 특정의 화학약품은 저온에서는 고상이고, 고온에서는 액상인 것이 있으며, 예컨대 PET (탄탈륨 펜타에톡시드) 및 TDMAT (테트라키스-디메틸아미노티탄) 등이 있다. 주로, 고상의 화학약품, 예컨대 BST (바륨/스트론튬/티타네이트)는 전달전에 적절한 용제에 용해시킨다. 안정하고 연속적인 화학약품의 전달을 위하여, 통상적으로 직렬 또는 병렬의 이중 컨테이너를 전달에 사용한다. 다른 컨테이너는 여전히 사용중이면서 비어 있는 컨테이너를 충전된 컨테이너로 교체할 수 있다. 비어 있는 컨테이너의 교체 작업시, 라인 및 조인트 내부에 잔존하는 화학약품은 시스템의 오염을 방지하고, 시스템으로 흘리는 것을 방지하기 위하여 반드시 세정되어야만 한다. 이러한 화학약품은 독성이 매우 크거나 또는 화재 또는 폭발의 위험성이 있기 때문에, 이러한 화학약품으로의 노출을 제한하여야만 한다. 잔류 화학약품을 세정하여야 하는 또다른 이유는 대부분의 전술한 전구체 화학약품이 공기 및 수분과 반응하기 때문이다. 반응 산물은 전달 시스템을 오염시키며, 추가로 전달하고자 하는 화학약품을 오염시키게 된다. 특정의 화학약품은 또한 공기 및 수분과 반응하여 제거가 곤란한 고형물을 산출할 수도 있다. 이러한 경우, 전달 라인을 폐색시켜 전달이 중단될 수 있다.
그러므로, 화학약품 컨테이너 및 전달 라인의 조인트가 단절될 경우, 라인을주위 오염물의 침입으로부터 보호하여야만 한다. 라인을 이러한 침입으로부터 보호하는 방법으로는 개구를 비우기 위하여 파손된 조인트로부터의 불활성 가스를 흘리는 것이 있다. 그러므로, 불활성 가스의 차단이 반드시 전달 시스템에 제공되어야만 한다. 화학약품 컨테이너를 교체한 후, 라인은 불활성 가스, 진공 및 특정의 경우 액체 용제를 사용하여 세정 및 정화시켜서 라인이 오염물 없는 화학약품 컨테이너를 갖는 조인트를 갖도록 하여야만 한다.
화학약품은 통상적으로 매니폴드를 통하여 불활성 가스를 사용하여 화학약품을 가압시켜 전달한다. 정화 가스 및 액체 용제가 시스템 정화에 필요한 경우, 각종 디자인의 매니폴드를 통상적으로 사용한다. 전달 시스템의 디자인 및 작동은 화학약품의 성질에 따라 달라진다. 작동자는 각종 디자인 및 작업 절차로 각종의 전달 시스템을 처리하여야만 한다. 그러므로, fab에 이러한 다중 화학약품 전구체를 위한 전달 시스템을 사용하는 것은 비용면에서 효과적이지가 않다. 또한, 특정의 필수 기능, 예컨대 전달 시스템 매니폴드로부터 화학약품 컨테이너를 단속시킨 후 개방 조인트를 비우기 위한 블리딩 가스는 적절히 배치되지 않을 수 있거나 또는 완전히 무시될 수 있다.
평행 배치에 이중 또는 다중 컨테이너를 사용하면 2 이상의 컨테이너의 사용이 사실상 공정 도구의 화학약품 수요를 충족시키게 된다. 전달 매니폴드 및 해당 제어는 단일의 교환 가능한 컨테이너 시스템보다 더 복잡한 것으로 알려져 있다. 또한, 정화 가스 및 액체 용제를 공급하기 위한 다중 배치가 필요하다. 그러므로, 더 많은 부품, 예컨대 밸브 및 접속 맞춤재가 이러한 전달 시스템에 필요하다. 또한, 비어 있는 컨테이너를 교체하는 동안 더 많은 조인트를 단속시켜야만 하기 때문에 전달 시스템의 오염 가능성이 증가하게 된다.
화학약품은 화학약품이 여과되지 않는 경우 다소 고농도의 입자를 포함할 수 있다. 이러한 입자는 화학약품 제조 공정, 화학약품 포장 및 수송으로부터 유래할 수 있다. 입자는 오염물이며, 화학약품 전달 시스템이 적절히 기능하도록 유지하고, 궁극적으로는 IP 및 광섬유 제조의 높은 생산 수율을 갖도록 화학약품으로부터 제거되어야만 한다. 입자를 화학약품으로부터 제거하여야만 하기는 하나, 이를 수행하기 위한 만족스러운 방법은 현재까지 존재하지 않으며, 이는 화학약품 전구체 전달 시스템에 통합시키는 적절한 디자인이 부족하기 때문이다.
대부분의 화학약품 전달 시스템에서, 비교적 고가의 불활성 가스, 예컨대 헬륨을 가압 가스로서 사용한다. 다수의 현존하는 화학약품 전달 시스템에서, 매니폴드 접속 내부의 잔류 화학약품은 가압 가스과 동일한 가스 공급원을 사용하여 정화시킨다. 가압 가스는 비싸기 때문에, 정화 목적으로 이러한 가스를 사용하는 것은 작업 단가를 상승시키게 된다. 또한, 헬륨 가스가 주위 대기로 누출되는 것은 기타의 작업 절차에 있어서 작동 문제를 야기할 수 있다. 예를 들면, 화학약품 전달 시스템 또는 기타의 유사한 물질 공급 시스템은 때때로 헬륨의 누출에 대한 체크를 요한다. 주위 화학약품 시스템 정화로부터의 예상밖의 고농도로 인하여 누출 체크 작업에 오류가 발생할 수 있다.
따라서, 당업계에서는 화학약품 전구체를 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점에 전달하기 위하여 디자인된 일체형 블록 및 화학약품 전달 시스템에 대한 수요가 존재하고 있다. 사용 지점은 화학약품 필름 증착에 대한 도구인 것이 바람직하다. 또한, 화학약품 전달 시스템은 기타의 기능 블록의 추가가 용이한 융통성을 갖는다. 그래서, 각종 화학약품 전달 수요에 대한 기본적인 전달 시스템에 일체형 블록을 추가하는 것이 요구되고 있다. 본 발명은 이러한 수요에 관한 것이다.
발명의 개요
본 발명은 화학약품 전달에 사용되는 일체형 블록, 화학약품 전달 방법, 또는 상이한 화학약품의 전달 및 시스템 세정 목적을 위한 각종의 일체형 블록을 갖는 범용 및 기본 화학약품 전달 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 화학약품 전구체를 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점에 전달하기 위한 화학약품 전달 시스템, 예컨대 기타의 기능 블록을 쉽게 첨가하기 위하여 융통성을 지니면서 필름 화학 증착을 위한 도구를 제공하는 것이 바람직하다.
특히, 본 발명은 정화용 용제를 공급하기 위한 용제 공급 블록; 정화용 가스를 공급하기 위한 정화 가스 블록; 화학약품 전달 시스템으로부터 화학약품 폐기물을 수용하기 위한 폐기물 회수 블록; 화학약품의 흐름 및 품질을 보장하기 위하여 화학약품 중의 용존 가스를 제거하기 위한 가스 제거 블록; 화학약품으로부터 입자를 제거하기 위한 여과 블록; 및 자동 제어를 위한 시그날을 수신 및 송신하기 위한 필수 컴퓨터 시스템 또는 PLC로 이루어진 제어 블록에 관한 것이다. 각각의 블록은 각종의 화학약품 전달 수요에 대한 기본적인 전달 시스템에 부가될 수 있다.
이러한 시스템을 사용하면, 예를 들면 높은 증기압 화학약품을 위한 화학약품 전달은 저렴한 비용으로 기본 시스템을 사용하여 수행할 수 있다. 용제 플러쉬세정과 같은 임의의 특수한 수요를 갖는 화학약품 전달은 용제 공급 블록을 부가함으로써 기본 전달 시스템을 사용하여 수행된다. 기본적 시스템에 대한 보충으로서 다수의 기타 일체형 블록을 예컨대 폐기 화학약품 회수, 화학약품 여과, 가스 제거 등의 기타의 목적에 부가할 수 있다. 각종 일체형 블록의 추가는 기본 시스템 및 기타의 기능의 블록의 전체 디자인을 변경할 필요는 없다. 개개의 블록은 화학약품 전달 요건에 대하여 독립적으로 기능할 수 있다.
한 구체예에서, 본 발명은 반도체 또는 광섬유 제조 공정에서 액체 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점으로 초고순도 화학약품을 전달하기 위한 화학약품 전달 시스템에 연결 가능한 일체형 블록으로서, 상기 일체형 블록은 초고순도 화학약품을 수용하기 위한 화학약품 컨테이너 블록, 컨테이너를 충전시키기 위한 충전 컨테이너 블록, 가압을 제공하기 위한 가압 가스 블록, 화학약품을 정화하기 위한 정화 가스 블록, 폐기물 회수를 위한 폐기물 회수 블록, 진공을 생성시키기 위한 진공 블록, 용제 공급을 위한 용제 공급 블록, 화학약품을 가스 제거시키기 위한 가스 제거 블록, 화학약품을 여과하기 위한 여과 블록 또는 이들의 조합이며, 여기서 일체형 블록은 조립식인 일체형 블록에 관한 것이다.
화학약품 컨테이너 블록은 (i) 가압 가스 공급원에 연결되도록 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트; (ii) 밀폐된 화학약품 컨테이너; (iii) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트; (iv) 가압 가스를 밀폐된 화학약품 컨테이너에 전달하기 위한, 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 유입 도관; (v) 초고순도 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기 위한, 밀폐된 화학약품 컨테이너 및 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 전달 도관; (vi) 화학약품 컨테이너 유입 도관 및 화학약품 컨테이너 전달 도관 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 바이패스 도관; (vii) 임의로, 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 배출 도관; 및 (viii) 밀폐된 화학약품 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 화학약품 컨테이너 레벨 표시기를 포함한다. 화학약품 컨테이너 유입 도관은 밀폐된 컨테이너의 제거를 위하여 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 조인트 및, 제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 화학약품 컨테이너 격리 밸브를 포함하며, 화학약품 컨테이너 전달 도관은 밀폐된 화학약품 컨테이너로 연장된 제1의 단부를 갖는 화학약품 컨테이너 딥튜브, 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 화학약품 컨테이너 격리 밸브, 밀폐된 화학약품 컨테이너를 제거하기 위하여 변형되고 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 화학약품 컨테이너 조인트를 포함한다. 화학약품 컨테이너 배출 도관은 제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및, 제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 제어 밸브를 포함한다.
충전 컨테이너 블록은 (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, (ii) 밀폐된 충전 컨테이너, (iii) 초고순도 화학약품을 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위한 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 충전 컨테이너 화학약품 유입 도관, (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, (v) 가압 가스를 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위한, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결한 가스 도관, (vi) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, (vii) 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기 위한, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결한 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관 및 (viii) 밀폐된 충전 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 충전 컨테이너 레벨 모니터를 포함한다. 충전 컨테이너 화학약품 유입 도관은 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 제어 밸브, 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 조인트, 및 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함한다. 가스 도관은 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하고, 일체형 블록에 연결시키고자 변형된 제4의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 니들 밸브, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 밸브, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 조인트 및, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함한다. 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관은 제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 제어 밸브, 제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하고, 밀폐된 컨테이너로부터의 제거를 위하여 변형된 제3의 충전 컨테이너 조인트, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 격리 밸브, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제4의 충전 컨테이너 격리 밸브, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 포트, 밀폐된 충전 컨테이너에 연장된 제1의 단부를 갖고, 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관과 직렬인 딥튜브를 포함한다.
가압 가스 블록은 (i) 불활성 가스를 수용하도록 변형된 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트; (ii) 1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관; (iii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 격리 밸브; (iv) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 조절기; (v) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 필터; (vi) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 제1의 가압 가스 블록 압력 센서 및 (vii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 체크 밸브를 포함한다. 1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관은 일체형 블록에 연결시키도록 변형된 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트, 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트와 체크 밸브 사이를 임의로 연결하는 가압 가스 블록 니들 밸브, 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 가압 가스 블록 제어 밸브, 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 제2의 가압 가스 블록 압력 센서를 포함한다.
정화 가스 블록은 (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 정화 가스 커넥션 조인트, (ii) 1 이상의 정화 가스 도관, (iii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 격리 밸브, (iv) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 압력 조절기, (v) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 필터, (vi) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 제어 밸브, (vii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 체크 밸브, (viii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 압력 센서 및 (ix) 정화 가스 제어 밸브 주위에 연결된 정화 가스 흐름 제한 오리피스를 포함한다. 정화 가스 도관은 제2의 정화 가스 일체형 블록에 연결되도록 변형된 1 이상의 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 및, 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 정화 가스 제어 밸브를 포함한다.
폐기물 회수 블록은 (i) 폐기물을 1 이상의 일체형 블록으로부터 수용하도록 변형된 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트, (ii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너,(iii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 회수 유입, (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트, (v) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 배기, (vi) 폐기물 유입 및 폐기물 배기 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 제어 밸브 및 (vii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 폐기물 회수 레벨 표시기를 포함한다. 폐기물 유입은 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 제어 밸브, 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 격리 밸브를 포함한다. 폐기물 배기는 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 격리 밸브, 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 폐기물 회수 제어 밸브를 포함한다.
진공 블록은 (i) 진공 발생기, (ii) 진공 발생기와 직렬인 제1의 진공 블록 제어 밸브, (iii) 진공 발생기와 직렬이고 진공을 제공하기 위한 1 이상의 진공 도관을 포함한다. 진공 도관은 1 이상의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 진공 블록 커넥션 조인트 및, 커넥션 조인트 및 진공 발생기 사이를 연결하는 제2의 진공 블록 제어 밸브를 포함한다.
