TW552372B - Integral blocks, chemical delivery systems and methods for delivering an ultrapure chemical - Google Patents

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A7 552372 _____B7__ 五、發明說明（/ ) 本齊明的領域 本發明相關於用於從一個化學物品容器輸送超純淨化 學物品到一個使用位置點之整體方塊、化學物品的輸送系 統與方法。尤其是本發明係相關於用於將超純淨化學物品 輸送到一個像是半導體工具以及光纖製造製程工具之製造 製程工具的化學物品之輸送系統與方法。 本發明的背景 化學前驅物係被用來在積體電路以及光纖產品的製造 過程中增長薄膜。這些化學前驅物通常具有超高純淨的程 度並且係以化學物品輸送系統從化學物品容器被饋送到一 個使用的位置點。如果輸送管線以及那些連接點沒有適當 地淸洗以及淸潔’化學物品很容易被污染。污染物係包括 了周圍的空氣、微粒物質、以及濕氣。污染物也可能包括 有化學前驅物與環境空氣或是濕氣的反應物。當輸送管線 沒有被適當地保護時，該污染物可能會從周圍的大氣擴散 到輸送管線中。任何的污染物都將會嚴重地惡化產品的生 產狀況。舉例而言，微粒雜質可能會改變沉積薄膜的介電 性質並且縮短導電連接。 大部份的化學前驅物係在化學汽相沉積之前以液相被 輸送到製造工具。某些化學物品本身在室溫的狀態下爲液 相的，像是丁 E〇S (tetraethyl ortho s 1 1 i c a t e )或是T i C 1 4。某些化學物品在低溫 的狀態下爲固相的並且再升高溫度的狀態下爲液相的，像 是PET(Tantalum Pentaethoxi ___5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） " " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

--------訂---------線J A7 552372 B7 — ------- 五、發明說明（：！） de)、以及TDMAT(tetrakis — dime t h y 1 a m i η o t i tanium)。通常，處於 固相的化學物品（像是B S T，鋇/緦/鈦酸鹽）在輸送 之前係被溶解於一種適當的溶劑之中。爲了要穩定地並且 連續地輸送化學物品，通常會使用一種串聯或是並聯的雙 容器來輸送。在一個容器仍然在使用的同時，另外一個空 的容器可以替代以一個充滿的容器。在替換一個空容器的 過程之中，必須淸除殘留在管線以及接合部內部的化學物 品以防止殘留的化學物品污染系統、或是噴灑到該系統之 中。因爲這些這些化學物品經常是劇毒的、或是呈現出著 火的危險或爆炸的風險，亦應該限制對於它們的暴露。另 一個淸除殘留化學物品的原因是大部份以上所述之化學前 驅物的殘餘物將會與空氣與濕氣起反應。該反應物將會污 染輸送系統並且更進一步地污染要被輸送的化學物品。某 些化學物品亦會與空氣與濕氣起反應而產生非常不容易去 除的固體。在這種情況下，輸送管線可能會被堵塞住，而 造成輸送的中斷。 因此，當化學物品容器以及輸送管線的接合部被切斷 連接時，該管線必須受到保護來避免環境污染物的入侵。 用以保護管線避免受到此種入侵的方法是將一種惰性氣體 流出破裂的接合部來塡滿開口。因此，堵塞用的惰性氣體 必須被提供到該輸送系統。在更換化學物品的容器之後， 輸送管線亦必須要以惰性氣體、真空、以及在某些情況中 替代地以液態溶劑被淸潔與洗淨，用以確保包括接合部與 _____6___ 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱1 -------------%------- 丨訂---------線丨------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 552372 五、發明說明（》） 化學物品容器的輸送管線沒有污染物。 化學物品通常是藉著經由一個歧管以一種惰性氣體加 壓該化學物品而被輸送。當需要淸洗氣體以及液態溶劑來 淸洗系統時，一般會使用一種不同設計的歧管。根據化學 物品的性質，輸送系統的設計以及運作係會改變。操作者 必須處理各種具有不同設計與操作程序的輸送系統。因此 ，對於製造廠來說，對於多種的化學前驅物使用此種輸送 系統並不是非常具有成本效益。再者，可能無法適當地配 置或是可能無法完全地忽略某些必要的功能’像是在中斷 從該輸送系統之歧管到一個化學物品容器的連接之後流出 氣體用於塡滿一個開放的接合部。 藉著以並聯配置的雙重或是多重的容器，替代的使用 二個或是更多個容器確實能夠符合製程工具的化學需求。 已經了解到的是，該輸送歧管以及相應的控制裝置係較單 獨之可改變的容器系統更爲複雜。其亦需要一種用於供應 洗淨氣體與溶劑的多重配置方式。因此，此種輸送系統需 要更多像是閥以及連接配件的元件。此外，由於在更換空 的容器時需要中斷更多的接合部，該輸送系統污染的機會 係會增加。 如果化學物品沒有被過濾的話，該化學物品可能會具 有相當高濃度的顆粒。這些顆粒可能是源於化學製造過程 、化學封裝、以及運輸。顆粒係爲污染物並且必須從化學 物品被除去，以便於維持化學物品輸送系統適當地作用， 並且在最後會產生高產量的I p以及光纖製造產品。雖然 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公餐） ---------------------訂丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線丨# 552372 A7 ----^---- 五、發明說明（各） 會需要從化學物品移除顆粒，由於缺乏適當的設計來將一 個過濾裝置整合於一個化學前驅物的輸送系統中，目前並 沒有用於此目的之令人滿意的方法。 在大多數的化學物品輸送系統中，像是氦氣之一種相 當昂貴的惰性氣體係被用來當做加壓氣體。在許多現有的 化學物品輸送系統中，在該歧管連接部份內部殘留的化學 物品係以與加壓氣體相同的氣體源清洗。由於該加壓氣體 非常昂貴，使用此種氣體於洗淨目的將會增加操作成本。 而且，氮氣洩漏至周圍的大氣中可能會招致其他操作程序 的操作考量。舉例而言，化學物品輸送系統或甚至是其他 材料的供應系統必須時常檢查氦氣的洩漏。一種來自於週 遭環境之非預期的高濃度化學物品系統洗淨將會引起漏檢 查操作的失誤。 據此，習知技術所需要的是爲了從化學物品容器輸送 化學前驅物到一個使用位置點而設計的一種整體方塊以及 化學物品輸送系統。該使用位置點較佳地是一種用於化學 物品蒸氣薄膜沉積的工具。除此之外，該化學物品輸送系 統將會具有輕易地增加其他功能方塊的彈性。因此，所需 要的是可以被加入基本輸送系統以用於各種化學物品輸送 所需要的整體方塊。本發明係解決了此種需求。 本發明之槪要 本發行係相關於用於化學物品之輸送的整體方塊、用 於化學物品之輸送的方法、以及萬用的或是基本的化學物 品輸送系統，其具有用於輸送不同化學物品與用於淸潔目 ________8______ 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -n n βϋ I n n 一OJ· n ϋ an ϋ I— flu n I ϋ ‘ A7 552372 ___B7_ 五、發明說明（i·) 的之各種整體方塊的系統。較佳地是，本發明提供了用於 從化學物品容器輸送化學前驅物到一個使用位置點（像是 用於化學蒸氣薄膜沉積的工具），同時具有輕易地增加其 他功能方塊之彈性的化學物品輸送系統。 尤其是，本發明係相關於一種用以供應淸洗之溶劑溶 劑供應方塊；一種用以供氣淸洗之氣體的淸洗氣體方塊； 一種用以從化學物品輸送系統處接收化學廢棄物的廢棄物 回收方塊；一種用以去除溶解於化學物品之中的氣體以確 保化學物品之流動與品質的去除氣體方塊；一種用以從化 學物品去除顆粒的過濾方塊；以及一種含有所需之電腦系 統或是P L C、用以接收與發送自動控制訊號的控制方塊 。每個方塊都可以被加入基本的輸送系統中，用於各種化 學物品輸送的需求。 藉著此種系統，譬如用於高蒸氣壓力之化學物品的化 學物品輸送系統可以藉著一種低成本的基本系統而達成。 具有像是溶劑沖刷淸潔之任何特殊需求的化學物品輸送可 以藉著被加入溶劑供應方塊的基本輸送系統來完成。可以 加入用於其他目的之當作基礎系統補充物件的許多其他整 體方塊，像是廢棄化學物品的回收、化學物品的過濾、去 除氣體等等。任何不同整體方塊的加入可能不會改變基本 系統以及其他功能方塊的整體設計。個別的方塊可以獨立 地作用以用於化學物品輸送的需求。 在一個觀點中，本發明係相關於一種可以被連接到化 學物品輸送系統的整體方塊，該化學物品輸送系統係用於 __—_^_____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Γ 请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) % 訂---------線- A7 552372 _B7_ 五、發明說明（6 ) 在半導體或是光纖製造製程中從一個液體化學物品容器輸 送一種超純淨的化學物品到一個使用位置點，其中，前述 的整體方塊是一種用於容納一種超純淨化學物品的化學物 品容器方塊、一種用於再裝塡一容器的再裝塡容器方塊、 一種用於提供壓力的加壓氣體方塊、一種用於淸洗一種化 學物品或是污染物的淸洗氣體方塊、一種用於廢棄物回收 的廢棄物回收方塊、一種用於產生真空的真空方塊、一種 用於供應溶劑的溶劑供應方塊、一種用於去除化學物品之 氣體的去除氣體方塊、一種用於過濾化學物品的過瀘方塊 、或是以上方塊之組合，其中，該整體方塊係預先被製作 好。 該化學物品容器方塊係包含有：（1)一個第一化學 物品容器連接接合部，其係適用於被接附到一個加壓氣體 源；（i i ) 一個密封的化學物品容器；（1 1 1 ) 一個 第二化學物品容器連接接合部，其係適用於被接附到一個 整體方塊；（i V ) —個化學物品容器入口導管，其係被 連接於該第一化學物品容器連接接合部與該密封的化學物 品容器之間，以輸送一種加壓氣體到該密封的化學物品容 器；（v ) —個化學物品容器輸送導管，其係被連接於該 密封的化學物品容器與該第二化學物品容器連接接合部之 間，用以輸送一種超純淨的化學物品到一個使用位置點或 一個整體方塊；（v 1 ) —個化學物品容器旁通導管，其 係被連接於該化學物品容器入口導管與該化學物品容器輸 送導管之間；（v i i )選擇性地，一個化學物品容器排 _ _10_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) n n n^eJf n ϋ ϋ n 線丨· A7 552372 ______B7______ 五、發明說明（7 ) 放導管，其與該化學物品容器入口導管或是該化學物品容 器輸送導管排成一列地相連接；以及（V i i 1 ) —個化 學物品容器位準指示器，用於監測在該密封化學物品容器 之中的位準。該化學物品容器入口導管包含有··一個適用 於移除該被密封之容器的第一化學物品容器接合部以及一 個連接於該第一連接接合部與該密封容器之間的第一化學 物品容器隔離閥，並且其中，該化學物品容器輸送導管包 含有：一個化學物品容器浸沒管，其第一端部係延伸進入 該密封化學物品容器；一個第二化學物品容器隔離閥，其 係連接於該第二化學物品容器連接接合部與該密封的化學 物品容器之間；以及一個適用於移除該密封化學物品容器 的第二化學物品容器接合部，其係被連接於該第二化學物 品容器連接接合部與該密封的化學物品容器之間。該化學 物品容器排放導管包含有：一個第五化學物品容器連接接 合部；以及一個化學物品容器控制閥，其係與該第五化學 物品容器連接接合部以及該化學物品容器入口導管排成一 列地相連接、或是與該化學物品容器輸送導管排成一列地 相連接。 該再裝塡容器方塊包含有：（i)一個第一再裝塡容 器連接接合部，其係適用於被接附到一個整體方塊；（i i ) 一個密封的再裝塡容器；（i i i ) 一個再裝塡容器 化學物品入口導管，其係被連接於該第一再裝塡容器連接 接合部與該密封的再裝塡容器之間，以輸送一種超純淨的 化學物品到該密封的再裝塡容器；（i v ) —個第二再裝 __11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ilo x 297公f ^ H ϋ· Hi n ϋ ^^1 ϋ · ϋ n n ϋ n · -ϋ tmme —ϋ tmt tamw ϋι ϋ I VI ϋ n n· n n Bn ϋ— i I— n n· II ϋ I— in κ «ϋ n HI an ϋ 11 · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 _____B7 —_—___ 五、發明說明（？） 塡容器連接接合部，其適用於被接附至一個整體方塊；（ V ) —個氣體導管，其係被連接於該第二再裝塡容器連接 接合部與該密封的再裝塡容器之間，用以輸送一種加壓氣 體到該密封的再裝塡容器；（v i ) —個第Η再裝塡容器 連接接合部，其係適用於被接附到一個整體方塊；（vi i ) 一個再裝塡容器化學物品輸送導管，其係被連接於該 第三再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間， 用以輸送化學物品到一個使用位置點或是一個整體方塊； 以及（v i i i ) —個再裝塡容器位準監測器，用於監測 在該密封的再裝塡容器中之位準。