용제 공급 블록은 (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 용제 공급 커넥션 조인트, (ii) 밀폐된 용제 공급 컨테이너, (iii) 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 가압 용제 공급 가스 유입, (iv) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 용제 공급 커넥션 조인트, (v) 제2의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 용제 공급 전달 출구, (vi) 용제 공급 가압 가스 유입 및 용제 공급 전달 출구 사이를 연결하는 용제 공급 제어 밸브, (vii) 밀폐된 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 용제 공급 레벨 표시기를 포함한다. 가압 가스 유입은 제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 컨테이너 조인트, 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 용제 밸브 및 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 격리 밸브를 포함한다. 용제 공급 전달 출구는 밀폐된 컨테이너로 연장된 1 개의 단부를 갖는 용제 공급 딥튜브, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 격리 밸브, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 컨테이너 조인트, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제3의 용제 공급 제어 밸브 및, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제4의 용제 공급 제어 밸브를 포함한다.
가스 제거 블록은 (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트; (ii) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트; (iii) 제1의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하고 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 화학약품 유입 도관, (iv) 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 막 카트리지, (v) 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하고 제2의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하는 가스 제거 블록 화학약품 출구 도관, 및 (vi) 막 카트리지 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 제어 밸브를 포함한다.
여과 블록은 (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 여과 블록 커넥션 조인트, (ii) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 및 (iii) 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 여과 도관을 포함한다. 여과 도관은 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제1의 여과 블록 격리 밸브, 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 필터 및, 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 여과 블록 격리 밸브를 포함한다.
본 발명의 바람직한 구체예에서, 사용 지점은 화학 증착을 위한 기화기 또는 도구이다.
바람직한 구체예에서, 일체형 블록은 초고순도 화학약품을 사용 지점 또는제2의 일체형 블록에 전달하기 위한 화학약품 컨테이너 블록, 화학약품을 화학약품 컨테이너 블록으로부터 수용하고 화학약품을 사용 지점 또는 제2의 일체형 블록으로 전달하기 위한 충전 컨테이너 블록, 가압 가스 블록, 정화 가스 블록, 폐기물 회수 블록, 진공을 1 이상의 일체형 블록에 제공하기 위한 진공 블록, 용제 공급 블록, 초고순도 화학약품중의 용존 가스를 제거하기 위한 가스 제거 블록 또는, 초고순도 화학약품으로부터 입자를 제거하기 위한 여과 블록을 포함한다.
본 발명의 또다른 바람직한 구체예에서, 일체형 블록은 가압 가스 블록이고, 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제3의 가압 가스 커넥션 조인트 및, 제2의 커넥션 조인트 및 체크 밸브 사이를 연결하는 제2의 가압 가스 제어 밸브를 포함하는 추가의 가스 도관을 더 포함한다.
본 발명의 또다른 바람직한 구체예에서, 일체형 블록은 진공 블록이고, 여기서 진공 발생기는 벤투리 또는 진공 펌프이다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 초고순도 화학약품을 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점으로 전달하기 위한 화학약품 전달 시스템에 관한 것으로, 이 시스템은 (i) 전술한 바와 같은 화학약품 컨테이너 블록; (ii) 화학약품 컨테이너 블록과 직렬인 화학약품 전달 블록, (iii) 화학약품 컨테이너 블록 및 화학약품 전달 블록과 직렬인 사용 지점을 포함한다. 화학약품 전달 블록은 화학약품 및/또는 용제를 전달하는 임의의 블록이 될 수 있다. 화학약품 전달 블록은 전술한 바와 같은 가압 가스 블록인 것이 바람직하다.
바람직한 구체예에서, 화학약품 전달 시스템은 1 이상의 일체형 블록을 더포함한다. 1 이상의 일체형 블록은 충전 컨테이너 블록, 가압 가스 블록, 정화 가스 블록, 폐기물 회수 블록, 진공 블록, 용제 공급 블록, 가스 제거 블록 또는 여과 블록으로부터 선택될 수 있다.
바람직한 구체예에서, 화학약품 전달 시스템에 대한 사용 지점은 기화기, 제조 공정 도구, 전자제품 제조 도구, 광섬유 제조 도구 또는 반도체 공정 도구이다.
바람직한 구체예에서, 본 발명은 반도체 또는 광섬유 제조 공정에서 초고순도 화학약품을 액체 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점으로 전달하기 위한 화학약품 전달 시스템에 관한 것으로, 이러한 시스템은 초고순도 화학약품을 수용하기 위한 조립식 화학약품 컨테이너 블록, 컨테이너 충전용 조립식 충전 컨테이너 블록, 가압을 제공하기 위한 조립식 가압 가스 블록, 화학약품의 정화를 위한 조립식 정화 가스 블록, 폐기물 회수를 위한 조립식 폐기물 회수 블록, 진공 생성을 위한 조립식 진공 블록, 용제 제공을 위한 조립식 용제 공급 블록, 화학약품의 가스 제거를 위한 조립식 가스 제거 블록 및 화학약품 여과를 위한 조립식 여과 블록을 포함한다.
조립식 화학약품 컨테이너 블록은 (i) 가압 가스 공급원에 연결되도록 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트, (ii) 밀폐된 화학약품 컨테이너, (iii) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트, (iv) 가압 가스를 밀폐된 화학약품 컨테이너에 전달하기 위한 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 유입 도관, (v) 초고순도 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기위한 밀폐된 화학약품 컨테이너 및 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 전달 도관, (vi) 화학약품 컨테이너 유입 도관 및 화학약품 컨테이너 전달 도관 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 바이패스 도관, (vii) 임의로, 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 배출 도관, (viii) 밀폐된 화학약품 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 화학약품 컨테이너 레벨 표시기를 포함한다. 화학약품 컨테이너 유입 도관은 밀폐된 컨테이너를 제거하기 위하여 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 조인트 및, 제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 화학약품 컨테이너 격리 밸브를 포함한다. 화학약품 컨테이너 전달 도관은 밀폐된 화학약품 컨테이너로 연장된 제1의 단부를 갖는 화학약품 컨테이너 딥튜브, 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 화학약품 컨테이너 격리 밸브 및, 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하고 밀폐된 화학약품 컨테이너의 제거를 위하여 변형된 제2의 화학약품 컨테이너 조인트를 포함한다. 화학약품 컨테이너 배출 도관은 제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및, 제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 제어 밸브를 포함한다.
조립식 충전 컨테이너 블록은 (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, (ii) 밀폐된 충전 컨테이너, (iii) 초고순도 화학약품을 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위하여 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 충전 컨테이너 화학약품 유입 도관, (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, (v) 가압 가스를 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위한, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 가스 도관, (vi) 일체형 블록에 연결시키도록 변형된 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, (vii) 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기 위한, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관, 및 (viii) 밀폐된 충전 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 충전 컨테이너 레벨 모니터를 포함한다. 조립식 충전 컨테이너 화학약품 유입 도관은 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 제어 밸브, 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 조인트, 및 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함한다. 조립식 가스 도관은 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하고 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제4의 충전 컨테이너 커넥션 조인트, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 니들 밸브, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 밸브, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 조인트, 및 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함한다. 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관은 제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 제어 밸브, 제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하고 밀폐된 컨테이너의 제거를 위하여 변형된 제3의 충전 컨테이너 조인트, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 격리 밸브, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제4의 충전 컨테이너 격리 밸브, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 포트 및, 밀폐된 충전 컨테이너로 연장된 제1의 단부를 갖고 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관과 직렬인 딥튜브를 포함한다.
조립식 가압 가스 블록은 (i) 불활성 가스를 수용하도록 변형된 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트; (ii) 1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관; (iii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 격리 밸브; (iv) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 조절기; (v) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 필터; (vi) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 제1의 가압 가스 블록 압력 센서 및 (vii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 체크 밸브를 포함한다. 1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관은 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트, 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트및 체크 밸브 사이를 임의로 연결하는 가압 가스 블록 니들 밸브, 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 가압 가스 블록 제어 밸브 및, 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 제2의 가압 가스 블록 압력 센서를 포함한다.
조립식 정화 가스 블록은 (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 정화 가스 커넥션 조인트, (ii) 1 이상의 정화 가스 도관, (iii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 격리 밸브, (iv) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 압력 조절기, (v) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 필터, (vi) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 제어 밸브, (vii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 체크 밸브, (viii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 압력 센서, 및 (ix) 정화 가스 제어 밸브 주위에서 연결된 정화 가스 흐름 제한 오리피스를 포함한다. 정화 가스 도관은 제2의 정화 가스 일체형 블록에 연결되도록 변형된 1 이상의 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 및, 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 정화 가스 제어 밸브를 포함한다.
조립식 폐기물 회수 블록은 (i) 폐기물을 1 이상의 일체형 블록으로부터 수용하도록 변형된 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트, (ii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너, (iii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 회수 유입, (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트, (v) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 배기, (vi) 폐기물 유입 및 폐기물 배기 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 제어 밸브 및 (vii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 폐기물 회수 레벨 표시기를 포함한다. 폐기물 유입은 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 제어 밸브, 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및, 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 격리 밸브를 포함한다. 폐기물 배기는 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 격리 밸브, 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및, 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 폐기물 회수 제어 밸브를 포함한다.
조립식 진공 블록은 (i) 진공 발생기, (ii) 진공 발생기와 직렬인 제1의 진공 블록 제어 밸브, 및 (iii) 진공을 제공하도록 변형되고 진공 발생기와 직렬인 1 이상의 진공 도관을 포함한다. 진공 도관은 1 이상의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 진공 블록 커넥션 조인트 및, 커넥션 조인트 및 진공 발생기 사이를 연결하는 제2의 진공 블록 제어 밸브를 포함한다.
조립식 용제 공급 블록은 (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 용제 공급 커넥션 조인트, (ii) 밀폐된 용제 공급 컨테이너, (iii) 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 가압 용제 공급 가스 유입, (iv) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 용제 공급 커넥션 조인트, (v) 제2의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 용제 공급 전달 출구, (vi) 용제 공급 가압 가스 유입 및 용제 공급 전달 출구 사이를 연결하는 용제 공급 제어 밸브, (vii) 밀폐된 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 용제 공급 레벨 표시기를 포함한다. 가압 가스 유입은 제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 컨테이너 조인트, 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 용제 공급 밸브 및, 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 격리 밸브를 포함한다. 용제 공급 전달 출구는 밀폐된 컨테이너로 연장되는 1 개의 단부를 갖는 용제 공급 딥튜브, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 격리 밸브, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 컨테이너 조인트, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제3의 용제 공급 제어 밸브 및, 밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제4의 용제 공급 제어 밸브를 포함한다.
조립식 가스 제거 블록은 (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 가스제거 블록 커넥션 조인트; (ii) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트; (iii) 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하고 제1의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하는 가스 제거 블록 화학약품 유입 도관, (iv) 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 막 카트리지, (v) 제2의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하며 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 화학약품 출구 도관, 및 (vi) 막 카트리지 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 제어 밸브를 포함한다.
조립식 여과 블록은 (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 여과 블록 커넥션 조인트, (ii) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 및 (iii) 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 여과 도관을 포함한다. 여과 도관은 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제1의 여과 블록 격리 밸브, 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 필터 및, 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 여과 블록 격리 밸브를 포함한다.
바람직한 구체예에서, 화학약품 전달 시스템을 위한 사용 지점은 기화기, 제조 공정 도구, 전자제품 제조 도구, 광섬유 제조 도구 또는 반도체 공정 도구이다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 (i) 초고순도 화학약품을 수용하는 화학약품컨테이너 블록을 화학약품 전달 블록에 연결하고; (ii) 초고순도 화학약품을 사용 지점에 투입하는 것을 포함하는 초고순도 화학약품을 사용 지점에 전달하는 방법에 관한 것이다. 이러한 방법은 1 이상의 일체형 블록을 화학약품 전달 시스템에 연결하는 것을 더 포함할 수 있다. 일체형 블록은 충전 컨테이너 블록, 가압 가스 블록, 정화 가스 블록, 폐기물 회수 블록, 진공 블록, 용제 공급 블록, 가스 제거 블록, 제어 블록 또는 여과 블록으로부터 선택될 수 있다. 일체형 블록은 용제 공급 블록 또는 충전 컨테이너 블록이고, 초고순도 화학약품을 사용 지점에 투입하기 이전에 일체형 블록에 용제를 전달하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다. 용제는 이소프로판올, 테트라히드로푸란, 이소프로판올/테트라히드로푸란 혼합물, 테트라글림, 크실렌, 톨루엔, 부틸 아세테이트, 벤조니트릴, 에탄올, 헥산, 옥탄 또는 이의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것이 바람직할 수 있다.
바람직한 구체예에서, 이러한 방법을 위한 사용 지점은 기화기, 제조 공정 도구, 전자제품 제조 도구, 광섬유 제조 도구 또는 반도체 공정 도구이다.