該再裝塡容器化學物品 入口導管包含有：一個被連接於該第一再裝塡容器連接接 合部與該密封再裝塡容器之間的第一再裝塡容器控制閥； 一個被連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封再裝 塡容器之間的第一再裝塡容器接合部；以及一個連接於該 第一再裝塡容器連接接合部與該密封再裝塡容器之間的第 一再裝塡容器隔離閥。該氣體導管包含有：一個適用於被 接附到一個整體方塊的第四再裝塡容器連接接合部，其係 被連接於該第二再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間；一個針狀閥，其係被連接於該第二再裝塡容器 連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；一個第二控制閥 ’其係被連接於該第二再裝塡容器連接接合部與該密封的 再裝塡容器之間；一個第二再裝塡容器接合部，其係被連 接於該第二再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器 之間；以及一個第二再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該 _______ 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規瘦（210^297公g ' ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I I I I I I ---------I j A7 552372 ------------ 五、發明說明（7 ) 第二再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間。 該再裝塡容器化學物品輸送導管包含有：〜個第三再裝塡 容器控制閥，其係被連接於該第三連接接合部與該密封的 容器之間；一個適用於移除該密封容器的第三再裝塡容器 接合部’其係被連接於該第三連接接合部與該密封的容器 之間；一個第三再裝塡容器隔離閥，其係被連接在該第三 再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；一個 第四再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該第三再裝塡容器 連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；一個汽門，其係 被連接於該第三再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間；以及一個帶有延伸進入該密封再裝塡容器之第 一端部的浸沒管，並且其係與該再裝塡容器化學物品輸送 導管排成一列。 該加壓氣體方塊包含有：（i)〜個第一加壓氣體方 塊連接接合部，其係適用於接收一種惰性氣體；（i i ) 至少一個加壓氣體方塊氣體導管；（i i i ) 一個加壓氣 體方塊隔離閥，其係被連接於前述的第一加壓氣體方塊連 接接合部與前述的加壓氣體方塊氣體導管之間；（i V ) 一個加壓氣體方塊調節器，其係被連接於前述的第一加壓 氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊氣體導管之間 ;(V ) —個加壓氣體方塊過濾器，其係被連接於前述的 第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊氣體 導管之間；（v i ) —個第一加壓氣體方塊壓力感測器’ 其被連接於前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的 _____13 —______— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 _B7_ 五、發明說明（Λ：) 加壓氣體方塊氣體導管之間；以及（V i 1 ) —個加壓氣 體方塊止回閥，其係被連接於前述的第一加壓氣體方塊連 接接合部與前述的加壓氣體方塊氣體導管之間。該至少一 個的加壓氣體方塊氣體導管係包含有：一個第二加壓氣體 方塊連接接合部，其係適用於被接附至一個整體方塊；一 個加壓氣體方塊針狀閥，其係選擇性地被連接於前述的第 二加壓氣體方塊連接接合部與前述的止回閥之間；一個加 壓氣體方塊控制閥，其係被連接於前述的第二加壓氣體方 塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊止回閥之間；以及一 個第二加壓氣體方塊壓力感測器，其係被連接於前述的第 二加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊止回閥 之間。 該淸洗氣體方塊係包含有：（1)一個第一淸洗氣體 連接接合部，其係適用於被連接至一個第一整體方塊；（ i i )至少一個淸洗氣體導管；（i 1 i ) 一個淸洗氣體 隔離閥，其係被連接於該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗 氣體導管之間；（1 v ) —個壓力調節器，其係被連接於 該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間；（V) 一個淸洗氣體過濾器，其係被連接於該第一淸洗氣體連接 接合部與淸洗氣體導管之間；（v1)—個淸洗氣體控制 閥，其被連接於該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導 管之間；（v i 1 ) —個淸洗氣體止回閥，其係被連接於 該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間；（V1 1 1 ) 一個淸洗氣體壓力感測器，其被連接於該第一淸洗 _14_ 衣紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公爱1 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----- 552372 B7 五、發明說明（ί丨） 氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間；以及（1X)—個 淸洗氣體流動限制口，其係被連接於該淸洗氣體控制閥附 近。該淸洗氣體導管包含有：至少一個適用於被連接到一 個第二淸洗氣體整體方塊的第二淸洗氣體連接接合部以及 至少一個淸洗氣體控制閥，該控制閥係被連接於該第一淸 洗氣體連接接合部與該第二淸洗氣體連接接合部之間。 該廢棄物回收方塊包含有：（i)一個第一廢棄物回 收連接接合部，其係適用於從至少一個整體方塊接收廢棄 物；（i 1 ) 一個密封的廢棄物回收容器；（1 i 1 ) 一 個廢棄物回收入口，其係被連接於該密封的廢棄物回收容 器與該第一廢棄物回收連接接合部之間；（i v ) —個第 二廢棄物回收容器連接接合部，其適用於被接附至一個整 體方塊；（v ) —個廢棄物排放口，其被連接於該密封的 廢棄物回收容器與該第二廢棄物回收容器連接接合部之間 ;(v i ) —個第一廢棄物回收控制閥，其係被連接於該 廢棄物入口與該廢棄物排出口之間；以及（v i i ) —個 廢棄物回收位準指示器，用於監測在該密封的廢棄物回收 容器中的位準。該廢棄物入口包含有：一個第二廢棄物回 收控制閥，其係被連接於該第一廢棄物回收連接接合部與 該密封的廢棄物回收容器之間；一個第一廢棄物回收容器 接合部，其係被連接於該第一廢棄物回收連接接合部與該 密封的廢棄物回收容器之間；以及一個第一廢棄物回收隔 離閥，其係被連接於該第一廢棄物回收連接接合部與該密 封的廢棄物回收容器之間。該廢棄物排放口係包含有：一 ___15 ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ n n n n n )：OJf n n I I n n 1 I I ϋ n n n n n -_ϋ n n n n n n n ϋ n -ϋ ϋ n n -1 n _ A7 552372 _B7_ 五、發明說明（A ) 個第二廢棄物回收隔離閥，其係被連接於該第二廢棄物回 收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間；一個第二 廢棄物回收容器接合部，其係被連接於該第二廢棄物回收 連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間；以及一個第 三廢棄物回收控制閥，其係被連接於該第二廢棄物回收連 接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間。 該真空方塊包含有：（i ) 一個真空產生器；（1 i )一個第一真空方塊控制閥，其與該真空產生器排成一列 :以及（i i i )至少一個的真空導管，其係適用於提供 真空並且與該真空產生器排成一列。該真空導管包含有一 個真空方塊連接接合部，其係適用於被接附到至少一個整 體方塊；以及一個第二真空方塊控制閥，其係被連接於該 連接接合部與該真空產生器之間。 該溶劑供應方塊係包含有：（i ) 一個第一溶劑供應 連接接合部，其係適用於連接到一個第一整體方塊；（i i ) 一個密封的溶劑供應容器；（i i i ) 一個加壓溶劑 供應氣體入口，其係被連接於該第一溶劑供應連接接合部 與該密封的容器之間；（i v ) —個第二溶劑供應連接接 合部，其適用於被連接到一個第二整體方塊；（v)—個 溶劑供應輸送出口，其係被連接於該第二連接接合部與該 密封的容器之間；（v 1 ) —個溶劑供應控制閥，其係被 連接於該溶劑供應加壓氣體入口與該溶劑供應輸送出口之 間；以及（v i i ) —個溶劑供應位準指示器，用於監測 在該密封容器中的位準。該加壓氣體入口包含有：一個第 _\6___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -— — — — II I ^ . I — — — — — — — I 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 552372 A7 _B7____ 五、發明說明（f)) 一溶劑供應容器接合部，其係被連接於該第一連接接合部 與該密封的容器之間；一個第二溶劑供應控制閥，其係被 連接於該第一溶劑供應連接接合部與該密封的溶劑供應容 器之間；以及一個第一溶劑供應隔離閥，其係被連接於該 第一溶劑供應連接接合部與該密封的溶劑供應容器之間。 該溶劑供應輸送出口包含有：一個溶劑供應浸沒管，其具 有一個延伸進入該密封容器中的端部；一個第二溶劑供應 隔離閥，其係被連接於該密封的溶劑供應容器與該第二溶 劑供應連接接合部之間；一個第二溶劑供應容器接合部， 其係被連接於該密封的溶劑供應容器與該第二溶劑供應連 接接合部之間；一個第三溶劑供應控制閥，其係被連接於 該密封的溶劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間 :以及一個第四溶劑供應控制閥，其係被連接於該密封的 溶劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間。 該去除氣體方塊包含有：（1 ) 一個第一去除氣體方 塊連接接合部，其係適用於被接附到一個整體方塊；（1 i ) 一個第二去除氣體方塊連接接合部。其係適用於被接 附到一個整體方塊；（i i i ) 一個去除氣體方塊化學物 品入口導管，其係包含有一個第一去除氣體方塊隔離閥並 且係被連接於該第一去除氣體方塊連接接合部與該第二去 除氣體方塊連接接合部之間；（i v ) —個薄膜匣，其係 被連接於該第一去除氣體方塊連接接合部與該第二去除氣 體方塊連接接合部之間；（v)—個去除氣體方塊化學物 品出口導管，其係包含有一個第二去除氣體方塊隔離閥並 _17__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) %

I n n 一 δπ I n n I ϋ ϋ ϋ I I —.1 n n I n n ϋ i-i n ϋ n n n n I ϋ n ϋ n n I I I A7 552372 __B7_ __ 五、發明說明（W ) 且係被連接於該第一去除氣體方塊連接接合部與該第二去 除氣體方塊連接接合部之間；以及（V1)一個去除氣體 方塊控制閥，其係被連接於該薄膜匣與該第二去除氣體方 塊連接接合部之間。 該過濾方塊包含有：（1 ) 一個第一過濾方塊連接接 合部，其適用於被連接到一個第一整體方塊；（1 1 ) 一 個第二過濾方塊連接接合部，其適用於被連接到一個第一 整體方塊；以及（i i i )至少一個過濾導管，其係被連 接於該第一過濾方塊連接接合部與該第二過灑方塊連接接 合部之間。該過濾導管包含有：一個第一過濾方塊隔離閥 ，其係被連接於該第一過濾方塊連接接合部與該第二過濾 方塊連接接合部之間；一個過濾器，其係被連接於該第一 過濾方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間； 以及一個第二過濾方塊隔離閥，其係被連接於該第一過濾 方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間。 在本發明的一個較佳實施例之中，該使用位置點係爲 一個蒸發器或是一個用於化學氣相沉積的工具。 在另一個較佳的觀點中，該整體方塊是一個用於輸送 一種超純淨化學物品到一個使用位置點或是一個第二整體 方塊的化學物品容器方塊、一種再裝塡容器方塊，用於從 一個化學物品容器方塊接收化學物品並且輸送化學物品到 達一個使用位置點或是一個第二整體方塊、一種加壓氣體 方塊、一種淸洗氣體方塊、一種廢棄物回收方塊、一種用 於提供真空到一個或是更多個整體方塊的真空方塊、一種 __18 ______ 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------MW (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一fl n t— n n i n I i ϋ I n· -i_i II I in n «n n an 552372 A7 _____B7________ 五、發明說明（C ) 溶劑供應方塊、一種用於去除在一種超純淨化學物品中之 溶解氣體的去除氣體方塊、或是一種用於彳皮一種超純淨化 學物品去除顆粒的過濾方塊。 在本發明另外一個較佳的觀點之中’該整體方塊是一 種加壓氣體方塊，其更包含有一個額外的氣體導管’該導 管包含有：一個第三加壓氣體連接接合部’其係適用於被 接附到一個整體方塊；以及一個第二加壓氣體控制閥，其 係被連接於前述的第二連接接合部與前述的止回閥之間。 在本發明另外一個較佳的觀點之中，該整體方塊是一 種真空方塊，其中該真空產生器是一個文氏管（v e n t u r i )或是一個真空泵。 在又另一個觀點中，本發明係相關於一種用於從一個 化學物品容器輸送超純淨化學物品到一個使用位置點的化 學物品輸送系統，其包含有：（i ) 一個如前文所述的化 學物品容器方塊；（i i ) 一個與該化學物品容器方塊排 成一列的化學物品輸送方塊；以及（i i i ) 一個與該化 學物品容器方塊以及該化學物品輸送方塊排成一列的使用 位置點。該化學物品輸送方塊可以是任何輸送一種化學物 品以及/或溶劑的方塊。較佳的是，該化學物品輸送方塊 是一種如上文所述的加壓氣體方塊。 在一個較佳的觀點之中，該化學物品輸送系統更包含 有至少一個的整體方塊。該至少一個的整體方塊可以選擇 自：一個再裝塡容器方塊、一個加壓氣體方塊 '一個淸洗 氣體方塊、一個廢棄物回收方塊、一個真空方塊、一個溶 ____19_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ' ---------------------訂 i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) !線丨# 552372 A7 ----B7 —_ 五、發明說明（ffe ) 劑供應方塊、一個去除氣體方塊、或是一個過濾方塊。 在一個較佳觀點中，用於該化學物品輸送系統的使用 位置點是一個蒸發器、一個製造製程工具、一個電子製造 工具、一個光纖製造工具、或是一個半導體製程工具。 在一個較佳的觀點中，本發明係相關於一種用於在一 個半導體或是光纖製造製程中，從一個液體化學物品容器 輸送超純淨化學物品到一個使用位置點的化學物品輸送系 統，其包含有一個預先製造之用於容納一種超純淨化學物 品的化學物品容器方塊、一個用於再裝塡一個容器之預先 製造的再裝塡容器方塊、一個用於提供壓力之預先製造的 加壓氣體方塊、一個用於淸洗一種化學物品之預先製造的 淸洗氣體方塊、一個用於廢棄物回收之預先製造的廢棄物 回收方塊、一個用於產生真空之預先製造的真空方塊、一 個用於供應溶劑之預先製造的溶劑供應方塊、~個(用於去 除化學物品之氣體的預先製造之去除氣體方塊、以&_個| 用於過濾化學物品之預先製造的過濾方塊。 該預先製造的化學物品容器方塊包含有：（i } 第一化學物品容器連接接合部，其係適用於被接附到—個 加壓氣體源；（i i ) 一個密封的化學物品容器；（i i i ) 一個第二化學物品容器連接接合部，其係適用於被接 附到一個整體方塊；（i v ) —個化學物品容器入口導管 ，其係被連接於該第一化學物品容器連接接合部與該密封 的化學物品容器之間，以輸送一種加壓氣體到該密封的化 學物品容器；（v ) —個化學物品容器輸送導管，其係被 _20____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------- ------—--— I ^ . ----- — 丨· 丨 丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 _B7 _____ 五、發明說明（ί]) 連接於該密封的化學物品容器與該第二化學物品容器連接 接合部之間，用以輸送一種超純淨的化學物品到一個使用 位置點或一個整體方塊；（V i ) —個化學物品容器旁通 導管，其被連接於該化學物品容器入口導管與該化學物品 容器輸送導管之間；（V i i )選擇性地，一個化學物品 容器排放導管，其與該化學物品容器入口導管或是該化學 物品容器輸送導管排成一列地相連接；以及（V 1 i 1 ) 一個化學物品容器位準指示器，用於監測在該密封化學物 品容器之中的位準。該化學物品容器入口導管包含有：一 個適用於移除該被密封之容器的第一化學物品容器接合部 以及一個被連接於該第一連接接合部與該密封容器之間的 第一化學物品容器隔離閥。該化學物品容器輸送導管包含 有：一個化學物品容器浸沒管，其第一端部係延伸進入該 密封的化學物品容器；一個第二化學物品容器隔離閥’其 係連接於該第二化學物品容器連接接合部與該密封的化學 物品容器之間；以及一個適用於移除該密封化學物品容器 的第二化學物品容器接合部，其係被連接於該第二化學物 品容器連接接合部與該密封的化學物品容器之間。該化學 物品容器排放導管包含有：一個第五化學物品容器連接接 合部；以及一個化學物品容器控制閥，其係與該第五化學 物品容器連接接合部以及該化學物品容器入口導管排成一 列地相連接、或是與該化學物品容器輸送導管排成一列地 相連接。 該預先製造的再裝塡容器方塊包含有：（i)一個第 _21 ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------^---------Alj (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I n ϋ n n ϋ n ϋ n n I I n n ϋ ··1 I -ϋ ϋ ϋ ϋ - 552372 五、發明說明（#) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 一再裝塡容器連接接合部，其係適用於被接附到一個整體 方塊；（1 i ) 一個密封的再裝塡容器；（i i i ) 一個 再裝塡容器化學物品入口導管，其係被連接於該第一再裝 塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間，以輸送一 種超純淨的化學物品到該密封的再裝塡容器；（i V ) 一 個弟一再裝塡谷益連接接合部，其適用於被接附至一'個整 體方塊；（V ) —個氣體導管，其係被連接於該第二再裝 塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間，用以輸送 ~種加壓氣體到該密封的再裝塡容器；（v i ) 一個第三 再裝塡容器連接接合部，其係適用於被接附到一個整體方 塊；（V i i ) —個再裝塡容器化學物品輸送導管，其係 被連接於該第三再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間，用以輸送化學物品到一個使用位置點或是一個 整體方塊；以及（v i i i ) —個再裝塡容器位準監測器 ，用於監測在該密封的再裝塡容器中之位準。該再裝塡容 器化學物品入口導管包含有··一個被連接於該第一再裝塡 容器連接接合部與該密封再裝塡容器之間的第一再裝塡容 器控制閥；一個被連接於該第一再裝塡容器連接接合部與 該密封再裝塡容器之間的第一再裝塡容器接合部；以及一 個連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封再裝塡容 器之間的第一再裝塡容器隔離閥。該氣體導管係包含有： 一個適用於被接附到一個整體方塊的第四再裝塡容器連接 接合部’其係被連接於該第二再裝塡容器連接接合部與該 密封的再裝塡容器之間；一個針狀閥，其係被連接於該第 22 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐） ~ " A7 552372 _____B7____ 五、發明說明（θ ) 一再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；一 個第二控制閥，其係被連接於該第二再裝塡容器連接接合 部與該密封的再裝塡容器之間；一個第二再裝塡容器接合 部，其係被連接於該第二再裝塡容器連接接合部與該密封 的再裝塡谷器之間；以及一個第二再裝塡容器隔離閥，其 係被連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝 塡容器之間。該再裝塡容器化學物品輸送導管包含有：一 個第三再裝塡容器控制閥，其係被連接於該第三連接接合 部與該密封的容器之間；一個適用於移除該被密封容器的 第三再裝塡容器接合部，其係被連接於該第三連接接合部 與該密封的容器之間；一個第三再裝塡容器隔離閥，其係 被連接在該第三再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間；一個第四再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該 第三再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個汽門’其係被連接於該第三再裝塡容器連接接合部與 該密封的再裝塡容器之間；以及一個帶有延伸進入該密封 再裝塡容器之第一端部的浸沒管，並且其係與該再裝塡容 器化學物品輸送導管排成一列。 該預先製造的加壓氣體方塊包含有：（i ) 一個第一 加壓氣體方塊連接接合部，其係適用於接收一種惰性氣體 ;(i i )至少一個加壓氣體方塊氣體導管；（i i i ) 一個加壓氣體方塊隔離閥，其係被連接於前述的第一加壓 氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊氣體導管之間 ;(i v ) —個加壓氣體方塊調節器，其係被連接於前述 ________23_______ 象紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-·ϋ 1· ϋ I n n^OJI n I n n n I n I ϋ n n n n —i ai n n n ϋ ·ϋ n 1 n 1 n ϋ n n ϋ n ϋ I B7 552372 五、發明說明（/ ) 的第-加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊氣 體導管之間；（v ) -個加壓氣體方塊過濾器’其係被f 接於前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與則述的加壓氣 體方塊氣體導管之間；（V1)一個第一加壓氣體方塊壓 力感測器，其被連接於前述的第一加壓氣體方塊連接接合 部與前述的加壓氣體方塊氣體導管之間；以及（v 1 i ) 一個加壓氣體方塊止回閥，其係被連接於則述的第一加壓 氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊氣體導管之間 。該至少一個的加壓氣體方塊氣體導管係包含有：一個桌 二加壓氣體方塊連接接合部，其係適用於被接附至一個整 體方塊；一個加壓氣體方塊針狀閥’其係選擇性地被連接 於前述的第二加壓氣體方塊連接接合部與前述的止回閥之 間；一個加壓氣體方塊控制閥’其係被連接於前述的第二 加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊止回閥之 間；以及一個第二加壓氣體方塊壓力感測器’其係被連接 於前述的第二加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體 方塊止回閥之間。 該預先製造的淸洗氣體方塊包含有：（i)一個第一 淸洗氣體連接接合部，其係適用於被連接至一個第一整體 方塊；（i i )至少一個淸洗氣體導管；（i i i ) 一個 淸洗氣體隔離閥，其係被連接於該第一淸洗氣體連接接合 部與淸洗氣體導管之間；（i v ) —個壓力調節器，其被 連接於該第〜淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (v ) —個淸洗氣體過濾器，其係被連接於該第一淸洗氣 ______24 ____一 1紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公Θ ' H ϋ n n n n a— ^ ^ · n 1« ϋ I ϋ an n I ϋ ϋ n n n n «ϋ ΛΜΙ n a— ·ϋ ϋ in n n ϋ i n -ϋ ϋ n -ϋ ! I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 _B7_ 五、發明說明（沁） 體連接接合部與淸洗氣體導管之間；（V i ) —個淸洗氣 體控制閥，其被連接於該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗 氣體導管之間；（V i 1 ) —個淸洗氣體止回閥，其係被 連接於該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (V i i ) —個淸洗氣體壓力感測器，其係被連接於該 第一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間；以及（1 X) —個淸洗氣體流動限制口，其係被連接於該淸洗氣體 控制閥附近。