본 발명의 일체형 블록, 시스템 및 방법을 사용하기에 바람직한 초고순도 화학약품의 예로는 테트라메틸실란, 디메틸-디메톡시-실란, 구리(II)비스(헥사플루오로아세틸아세토네이트), 구리(II) 헥사플루오로아세틸아세토네이트 테트라메틸비닐실란, 트리이소부틸알루미늄, 트리메틸아미날란, 트리에틸아미날란, 디메틸에틸아미날란, 비스(트리메틸아민)알란, 디메틸알루미늄하이드리드, 티탄 테트라클로라이드, 테트라키스디메틸아미노티탄 (TDMAT), 테트라키스디에틸아미노 탄탈륨 (Ta(Net)4), 펜타-키스디에틸아미노 탄탈륨 (Ta(Net)5), 탄탈륨 펜타클로라이드(TaCl5), 텅스텐헥소카르보닐 (W(CO)6), 비스디피발로일메타나토 바륨 (Ba(DPM)2) 비스디피발로일메타나토 스트론튬 (Sr(DPM)2), 비스-이소프로폭시비스디피발로일메타나토티탄 Ti(I-OC3H7)2DPM2, 트리메틸알루미늄 (TMA), 테트라키스디메틸아미노 지르코늄 (Zr(NME)4), 테트라키스디에틸아미노 지르코늄 (Zr(Net)4), 지르코늄 t-부톡시드 (Zr(t-OBu)4, 테트라키스디에틸아미노 하프늄 (Hf(Net)4), 테트라키스디메틸아미노 하프늄 (Hf(NME)4), 하프늄 t-부톡시드 (Hf(t-Obu)4), 트리헥사플루오로아세틸아세테이트 백금 (Pt(Hfa)3), 비스(에틸시클로펜타디에닐) 루테늄 (EtCp2Ru), 아세틸아세테이트 이리듐 (Ir(Acac)), 디피발로일메탄 화합물, 알콕시드 화합물, 비스디피발로일메타나토 납 (Pb(DPM)2), 비스디피발로일메타나토 지르코늄 (Zr(DPM)4), 트리메틸 비스무트 (BiMe3), 테트라에틸오르토실리케이트 (TEOS), 탄탈륨 펜타에톡시드 (Ta(OEt)5), 테트라메틸시클로테트라실록산 (TMCTS), 비스(t-부틸아미노)실란 (BTBAS), 트리메틸포스페이트 (TMPO), 트리메틸보레이트 (TMB) 또는 트리메틸포스파이트 (TMPI) 등이 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 기타의 목적 및 구체예는 당업자가 명세서, 도면 및 청구의 범위를 검토하면 명백할 것이다.
도면의 간단한 설명
본 발명의 목적 및 잇점은 첨부한 도면을 참조화여 바람직한 구체예에 대한하기의 설명에 의하면 명백할 것이다.
도 1은 기본 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 개략도를 도시한다.
도 2는 정화 가스 블록을 갖는 기본 화학약품 전달 시스템의 개략도를 도시한다.
도 3은 정화 가스 및 폐기물 회수 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 개략도를 도시한다.
도 4는 정화 가스, 폐기물 회수 및 진공 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 개락도를 도시한다.
도 5는 정화 가스, 폐기물 회수, 진공, 및 용제 공급 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 개략도를 도시한다.
도 6은 정화 가스, 폐기물 회수, 진공, 용제 공급 및 가스 제거 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 개략도를 도시한다.
도 7은 정화 가스, 폐기물 회수, 진공, 용제 공급, 가스 제거 및 여과 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 개략도를 도시한다.
도 8은 화학약품 컨테이너 블록의 개략도를 도시한다.
도 9는 화학약품 충전 컨테이너 블록의 개략도를 도시한다.
도 10은 가압 가스 공급 블록의 개략도를 도시한다.
도 11은 정화 가스 공급 블록의 개략도를 도시한다.
도 12는 폐기물 회수 컨테이너 블록의 개략도를 도시한다.
도 13은 진공 블록의 개략도를 도시한다.
도 14는 용제 공급 블록의 개략도를 도시한다.
도 15는 가스 제거 블록의 개략도를 도시한다.
도 16은 여과 블록의 개략도를 도시한다.
도 17은 기본 화학약품 전달 시스템에서의 각종 블록의 상호연결의 개략도를 도시한다.
도 18은 정화 가스를 갖는 전달 시스템에서의 각종 블록의 상호연결의 개략도를 도시한다.
도 19는 정화 가스 및 폐기물 회수 블록을 갖는 전달 시스템에서의 각종 블록의 상호연결의 개략도를 도시한다.
도 20은 정화 가스, 폐기물 회수 및 진공 블록을 갖는 전달 시스템에서의 각종 블록의 상호연결의 개략도를 도시한다.
도 21은 정화 가스, 폐기물 회수, 진공 및 용제 공급 블록을 갖는 전달 시스템에서의 각종 블록의 상호연결의 개략도를 도시한다.
도 22는 정화 가스, 폐기물 회수, 진공, 용제 공급 및 가스 제거 블록을 갖는 전달 시스템에서의 각종 블록의 상호연결의 개략도를 도시한다.
도 23은 정화 가스, 폐기물 회수, 진공, 용제 공급, 가스 제거 및 여과 블록을 갖는 전달 시스템에서의 각종 블록의 상호연결의 개략도를 도시한다.
상세한 설명
본 발명은 화학약품 전달 시스템 및 초고순도 화학약품을 전달하기 위한 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 화학약품 전달 시스템 및 초고순도 화학약품을1 이상의 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점, 예컨대 반도체 및 광섬유 제조 공정 도구로 전달하는 방법에 관한 것이다.
"초고순도 화학약품" 또는 "화학약품 전구체"를 각종의 적용예, 예컨대 화학 증착에 사용하였다. 각종의 화학약품 전구체는 집적 회로 및 기타의 제조 공정, 예컨대 광섬유 제조에서 화학 증착에 사용하였다. 화학약품 전구체의 예로는 금속 상호연결, 방지 금속막, 게이트 필름, 산화막 및 층간 유전막, 예컨대 트리메틸실란, 테트라메틸실란 또는 디메틸-디메톡시-실란, 구리(II)비스(헥사플루오로아세틸아세토네이트), 구리(II)헥사플루오로아세틸아세토네이트 테트라메틸비닐실란, 트리이소부틸알루미늄, 트리메틸아미날란, 트리에틸아미날란, 디메틸에틸아미날란, 비스(트리메틸아민)알란, 또는 디메틸알루미늄하이드리드, 티탄 테트라클로라이드, 테트라키스디메틸아미노티탄 (TDMAT), 테트라- 또는 펜타-키스디에틸아미노 탄탈륨 (Ta(Net)4/Ta(Net)5), 탄탈륨 펜타클로라이드 (TaCl5) 또는 텅스텐헥소카르보닐 (W(CO)6), 비스디피발로일메타나토 바륨 (Ba(DPM)2), 비스디피발로일메타나토 스트론튬 (Sr(DPM)2), 비스-이소프로폭시비스디피발로일메타나토 티탄 Ti(I-OC3H7)2DPM2, 트리메틸알루미늄 (TMA), 테트라키스디메틸아미노 지르코늄 (Zr(NME)4), 테트라키스디에틸아미노 지르코늄(Zr(Net)4), 지르코늄 t-부톡시드 (Zr(t-OBu)4, 테트라키스디에틸아미노 하프늄(Hf(Net)4), 테트라키스디메틸아미노 하프늄 (Hf(NME)4), 하프늄 t-부톡시드(Hf(t-Obu)4), 트리헥사플루오로아세틸아세테이트 백금 (Pt(Hfa)3),비스(에틸시클로펜타디에닐) 루테늄 (EtCp2Ru), 아세틸아세테이트 이리듐 (Ir(Acac)), 기타의 디피발로일메탄 및 알콕시드 화합물, 비스디피발로일메타나토 납 (Pb(DPM)2), 비스디피발로일메타나토 지르코늄 (Zr(DPM)4), 트리메틸 비스무트 (BiMe3) 또는 테트라에틸오르토실리케이트 (TEOS), 탄탈륨 펜타에톡시드 (Ta(OEt)5), 테트라메틸시클로테트라실록산 (TMCTS), 비스(t-부틸아미노)실란 (BTBAS), 트리메틸포스페이트 (TMPO), 트리메틸보레이트 (TMB) 또는 트리메틸포스파이트 (TMPI) 등이 있다.
기판상의 박막을 성장시키는데 사용되는 화학약품 전구체는 통상적으로 실내 온도 및 압력에서 액상 또는 고상이며, 몇몇은 실내 조건에서는 기상이지만, 고압 또는 저온에서는 액상으로 변한다.
통상적으로 액상의 화학약품 전구체는 CVD 증착을 위한 화학약품 증기를 생성하는데 직접 사용된다. 고상 전구체는 일반적으로 용제에 용해되어 우선은 액체를 형성하며, 그후 화학약품 증기를 생성하는데 사용된다. 이러한 액체 용액을 생성하는데 사용되는 용제의 예로는 이소프로판올, 테트라히드로푸란, 이소프로판올/테트라히드로푸란 혼합물, 테트라글림, 크실렌, 톨루엔, 부틸 아세테이트, 벤조니트릴 등이 있다. 특정의 전구체용 용제는 당업자에 의하여 전구체의 물리적 및 화학적 성질을 토대로 하여 선택될 수 있다. 또한, 특정의 경우, 통상적으로 액상인 전구체는 용제와 혼합하여 용액을 형성한 후, 필름 증착에 사용된다. 화학약품 전구체의 액체 용액은 공급원 컨테이너 블록으로부터 직접 또는 일련의 화학약품 전달 블록을 통하여 사용자 도구에 공급하게 된다.
각각의 일체형 블록은 단독으로 설치되며, 각종의 블록 조합의 전달 시스템에서 독립적으로 기능하게 된다. 본 발명의 한 구체예는 화학물질 전달 시스템 및, 화학물질 전달의 각종 수요를 위한 각종의 일체형 블록을 사용하는 방법에 관한 것이다. 화학물질 전달 시스템은 도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같은 각종 전달 요건을 토대로 하여 각종의 화학물질 전달을 사용하여 용이하게 구조할 수 있다.
예를 들면, 기본 전달 시스템은 가압 가스 블록 및 화학약품 컨테이너 블록의 조합이 될 수 있다. 가압 가스 블록, 화학약품 컨테이너 블록 및 용제 공급 블록의 조합은 용제 세정 및 정화를 요하는 화학약품에 바람직한 전달 시스템이 될 수 있다. 여과 블록 및 가스 제거 블록은 전달 시스템을 위한 가압 블록 및 화학약품 컨테이너 블록과 조합될 수 있다.
한 구체예에서, 본 발명은 초고순도 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기 위한 화학약품 컨테이너 블록에 관한 것이다. 화학약품 컨테이너 블록의 바람직한 구체예는 도 8에 도시되어 있다. 컨테이너 (75)는 상단부 및 하단부 모두가 폐쇄된 원통형 형상인 것이 바람직하다. 밸브 (79)를 갖는 가스 유입 도관 (77), 튜브 (81) 및 커넥션 조인트 (83)는 가압 가스를 컨테이너 (75)에 투입하기 위한 컨테이너에 연결되어 있다. 밸브 (79)는 예를 들면 미국 일리노이주 시카고에 소재하는 스웨겔럭의 포트와 같은 하나의 제어용 포트를 포함하는 3-포트 밸브인 것이 바람직하다. 제어용 포트는 컨테이너로의 유입 및 컨테이너로부터의 배출을 제어하기 위하여 컨테이너쪽에 배치되는 것이 바람직하다. 화학약품 출구 도관(93)은 컨테이너 (75)에 부착되어 있으며, 이의 하부 부근에서 아래쪽으로 컨테이너 내부로 연장되어 있다. 이러한 도관 (93)은 기타의 화학약품 전달 블록과 연결하기 위한 커넥션 조인트 (87), 밸브 (91), 튜브 (89)를 포함한다. 밸브 (91)는 3-포트 밸브 (79)와 동일하거나, 또는 쌍방향 제어를 갖는 정규 3방향 밸브가 될 수 있다. 제어 밸브 (97)를 갖는 바이패스 도관 (85)은 밸브 (79)의 한 포트와 밸브 (91)의 한 포트를 연결하여 가스 유입 도관 (77) 및 화학약품 출구 도관 (93)을 연결한다. 3방향 밸브가 밸브 (91)에 사용되는 경우, 하나의 제어 방향은 컨테이너에 침지되는 튜브의 일부분과 연결되도록 컨테이너측에 위치하여야만 하고, 그리고 또다른 제어 방향은 바이패스 도관 (85)과 연결되도록 하는 바이패스 도관에 위치하여야만 한다. 이러한 경우, 제어 밸브 (97)는 3방향 밸브 (91)의 제어 방향에 의하여 교체된다. 커넥션 조인트 (83 및 87)는 수 또는 암 VCR 기구가 될 수 있거나, 또는 다른 블록에 용접하기 위한 튜브 단부가 될 수 있다. 제어 밸브 (107) 및 커넥션 조인트 (109)를 갖는 배출 도관 (105)은 컨테이너 (75)의 압력을 해제하고 시스템 정화 및 세정으로부터의 화학약품 폐기물을 방출하기 위한 3-포트 밸브 (79)의 다른 포트에 연결된 튜브의 일부에 연결된다. 도관 (105)은 동일한 기능에 대하여 튜브 (89)로 화학약품 출구 도관 (93)에 연결될 수 있다. 레벨 모니터 (95)를 사용하여 컨테이너 중의 화학약품 레벨을 모니터한다. 레벨 모니터는 컨테이너 (75)의 하부에 통상적으로 착탈식 부착되어 있는 추 저울이 될 수 있다. 기타 유형의 레벨 센서, 예컨대 초음파 레벨 센서 및 광학 레벨 센서를 사용할 수도 있다. 사용한 광학 레벨 센서의 경우, 센서는 투명창을 갖는 컨테이너쪽에 장착되어야만한다. 컨테이너 (75)는 용량이 1 ℓ 내지 200 ℓ이상이 될 수 있으며, 취급하고자 하는 화학약품과 상용성을 갖는 소재, 예컨대 스테인레스 스틸, TEFLON, 폴리에틸렌, 유리 및 석영으로 만들어져야 한다. 필요할 경우, 컨테이너는 조인트 (99 및 101)에서 매니폴드의 다른쪽 부분으로부터 단속될 수 있다. 컨테이너 옆의 튜브를 갖는 밸브 (79, 91, 및 97)는 항상 컨테이너에 부착되어 있어야만 한다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 화학약품을 화학약품 컨테이너 블록으로부터 수용하고 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록으로 전달하기 위한 충전 컨테이너 블록에 관한 것이다. 컨테이너 블록의 충전을 이용하여 초고순도 화학약품을 연속적으로 전달할 수 있다. 도 9는 충전 컨테이너 블록 (111)의 바람직한 구체예이다. 원통형 컨테이너 (113)는 화학약품 컨테이너 블록 (1)으로부터 화학약품을 수용하고 화학약품을 사용자 도구로 전달하기 위하여 양단부가 밀폐되어 있다. 격리 밸브 (117), 조인트 (119), 튜브 (121), 제어 밸브 (123) 및 커넥션 조인트 (125)를 갖는 화학약품 유입 도관 (115)은 컨테이너 (113)에 화학약품 컨테이너 블록 (1)으로부터 화학약품을 재충전시키기 위하여 컨테이너 (113)에 연결되어 있다. 