該淸洗氣體導管包含有：至少一個適用於被 連接到一個第二淸洗氣體整體方塊的第二淸洗氣體連接接 合部；以及至少一個淸洗氣體控制閥，該控制閥係被連接 於該第一淸洗氣體連接接合部與該第二淸洗氣體連接接合 部之間。 該預先製造的廢棄物回收方塊包含有：（i ) 一個第 一廢棄物回收連接接合部，其適用於從至少一個整體方塊 接收廢棄物；（i i ) 一個被密封的廢棄物回收容器；（ i i i ) 一個廢棄物回收入口，其係被連接於該密封的廢 棄物回收容器與該第一廢棄物回收連接接合部之間；（1 v ) —個第二廢棄物回收容器連接接合部，其適用於被接 附至一個整體方塊；（v ) —個廢棄物排放口，其被連接 於該密封的廢棄物回收容器與該第二廢棄物回收容器連接 接合部之間；（v i ) —個第一廢棄物回收控制閥，其係 被連接於該廢棄物入口與該廢棄物排出口之間；以及（v 1 1 ) 一個廢棄物回收位準指示器，用於監測在該密封的 廢棄物回收容器中的位準。該廢棄物入口包含有：一個第 ___25_ 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------訂---------線J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 B7__ 五、發明說明（A ) 二廢棄物回收控制閥，其係被連接於該第一廢棄物回收連 接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間；一個第一廢棄 物回收容器接合部，其係被連接於該第一廢棄物回收連接 接合部與該密封的廢棄物回收容器之間；以及一個第一廢 棄物回收隔離閥，其係被連接於該第一廢棄物回收連接接 合部與該密封的廢棄物回收容器之間。該廢棄物排放口係 包含有：一個第二廢棄物回收隔離閥，其係被連接於該第 二廢棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間 ;一個第二廢棄物回收容器接合部，其係被連接於該第二 廢棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間’ 以及一個第三廢棄物回收控制閥，其係被連接於該桌一廢 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間。 該預先製造的真空方塊包含有：（i ) 一個真空產生 器；（i i ) 一個第一真空方塊控制閥，其與該真空產生 器排成一列；以及（i i i )至少一個的真空導管’其係 適用於提供真空並且與該真空產生器排成一列。該真空導 管包含有一個真空方塊連接接合部，其係適用於被接附到 至少一個整體方塊；以及一個第二真空方塊控制閥’其係 被連接於該連接接合部與該真空產生器之間。 該預先製造的溶劑供應方塊係包含有：（i ) 一個第 一溶劑供應連接接合部，其係適用於連接到一個第一整體 方塊；（i i ) 一個密封的溶劑供應容器；（i 1 1 ) 一 個加壓溶劑供應氣體入口，其被連接於該第一溶劑供應連 接接合部與該密封的容器之間；（1v)一個第二溶劑供 _____26__— --- 本紙張尺度適用中國國家楳準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------訂ί n «I n ϋ n α— 1 I ·Βϋ «ϋ ί «ϋ n n n ϋ ϋ fl— n n fl^i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾ A7 552372 _B7_ 五、發明說明（θ ) 應連接接合部，其適用於被連接到一個第二整體方塊；（ V ) —個溶劑供應輸送出口，其係被連接於該第二連接接 合部與該密封的容器之間；（V i ) —個溶劑供應控制閥 ，其係被連接於該溶劑供應加壓氣體入口與該溶劑供應輸 送出口之間；以及（v i i ) —個溶劑供應位準指示器， 用於監測在該密封容器中的位準。該加壓氣體入口包含有 :一個第一溶劑供應容器接合部，其係被連接於該第一連 接接合部與該密封的容器之間；一個第二溶劑供應控制閥 ，其係被連接於該第一溶劑供應連接接合部與該密封的溶 劑供應容器之間；以及一個第一溶劑供應隔離閥，其係被 連接於該第一溶劑供應連接接合部與該密封的溶劑供應容 器之間。該溶劑供應輸送出口包含有：一個溶劑供應浸沒 管，其具有一個延伸進入該密封容器中的端部；一個第二 溶劑供應隔離閥，其係被連接於該密封的溶劑供應容器與 該第二溶劑供應連接接合部之間；一個第二溶劑供應容器 接合部，其係被連接於該密封的溶劑供應容器與該第二溶 劑供應連接接合部之間；一個第三溶劑供應控制閥，其係 被連接於該密封的溶劑供應容器與該第二溶劑洪應連接接 合部之間；以及一個第四溶劑供應控制閥，其係被連接於 該密封的溶劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間 0 該預先製造的去除氣體方塊包含有：（1 ) 一個第一 去除氣體方塊連接接合部，其係適用於被接附到一個整體 方塊；（1 1 ) 一個第二去除氣體方塊連接接合部。其係 ___21___ 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------訂ί ϋ ·ϋ ·ϋ n ϋ·· n I I < (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾ A7 552372 _B7_ 五、發明說明（w〇 適用於被接附到一個整體方塊；（1 1 1 ) 一個去除氣體 方塊化學物品入口導管，其係包含有一個第一去除氣體方 塊隔離閥並且係被連接於該第一去除氣體方塊連接接合部 與該第二去除氣體方塊連接接合部之間；（1V)—個薄 膜匣，其係被連接於該第一去除氣體方塊連接接合部與該 第二去除氣體方塊連接接合部之間；（V)—個去除氣體 方塊化學物品出口導管，其係包含有一個第二去除氣體方 塊隔離閥並且係被連接於該第一去除氣體方塊連接接合部 與該第二去除氣體方塊連接接合部之間；以及（v i ) — 個去除氣體方塊控制閥，其係被連接於該薄膜匣與該第二 去除氣體方塊連接接合部之間。 該預先製造的過濾方塊包含有·_( i ) 一個第一過濾 方塊連接接合部，其適用於被連接到一個第一整體方塊； (1 1 ) 一個第二過濾方塊連接接合部，其係適用於被連 接到一個第二整體方塊；以及（1i1)至少一個過濾導 管，其係被連接於該第一過濾方塊連接接合部與該第二過 濾方塊連接接合部之間。該過濾導管包含有：一個第一過 濾方塊隔離閥，其係被連接於該第一過濾方塊連接接合部 與該第二過濾方塊連接接合部之間；一個過濾器，其係被 連接於該第一過濾方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接 接合部之間；以及一個第二過濾方塊隔離閥，其係被連接 於該第一過濾方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合 部之間。 在一個較佳觀點中，用於該化學物品輸送系統的使用 ____28 ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾ --訂---------線 --- A7 552372 — 一______Β7 — 五、發明說明（〆） 位置點是一個蒸發器、一個製造製程工具、一個電子製造 工具、〜個光纖製造工具、或是~個半導體製程工具。 在另一個觀點中，本發明係相關於一種用於輸送一種 超純淨化學物品到一個使用位置點的方法，該方法包含有 以下步驟（i )將一個容納有一種超純淨化學物品的化學 物品谷器方塊連接到一個化學物品輸送方塊；以及（i i )將該超純淨化學物品引導至一個使用位置點。該方法更 可以包含有將至少一個整體方塊連接到前述的化學物品輸 送系統之步驟。該整體方塊係可以選擇自：一個再裝塡容 器方塊、一個加壓氣體方塊、一個淸洗氣體方塊、一個廢 棄物回收方塊、一個真空方塊、一個溶劑供應方塊、一個 去除氣體方塊、或是一個過濾方塊。較佳地’該整體方塊 係爲一個溶劑供應方塊或是一個再裝塡容器方塊’並且更 包含有在將該超純淨化學物品引導至一個使用位置點之前 ，將一種溶劑輸送到一個整體方塊的步驟。該溶劑較佳地 可以選擇自包含有以下溶劑的群組：異丙醇、四氫基喃（ tetrahydrofuran)、異丙醇/四氫基喃 之混合物、t e t r ag 1 yme、一甲苯、甲苯、丁基 醋酸鹽、benzoni t r i 1 e、乙醇、己院、辛院 、或是以上的組合。 在一個較佳的觀點中，用於這些方法的使用位置點是 一個蒸發器、一個製造製程工具、一個電子製造工具'一 個光纖製造工具、或是一個半導體製程工具。 與本發明之整體方塊、系統、以及方法一起使用的較 29_____ 中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公 I---------III— ^----— II--I j (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 _B7_ 五、發明說明（％ ) 佳超純淨化學物品包括、但不限定於：tetramethylsilane、dimethyl-dimethoxy-silane 、 copper(II)bis(hexafluoroacetylacetonate) 、 copper(II)hexafluoroacetylacetonate tetramethylvinylsilane 、 triisobulylalunimum ' trimelhylarninalane ^ triethylaminalane ' dimethylethylaminalane、bis (trimethylamin)alane、dimethylahiminumhydride ' titanium tetrachloride ' tetrakisdimethylaminotitanium (TDMAT) ' tetra-kisdiethylamino tantalum (Ta(Net)4) ' penta-kisdiethylamino tantalum (Ta(Net)5) ^ tantalum pentachloride (TaCl5)' tungstenhexocarbonyl (W(CO)6) 、bisdipivaloylmethanato barium (Ba(DPM)2)、bisdipivaloylmethanato strontium (SrQPM)2)、bis-isopropoxybisdpivaloylmethanato titanium Ti(l-OC3H7)2DPM)2 、trimethylaluminum (TMA) 、tetrakisdimethylaniino zirconium (Zr(NME)4) ^ tetraldsdiethylamino zirconium (Zr(Net)4)' zirconium t-Butoxide (Zr(t-OBu)4) 、telrakisdiethylamino hafiiium (Hf(Net)4)、 tetrakisdimethylamino hafnium (Hf(NME)4) - hafiiiiun t-Butoxide (Hf(t-Obu)4) ^ trihexafluoroacetylacetate platinum (Pt(Hfa)3) " bis(ethylcyclopentadienyl) ruthenium (EeCp2Ru) ' acetylacetate iridium (Ir(Acac)) ' dipivaloylmethane compounds ' alkoxide compounds ' bisdipivaloylmethanato lead (Pb(DPM)2) 、bisdipivaloylmethanato zirconium (Zr(DPM)4)、trimethyl bismuth (BiMe3)、 tetraethylorthosilicate (TEOS)、tantalum pentaethoxide (Ta(OEt)5)、 tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) 、 bis(tertiary-butylamino)silane (BTBAS)、trimethylphosphate (TMPO)、trimethylborate (TMB)、或是 liimethylphosphite (TMPI) ° 在硏讀本說明書、圖示、以及隨附的申請專利範圍之 後，熟習技術者將可明瞭本發明其他之目的與觀點。 __ 30_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------樣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一 OT · H ϋ I ·1>1 ϋ n n I I n n n n n ϋ an I— n ϋ n 552372 B7 五、發明說明（) 圖式之簡單說明 從以下的本發明較佳實施例的詳細說明與隨附的圖示 ，將會明白本發明之目的與優點，在該等圖示中： 第一圖爲具有基本方塊之化學物品輸送系統的槪要圖 贅 第二圖爲具有一個淸洗氣體方塊之基本化學物品輸送 系統的槪要圖， 第三圖爲具有淸洗氣體方塊與廢棄物回收方塊之化學 物品輸送系統的槪要圖； 第四圖爲具有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊、以及 真空方塊之化學物品輸送系統的槪要圖； 第五圖爲具有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊、真空 方塊、以及溶劑供應方塊之化學物品輸送系統的槪要圖； 第六圖爲具有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊、真空 方塊、溶劑供應方塊、以及去除氣體方塊之化學物品輸送 系統的槪要圖； 第七圖爲具有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊、真空 方塊、溶劑供應方塊、去除氣體方塊、以及過濾方塊之化 學物品輸送系統的槪要圖； 第八圖爲化學物品容器方塊的槪要圖； 第九圖爲化學物品再裝塡容器方塊的槪要圖； 第十圖爲加壓氣體供應方塊的槪要圖； 第十一圖爲淸洗氣體供應方塊的槪要圖； 第十二圖爲廢棄物回收容器方塊的槪要圖； __31 ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I ϋ n I ί ΛΜΜ§ n n I n n n n n n n I n 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 552372 B7 五、發明說明（4 ) 第十三圖爲真空方塊的槪要圖； 第十四圖爲溶劑供應方塊的槪要圖； 第十五圖爲去除氣體方塊的槪要圖； 第十六圖爲過濾方塊的槪要圖； 第十七圖爲在基本的化學物品輸送系統中不同方塊互 相連接的槪要圖； 第十八圖爲在帶有淸洗氣體方塊之化學物品輸送系統 中不同方塊互相連接的槪要圖； 第十九圖爲在帶有淸洗氣體方塊與廢棄物回收方塊之 化學物品輸送系統中不同方塊互相連接的槪要圖； 第二十圖爲在帶有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊、 以及真空方塊之化學物品輸送系統中不同方塊互相連接的 槪要圖； 第二^一圖爲在帶有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊 、真空方塊、以及溶劑供應方塊之化學物品輸送系統中不 同方塊互相連接的槪要圖； 第二十二圖爲在帶有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊 、真空方塊、溶劑供應方塊、以及去除氣體方塊之化學物 品輸送系統中不同方塊互相連接的槪要圖；以及 第二十三圖爲在帶有淸洗氣體方塊、廢棄物回收方塊 、真空方塊、溶劑供應方塊、去除氣體方塊、以及過濾方 塊之化學物品輸送系統中不同方塊互相連接的槪要圖。 32 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) % 訂---------線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 A7 ___B7 五、發明說明（vf ) 元件符號說明 1 化學物品容器方塊 5 連接裝置 7 再裝塡容器方塊 9 連接管線 11 連接裝置 13 排放管線 15 加壓氣體方塊 17 連接裝置 18 位置點 19 連接裝置 2 1 連接管線 2 3 控制方塊 2 5 連接管線 2 7 連接管線 2 9 連接管線 3 1 連接裝置 3 3 淸洗氣體方塊 3 5 連接裝置 3 7 高壓排放連接裝置 3 9 化學物品廢棄物方塊 4 0 被連接裝置 4 1 連接裝置 4 3 連接裝置 33 -------------聲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂---------線J 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 552372 _B7 五、發明說明（P ) 4 5 真空方塊 4 7 連接裝置 4 9 連接裝置 5 1 溶劑供應方塊 5 3 連接裝置 5 5 連接裝置 5 7 連接裝置 5 9 連接裝置 6 3 去除氣體方塊 6 5 連接裝置 6 7 連接裝置 6 9 過濾方塊 7 3 連接裝置 7 5 容器 7 7 氣體入口導管 7 9 閥 8 1 管子 8 3 連接接合部 8 5 旁通導管 8 7 連接接合部 8 9 管子 9 1 控制閥 9 3 化學物品出口導管 9 5 位準監測器 34 . --------訂·-------- ^3^» (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 A/ B7 五、發明說明（3丨） 9 7 9 9 1〇1 10 5 1〇7 10 9

12 1 12 3 12 5 12 7 12 9

14 1 14 3 14 5 控制閥 接合部 接合部 排放導管 控制閥 連接接合部 再裝塡容器方塊 再裝塡容器 化學物品入口導管 隔離閥 接合部 管子 控制閥 連接接合部/導管 連接接合部/控制閥 管子 控制閥 針狀閥 連接接合部 導管 位置點 埠口 隔離閥 小型導管 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 B7 五、發明說明（ 14 9

16 3 16 5 16 7 17 1 17 3 17 5 17 7 17 9 18 3 18 5 18 7 18 9

19 7 19 9 2〇1 2 0 3 隔離閥 接合部 隔離閥 導管 位準監測器 控制閥 管子 加壓氣體方塊 連接接合部 壓力轉換器 控制閥 管子 導管 止回閥 壓力感測器 過濾器 調節器 隔離閥 氣體導管 連接接合部 壓力釋放閥 罩蓋 導管 導管 . -------I ------I I I I j (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 552372 A7 B7 五、發明說明（〇 ) 2 0 5 針狀閥 2 0 7 針狀閥 2 0 9 控制閥 2 1 1 連接接合部 2 1 3 針狀閥 2 1 5 連接接合部 2 17 壓力感測器 2 19 控制閥 2 2 1 連接接合部 2 2 3 淸洗氣體方塊 2 2 5 連接接合部 2 2 7 隔離閥 2 2 9 管子 2 3 1 壓力調節器 2 3 3 過濾器 2 3 5 壓力感測器 2 3 7 導管 2 3 9 控制閥 2 4 3 止回閥 2 4 5 導管 2 4 7 控制閥 2 4 9 分支導管 2 5 1 控制閥 2 5 5 管子 37 ---------------------訂---------線J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 B7 五、發明說明（外） 2 5 7 壓力釋放閥 2 6 1 罩蓋 . 2 6 3 分支管線 2 6 5 流動限制口 2 6 7 導管 2 6 9 控制閥 2 7 5 連接接合部 2 7 7 廢棄物回收方塊 2 7 9 控制閥 2 8 1 管子 2 8 3 控制閥 2 8 7 接合部 2 8 9 隔離閥 2 9 1 廢棄物入口導管 2 9 3 容器 2 9 5 旁通導管 2 9 7 控制閥 3 0 3 連接接合部 3 0 5 管線 3 0 7 控制閥 3 1 1 接合部 3 1 3 隔離閥 3 1 5 導管 3 1 7 位準監測器 38 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線 — - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 B7 五、發明說明（W) 3 19 3 2 1 3 2 3 3 2 7 3 2 9 3 3 3 3 3 4 3 3 7 3 3 9 3 4 1 3 4 3 3 4 5 3 4 7 3 4 9 3 5 1 3 5 3 3 5 5 3 5 7 3 5 9 3 6 1 3 6 3 3 6 5 3 6 7 3 6 9 真空方塊 導管 控制閥 管線 控制閥 連接接合部 管線 真空產生器 溶劑供應方塊 旁通管線 連接接合部 管子 管線 控制閥 連接接合部 管子 接合部 隔離閥 加壓氣體入口導管 溶劑容器 位準監測器 浸沒管子 溶劑出口導管 隔離閥 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾

訂---------線J 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 A7 _B7 五、發明說明（^ ) 3 7 1 接合部 3 7 3 管線 3 7 5 管線 3 7 7 控制閥 3 7 9 連接接合部 3 8 3 淸洗管線 3 8 5 控制閥 3 8 7 管子 3 9 3 控制閥 4 0 1 控制閥 4 0 3 導管 4 0 5 薄膜匣 4 0 7 導管 4 0 9 隔離閥 4 13 連接接合部 4 15 化學物品出口導管 4 17 隔離閥 4 19 連接接合部 4 2 1 過濾方塊 4 2 7 隔離閥 4 2 9 過濾器 4 3 3 隔離閥 4 3 5 導管 4 3 9 化學物品管線 40 • ϋ n ϋ n n n n 一：。y · MW MM MM MM MW MMB W 1 1 n n n n n ϋ n n —M· n n »i>— n ·ϋ n *i_— ϋ n n _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,¾ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 A7 __B7 五、發明說明（V]) 4 4 1 導管 4 4 3 隔離閥 4 4 7 過濾器 4 4 9 隔離閥 4 5 3 化學物品管線 4 5 5 位置點/接合部 4 5 7 位置點/接合部 4 5 9 位置點 4 6 1 位置點 4 6 3 位置點 4 6 5 位置點 4 6 7 位置點 4 6 9 位置點 4 7 1 位置點 4 7 3 位置點 4 7 7 位置點 车發明的詳細說明 本發明係相關於輸送超純淨化學物品的化學物品輸送 系統以及方法。尤其是，本發明係相關於從一個或是更多 個化學物品容器輸送超純淨化學物品到一個使用位置點（ 像是半導體與光纖製造製程工具）的化學物品輸送系統與 方法。 “超純淨化學物品”或是“化學前驅物”係被使用於 像是化學氣相沉積的各種應用之中。各種化學前驅物已經 -------------餘 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線丨丨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 552372 _ B7_ 五、發明說明（U ) 被使用於積體電路以及其他像是光纖製造之製造製程的化 學氣相沉積之中。