격리 밸브 (153)를 갖는 가스 도관 (155), 조인트 (151), 튜브 (129) 및 커넥션 조인트 (127)는 가압 가스용 컨테이너에 연결된다. 제어 밸브 (131)를 갖는 도관 (137), 니들 밸브 (133) 및 커넥션 조인트 (135)는 가압 가스를 컨테이너 (113)로부터 배기시키기 위하여 튜브 (129)에 연결된다. 니들 밸브 (133)는 배기 흐름을 조절하는데 사용한다. 커넥션 조인트 (135)는 배기 라인 또는 기타의 화학약품 전달 블록 장치에 연결될 수 있다. 컨테이너 기부 부근으로 연장된 컨테이너 (113)에서의 딥튜브를 갖는 도관 (157)은 화학약품 배출을 위한 컨테이너에 연결되어 있다. 격리 밸브 (149)는 격리를 위하여 도관 (157)내에 장착되며, 제어 밸브 (161)는 화학약품 흐름을 제어하기 위하여 장착된다. 임의로, 격리 밸브 (143) 및 캡이 씌워진 샘플링 포트를 갖는 소도관 (145)은 튜브 (163)에서 도관 (157)에 연결된다. 필요할 경우, 격리 밸브 (143)는 포트 (141)로부터 샘플을 취하도록 작동될 수 있다. 컨테이너 (113)에 연결된 레벨 모니터 (159)가 있다. 이러한 레벨 모니터는 도 8의 모니터 (95)와 동일할 수 있다. 컨테이너는 필요할 경우 조인트 (119, 151 및 147)에서 단속되어 제거될 수 있다. 그러나, 정상의 작동에서 이의 매니폴드를 갖는 충전 컨테이너 (113)는 복구 작업이 필요치 않은 경우 화학약품 전달 시스템에 고정된다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 가압 가스를 1 이상의 일체형 블록에 제공하는데 사용되는 가압 가스 블록에 관한 것이다. 도 10은 가압 가스 블록 (165)의 바람직한 구체예이다. 가압 가스는 10 psi∼150 psi의 압력, 통상적으로는 약 100 psi의 압력의 불활성 가스가 될 수 있다. 불활성 가스의 예로는 헬륨, 질소 및 아르곤 등이 있다. 대부분의 경우, 헬륨을 사용하는데, 이는 광범위한 화학약품중에 불용성이고, CVD 증착 공정에 대한 오염물이 아니기 때문이다. 불활성 가스 공급원은 부피가 큰 가정용 가스 공급 시스템 또는 특정 목적의 가스 캐비넷이 될 수 있다. 가스 도관 (191)은 커넥션 조인트 (193)를 갖는 가스 공급원에 연결된다. 이러한 커넥션 조인트는 정규의 VCR 기구 등등이거나, 또는 가스 공급 라인상에서 용접된 튜브 개방 단부가 될 수 있다. 도관내의 격리 밸브 (189)를 사용하여 도관을 가스 공급 공급원으로부터 분리한다. 조절기 (187)를 사용하여 불활성 가스의 압력을 바람직한 압력으로 조절한다. 불활성 가스중의 입자를 제거하기 위한 도관에는 필터 (185)가 바람직하다. 필터는 공극 크기가 0.05 ㎛인 유형의 금속 및 막이 될 수 있으며, 바람직하게는 공극 크기가 0.1 ㎛인 소결된 스테인레스 스틸 금속 필터가 될 수 있다. 압력 센서 (183)는 조절기 이후의 불활성 가스 압력을 모니터한다. 압력 센서는 미국 매사츄세츠주 베드포드에 소재하는 밀리포어 코포레이션의 IPS 시리즈 압력 스위치 또는, SPT 또는 HPT 시리즈 압력 변환기가 될 수 있다. 체크 밸브 (179)를 사용하여 가스 라인으로 임의의 유체가 역류하는 것을 방지한다. 압력 완화 밸브 (197)는 도관이 과압 상태가 되는 것을 방지하기 위하여 도관 (191)에 연결한다. 압력 조절기 실패 또는 조절기가 필요치보다 더 높은 압력 설정치로 조절 오류가 발생하는 경우, 압력 완화 밸브 (197)가 자동으로 개방되어 고압을 해제하게 된다. 압력 완화 밸브 (197)는 한 단부에서 캡 (199)을 갖는 격리 밸브, 예컨대 3-포트 수동 밸브로 교체될 수 있다. 이러한 배치는 필요할 경우 고압 헬륨 가스에 작업자가 접근하게 하는 편의성을 제공하게 된다. 고압 불활성 가스가 화학약품 컨테이너 블록으로 유동되도록 하기 위한 튜브 (175), 제어 밸브 (173), 압력 변환기 (171) 및 커넥션 조인트 (167)를 갖는 1 이상의 도관 (177)이 있다. 도관 (177)과 동일한 부품을 갖는 쇄선으로 표시한 인클로져에서와 같은 더 많은 도관 (201 및 203)은 도관 (177)과 평행하게 되어 고압 불활성 가스를 도 9의 충전 컨테이너 블록 (111)에 그리고 도 14의 용제 공급 블록 (339)에 공급할 수 있다. 제어 밸브 (209)를 갖는 또다른 도관 (125)은 도관 (177)과 평행하게 도관 (191)에 연결될 수 있다. 이러한 도관 (125)으로부터의 고압 불활성 가스는 정화를 위하여 도 8의 화학약품 출구 라인 (89)에 직접 투입할 수 있다. 니들 밸브 (205, 207 및 213)는 도관 (201, 203 및 125) 각각에 사용된다. 니들 밸브 (205, 207 및 213)는 각각의 블록 사용을 위한 불활성 가스 압력을 조절하는데 사용된다. 커넥션 조인트 (167, 221, 215 및 211)는 기타의 조인트와 용접하고자 하는 튜브 단부 개구 및 VCR 기구와 같은 기구가 될 수 있다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 가스를 정화 화학약품 라인에 공급하고 주위 오염으로부터 임의의 라인 개구를 비우기 위한 화학약품 전달 시스템에 사용될 수 있는 정화 가스 블록에 관한 것이다. 정화 가스 블록 (223)의 바람직한 구체예는 도 11에 도시되어 있다. 정화 가스 공급원은 가압 가스에 대한 불활성 가스와 동일할 수 있다. 더욱 바람직한 정화 가스는 저렴한 불활성 가스, 예컨대 질소가 있다. 도관 (237)은 커넥션 조인트 (225), 격리 밸브 (227), 튜브 (229), 압력 조절기 (231), 필터 (233), 압력 센서 (235), 제어 밸브 (239) 및 체크 밸브 (243)를 포함한다. 압력 완화 밸브 (257)는 도관 내부의 고압을 완화시키기 위하여 튜브 (255)와 함께 도관 (237)에 연결되어 있다. 도 10의 압력 완화 밸브 (197)로서, 압력 완화 밸브 (257)는 격리 밸브, 예컨대 3-포트 수동 밸브로 교체될 수 있으며, 한 단부에는 캡 (261)이 있다. 물론, 밸브 (257)를 갖는 전체 도관 (255)은 임의의 기타 위치에 고압 불활성 정화 가스를 유동시키고자 하는 것이 아니라면 생략할 수도 있다. 밸브 (239)에 평행한 도관 (237)에 연결된 흐름 제한 오리피스 (265)를 갖는 소분기부 (263)는 폐쇄된 제어 밸브 (239)의 위치에서 조차 정화 가스 흐름의 낮은흐름이 통과하도록 한다. 이러한 낮은 흐름은 다른 화학약품 전달 블록중의 임의의 개구로부터의 불활성 가스가 주위 공기 침입으로부터 개구를 비우게 한다. 오리피스 (265)를 갖는 소분기부 라인 (263) 및 제어 밸브 (239)는 APTech (미국 캘리포니아주 나파 소재)에서 제조하는 것과 같은 누출 밸브로 대체될 수도 있다. 누출 밸브는 밸브 (239) 및 오리피스 (265)의 조합으로서 정확하게 기능한다. 커넥션 조인트 (275) 및 제어 밸브 (247)를 갖는 1 이상의 도관 (245)은 정화 가스를 화학약품 컨테이너 블록 (1)에 투입하기 위한 도관 (237)에 연결된다. 또다른 도관 (267)은 정화 가스를 용제 공급 블록에 유동시키기 위하여 도관 (245)과 함께 연결된다. 분기부 도관 (249)은, 화학약품 컨테이너 (75)를 단속시키면서, 도 8에서와 같이 개방된 조인트 (99)를 통하여 정화 가스를 유동시키기 위하여 도관 (245)에 연결시킬 수 있다.
한 구체예에서, 본 발명은 전달 시스템의 정화 및 세정 공정으로부터의 화학약품 폐기물을 회수하기 위한 폐기물 회수 블록에 관한 것이다. 폐기물 회수 블록 (277)의 바람직한 구체예가 도 12에 도시되어 있다. 폐기물 회수 블록은 시스템 세정 및 정화 공정으로부터의 화학약품 및 용제 폐기물을 회수하기 위하여 사용한다. 화학약품 (예컨대 스테인레스 스틸, TEFLON, 폴리에틸렌)과 상용성을 갖는 소재를 갖는 컨테이너 (293)는 기타의 화학약품 전달 블록, 예컨대 화학약품 컨테이너 블록 및 화학약품 충전 블록으로부터 화학약품 폐기물을 수용한다. 폐기물 유입 도관 (291)은 정화 및 세정이 수행되는 블록 내에서 라인 [예컨대 도 8의 커넥션 조인트 (109)]에 연결된다. 화학약품 폐기물은 튜브 (281), 제어 밸브 (283) 및 격리 밸브(289)를 통하여 컨테이너 (293)로 유동된다. 또다른 도관 (315)은 1 개의 단부를 갖는 컨테이너 (293)에 연결되며, 다른쪽 단부에서는 커넥션 조인트 (303)를 갖는 배기 라인 또는 진공 블록에 연결된다. 컨테이너는 격리 밸브 (313) 및 제어 밸브 (307)를 작동시킴으로써 배기될 수 있다. 제어 밸브 (297)를 갖는 바이패스 라인 (295)은 폐기물 유입 도관 (291)에 연결되며, 배기 도관 (315)은 라인 (281 및 305)에 연결된다. 화학약품 컨테이너 블록 (1)을 배기시키거나 또는 진공으로 만들어야 하는 경우, 바이패스 도관 (295)내의 제어 밸브 (297)가 작동되며, 제어 밸브 (283 및 307)가 폐쇄된다. 레벨 모니터 (317)는 폐기물 컨테이너 (293)에 연결되어 컨테이너 내부에서의 폐기 화학약품 레벨을 모니터한다. 레벨 모니터는 도 8 및 도 9에 도시된 것과 동일할 수 있다. 컨테이너가 가득찰 경우, 격리 밸브 (289 및 313)는 폐쇄되며, 컨테이너는 교체를 위하여 조인트 (287 및 311)에서 단속될 수 있다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 화학약품을 전달 라인에 투입하기 이전에 더 우수한 정화를 제공하고, 전달 라인중의 가스를 제거하기 위한 진공 블록에 관한 것이다. 임의의 적절한 진공 발생기를 사용할 수 있다. 예를 들면, 진공 발생기는 벤투리 또는 진공 펌프가 될 수 있다. 진공을 생성하기 위한 진공 블록 (319)의 예는 도 13에 도시되어 있다. 벤투리를 사용할 경우, 고압의 깨끗하고 건조한 공기 (CDA) 또는 질소가 작업에 필요하다. CDA 또는 질소는 해당 공급원에 의하여 도관 (321)을 통하여 벤투리로 공급된다. 도관내의 제어 밸브 (323)가 CDA 또는 질소 가스의 제어에 사용된다. 라인 (335)은 한 단부에서 진공 발생기 (337)에 연결되며,다른쪽 단부에서는 배기 라인에 연결된다. 도관 (327)은 진공을 필요로 하는 블록 및 진공 발생기의 소통을 위한 진공 라인이다. 커넥션 조인트 (333)는 도 12에서의 커넥션 조인트 (303)에서 진공 도관을 다른 화학약품 전달 블록, 예컨대 폐기물 회수 블록에 연결시키는데 사용된다. 커넥션 조인트 (333)는 VCR 기구 등, 또는 커넥션을 용접시키기 위한 튜브 부재의 말단 개구 등이 될 수 있다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 화학약품 캐니스터 교체 과정중에 낮은 증기압 화학약품을 정화시키기 위한 용제를 제공하는 용제 공급 블록에 관한 것이다. 용제 공급 블록의 바람직한 구체예는 도 14에 도시되어 있다. 용제 컨테이너 (361)는 도 9의 충전 블록 (111) 및 화학약품 컨테이너 블록 (1)중의 화학약품과 유사한 형상을 지닐 수 있다. 컨테이너는 용량이 100 ㎖∼200 ℓ일 수 있다. 바람직한 용제 컨테이너는 용량이 1 ℓ∼10 ℓ일 수 있다. 용제는 통상적으로 시스템 정화를 위한 용제 플러쉬가 필요한 블록, 예컨대 화학약품 컨테이너 블록에 불활성 가스를 사용한 가압에 의하여 제공한다. 가압 가스 유입 도관 (359)은 한 단부에서는 용제 컨테이너에 연결되고 다른쪽 단부에서는 커넥션 조인트 (343)와 함께 불활성 가압 가스 블록에 연결된다. 제어 밸브 (349)를 갖는 라인 (347)은 배기를 위하여 튜브 (353)에 그리고 도관 (359)에 연결되어 있다. 커넥션 조인트 (351)와의 또다른 단부는 배기 라인에 연결될 수 있다. 용제 공급을 위한 용제 출구 도관 (367)은 컨테이너내에서 컨테이너 하부 부근의 위치로 연장된 딥튜브 (365), 라인 (373), 라인 (375) 및 제어 밸브 (377)를 갖는다. 용제 출구 도관 (367)은 커넥션 조인트 (379)로 화학약품 컨테이너 블록에 연결될 수 있다. 용제 전달 도관은 필요할 경우 임의의 위치, 예컨대 사용자 도구에 용제를 전달하기 위하여 커넥션 조인트 (379)에 연결할 수 있다. 라인 (383)은 도 11에서와 같이 정화 가스 블록으로부터의 정화 가스를 위한 것이다. 제어 밸브 (393)를 갖는 바이패스 라인 (341)은 한 단부에서는 튜브 (387)에서 정화 라인 (383)에 연결되고, 다른쪽 단부에서는 튜브 (345)에서 가압 가스 유입 도관 (359)에 연결된다. 용제 컨테이너의 교체 과정에서, 정화 가스를 도관 (367)에 투입하여 라인 (375 및 373)을 정화한다. 조인트 (371 및 355)가 단속될 경우, 정화 가스는 또한 제어 밸브 (393 및 385)를 개방시킴으로써 라인 개구를 비우는데 사용된다. 화학약품 컨테이너에 대한 것으로서 레벨 모니터 (363)는 컨테이너중의 용제 레벨을 모니터하는데 사용된다. 일단 컨테이너가 비워지면, 조인트 (355 및 371)를 단속시킴으로써 교체될 수 있다. 화학약품 전달 라인 내부에 잔존하는 화학약품을 정화 및 세정시키기 위한 용제는 전구체 화학약품 및 용제의 물리적 및 화학적 성질에 따라서 선택될 수 있다. 예를 들면, 탄탈륨 펜타에톡시드 (Ta(OEt)5)는 에탄올에 잘 용해되며, 에탄올은 라인으로부터 제거 및 세정이 용이하다. 탄탈륨 펜타에톡시드를 위한 전달 라인의 정화 및 세정에 대하여서는 에탄올을 선택할 수 있다. 헥산, 옥탄과 같은 기타의 용제 및 화학약품 전구체 용액의 제조를 위하여 언급된 용제는 각종의 전구체 화학약품 잔류 세정에 사용될 수 있다.