化學前驅物係包括用於金屬互相連接、 障礙金使屬薄膜、入口薄膜、氧化物薄膜、以及層體間的 介電質薄膜者，像是 tetramethylsilane、dimethyl-dimethoxy-silane、copper(II)bis(hexafluoroacetylacetonate) ' copper(II)hexafluoroacetylacetonate tetramethylvinylsilane 、triisobutylaluminum、trimethylaminalane、triethylaminalane 、 dimethylethylaminalane 、 bis (trimethylamin)alane 、 dimethylaluminumhydride 、 titanium tetrachloride 、 tetrakisdimethylaminotitanium (TDMAT)、tetra-kisdiethylamino tantalum (Ta(Net)4) ' penta-kisdiethylamino tantalum (Ta(Net)5) 、tantalum pentachloride (TaCl5) 、 tungstenhexocarbonyl (W(CO)6) 、bisdipivaloylmethanato barium (Ba(DPM)2)、 bisdipivaloylmethanato strontium (Sr(DPM)2)、bis-isopropoxy bisdipivaloylmethanato titanium Ti(l-OC3H7)2DPM)2 、 trimethylaluminum (TMA)、tetrakisdimethylamino zirconium (Zr(NME)4) 、 tetrakisdiethylamino zirconium (Zr(Net)4)、 zirconium t-Butoxide (Zr(t-OBu)4) 、 tetrakisdiethylamino hafnium (Hf(Net)4)、tetrakisdimethylamino hafnium (Hf(NME)4) 、hafnium t-Butoxide (Hf(t-Obu)4) ' trihexafluoroacetylacetate platinum (Pt(Hfa)3) 、bis(ethylcyclopentadienyl) ruthenium (EeCp2Ru) ' acetylacetate iridium (Ir(Acac)) ' dipivaloylmethane compounds、alkoxide compounds ' bisdipivaloylmethanato lead (Pb(DPM)2)、bisdipivaloylmethanato zirconium (Zr(DPM)4)、 _42 __ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） * n ϋ ϋ n ϋ n n ϋ ϋ n · n n I n n n 一 δ，f ϋ n I ϋ ϋ n n I ϋ I— 11 n n n n n n ϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 __B7____ 五、發明說明（θ ) trimethyl bismuth (BiMe3)、tetraethylorthosilicate (TEOS)、 tantalum pentaethoxide (Ta(OEt)5) ^ tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) 、 bis(tertiary-butylamino)silane (BTBAS)、 trimethylphosphate (TMPO)、trimethylborate (TMB)、或是 trimethylphosphite (TMPI) 〇 被用來在基材上增長薄膜的化學前驅物通常在室溫以 及壓力下是液態的或是固態的，並且某些化學前驅物在室 內狀況下爲氣態的，但是在較高的壓力或是較低的溫度下 會改變成液態的。 處於其液體狀態下的化學前驅物通常會被直接用來製 造用於C VD沉積的化學物品蒸氣。處於其固體狀態下的 化學前驅物通常會先溶解於溶劑之中以形成液體，該液體 接著會被用來製造化學物蒸氣。被用來製備此種液態溶液 的溶劑係包括異丙醇、四氫基喃（t e t r a h y d r 〇 f u r a n )、異丙醇/四氫基喃的混合物、t e t r a glyme、二甲苯、甲苯、丁基醋酸鹽、b e n z 〇 n i t r i 1 e、以及類似者。用於特定前驅物的特定溶劑 可以由熟習技術者基於該前驅物的物理化學性質來選擇。 同樣基於一個特定狀況，在其液體狀態中的該等前驅物通 常可以與一種溶劑混合，以在他們使用於薄膜沉積之前形 成一種溶液。化學前驅物的液態溶液係從一個來源容器方 塊直接或是經由一系列的化學物品方塊被供應到使用者工 具。 每個整體方塊係在各種方塊組合的輸送系統中獨自直 ____ 43______ 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------% (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ir---------線丨- A7 552372 ^__B7_____— 五、發明說明（f。） 立並且獨ΑΔ作用。本發明的一個實施例係相關於爲了不同 化學物品輸送的需要而使用各種整體方塊之化學輸送系統 與方法。如第一圖到第七圖所示，該化學輸送系統係基於 各種輸送需求而使用各種化學物品輸送方塊而輕易地被建 立起來。 舉例而言，一個基本的輸送系統可以是加壓氣體方塊 與化學物品容器方塊的組合。一種加壓氣體方塊、化學物 品容器方塊、以及溶劑供應方塊的組合可以是另一種需要 溶劑淸潔與淸.洗之化學物品的較佳輸送系統。過濾方塊以 及去除氣簡方塊的其中之一可以與加壓氣體方塊以及化學 物品容器方塊結合，用於一個輸送系統。 在一姻觀點之中，本發明係相關於一種用於輸送一種 超純淨化擧物品到一個使用位置點或是一個整體方塊的化 學物品容器方塊。該化學物品容器方塊的一個較佳實施例 係被顯示於第八圖之中。容器7 5較佳的是圓柱形，其頂 端與底端係被關閉。一個帶有〜閥7 g、一管子8 1、以 及一個連接接合部8 3的氣體入口導管7 7係被接附到該 容器’用於將加壓氣體導入該容器7 5中。該閥7 9較佳 地是一個S埠口的閥，其一個埠口係用於控制，像是來自 於S w a g e丨〇 k公司（伊利諾州，芝加哥市）者。該 控制埠口較佳地是位於該容器侧邊處，用於控制進出該容 器的流動。一個化學物品出口導管9 3係被接附至該容器 7 5並且向下伸入該容器內部直到接近其底部。這個導管 9 3具有〜個閥9 1、一個管子8 9、以及一個用於與其 ___ 44 本紙張尺度適用中國^標準（CNS)A4規格（21()x 297 " _ «ϋ I «_ϋ n It n n 一-OJ· n n n n n ·ϋ I I I - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ;% 552372 a? ^---- —_B7______ I、發明說明（中f) 他化學物品輸送方塊相連接的連接接合部8 7。該閥9 1 可以是與該三埠口閥7 9相同、或是一個一般具有二向控 制之三向閥。〜個帶有一個控制閥9 7的旁通導管8 5係 藉著連接到閥7 9的一個埠口以及閥9 1的一個璋口而連 接該氣體入口導管7 7與該化學物品出口導管9 3。如果 該閥9 1使用一個三向閥，一個控制方向應該是位於該容 器的側邊以與浸沒入該容器的管子部位相連接，並且另一 個控制方向應該位於該旁通導管的側邊，用以被連接到該 旁通導管。在這種情況中，該控制閥9 7應該被該三向閥 9 1的控制方向取代。該等連接接合部8 3與8 7可以是 公V C R配件或是母v c R配件，或是管子的端部係用於 熔接到其他的方塊。一個帶有一個控制閥丨〇 7與一個連 接接合部1 0 9的排放導管1 〇 5係與該管子的一個部位 聯合’用於釋放該容器7 5的壓力並且排放來自於系統清 洗與淸潔的化學物品廢棄物，其中，該管子係被連接到該 三埠口閥7 9另外的埠口。該導管1 〇 5可以被連接至到 達該管子8 9之化學物品出口導管9 3，用於相同的功能 。一個位準監測器9 5係被用來監測在容器內部的化學物 品位準。該位準監測器可以是一個重量枰，其係通常以可 以移除的方式被接附到該容器7 5的底部。像是超音波位 準感測器以及光學位準感測器之其他類型的位準感測器也 可以使用。在使用光學位準感測器的情況中，該感測器應 該被安裝在容器具有透明窗口的側邊處。該容器7 5可以 具有1公升到大於2 0 0公升的容量，並且可以用與要被 45 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) € 訂---------線— i 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 五、發明說明（β 處理之化學物品相容的材料製造，包括不銹鋼、τ e l f 〇N、聚乙烯、玻璃、以及石英。當有需要時，該容器係 在接合部9 9與1 0 1處中斷從歧管其他部分的連接。帶 有與該容器相鄰之管子的該等閥7 9、9 i、以及g 7應 該一直接附到該容器。 ^ 在另外的觀點中，本發明係關於一種再裝塡容器方塊 ，用於從一個化學物品容器方塊接收化學物品並且將化學 物品輸送到一個使用位置點或是一個整體方塊。該再裝塡 容器方塊可以用來提供連續性地輸送一種超純淨化學物口' 。第九圖是一個再裝塡容器方塊1 1 1的較佳實施例。: 個圓柱形的容器1 1 3具有二個密封的端部，用於從化與 物品容器方塊1接收化學物品並且將化學物品輸送到使^ 者工具。一個帶有一個隔離閥1 1 7、一個接合部丨丄9 、一個管子1 2 1、一個控制閥丨2 3、以及一個達接接 合部1 2 5的化學物品入口導管丨丨5係被接附到該容器 1 1 3，用於以來自於化學物品容器方塊X的化學物品= 塡充該容器1 1 3。一個帶有一個隔離閥X 5 3、〜^接 合部1 5 1、一個管子1 2 9、以及一個連接接合部丄2 7的氣體導管1 1 5被接附到用於加壓氣體的容器。〜個 帶有一個控制閥1 3 1、一個針狀閥1 3 3、以及〜個連 接接合部1 3 5的導管1 3 7係被連接到管子1 2 9 , ^ 於將加壓氣體從該容器1 1 3排放出去。該針狀閥丨3 3 係被用來調節排放出去的流動。該連接接合部1 3 5可以 被連接到一個設備排放管線或是其他的化學物品輸送方土鬼 46 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -I I I n n n n I n n ϋ - - - 0 l ϋ ϋ n i-i I n 一· n n ·ϋ n ϋ ·ϋ I I ϋ - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 552372 B7 五、發明說明（Η ) 。一個帶有一個浸沒管的導管1 5 7係被接附到該用於化 學物品出口的容器，該浸沒管係進入延伸至該容器1 1 3 中接近該容器的底部。一個隔離閥1 4 9係被安裝在該導 管1 5 7中以用於隔離的目的，並且一個控制閥1 6 1係 被安裝以用於控制化學物品的流動。選擇性的，一個帶有 一個隔離閥1 4 3與一個被罩蓋住之取樣璋口的小型導管 1 4 5係在管子1 6 3處被連接到該導管1 5 7。當有需 要時，該隔離閥1 4 3可以被轉開，用於從該埠口 1 4 1 取樣。一個位準監測器1 5 9係被接附到該容器1 1 3。 這個位準監測器可以與在第八圖之中的監測器9 5相同。 當有需要時，該容器可以藉著中斷在接合部1 1 9、1 5 1、以及1 4 7處的連接而被移走。然而，在一般的操作 之中，除非需要修理之外，該再裝塡的容器1 1 3係以其 歧管而被固定在一個化學物品輸送系統之中 在另一個觀點中，本發明係關於一種加壓氣體方塊， 其係被用來提供加壓的氣體到一個或是更多個整體方塊。 第十圖是一個加壓氣體方塊1 6 5的較佳實施例。該加壓 氣體可以是一種壓力從1 0 P s i到1 5 0 p s i、通常 大約1 0 0 P s i的惰性氣體。該惰性氣體可以是包括氦 氣、氮氣、以及氬氣。在大多數的情況中係使用氦氣，因 爲氨氣係不可溶解於廣大範圍的化學物品並且對於C V D 沉積製程來說不是一種污染物。該惰性氣體源可以是一個 大量藏置的氣體供應系統或是一個精巧的氣體櫃。該氣體 導管1 9 1係以連接接合部1 9 3被連接到一個氣體源。 ___47_____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------壤 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂.--------丨 ----- A7 552372 五、發明說明（糾） 這個連接接合部可以是一個普通的V C R配件或是類似物 ，或是一個管子，其開放端部係被熔接在一個氣體供應管 線上。在該導管中的一個隔離閥1 8 9係被用來將該導管 從氣體供應源隔開。一個調節器1 8 7係被用來將該惰性 氣體的壓力調整到一個較佳的壓力値。一個過濾器1 8 5 較佳地係位於該導管中，用於移除在惰性氣體之中的顆粒 。該過濾器可以是具有小孔尺寸小到0 · 〇 5 u m之金屬 與薄膜類型的過濾器，更佳的是一種具有〇 · 〇 1 u m之 小孔尺寸的燒結不銹鋼金屬過濾器。一個壓力感測器1 8 3係在該調節器之後監測該惰性氣體的壓力。該壓力感測 器可以是Mi 1 1 ipore公司（麻州，B e d f 〇 r d)之SPT或是HP 丁系列的壓力轉換器、或是I P S 系列的壓力開關。一個止回閥1 7 9係被用來防止任何流 體流回氣體管線之中。一個壓力釋放閥1 9 7係被接附到 該導管1 9 1，用於保護該導管不會超過壓力。如果該壓 力調節器失效或是該調節器被錯誤地調整到一個較所需壓 力還高的設定壓力，該壓力釋放閥1 9 7將會自動地開啓 以釋放高壓。該壓力釋放閥1 9 7可以由一個像是在一端 部具有一個罩蓋1 9 9之三埠口手動閥的隔離閥來取代。 這種配置方式提供操作者在需要高壓的氦氣時可以方便地 存用該氦氣。至少一個帶有一個管子1 7 5、一個控制閥 1 7 3、一個壓力轉換器1 7 1、以及一個連接接合部1 6 7的導管1 7 7係用於將高壓的情性氣體流到該化學物 品容器方塊。另外之具有與導管1 7 7相同元件的導管2 ____48_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐) n «ϋ ϋ n in n Bn n n n n n · n n I 1« n I n 一 · n n 1 mm— n n n I 1 < (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 ___B7_ 五、發明說明（扒） 0 1與2 0 3 (在圖中以虛線圍起來）可以與導管1 7 7 並聯，用以將高壓的惰性氣體供應到在第九圖之中的再裝 塡容器方塊以及在第十四圖之中的溶劑供應方塊3 3 9。 具有一個控制閥2 0 9的另一個導管1 2 5可以藉著接合 的方式與導管1 7 7並聯地被連接到導管1 9 1。來自於 這個導管1 2 5的高壓惰性氣體可以直接被引導到在第八 圖之中的化學物品出口管線8 9，用於淸洗。針狀閥2 ◦ 5、2 0 7、以及2 1 3係被使用於每個導管2 0 1、2 0 3、以及1 2 5之中。該等針狀閥2 0 5、2 0 7、以 及213係被用來調整每個方塊所使用之惰性氣體的壓力 。該等連接接合部1 6 7、2 2 1、2 1 5、以及2 1 1 可以是像是V C R配件的配件，並且管子的端部開口係與 其他的接合部熔接。 在另一個觀點中，本發明繫相關於一種可以被使用於 化學物品輸送系統之中的淸洗氣體方塊，用於提供一種氣 體來淸洗化學物品的管線以及從周圍大氣壓力塡塞任何管 線的開口。淸洗氣體方塊2 2 3的一個較佳實施例係被顯 示於第十一圖之中。該淸洗氣體源可以與用於加壓氣體的 惰性氣體相同。更佳的是該淸洗氣體是一種較低成本的惰 性氣體，像是氮氣。一個導管2 3 7具有一個連接接合部 2 2 5、一個隔離閥2 2 7、一個管子2 2 9、一個壓力 調節器2 3 1、一個過濾器2 3 3、一個壓力感測器2 3 5、一個控制閥2 3 9、以及一個止回閥2 4 3。一個壓 力釋放閥2 5 7係以管子2 5 5而被接附到該導管2 3 7 ___49 __ 111 — — — — — — — — — — « — III — — — ·11111111 1 I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 552372 _B7_ 五、發明說明（粍） ，用於釋放該導管內部的高壓。如同第十圖之中的壓力釋 放閥1 9 7，該壓力釋放閥2 5 7可以由一個像是在一端 部具有一個罩蓋2 6 1之三埠口手動閥的隔離閥來取代。 如果不需要使高壓的淸洗惰性氣體流到其他的任何位置， 當然可以省略整個導管2 5 5與閥2 5 7。一個小型的分 支管線2 6 3具有一個以並聯於閥2 3 9的方式被接附到 該導管2 3 7的流動限制口 2 6 5，用以容許即使在控制 閥2 3 9關閉的情況中一種低流量的淸洗氣體可以流過。 這種低流量將會容許惰性氣體可以從任何位於其他化學物 品輸送方塊中的開口流出，用以塡住開口抵抗周圍空氣的 侵入。該控制閥2 3 9以及具有孔口 2 6 5的小型分支管 線2 6 3可以由一個洩漏閥來取代，像是A P T e c h所 製造者（加州，Nap a市）。該洩漏閥的作用將會完全 相同於閥2 3 9與孔口 2 6 5之組合的作用。至少一個帶 有一個控制閥2 4 7與一個連接接合部2 7 5的導管2 4 5係被連接到導管2 3 7，用於將淸洗氣體導入化學物品 容器方塊1。另一個導管2 6 7可以接合地與導管2 4 5 相連接，用以使淸洗氣體流到一個溶劑供應方塊。一個分 支導管2 4 9可以被連接到導管2 4 5，用於使淸洗氣體 流出通過一個如第八圖所示之開啓的接合部9 9，同時該 化學物品容器7 5係被中斷連接。 在一個觀點中，本發明更相關於一種用於從該輸送系 統的淸洗與淸潔製程回收化學物品廢棄物的廢棄物回收方 塊。第十二圖爲廢棄物回收方塊2 7 7的一個較佳實施例 _ _50_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -n ell n n i n n^flJ l I I m ϋ ϋ n I I \ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) € A7 552372 _B7_ 五、發明說明（叼） 。該廢棄物回收方塊可以被用來從該系統的淸洗與淸潔製 程中回收化學物品以及溶劑廢棄物。一個具有與化學物品 相容之材料（像是不銹鋼、丁 EFL ON、聚乙烯）的容 器係從其他像是化學物品容器方塊與化學物品再裝塡方塊 的化學物品輸送方塊接收化學物品廢棄物。一個廢棄物入 口導管係連接到在方塊中進行淸潔與淸洗之處的管線（像 是第八圖中的連接接合部109)。該化學物品廢棄物會 流過管子2 8 1、控制閥2 8 3、以及個隔離閥2 8 9而 進入容器2 9 3。另一個導管3 1 5係以一個端部被接附 到該容器2 9 3並且在另一個端部處被連接到一個排放管 線或是一個具有連接接合部3 0 3的真空方塊。該容器可 以藉著轉開該隔離閥3 1 3以及控制閥3 0 7而排放。一 個具有一個控制閥2 9 7的旁通導管2 9 5係連接到該廢 棄物入口導管2 9 1以及該排放導管3 1 5而到達管線2 8 1與3 0 5。當該化學物品容器方塊1需要被排放或是 被抽真空時，在該旁通導管2 9 5中的控制閥2 9 7可以 被轉開並且控制閥2 8 3與3 0 7可以被關閉。一個位準 監測器3 1 7係被接附到該廢棄物容器2 9 3，用以監測 在該容器內部的化學物品廢棄物的位準。該位準監測器3 1 7可以與第八圖與第九圖所示的監測器相同。一旦該容 器充滿時，隔離閥2 8 9與3 1 3會被關閉並且該容器接 著可以在接合部2 8 7與3 1 1處中斷連接，用於更換。 在又另一個觀點中，本發明亦相關於一種真空方塊， 用以在引導化學物品進入輸送管線之前提供在該等輸送管 _51___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------------訂---------線—' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 B7___ 五、發明說明（Μ ) 線中較好的淸洗以及去除氣體作用。可以使用任合適當的 真空產生器。舉例來說，該真空產生器可以是一個文氏管 或是一個真空泵。一個用於製造真空之真空方塊3 1 9的 例子係說明於第十三圖之中。當使用一個文氏管時，在運 作之中係需要高壓乾淨且乾燥的空氣（C D A)或是氮氣 。C D A或是氮氣係由相應的來源經由導管3 2 1而被供 應到該文氏管。一個在該導管中的控制閥3 2 3係被用來 控制C D A或是氮氣。一個管線3 3 4在一個端部連接到 該真空產生器3 3 7並且在另一個端部則連接到一個排放 管線。管線3 2 7係爲用於真空產生器與需要真空之方塊 的連通之真空管線。一個連接接合部3 3 3係被用來將該 真空導管連接到其他化學物品輸送方塊，像是在第十二圖 中所示之在連接接合部3 0 3處的廢棄物回收方塊。該連 接接合部3 0 3可以是一個V C R配件或是類似物、或是 一件管子之一個用於熔接連接的端部開口。 在又另一個觀點之中，本發明係相關於一種溶劑供應 方塊，用以提供溶劑來在化學物品金屬容器更換的製程期 間淸洗低蒸氣壓力的化學物品。該溶劑供應方塊的一個較 佳實施例係顯示於第十四圖之中。一個溶劑容器3 6 1的 形狀可以與用於第九圖中化學物品容器方塊1與再裝塡方 塊1 1 1中之化學物品的容器相似。該容器可以具有1 0 0毫升到2 0 0公升的容量。一個較佳之溶劑容器可以具 有1公升到1 0公升的容量。該溶劑一般是以惰性氣體的 加壓而被供應到像是化學物品容器方塊的方塊處’在該方 52 • — — — — — — — — .丨丨丨丨丨丨丨.丨丨丨丨丨丨丨置丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 552372 _B7_ 五、發明說明（β ) 塊處係需要用於系統淸洗的溶劑沖洗。一個加壓氣體入口 導管3 5 9係以一個端部被連接到該溶劑容器，並且在另 一個端部處被連接到一個具有連接接合部3 4 3的惰性加 壓氣體方塊。一個具有一個控制閥3 4 9的管線3 4 7係 被連接到通到管子3 5 3以用於排放的導管3 5 9。另外 一個帶有連接接合部3 5 1的端部則可以被連接到一個排 放管線。一個用於供應溶劑的溶劑出口導管3 6 7具有延 伸進入該容器而到達接近該容器底部之位置處的浸沒管子 3 6 5、一個管線3 7 3、一個管線3 7 5、以及一個控 制閥3 7 7。該溶劑出口導管3 6 7可以被連接到具有連 接接合部3 7 9的化學物品容器方塊。一個溶劑輸送導管 可以接合地被連接到該連接接合部3 7 9，用以在有需要 時將溶劑輸送到像是使用者工具的任何位置處。管線3 8 3係用於來自於如第十一圖所示之淸洗氣體方塊的淸洗氣 體。一個帶有一個控制閥3 9 3的旁通管線3 4 1係以一 個端部而連接到在管子3 8 7處的淸洗管線3 8 3，並且 以另一個端部連接到在管子3 4 5處的加壓氣體入口導管 3 5 9。在變更溶劑容器的過程中，淸洗氣體係被導入導 管3 6 7中，用以淸洗管線3 7 5與3 7 3。淸洗氣體也 會被用來當接合部3 7 1與3 5 5中斷連接時藉著開啓控 制閥3 9 3與3 8 5來塡補管線的開口。一個與用於化學 物品容器之監測器相同的位準監測器3 6 3係被用來監測 在容器內部的溶劑位準。一旦該容器淸空時，該容器可以 藉著中斷接合部3 7 1與3 5 5而被更換。用於淸洗以及 _53_____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） * n n n n n n ϋ n I 1 ϋ · 1 n n n ϋ n n « n n 1« ϋ n n n I n n -ϋ I I n n n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 ____ B7____ 五、發明說明（知） 潔淨在化學物品輸送管線內部化學物品殘留的溶劑可以根 據前驅之化學物品與溶劑的化學與物理性質來選擇。舉例 而言，tantalum pentaethoxide (Ta(OEt)5)很容易溶解於乙醇 之中，並且乙醇也很容易從管線除去以及淸除。因此可以 選擇乙醇來淸洗以及潔淨用於tantalum pentaethoxide的輸 送管線。其他像是己烷、辛烷、以及那些先前提到之用於 製備化學物品前驅物之溶液的溶劑可以被用於各種前驅化 學物品殘餘的淸潔。 在又另一個觀點之中，本發明係相關於一種去除氣體 方塊與一種過濾方塊，該等方塊係在有需要時被用來除去 不需要的溶解氣體以及微粒的雜質。一個去除氣體方塊的 較佳實施例係被顯示於第十五圖之中。該去除氣體方塊係 被用來除去在化學物品之中的溶解氣體。在化學物品中的 溶解氣體通常是以一個薄膜匣而被去除的。化學物品係在 該薄膜匣的一側流動，溶解的氣體則藉著濃度梯度或是壓 力差、或是二者而擴散通過該薄膜媒介到達另一測。可以 使用一個具有如第十五圖所示之殼體的薄膜匣4 0 5來去 除氣體。化學物品係經由一個帶有隔離閥4 0 9的導管4 〇 7被導入該匣的殼體，並且從一個化學物品出口導管4 1 5流出而到達使用者工具。另一個導管4 0 3係在另一 側被連接到該薄膜匣以用於抽真空或排放。一個控制閥4 〇 1係被使用於抽真空或是排放目的。當該薄膜匣需要更 換時，隔離閥4 0 9與4 1 7將會以手動的方式被關閉， 並且控制閥4 0 3也將會被關閉。該化學物品入口導管4 _______54_ 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱1 一 • ^1 ·1· n n 1— ϋ n n n n n ϋ n n n n 一 δγ > W Μ·· Μ·* MM ΜΗ MM 菌 ϋ - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ ϋ n n n n n I n ai ϋ ϋ n n I I 1 n n ϋ n · 552372 B7 五、發明說明（r| ) 0 7係與連接接合部4 1 3相連接而到達一個像是該化學 物品容器方塊的化學物品輸送方塊、以及化學物品再裝塡 方塊。一個連接接合部4 1 9係連接到一個在使用者工具 下游的化學物品管線。該連接接合部也可以是像是V C R 配件的配件或一個端部開放用於熔接連接的管子。對於在 更換薄膜匣之前或是在安裝薄膜匣之後，從該薄膜匣殼體 淸洗化學物品可能會需要一個化學物品淸洗管線（未顯示 於圖中）。 第十六圖爲一個過濾方塊4 2 1，其可以被連接到該 化學物品管線之中以用於除去在化學物品之中的顆粒。較 佳的是有二個並聯的過濾器，一個被使用而另一個備用。 如第十六圖所示，一個具有過濾器4 2 9以及二個被安裝 在該過濾器前方以及後方之隔離閥4 3 3與4 2 7的導管 4 3 5係被用於化學物品的過濾。另一個具有過濾器4 4 7以及二個隔離閥4 43與449的導管44 1係以並聯 的方式接合地被連接至化學物品管線4 3 9的上游並且被 連接到化學物品管線4 5 3的下游。替代的方式是，隔離 閥433與443可以被結合成一個三向閥，而隔離閥4 2 7與4 4 9也可以是一個三向閥。當要改變一個過濾器 時，在該過濾導管中位於該過濾器前方以及後方的隔離閥 會被關閉，並且在同時，另一個過濾器係藉著轉開相應的 隔離閥而被用來過濾。當過濾器需要被更換時，對於許多 化學物品來說，在該過濾導管內會需要用於潔淨化學物品 之氣體以及溶劑的淸洗。可能會需要淸洗氣體、溶劑、以 __55_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐1 ---------------- n ϋ n n an 一一 δν · n n n n I n I ϋ · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 ______B7_—___ 五、發明說明（A ) 及廢棄物管線（未顯示於圖中）。 