또다른 구체예에서, 본 발명은 가스 제거 블록 및 여과 블록에 관한 것이며, 이는 필요시 불필요한 가스 및 입상 불순물을 제거하는데 사용된다. 가스 제거 블록 (395)의 바람직한 구체예는 도 15에 도시되어 있다. 가스 제거 블록은 화학약품중의 용존 가스를 제거하는데 사용된다. 화학약품 중의 용존된 가스는 통상적으로 막 카트리지를 사용하여 제거된다. 화학약품은 막 카트리지의 한면에서 유동하고, 용존 가스는 농도 구배 또는 압력차 또는 둘다에 의하여 다른쪽으로 막 매체를 통하여 확산된다. 도 15에서와 같이 하우징을 갖는 막 카트리지 (405)는 가스 제거에 사용될 수 있다. 화학약품은 격리 밸브 (409)를 갖는 도관 (407)을 통하여 카트리지 하우징에 투입되고, 화학약품 출구 도관 (415)으로부터 사용자 도구로 유동된다. 또다른 도관 (403)은 진공 또는 배기를 위하여 다른쪽에서 막 카트리지에 연결된다. 제어 밸브 (401)는 진공 또는 배기 제어의 목적에 사용된다. 막 카트리지를 교체할 필요가 있을 경우, 격리 밸브 (409 및 417)는 수동으로 폐쇄되며, 또한, 제어 밸브 (403)도 폐쇄된다. 화학약품 유입 도관 (407)은 커넥션 조인트 (413)와 함께 화학약품 전달 블록, 예컨대 화학약품 컨테이너 블록 및 화학약품 충전 블록에 연결된다. 커넥션 조인트 (419)는 사용자 도구에 하류로 화학약품 라인에 연결된다. 커넥션 조인트는 커넥션의 용접을 위하여 기구, 예컨대 VCR 기구 또는 튜브 단부 개구가 될 수 있다. 화학약품 정화 라인 (도시하지 않음)은 카트리지의 교체전, 카트리지의 설치후 카트리지 하우징으로부터 화학약품을 정화시켜야할 필요가 있다.
도 16은 화학약품중의 입자를 제거하기 위한 화학약품 라인에 연결시킬 수 있는 여과 블록 (421)에 관한 것이다. 사용중인 필터 그리고 여분의 필터가 평행인 2 개의 필터가 바람직하다. 도 16에서와 같이, 필터 (429) 및 필터의 전후에 장착된 2 개의 격리 밸브 (433 및 427)를 갖는 도관 (435)은 화학약품 여과에 사용된다. 동시에, 필터 (447) 및 2 개의 격리 밸브 (443 및 449)를 갖는 또다른 도관 (441)은 상류에서는 화학약품 라인 (439)에, 그리고 하류에서는 화학약품 라인 (453)에 연결된다. 또다른 예로서, 격리 밸브 (433 및 443)는 3 방향 밸브로서 병합될 수 있으며, 격리 밸브 (427 및 449)도 마찬가지로 3 방향 밸브가 될 수 있다. 필터를 교환하고자 할 경우, 필터의 전후의 여과 도관내의 격리 밸브는 폐쇄되며, 동시에 다른 필터는 해당 격리 밸브를 작동시켜 여과에 사용된다. 여과 도관중의 화학약품의 세정을 위한 가스 및 용제 정화는 필터가 교체를 필요로 할 경우 다수의 화학약품에 필수적이다. 정화 가스, 용제, 및 폐기물 라인 (도시하지 않음)를 필요로 할 수도 있다.
본 발명의 일체형 블록을 사용하여 화학약품 전달 시스템을 형성할 수 있다. 각종 임의의 블록을 상이한 수요를 위한 기본 시스템에 부가할 수 있다. 각각의 블록은 단독으로 사용되며, 블록의 다양한 조합을 갖는 전달 시스템에서 독립적으로 기능하다. 또한, 각각의 블록의 부품으로부터 시그날을 수신하고 자동 제어를 위한 부품에 시그날을 송신하는 컴퓨터 또는 PLC 시스템을 포함하는 제어 블록을 비롯한 다수의 적용예에 유용하다.
도 1에 도시된 바와 같은 바람직한 구체예에서, 기본 화학약품 전달 시스템은 화학약품 컨테이너 블록 (1), 충전 컨테이너 블록 (7), 가압 가스 블록 (15) 및 제어 블록 (23)으로 이루어진다. 화학약품 공급원 및 관련 매니폴드를 갖는 화학약품 컨테이너 블록 (1)은 화학약품을 충전 컨테이너 블록 (7)에 커넥션 (3)을 통하여 공급한다. 화학약품은 충전 컨테이너 블록 (7)로부터 커넥션 라인 (9)을 통하여제조 도구에 전달된다. 물론, 화학약품은 도시하지는 않았지만 화학약품 컨테이너 블록 (1)으로부터 제조 도구에 커넥션 라인을 통하여 공급될 수도 있다. 가압 가스 블록 (15)은 고압 불활성 가스를 화학약품 컨테이너 블록 (1) 및 충전 컨테이너 블록 (7)에 제공하여 전달을 위한 컨테이너로부터 화학약품을 빼낸다. 블록 (15)은 각각 커넥션 (17 및 19)에 의하여 블록 (1 및 7)에 연결된다. 블록 (1 및 7) 중의 화학약품 컨테이너는 가압 가스를 컨테이너로부터 커넥션 (5 및 11)을 통하여 배기 라인 (13)에 배기시킴으로써 감압시킬 수 있다. 커넥션 라인 (21)은 과압의 블록 (15)에서 고압을 해제하기 위한 것이다. 모든 커넥션은 정규 기구, 예컨대 VCR 기구, 또는 양단부에서 기구를 갖는 작은 튜브 부재, 또는 커넥션을 용접하기 위한 양개방 단부를 갖는 튜브 부재가 될 수 있다. 자동 제어 블록 (23)은 블록 (1, 7 및 15)과 소통하여 커넥션 라인 (25, 27, 및 29)에 의하여 화학약품 전달 시스템의 자동 작동을 위한 시그날을 수신 및 송신한다.
도 2는 화학약품 컨테이너 블록 (1)에 불활성 정화 가스를 제공하기 위하여 정화 가스 블록 (33)를 갖는 또다른 기본 화학약품 전달 시스템을 도시한다. 정화 가스는 가압 가스와 동일하거나 또는 상이한 불활성 가스 (예컨대 헬륨, 질소, 아르곤)가 될 수 있다. 블록 (33)은 커넥션 (35)을 통하여 블록 (1)에 정화 가스를 제공한다. 필요할 경우, 압력을 해제하기 위한 고압 배기 커넥션 (37)이 존재한다. 자동 제어 블록 (23)은 자동 제어를 위하여 커넥션 (31)을 통하여 정화 가스 블록 (33)와 소통한다. 잔류 화학약품을 정화하고 임의의 라인 개구에 주위 공기가 유입되는 것을 방지하기 위한 화학약품 컨테이너 교체 공정중에 정화 가스를 화학약품블록 (1)에 공급하게 된다.
화학약품 폐기물은 화학약품 컨테이너 또는 임의의 라인이 정화 및 세정을 필요로 할 경우 생성될 수 있다. 화학약품 폐기물은 폐기물 라인을 통하여 설비 폐기물 처리 센터로 이송할 수 있다. 대부분의 경우에서, 화학약품 전구체 폐기물은 특수 처리되어야만 한다. 그러므로, 화학약품은 처리 또는 최종 폐기를 위하여 따로 수집하여야만 한다. 도 3에서와 같이, 화학약품 폐기물 블록 (39)을 사용하여 화학약품 폐기물을 전달 시스템으로부터 수집한다. 화학약품 폐기물 블록 (39)은 커넥션 (5)에 의하여 화학약품 컨테이너 블록 (1)에 그리고, 커넥션 (40)에 의하여 자동 제어 블록 (23)에 연결된다. 또한, 블록 (39)은 커넥션 (41)에 의하여 배기 라인 (13)에 연결된다. 블록 (1)로부터의 배기는 화학약품 폐기물을 위한 동일한 커넥션 (5)에 의하여 또는 배기 라인 (13)으로의 추가의 커넥션 (도시하지 않음)에 의하여 폐기물 블록을 통과하게 된다.
도 4는 진공 블록 (45)을 사용한 화학약품 전달 시스템의 바람직한 구체예를 도시한다. 시스템 정화 공정에서, 진공은 정화를 향상시키고 화학약품을 전달 라인으로 투입하기 전에 화학약품 전달 라인의 내부에 잔존하는 기상 잔류물, 예컨대 정화 가스 및 가압 가스를 제거하여야만 한다. 도 4에서와 같이, 진공 블록 (45)은 배기 라인 (13), 커넥션 (11) 및 커넥션 (41)에 의하여 폐기물 회수 블록 (39) 및 충전 컨테이너 블록 (7)에 연결될 수 있다. 진공 블록으로부터의 배기는 커넥션 (47)에 의하여 배기 라인에 연결될 수 있다. 진공 블록 (45)은 또한 커넥션 (43)에 의하여 자동 제어 블록 (23)과 소통된다. 또다른 시스템에서, 폐기물 회수 블록(39)이 전달 시스템으로부터 제거될 수 있다. 그러므로, 진공 블록 (45)은 화학약품 컨테이너 블록 (1) 및 화학약품 충전 컨테이너 블록 (7)에 직접 연결된다. 물론, 화학약품 충전 컨테이너는 진공 블록에 연결되지 않고 배기 라인에 직접 연결될 수 있다.
도 5는 용제 공급 블록 (51)을 갖는 화학약품 전달 시스템의 바람직한 구체예를 도시한다. 용제는 화학약품 공급원 컨테이너를 교체하는 과정중에 화학약품 컨테이너 블록 (1)의 전달 매니폴드를 플러쉬하는데 필요하다. 예를 들면, 에탄올은 화학약품 공급원 컨테이너를 세정하여야만 할 경우 전달 매니폴드내의 잔류 탄탈륨 펜타에톡시드의 플러쉬 및 세정하는데 사용한다. 용제는 일반적으로 화학약품 전구체에 대한 것과 유사한 컨테이너에 수용되며, 가압에 의하여 화학약품 컨테이너 블록에 공급된다. 용제 공급 블록 (51)은 커넥션 (57)에 의하여 가압 가스 블록 (15)에 연결된다. 용제 컨테이너 중의 용제는 커넥션 (53)을 통하여 용제를 공급하기 위하여 블록 (15)으로부터 가압 가스에 의하여 가압된다. 비워진 컨테이너를 교체하여야만 할 경우, 용제 공급 라인 중의 잔류 용제를 세정 및 정화하여야만 한다. 정화 가스는 세정 및 정화를 위하여 커넥션 (49)을 통하여 정화 가스 블록 (33)으로부터 용제 공급 블록 (51)에 제공된다. 용제 공급 블록 (51)은 제어를 위하여 커넥션 (59)을 통하여 자동 제어 블록 (23)과 소통한다. 커넥션 (55)은 용제 공급 블록 (51)을 진공으로 만들고 압력을 해제하기 위하여 블록 (51)을 진공 블록 (45) 또는 배기 라인과 연결하는데 사용된다. 용제 공급 블록이 화학약품 전달 시스템에 사용되는 경우 폐기물 회수 블록 및 진공 블록이 바람직하기는 하나, 용제공급 블록은 도 1에 도시된 바와 같은 기본 전달 시스템에 부가될 수 있다. 폐기물 회수 블록 및 진공 블록의 기능은 몇몇의 경우에는 필수 사항은 아닐 수 있거나 또는, 설비 위치의 유사한 성능으로 대체될 수 있다.
또다른 예로는, 가스 제거 블록 (63)은 도 6에 도시된 바와 같이 전달된 화학약품중의 용존 가스를 제거하는데 사용될 수 있다. 가스, 예컨대 헬륨 및 질소는 화학약품 제조 및 전달 과정중에 화학약품 전구체에 용해될 수 있다. 대부분의 화학약품 전달 경우, 매스 흐름 제어기를 설치하여 화학약품 흐름을 모니터 및 제어한다. 전달 화학약품중의 임의의 용존 가스는 국소 압력 변화시 가스 버블이 될 수 있다. 가스 버블은 매스 흐름 제어기의 젖은 표면상에 부착되어 매스 흐름 제어기의 오작동을 유발하게 될 가능성이 높다. 용존 가스는 화학 증착 도구에서의 화학약품 전구체의 기화에 추가로 영향을 미칠 수 있다. 화학약품 증기 농도는 일정하게 유지되지 않으며, 증기가 용존된 가스에 의하여 오염될 수 있다. 화학약품 충전 블록 (7) 또는 화학약품 컨테이너 블록 (1)으로부터의 화학약품은 용존 가스를 제거하기 위하여 커넥션 (9)을 통하여 가스 제거 블록 (63)으로 흐른다. 가스 제거후, 화학약품은 블록 (63)에서, 커넥션 (65)으로부터의 사용자 도구로 유동된다. 가스 제거 유닛의 막 유형을 사용하는 경우, 진공 또는 스트리핑 가스가 필요하다. 도 6에서와 같이, 블록 (63)은 커넥션 (67)에 의하여 진공 블록 (45)과 연결될 수 있다.
도 7은 여과 블록 (69)의 추가의 선택을 갖는 화학약품 전달 시스템의 또다른 바람직한 예가 도시되어 있다. 여과 블록은 화학약품 전구체중의 입상 오염물을제거하는데 사용된다. 화학약품 컨테이너 블록 (1), 또는 화학약품 충전 블록 (7), 또는 가스 제거 블록 (63)으로부터의 화학약품은 여과 블록 (69)으로 유동될 수 있다. 도 7에서와 같이, 화학약품은 가스 제거 블록 (63)으로부터 커넥션 (65)을 통하여 여과 블록으로 투입된다. 또한, 블록 (69)은 커넥션 (73)을 통하여 자동 제어 블록 (23)과 소통될 수도 있다. 물론, 여과 블록 (69)은 화학약품 전달 블록의 임의의 상이한 오염에 사용될 수도 있다. 예를 들면, 여과 블록은 화학약품 여과의 목적을 위하여 도 1에 도시된 바와 같은 기본 시스템에 부가될 수도 있다.
각각의 화학약품 전달 블록은 독립적인 기능을 위한 모든 부품을 갖는 것이 바람직하다. 블록이 화학약품 전달에 연결될 경우, 커넥션은 단순한 방법, 예컨대 정규 기구 및 용접에 의하여 수행된다. 여기에는 어떠한 부품, 예컨대 제거 또는 부가하고자 하는 각각의 블록도 사용되지 않는다. 도 8 내지 도 16은 도 1 내지 도 7에 언급된 바와 같이 각각의 기능 블록의 바람직한 구체예가 된다.
설명된 바와 같은 각종의 화학약품 전달 블록을 사용하면, 화학약품 전구체 전달 시스템은 각각의 블록을 단순히 연결함으로써 다양한 전달 요건에 대하여 설정될 수 있다. 도 17은 도 8에서와 같이 화학약품 컨테이너 블록 (1), 도 10에서와 같은 가압 가스 블록 (165), 도 9에서와 같은 화학약품 충전 블록 (111) 및 자동 제어 블록 (23)을 사용하는 바람직한 기본 전달 시스템이 된다. 화학약품 컨테이너 블록은 포인트 (455 및 457)에서 가압 가스 블록과 연결된다. 커넥션 지점은 하나의 수단에 의하여 단속될 수 있는 물리적 조인트가 될 필요는 없다. 그 대신, 이는 단순히 2 개의 블록이 화학약품을 전달하는 특수 기능을 위한 일체형 및 균일한 도관을 형성하기 위하여 2 개의 블록이 함께 연결된다는 것을 의미한다. 그러므로, 격리 밸브 (79)를 갖는 화학약품 컨테이너 (75), 압력 센서 (171) 및 제어 밸브 (173)용 가압 가스 유입 도관이 형성된다. 유사하게, 니들 밸브 (213), 제어 밸브 (209) 및 또다른 제어 밸브 (91)를 갖는 정화 가스 도관은 가압 가스 공급원으로부터 불활성 가스를 사용하여 화학약품 전달 라인을 정화시키기 위하여 형성된다. 화학약품 충전 블록은 격리 밸브 (153), 압력 센서 (217), 제어 밸브 (127) 및 니들 밸브 (207)를 갖는 가스 유입 도관을 형성하기 위하여 커넥션 지점 (461)에서 가압 가스 블록과 연결된다. 화학약품 충전 도관은 격리 밸브 (117), 제어 밸브 (123) 및 격리 밸브 (91)로 이루어진다. 화학약품은 제어 밸브 (161)를 사용하여 화학약품 도관을 통하여 충전 컨테이너 (113)에 의하여 사용자 도구에 전달한다. 화학약품 샘플은 핸드 밸브 (143)를 작동시킴으로써 전달 라인으로부터 취할 수 있다. 물론, 화학약품은 커넥션 지점 (459 및 139)간의 바이패스 라인 (도시하지 않음)을 추가하여 화학약품 컨테이너 블록으로부터 직접 사용자 도구에 전달할 수 있다. 화학약품 레벨이 설정된 저 레벨로 떨어질 경우, 제어 블록은 레벨 모니터 (159)로부터 시그날을 수신하고, 충전 컨테이너에 화학약품을 충전하기 위하여 시그날을 송신하여 제어 밸브 (123)를 개방시킨다. 화학약품 레벨이 고 레벨이 될 경우, 제어 밸브 (123)는 유사한 방법으로 폐쇄된다. 재충전 과정중에, 화학약품을 충전 컨테이너 (113)로부터 사용자 도구로 연속적으로 전달한다. 충전 컨테이너 내부의 가압 가스의 압력은 제어 밸브 (131)의 온 오프 작동에 의하여 자동적으로 균형을 유지하게 된다. 니들 밸브 또는 압력 제어 밸브 (133)는 가스 압력의 돌발적인 변화를방지하기 위하여 방출 가스 흐름을 제한하는데 사용된다. 화학약품 컨테이너 (75)가 비워질 경우, 자동 제어 블록은 컨테이너 교환을 위하여 작동자에게 경고음을 보내게 된다. 제어 밸브 (107)는 컨테이너의 내부에서 압력을 해제하기 위하여 자동적으로 작동될 것이다. 제어 밸브 (123)의 앞의 라인에 잔존하는 화학약품은 불활성 가스 제어 밸브 (209)를 개방함으로써 화학약품 컨테이너로 다시 보낼 수 있다. 격리 밸브 (79 및 91)를 작업자가 수동으로 폐쇄한 후, 컨테이너는 교환을 위하여 조인트 (99 및 101)에서 단속될 수 있다. 단독 이전에, 제어 밸브 (173 및 209)는 불활성 가스가 격리 밸브 (79 및 91)로 흐르도록 작동될 수 있다. 단속시, 불활성 가스는 개구에 조인트 (99 및 101)로부터 흐르게 되어 주위 오염물이 유입되는 것을 막을 수 있다.
도 18에 도시한 바와 같은 또다른 바람직한 구체예에서, 정화 가스 블록은 도 17의 구체예에 부가된다. 정화 가스 블록은 지점 (455 및 457)에서 화학약품 컨테이너 블록에 연결된다. 화학약품 라인을 정화시킬 필요가 있을 경우, 제어 밸브 (247)는 불활성 정화 가스가 화학약품 라인으로 흐르도록 작동된다. 그후, 정화 가스는 도 8에서 바이패스 라인 (85)으로 개방된 블록 밸브 (91)를 통하여 흐르게 되며, 그후, 배기 제어 밸브 (107)를 통하여 배기된다. 화학약품 컨테이너가 조인트 (99 및 101)로부터 단속되기 이전에, 정화 가스는 제어 밸브 (247 및 251)를 작동시킴으로써 화학약품 라인 및 가스 유입 도관 모두로 투입될 수 있다. 정화 가스 블록내의 제어 밸브 (239)가 폐쇄될 수 있다. 화학약품 컨테이너를 단속시킨 후, 정화 가스는 주위 공기를 비우기 위하여 단속된 조인트 (99 및 101)로부터 연속적으로 흘리게 된다. 바이패스 오리피스 (265)는 흐름 속도가 너무 낮아서 화학약품 라인으로 주위 공기가 확산되지 않도록 하여서는 안되며, 너무 높아서 너무나도 많은 불활성 가스를 폐기하지 않도록 하는 흐름 속도로 불활성 가스가 조인트로 흐르게 되도록 한다.
도 19는 임의의 폐기물 회수 블록을 갖는 바람직한 화학약품 전달 시스템이다. 화학약품 컨테이너 블록은 지점 (463)에서 폐기물 회수 블록에 연결되고, 도 12에서와 같은 폐기물 회수 블록의 커넥션 조인트 (279)는 지점 (465)에서 배기 라인과 연결된다. 화학약품 컨테이너를 배기시켜야만 할 경우, 제어 밸브 (107) 및 제어 밸브 (297)가 작동하여 임의의 가스를 배기 라인으로 배기되도록 작동된다. 정화시키고자 하는 화학약품 중의 잔류 화학약품의 경우, 제어 밸브 (107), 제어 밸브 (307) 및 제어 밸브 (283)가 작동된다. 밸브 (247)의 작동에 의한 고압 정화 가스 또는 제어 밸브 (209)의 작동에 의한 가압 가스에 의하여 화학약품 폐기물을 가압시키고, 화학약품 라인으로부터 폐기물 컨테이너로 빼낸다. 폐기물 컨테이너가 가득찰 경우, 제어 밸브 (283 및 307)는 폐쇄 위치에 있게 된다. 작업자는 격리 밸브 (289 및 313)를 수동으로 차단시키고, 교체를 위하여 조인트 (287 및 311)로부터 컨테이너를 단속시킨다. 비워진 폐기물 컨테이너는 연속 작업을 위한 조인트에 다시 연결된다.
도 20은 진공 블록의 바람직한 구체예이다. 도 13에서와 같은 진공 블록은 지점 (463)에서 화학약품 컨테이너 블록에 연결될 수 있다. 진공은 화학약품 라인을 세정 및 정화시켜야만 할 경우 제공된다. 예를 들면, 화학약품 라인은 화학약품컨테이너를 조인트 (99 및 101)에서 전달 매니폴드에 접속시킨 후, 라인에서 불순물을 세정하기 위하여 정화 가스 및 진공에 의하여 정화시켜야만 한다. 화학약품 라인은 제어 밸브 (247)를 작동시켜 정화 가스를 사용하여 정화시켜 화학약품 라인으로부터 바이패스 라인 (85)으로의 격리 밸브 (91)를 통하여, 제어 밸브 (107), 제어 밸브 (297)를 통하여 화학약품 라인으로부터 정화 가스가 흐르도록 하고 배기되도록 한다. 라인은 진공 제어 밸브 (329)를 작동시켜 진공으로 만든다. 이때, 제어 밸브 (247 및 297)를 닫는다. 라인은 필요할 경우 일종의 사이클링 방법을 50 회 이하, 심지어는 이보다 많도록 정화시킬 수 있다. 라인은 최종 정화 단계에서 진공이 될 수 있다. 격리 밸브 (91)는 컨테이너쪽으로 작동하여 충전 컨테이터의 충전 또는 전달을 위한 화학약품 라인으로 화학약품이 흐르도록 한다.
도 21은 시스템 세정 및 정화를 위한 액체 용제를 공급하기 위하여 임의의 용제 공급 블록을 갖는 바람직한 구체예이다. 용제 공급 블록은 정화를 위하여 화학약품 라인에 용제를 제공하기 위한 지점 (467)에서의 화학약품 컨테이너 블록에 연결된다. 용제 공급 블록은 용제 컨테이너로의 가압 가스를 위하여 지점 (471)에서 가압 가스 블록에 연결된다. 용제 공급 블록은 정화 가스에 대한 지점 (469)에서 정화 가스 블록에 추가로 연결될 수 있다. 용제 공급 블록의 배기 라인은 지점 (473)에서 배기 라인에 연결된다. 정상의 작동시, 용제 컨테이너는 용제 전달을 위하여 가압된다. 용제가 정화를 위하여 필요할 경우, 제어 밸브 (377)는 제어 블록 (23)으로부터의 시그날에 의하여 자동적으로 작동한다. 용존 잔류 화학약품 흐름을 갖는 액체 용제는 격리 밸브 (91), 제어 밸브 (107) 및 제어 밸브 (307)를 통하여폐기물 회수 컨테이너 (293)로 흐르게 된다. 용제 컨테이너가 비워지거나 또는 용제 레벨이 이의 저 레벨이 되는 경우, 자동 제어 블록은 작업자에게 용제 컨테이너를 교체하고, 용제 제어 밸브 (377)를 폐쇄시킬 것을 경고하게 된다. 가압 가스 제어 밸브 (219)는 자동 제어 블록 (23)에 의하여 자동적으로 폐쇄된다. 또한, 용제 컨테이너의 내부의 압력을 해제하기 위하여 배기 제어 밸브 (349)를 자동적으로 작동시킨다. 가압 가스 또는 정화 가스는 용제 도관에 공급하여 제어 밸브 (377 및 385) 및 격리 밸브 (369) 사이의 도관 내부의 용제를 컨테이너로 보낸다. 정화 가스를 라인 세정에 사용할 경우, 정화 가스 블록내의 제어 밸브 (269), 제어 밸브 (385) 및 격리 밸브 (369)가 개방된다. 가압 가스가 라인 세정에 사용될 경우, 격리 밸브 (357)가 폐쇄되고, 바이패스 밸브 (393), 제어 밸브 (385) 및 격리 밸브 (369)가 개방된다. 라인 세정후, 정화 가스를 가스 유입 및 용제 출구 도관에 공급한다. 그후, 용제 컨테이너를 조인트 (355 및 371)로부터 단속시키면서 격리 밸브 (357 및 369)를 폐쇄시킨다. 그후, 정화 가스는 개방된 조인트로부터 흐르게 되어 주위 오염물을 비우게 된다.
도 22는 화학약품중의 용존 가스를 제거하기 위한 가스 제거 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 바람직한 구체예를 도시한다. 도시한 바와 같이, 가스 제거 블록은 포인트 (139)에서 충전 블록에 연결되고, 지점 (477)에서 진공 블록에 연결된다. 충전 컨테이너로부터의 화학약품은 막 카트리지 (405)를 통하여 사용자 도구로 흐르게 된다. 가스 제거 블록 이전의 제어 밸브 (161) 및 블록 이후의 제어 밸브 (417)는 화학약품 또는 가스 제거 블록이 보수되어야만 할 필요가 없을 경우 폐쇄될 수 있다. 진공 라인중의 제어 밸브 (401)는 진공을 위하여 작동되거나 보수를 위하여 차단된다. 또한, 가스 제거 블록은 가스 제거를 위한 충전 블록 이전에 화학약품 컨테이너 블록에 연결될 수 있다.
도 23은 여과 블록을 갖는 화학약품 전달 시스템의 구체예를 도시한다. 블록은 지점 (18)에서 화학약품 라인에서 가스 제거 블록에 연결된다. 하나의 필터가 여과 요건을 잘 수행한다 할지라도, 도면에서와 같이 2 개의 필터를 병렬로 설치하는 것이 바람직하다. 정상의 작동에서, 하나의 필터를 사용하고, 다른 하나는 여분으로 한다. 필터를 일정 기간후 교체할 경우, 필터 전후의 격리 밸브는 작동자에 의하여 수동으로 폐쇄시킨다. 필요할 경우, 정화 가스 및 액체 용제를 투입하는 것은 필터 내부의 화학약품을 정화시킨다. 새로운 필터를 설치한 후, 필터 및 커넥션은 화학약품을 라인으로 투입하기 이전에 세정 및 정화시켜야만 한다.
본 발명은 특정의 구체예를 들어 상세하게 설명하였으나, 당업자에게는 첨부한 청구의 범위로부터 벗어나지 않으면서 각종의 변형예 및 수정예가 사용될 수 있으며, 균등예를 사용할 수 있다는 것이 명백할 것이다.

Claims (37)

  1. 반도체 또는 광섬유 제조 공정에서 액체 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점으로 초고순도 화학약품을 전달하기 위한 화학약품 전달 시스템에 연결 가능한 일체형 블록으로서, 상기 일체형 블록은 초고순도 화학약품을 수용하기 위한 화학약품 컨테이너 블록, 컨테이너를 충전시키기 위한 충전 컨테이너 블록, 가압을 제공하기 위한 가압 가스 블록, 화학약품을 정화하기 위한 정화 가스 블록, 폐기물 회수를 위한 폐기물 회수 블록, 진공을 생성시키기 위한 진공 블록, 용제 공급을 위한 용제 공급 블록, 화학약품을 가스 제거시키기 위한 가스 제거 블록, 화학약품을 여과하기 위한 여과 블록 또는 이들의 조합이며, 여기서 일체형 블록은 조립식이고,
    화학약품 컨테이너 블록은
    (i) 가압 가스 공급원에 연결시키고자 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 화학약품 컨테이너,
    (iii) 일체형 블록에 연결시키고자 하는 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트,
    (iv) 밀폐된 화학약품 컨테이너에 가압 가스를 전달하기 위한 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 유입 도관,
    (v) 사용 지점 또는 일체형 블록에 초고순도 화학약품을 전달하기 위한 밀폐된 화학약품 컨테이너 및 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트의 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 전달 도관,
    (vi) 화학약품 컨테이너 유입 도관 및 화학약품 컨테이너 전달 도관 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 바이패스 도관,
    (vii) 임의로, 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 배출 도관 및
    (viii) 밀폐된 화학약품 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 화학약품 컨테이너 레벨 표시기를 포함하며;
    화학약품 컨테이너 유입 도관은
    밀폐된 컨테이너의 제거를 위하여 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 조인트 및,
    제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 화학약품 컨테이너 격리 밸브를 포함하며;
    화학약품 컨테이너 전달 도관은
    밀폐된 화학약품 컨테이너로 연장되는 제1의 단부를 갖는 화학약품 컨테이너 딥튜브,
    제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 화학약품 컨테이너 격리 밸브,
    제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하고, 밀폐된 화학약품 컨테이너의 제거를 위하여 변형된 제2의 화학약품 컨테이너 조인트를 포함하며;
    화학약품 컨테이너 배출 도관은
    제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및
    제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 제어 밸브를 포함하며;
    충전 컨테이너 블록은
    (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 충전 컨테이너,
    (iii) 초고순도 화학약품을 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위한, 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 충전 컨테이너 화학약품 유입 도관,
    (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    (v) 가압 가스를 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위한, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 가스 도관,
    (vi) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    (vii) 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기 위한, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관,
    (viii) 밀폐된 충전 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 충전 컨테이너 레벨 모니터를 포함하며;
    충전 컨테이너 화학약품 유입 도관은
    제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 제어 밸브,
    제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 조인트,
    제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함하며;
    가스 도관은
    일체형 블록에 연결되도록 변형되고 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제4의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 니들 밸브,
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 밸브,
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 조인트,
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함하며;
    충전 컨테이너 화학약품 전달 도관은
    제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 제어 밸브,
    밀폐된 컨테이너의 제거를 위하여 변형되고 제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 조인트,
    제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 격리 밸브,
    제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제4의 충전 컨테이너 격리 밸브,
    제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 포트,
    충전 컨테이너 화학약품 전달 도관과 직렬로 연결되고 밀폐된 충전 컨테이너로 연장되는 제1의 단부를 포함하는 딥튜브를 포함하며;
    가압 가스 블록은
    (i) 불활성 가스를 수용하도록 변형된 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트,
    (ii) 1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관,
    (iii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 격리 밸브,
    (iv) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 조절기,
    (v) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 필터,
    (vi) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 제1의 가압 가스 블록 압력 센서,
    (vii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 체크 밸브를 포함하며;
    1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관은
    일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트,
    제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 체크 밸브 사이를 임의로 연결하는 가압 가스 블록 니들 밸브,
    제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 가압 가스 블록 제어 밸브,
    제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 제2의 가압 가스 블록 압력 센서를 포함하며;
    정화 가스 블록은
    (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 정화 가스 커넥션 조인트,
    (ii) 1 이상의 정화 가스 도관,
    (iii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 격리 밸브,
    (iv) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 압력 조절기,
    (v) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 필터,
    (vi) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 제어 밸브,
    (vii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 체크 밸브,
    (viii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 압력 센서,
    (ix) 정화 가스 제어 밸브 주위에서 연결하는 정화 가스 흐름 제한 오리피스를 포함하며;
    정화 가스 도관은
    제2의 정화 가스 일체형 블록에 연결되도록 변형된 1 이상의 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 및
    제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 정화 가스 제어 밸브를 포함하며;
    폐기물 회수 블록은
    (i) 폐기물을 1 이상의 일체형 블록으로부터 수용하도록 변형된 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너,
    (iii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 회수 유입,
    (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트,
    (v) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 배기,
    (vi) 폐기물 유입 및 폐기물 배기 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 제어 밸브,
    (vii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 폐기물 회수 레벨 표시기를 포함하며;
    폐기물 유입은
    제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 제어 밸브,
    제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및
    제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 격리 밸브를 포함하며;
    폐기물 배기는
    제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 격리 밸브,
    제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및
    제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 폐기물 회수 제어 밸브를 포함하며;
    진공 블록은
    (i) 진공 발생기,
    (ii) 진공 발생기와 직렬로 연결된 제1의 진공 블록 제어 밸브,
    (iii) 진공 발생기와 직렬로 연결되고 진공을 제공하도록 변형된 1 이상의 진공 도관을 포함하고;
    진공 도관은
    1 이상의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 진공 블록 커넥션 조인트 및
    커넥션 조인트 및 진공 발생기 사이를 연결하는 제2의 진공 블록 제어 밸브를 포함하며;
    용제 공급 블록은
    (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 용제 공급 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 용제 공급 컨테이너,
    (iii) 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 가압 용제 공급 가스 유입,
    (iv) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 용제 공급 커넥션 조인트,
    (v) 제2의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 용제 공급 전달 출구,
    (vi) 용제 공급 가압 가스 유입 및 용제 공급 전달 출구 사이를 연결하는 용제 공급 제어 밸브 및
    (vii) 밀폐된 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 용제 공급 레벨 표시기를 포함하고;
    가압 가스 유입은
    제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 컨테이너 조인트,
    제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 용제 공급 밸브,
    제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 격리 밸브를 포함하며;
    용제 공급 전달 출구는
    밀폐된 컨테이너로 연장된 1 개의 단부를 갖는 용제 공급 딥튜브,
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 격리 밸브,
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 컨테이너 조인트,
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제3의 용제 공급 제어 밸브,
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제4의 용제 공급 제어 밸브를 포함하며;
    가스 제거 블록은
    (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트,
    (ii) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트,
    (iii) 제1의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하며 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 화학약품 유입 도관,
    (iv) 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 막 카트리지,
    (v) 제2의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하고 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 화학약품 출구 도관,
    (vi) 막 카트리지 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 제어 밸브를 포함하며;
    여과 블록은
    (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 여과 블록 커넥션 조인트,
    (ii) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 여과 블록 커넥션 조인트,
    (iii) 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 여과 도관을 포함하고,
    여과 도관은
    제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제1의 여과 블록 격리 밸브,
    제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 필터 및
    제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 여과 블록 격리 밸브를 포함하는 것인 일체형 블록.
  2. 제1항에 있어서, 사용 지점은 기화기인 것인 일체형 블록.
  3. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 초고순도 화학약품을 사용 지점에 또는 제2의 일체형 블록에 전달하기 위한 화학약품 컨테이너 블록인 것인 일체형 블록.
  4. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 화학약품을 화학약품 컨테이너 블록으로부터 수용하고, 화학약품을 사용 지점 또는 제2의 일체형 블록에 전달하기 위한 충전 컨테이너 블록인 것인 일체형 블록.
  5. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 가압 가스 블록인 것인 일체형 블록.
  6. 제5항에 있어서,
    일체형 블록에 연결되도록 변형된 제3의 가압 가스 커넥션 조인트 및
    제2의 커넥션 조인트 및 체크 밸브 사이를 연결하는 제2의 가압 가스 제어 밸브를 포함하는 추가의 가스 도관을 더 포함하는 것인 일체형 블록.
  7. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 정화 가스 블록인 것인 일체형 블록.
  8. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 폐기물 회수 블록인 것인 일체형 블록.
  9. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 1 이상의 일체형 블록에 진공을 제공하기 위한 진공 블록인 것인 일체형 블록.
  10. 제9항에 있어서, 진공 발생기는 벤투리 또는 진공 펌프인 것인 일체형 블록.
  11. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 용제 공급 블록인 것인 일체형 블록.
  12. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 초고순도 화학약품 중의 용존 가스를 제거하기 위한 가스 제거 블록인 것인 일체형 블록.
  13. 제1항에 있어서, 일체형 블록은 초고순도 화학약품으로부터 입자를 제거하기 위한 여과 블록인 것인 일체형 블록.
  14. (i) 제3항의 화학약품 컨테이너 블록;
    (ii) 화학약품 컨테이너 블록과 직렬로 연결된 화학약품 전달 블록; 및
    (iii) 화학약품 컨테이너 블록 및 화학약품 전달 블록과 직렬로 연결된 사용 지점을 포함하는, 초고순도 화학약품을 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점에 전달하기 위한 화학약품 전달 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 화학약품 전달 블록은 제5항의 가압 가스 블록인 것인 화학약품 전달 시스템.
  16. 제14항에 있어서, 1 이상의 일체형 블록을 더 포함하는 것인 화학약품 전달 시스템.
  17. 제16항에 있어서, 1 이상의 일체형 블록은 충전 컨테이너 블록, 가압 가스 블록, 정화 가스 블록, 폐기물 회수 블록, 진공 블록, 용제 공급 블록, 가스 제거블록 또는 여과 블록으로부터 선택된 것인 화학약품 전달 시스템.
  18. 제14항에 있어서, 사용 지점은 기화기인 것인 화학약품 전달 시스템.
  19. 제14항에 있어서, 사용 지점은 제조 공정 도구인 것인 화학약품 전달 시스템.
  20. 제14항에 있어서, 사용 지점은 전자제품 제조 도구인 것인 화학약품 전달 시스템.
  21. 제14항에 있어서, 사용 지점은 반도체 공정 도구인 것인 화학약품 전달 시스템.
  22. 초고순도 화학약품을 수용하기 위한 조립식 화학약품 컨테이너 블록, 컨테이너를 충전시키기 위한 조립식 충전 컨테이너 블록, 압력을 제공하기 위한 조립식 가압 가스 블록, 화학약품을 정화시키기 위한 조립식 정화 가스 블록, 폐기물 회수를 위한 조립식 폐기물 회수 블록, 진공을 생성하기 위한 조립식 진공 블록, 용제를 제공하기 위한 조립식 용제 공급 블록, 화학약품에서 가스를 제거하기 위한 조립식 가스 제거 블록 및 화학약품을 여과하기 위한 조립식 여과 블록을 포함하는, 반도체 또는 광섬유 제조 공정에서 초고순도 화학약품을 액체 화학약품 컨테이너로부터 사용 지점으로 전달하기 위한 화학약품 전달 시스템으로서,
    조립식 화학약품 컨테이너 블록은
    (i) 가압 가스 공급원에 연결되도록 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 화학약품 컨테이너,
    (iii) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트,
    (iv) 가압 가스를 밀폐된 화학약품 컨테이너에 전달하기 위한, 제1의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 유입 도관,
    (v) 초고순도 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기 위한 밀폐된 화학약품 컨테이너 및 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 전달 도관,
    (vi) 화학약품 컨테이너 유입 도관 및 화학약품 컨테이너 전달 도관 사이를 연결하는 화학약품 컨테이너 바이패스 도관,
    (vii) 임의로, 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 배출 도관 및
    (viii) 밀폐된 화학약품 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 화학약품 컨테이너 레벨 표시기를 포함하고;
    화학약품 컨테이너 유입 도관은
    밀폐된 컨테이너의 제거를 위하여 변형된 제1의 화학약품 컨테이너 조인트 및
    제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 화학약품 컨테이너 격리 밸브를 포함하며;
    화학약품 컨테이너 전달 도관은
    밀폐된 화학약품 컨테이너로 연장된 제1의 단부를 갖는 화학약품 컨테이너 딥튜브,
    제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 화학약품 컨테이너 격리 밸브 및
    밀폐된 화학약품 컨테이너의 제거를 위하여 변형되고, 제2의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 화학약품 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 화학약품 컨테이너 조인트를 포함하며;
    화학약품 컨테이너 배출 도관은
    제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및
    제5의 화학약품 컨테이너 커넥션 조인트 및 화학약품 컨테이너 유입 도관 또는 화학약품 컨테이너 전달 도관과 직렬로 연결된 화학약품 컨테이너 제어 밸브를 포함하고;
    조립식 충전 컨테이너 블록은
    (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 충전 컨테이너,
    (iii) 초고순도 화학약품을 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위한, 제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 충전 컨테이너 화학약품 유입 도관,
    (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    (v) 가압 가스를 밀폐된 충전 컨테이너에 전달하기 위한 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 가스 도관,
    (vi) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    (vii) 화학약품을 사용 지점 또는 일체형 블록에 전달하기 위한, 제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관 및
    (viii) 밀폐된 충전 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 충전 컨테이너 레벨 모니터를 포함하며;
    충전 컨테이너 화학약품 유입 도관은
    제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 제어 밸브,
    제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 조인트 및
    제1의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함하며;
    가스 도관은
    일체형 블록에 연결되도록 변형되고, 제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제4의 충전 컨테이너 커넥션 조인트,
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 니들 밸브,
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 밸브,
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 조인트 및
    제2의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 충전 컨테이너 격리 밸브를 포함하고;
    충전 컨테이너 화학약품 전달 도관은
    제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 제어 밸브,
    밀폐된 컨테이너를 제거하기 위하여 변형되고, 제3의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 조인트,
    제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 충전 컨테이너 격리 밸브,
    제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 제4의 충전 컨테이너 격리 밸브,
    제3의 충전 컨테이너 커넥션 조인트 및 밀폐된 충전 컨테이너 사이를 연결하는 포트 및
    밀폐된 충전 컨테이너로 연장된 제1의 단부를 갖고 충전 컨테이너 화학약품 전달 도관과 직렬인 딥튜브를 포함하며;
    조립식 가압 가스 블록은
    (i) 불활성 가스를 수용하도록 변형된 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트,
    (ii) 1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관,
    (iii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 격리 밸브,
    (iv) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 조절기,
    (v) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 필터,
    (vi) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 제1의 가압 가스 블록 압력 센서 및
    (vii) 제1의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 가스 도관 사이를 연결하는 가압 가스 블록 체크 밸브를 포함하고;
    1 이상의 가압 가스 블록 가스 도관은
    일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트,
    제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 체크 밸브 사이를 임의로 연결하는 가압 가스 블록 니들 밸브,
    제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 가압 가스 블록 제어 밸브 및
    제2의 가압 가스 블록 커넥션 조인트 및 가압 가스 블록 체크 밸브 사이를 연결하는 제2의 가압 가스 블록 압력 센서를 포함하고;
    조립식 정화 가스 블록은
    (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 정화 가스 커넥션 조인트,
    (ii) 1 이상의 정화 가스 도관,
    (iii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 격리 밸브,
    (iv) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 압력 조절기,
    (v) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 필터,
    (vi) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 제어 밸브,
    (vii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 체크 밸브,
    (viii) 제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 정화 가스 도관 사이를 연결하는 정화 가스 압력 센서 및
    (ix) 정화 가스 제어 밸브의 주위에서 연결된 정화 가스 흐름 제한 오리피스를 포함하고;
    정화 가스 도관은
    제2의 정화 가스 일체형 블록에 연결되도록 변형된 1 이상의 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 및
    제1의 정화 가스 커넥션 조인트 및 제2의 정화 가스 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 정화 가스 제어 밸브를 포함하고;
    조립식 폐기물 회수 블록은
    (i) 1 이상의 일체형 블록으로부터 폐기물을 수용하도록 변형된 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너,
    (iii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 회수 유입,
    (iv) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트,
    (v) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 및 제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 사이를 연결하는 폐기물 배기,
    (vi) 폐기물 유입 및 폐기물 배기 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 제어 밸브 및
    (vii) 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 폐기물 회수 레벨 표시기를 포함하고;
    폐기물 유입은
    제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 제어 밸브,
    제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및
    제1의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 폐기물 회수 격리 밸브를 포함하며;
    폐기물 배기는
    제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 격리 밸브,
    제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 폐기물 회수 컨테이너 조인트 및
    제2의 폐기물 회수 커넥션 조인트 및 밀폐된 폐기물 회수 컨테이너 사이를 연결하는 제3의 폐기물 회수 제어 밸브를 포함하며;
    조립식 진공 블록은
    (i) 진공 발생기,
    (ii) 진공 발생기와 직렬인 제1의 진공 블록 제어 밸브 및
    (iii) 진공을 제공하도록 변형되고 진공 발생기와 직렬인 1 이상의 진공 도관을 포함하며;
    진공 도관은
    1 이상의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 진공 블록 커넥션 조인트 및
    커넥션 조인트 및 진공 발생기 사이를 연결하는 제2의 진공 블록 제어 밸브를 포함하며;
    조립식 용제 공급 블록은
    (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 용제 공급 커넥션 조인트,
    (ii) 밀폐된 용제 공급 컨테이너,
    (iii) 제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 가압 용제 공급 가스 유입,
    (iv) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 용제 공급 커넥션 조인트,
    (v) 제2의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 용제 공급 전달 출구,
    (vi) 용제 공급 가압 가스 유입 및 용제 공급 전달 출구 사이를 연결하는 용제 공급 제어 밸브 및
    (vii) 밀폐된 컨테이너 중의 레벨을 모니터하기 위한 용제 공급 레벨 표시기를 포함하고;
    가압 가스 유입은
    제1의 커넥션 조인트 및 밀폐된 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 컨테이너 조인트,
    제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제2의 제어 용제 공급 밸브 및
    제1의 용제 공급 커넥션 조인트 및 밀폐된 용제 공급 컨테이너 사이를 연결하는 제1의 용제 공급 격리 밸브를 포함하고;
    용제 공급 전달 출구는
    밀폐된 컨테이너로 연장된 1 개의 단부를 갖는 용제 공급 딥튜브,
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 격리 밸브,
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 용제 공급 컨테이너 조인트,
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제3의 용제 공급 제어 밸브 및
    밀폐된 용제 공급 컨테이너 및 제2의 용제 공급 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제4의 용제 공급 제어 밸브를 포함하고;
    조립식 가스 제거 블록은
    (i) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트,
    (ii) 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트,
    (iii) 제1의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하고, 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거블록 화학약품 유입 도관,
    (iv) 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 막 카트리지,
    (v) 제2의 가스 제거 블록 격리 밸브를 포함하며 제1의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 화학약품 출구 도관 및
    (vi) 막 카트리지 및 제2의 가스 제거 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 가스 제거 블록 제어 밸브를 포함하고;
    조립식 여과 블록은
    (i) 제1의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제1의 여과 블록 커넥션 조인트,
    (ii) 제2의 일체형 블록에 연결되도록 변형된 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 및
    (iii) 제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 1 이상의 여과 도관을 포함하고,
    여과 도관은
    제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제1의 여과 블록 격리 밸브,
    제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 필터 및
    제1의 여과 블록 커넥션 조인트 및 제2의 여과 블록 커넥션 조인트 사이를 연결하는 제2의 여과 블록 격리 밸브를 포함하는 화학약품 전달 시스템.
  23. 제22항에 있어서, 사용 지점은 기화기인 것인 화학약품 전달 시스템.
  24. 제22항에 있어서, 사용 지점은 제조 공정 도구인 것인 화학약품 전달 시스템.
  25. 제22항에 있어서, 사용 지점은 전자제품 제조 도구인 것인 화학약품 전달 시스템.
  26. 제22항에 있어서, 사용 지점은 반도체 공정 도구인 것인 화학약품 전달 시스템.
  27. (i) 초고순도 화학약품을 포함하는 화학약품 컨테이너 블록을 화학약품 전달 블록에 연결하고 및
    (ii) 초고순도 화학약품을 사용 지점에 투입하는 것을 포함하는
    초고순도 화학약품을 사용 지점에 전달하는 방법.
  28. 제27항에 있어서, 1 이상의 일체형 블록을 화학약품 전달 시스템에 연결시키는 것을 더 포함하는 것인 방법.
  29. 제27항에 있어서, 일체형 블록은 충전 컨테이너 블록, 가압 가스 블록, 정화 가스 블록, 폐기물 회수 블록, 진공 블록, 용제 공급 블록, 가스 제거 블록, 제어 블록 또는 여과 블록으로부터 선택되는 것인 방법.
  30. 제27항에 있어서, 일체형 블록은 용제 공급 블록 또는 충전 컨테이너 블록이며, 초고순도 화학약품을 사용 지점에 투입하기 이전에 용제를 일체형 블록에 전달하는 단계를 더 포함하는 것인 방법.
  31. 제27항에 있어서, 용제는 이소프로판올, 테트라히드로푸란, 이소프로판올/테트라히드로푸란 혼합물, 테트라글림, 크실렌, 톨루엔, 부틸 아세테이트, 벤조니트릴, 에탄올, 헥산, 옥탄 또는 이의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것인 방법.
  32. 제27항에 있어서, 사용 지점은 기화기인 것인 방법.
  33. 제27항에 있어서, 사용 지점은 제조 공정 도구인 것인 방법.
  34. 제27항에 있어서, 사용 지점은 전자제품 제조 도구인 것인 방법.
  35. 제27항에 있어서, 사용 지점은 광섬유 제조 도구인 것인 방법.
  36. 제27항에 있어서, 사용 지점은 반도체 공정 도구인 것인 방법.
  37. 제27항에 있어서, 초고순도 화학약품은 테트라메틸실란, 디메틸-디메톡시-실란, 구리(II)비스(헥사플루오로아세틸아세토네이트), 구리(II)헥사플루오로아세틸아세토네이트 테트라메틸비닐실란, 트리이소부틸알루미늄, 트리메틸아미날란, 트리에틸아미날란, 디메틸에틸아미날란, 비스(트리메틸아민)알란, 디메틸알루미늄하이드리드, 티탄 테트라클로라이드, 테트라키스디메틸아미노 티탄 (TDMAT), 테트라키스디에틸아미노 탄탈륨 (Ta(Net)4), 펜타-키스디에틸아미노 탄탈륨 (Ta(Net)5), 탄탈륨 펜타클로라이드 (TaCl5), 텅스텐 헥소카르보닐 (W(CO)6), 비스디피발로일메타나토 바륨 (Ba(DPM)2) 비스디피발로일메타나토 스트론튬 (Sr(DPM)2), 비스-이소프로폭시 비스디피발로일메타나토 티탄 Ti(I-OC3H7)2DPM2, 트리메틸알루미늄 (TMA), 테트라키스디메틸아미노 지르코늄 (Zr(NME)4), 테트라키스디에틸아미노 지르코늄 (Zr(Net)4), 지르코늄 t-부톡시드 (Zr(t-OBu)4, 테트라키스디에틸아미노 하프늄 (Hf(Net)4), 테트라키스디메틸아미노 하프늄 (Hf(NME)4), 하프늄 t-부톡시드 (Hf(t-Obu)4), 트리헥사플루오로아세틸아세테이트 백금 (Pt(Hfa)3), 비스(에틸시클로펜타디에닐) 루테늄 (EtCp2Ru), 아세틸아세테이트 이리듐 (Ir(Acac)), 디피발로일메탄화합물, 알콕시드 화합물, 비스디피발로일메타나토 납 (Pb(DPM)2) 비스디피발로일메타나토 지르코늄 (Zr(DPM)4), 트리메틸 비스무트 (BiMe3), 테트라에틸오르토실리케이트 (TEOS), 탄탈륨 펜타에톡시드 (Ta(OEt)5), 테트라메틸시클로테트라실록산 (TMCTS), 비스(t-부틸아미노)실란 (BTBAS), 트리메틸포스페이트 (TMPO), 트리메틸보레이트 (TMB) 또는 트리메틸포스파이트 (TMPI)로부터 선택된 것인 방법.
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