本發明的整體方塊可以被用來構成化學物品的輸送系 統。可以在一個基本的系統加入各種選擇性的方塊以用於 不同的需求。在一個輸送系統的各種方塊組合中，每個方 塊係獨自直立並且獨立地作用。對於許多應用來說，包括 有一個具有一個電腦或是一個P L C系統來接收來自於每 個方塊元件之訊號以及發送訊號到元件以用於自動控制的 控制方塊也是有用的。 在一個如第一圖所示的較佳實施例中，一個基本的化 學物品輸送系統是由一個化學物品容器方塊1、一個再裝 塡容器方塊7、一個加壓氣體方塊1 5、以及一個控制方 塊2 3構成的。該具有化學物品源以及相關歧管的化學物 品容器方塊1係經由一個連接裝置3而供應化學物品到一 個再裝塡容器方塊7。化學物品係從該再裝塡容器方塊7 經由一個連接管線9被輸送到製造工具。當然，即使未被 說明於圖示中，化學物品也可以從化學物品容器方塊1經 由一個連接管線而被饋送到製造工具。一個加壓氣體方塊 1 5提供高壓的惰性氣體到該化學物品容器方塊1以及該 再裝塡容器方塊7，用以將化學物品驅出容器以用於輸送 。該加壓氣體方塊15係分別以連接裝置17與19而與 方塊1與7相連接。在方塊1與7之中的化學物品容器可 以藉由從該等容器經由連接裝置5與11排放加壓氣體到 排放管線1 3而被減壓。一個連接管線2 1係用於在加壓 氣體方塊1 5壓力過大的情況中釋放高壓。所有的連接裝 ~—— '___56__—_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） • ϋ ϋ ϋ n I n I n ϋ -i-i n · -ϋ I ϋ 1 1 i_i n 一 δ，· n n n ϋ ϋ n n I Ϊ ϋ I n n n ϋ n ϋ -I ϋ ϋ n n ϋ ϋ n ϋ ϋ n n n 1· I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 _B7_ 五、發明說明（C ) 置可以是像是V C R配件、或是在兩端都具有配件之一小 型管件、或是具有二個開放端部以用於溶接連接之一小型 管件的一般配件。一個自動控制方塊2 3係與該等方塊1 、7、以及1 5相連通，用以接收與發送藉由連接管線2 5、2 7、以及2 9自動操作該化學物品輸送系統的訊號 〇 第二圖係說明了另一個基本的化學物品輸送系統，其 具有用以提供惰性淸洗氣體到該化學物品容器方塊1的淸 洗氣體方塊3 3。該淸洗氣體可以是一種相同於或是不同 於加壓氣體的惰性氣體（像是氦氣、氮氣、氬氣）。該方 塊3 3係經由連接裝置3 5將淸洗氣體提供至化學物品容 器方塊1。一個高壓排放連接裝置37係在有需要時釋放 壓力。該自動控制方塊2 3透過一個連接裝置3 1與淸洗 氣體方塊3 3連通以用於自動控制。該淸洗氣體將會在化 學物品容器更換的過程期間被供應至該化學物品容器方塊 1，用於淸洗殘留的化學物品並且塡滿任何管線開口防止 周圍空氣入侵。 當一個化學物品容器或是任何管線需要被淸洗與潔淨 時，可能會產生化學物品廢棄物。化學物品廢棄物可以經 由一個廢棄物管線被送到一個設備廢棄物處理中心。在許 多情況中，化學前驅物的廢棄物必須被施以特別的處理。 因此，該等化學物品必須被分開收集以用於處理或是在最 後丟棄。如第三圖所示，一個化學物品廢棄物方塊3 9係 被用來收集來自於該輸送系統的化學物品廢棄物。該化學 _57____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------愁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線！ A7 552372 B7 —-------- 五、發明說明（作） 物品廢棄物方塊3 9係被連接裝置5連接到該化學物@@ 器方塊1以及被連接裝置4 0連接到該自動控制方塊2 3 。該化學物品廢棄物方塊3 9也會被連接裝置4 1建接至fj 一個排放管線1 3。來自於化學物品容器方塊1的排放可 以藉著相同之用於化學廢棄物的連接裝置5而通過 物品廢棄物方塊3 9、或是藉由另外的連接裝置（未 於圖中）而到達該排放管線1 3。 … 第四圖說明了使用一個真空方塊4 5之化學輸送$，統 的另一個較佳實施例。在系統淸洗的過程中，係需要真;％ 來加強淸洗以及去除氣體殘留物，像是在將化學物品導j 輸送管線之前殘留於化學物品輸送管線內部的淸洗氣體& 及加壓氣體。亦可由第四圖看出的，該真空方塊4 5可以 被一個排放管線1 3、連接裝置1 1、以及連接裝置4丄 連接到一個廢棄物回收方塊3 9與一個再裝塡容器方塊？ 。來自於該真空方塊的排放可以被連接裝置4 7達接到〜 個排放管線。該真空方塊4 5也會藉由連接裝置4 3而與 該自動控制方塊2 3相連通。在一個替代的系統中，該化 學物品廢棄物方塊3 9可以從該輸送系統被刪除。因此， 該真空方塊4 5將會直接被連接到該化學物品容器方塊i 以及化學物品再裝塡容器方塊7。當然’該化學物品再裝 塡容器可以直接被連接到一個排放管線而不是被連接到該 真空方塊。 第五圖說明了一個具有溶劑供應方塊51之化學物品 輸送系統的較佳實施例。在更換化學物品源之容器的過程 _58_____ 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） --------^---------^ I . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 B7 ------ -------- 五、發明說明（ίΤ ) 中，會需要溶劑來沖洗化學物品容器方塊1的輸送歧管。 舉例而言，當需要更換化學物品源的容器時，乙烷被用$ 沖洗以及淸潔在輸送歧管內的tantalum pentaethoxide殘留 物。該溶劑通常是被容納於一個相似於用於化學物品前驅 物之容器的容器，並且係藉由加壓而被供應到該化學物& 容器方塊。該溶劑供應方塊5 1係被連接裝置5 7連接至fJ 該加壓氣體方塊1 5。在一個溶劑容器中的溶劑被來自於 加壓氣體方塊1 5的加壓氣體施加壓力，用於經由連接裝 置5 3供應該溶劑。當需要更換空的容器時，在溶劑供應、 管線中殘留的溶劑必須被加以潔淨以及淸洗。淸洗氣體{系 從淸洗氣體方塊3 3經由用於潔淨與淸洗的連接裝置4 9 被供應到該溶劑供應方塊51。該溶劑供應方塊51透過 連接裝置5 9與該自動控制方塊連通以用於控制。一個連 接裝置5 5係被用來連接方塊5 1與真空方塊4 5或是一 個排放管線，用以抽取在該溶劑供應方塊5 1中的真空或 是釋放其中的壓力。雖然當在一個化學物品輸送系統中使 用溶劑供應方塊時，廢棄物回收方塊與真空方塊爲較佳者 ’該溶劑供應方塊可以被加入如第一圖所示的基本輸送系 統之中。該廢棄物回收方塊與真空方塊的作用在某些情況 中爲不需要者，或是可以由一個相似之設備站的能力來取 代。 另一個選擇是，如第六圖所示，可以使用一個去除氣 體方塊6 3來去除在被輸送之化學物品中的溶解氣體。像 是氦氣以及氮氣的氣體可能會在化學物品的製造以及輸送 ----- —___59______ 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) " " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾ 訂---------線丨j 552372 A7 ---— _B7 __ 五、發明說明（) 期間溶解於化學前驅物中。在大部分化學物品輸送的情況 中’係安裝一個流量控制器來監測與控制化學物品的流動 。當局部的壓力改變時，任何在該輸送化學物品中的溶解 氣體可能會變成氣泡。氣泡附著於流量控制器被打濕的表 面上而造成該流量控制器發生故障的可能性係非常高。該 溶解的氣體更可能會影響在化學氣相沉積工具中之化學前 驅物的汽化。化學蒸氣的濃度係無法被維持不變，並且該 蒸氣也可能被該溶解的氣體污染。來自於該化學物品再裝 塡容器方塊7或是化學物品容器方塊1的化學物品會經由 連接裝置9而到達去除氣體方塊6 3，以用於除去溶解的 氣體。在去除氣體之後，該化學物品係接著從連接裝置6 5流出該方塊6 3到使用者工具。當使用一種薄膜型的去 除氣體單元時，係驅要一種真空或是脫除氣體。如第六圖 所示，該方塊6 3可以藉由連接裝置6 7而與真空方塊4 5相連接。 第七圖係說零化學物品輸送系統的另一個較佳實施例 ，該系統具有一個另外的選擇性過濾方塊6 9。該過濾方 塊係被用來除去在化學前驅物之中的微粒污染物。·來自於 化學物品容器方塊1、或是化學物品再裝塡容器方塊7、 或是去除氣體方塊6 3其中之一的化學物品可以流入該過 濾方塊6 9。如第七圖所示，化學物品係經由連接裝置6 5從該去除氣體方塊6 3被導入該過濾方塊。該過濾方塊 6 9也可以經由連接裝置7 3而與自動控制方塊2 3相連 通。當然，該過濾方塊6 9可以被使用於任何化學物品輸 _ _60______ 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------€------- 丨訂---------線丨； (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 552372 A7 ____ B7_____ 五、發明說明（Π ) 送方塊的組合之中。舉例來說，該過濾方塊可以爲了化學 物品過濾之目的而被加入如第一圖所示的基本系統之中。 每個化學物品輸送方塊較佳地具有用於獨立作用的所 有元件。一旦該等方塊爲了化學物品的輸送而被連接時， 其連接方式係以一種像是藉由一般配件以及熔接之簡單的 方式完成。每個方塊不會有任何要被移除或是增加的元件 。第八圖到第十六圖爲每個如第一圖到第七圖所提及之功 能方塊的較佳實施例。 藉著鎖描述之不同的化學物品輸送方塊，可以藉著直 接將每個方塊連接起來而建立一個化學前驅物的輸送系統 以用於各種輸送需求。第十七圖爲一個較佳的基本輸送系 統，其具有如第八圖所示之化學物品容器方塊1、如第十 圖所示之加壓氣體方塊1 6 5、如第九圖所示之化學物品 再裝塡方塊1 1 1、以及自動控制方塊2 3。該化學物品 容器方塊係與該加壓氣體方塊在位置點4 5 5與4 5 7處 相連接。該連接位置點並不需要是一個可以由一個機構中 斷連接的物理接合部。而是，其僅代表了二個方塊被連接 在一起來形成一個整體且均勻的導管以用於在輸送化學物 品時的一種特定功能。因此，會形成一個用於該化學物品 容器7 5而具有一個隔離閥7 9、壓力感測器1 7 1、以 及一個控制閥1 7 3的加壓氣體入口導管。同樣地，也會 形成具有一個針狀閥2 1 3、一個控制閥2 0 9、以及另 外一個控制閥9 1的淸洗氣體導管，用於以來自於加壓氣 體源的惰性氣體淸洗該化學物品輸送管線。該化學物品再 61 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4------- I 一-0, «ΙΙΙΙΙΙ — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 552372 A7 ___ —一 五、發明説明（0 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝塡方塊係與該加壓氣體方塊在連接位置點4 6 1相連接 ，用以形成一個具有一個隔離閥1 5 3、一個壓力感測器 2 1 7、一個控制閥1 2 7、以及一個針狀閥2 0 7的氣 體入口導管。一個化學物品再裝塡導管則是由一個隔離閥 1 1 7、一個控制閥1 2 3、以及一個隔離閥9 1構成。 線_ 化學物品會被該再裝塡容器1 1 3經由一個具有一個控制 閥1 6 1的化學物品導管輸送到使用者工具。化學物品的 樣品可以藉著轉開隔離閥1 4 3從輸送管線取出。當然， 化學物品可以藉著增加一個介於連接位置點4 5 9與1 3 9之間的旁通管線（未顯示於圖中）而直接從該化學物品 容器方塊被輸送到使用者工具。一旦化學物品的位準下降 到一個預設的低位準時，該控制方塊將會接收來自位準監 測器1 5 9的訊號並且發送一個訊號以開啓控制閥1 2 3 來將化學物品再裝塡到該再裝塡容器之中。一旦化學物品 的位準到達一個高位準時，控制閥1 2 3將會以相似的方 式被關閉。於再裝塡的製程期間’化學物品係持續地從該 再裝塡容器1 1 3處被輸送到使用者工具。再裝塡容器內 部之加壓氣體的壓力將會藉著自動轉開或是關閉該隔離閥 1 3 1而平衡。一個針狀閥或是一個壓力控制閥1 3 3係 被用來限制釋放氣體的流動，用以避免氣體壓力突然改變 。當該化學物品容器7 5淸空時，該自動控制方塊將會發 送一個警告訊號到操作者處以更換容器。該控制閥1 〇 7 會被自動轉開以釋放容器內部的壓力。在該控制閥1 2 3 之前殘留於管線中的化學物品會藉著開啓惰性氣體控制閥 —_____62_ _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 552372 B7 五、發明說明（θ ) 2 0 9而被推回該化學物品容器。在操作者以手動的方式 關閉隔離閥7 9與9 1之後’該容器可以接著在接合部9 9與1 0 1處被中斷連接以用於更換。在中斷連接之前， 該等控制閥1 7 3與2 0 9可以被轉開’以容許惰性氣體 向下流動到隔離閥7 9與9 1 °在中斷連接時’情性氣體 可以從該等接合部9 9與1 0 1處流出，塡補開口以防止 周圍污染物的入侵。 以另一個第十八圖所示之較佳實施例，一個淸洗氣體 方塊係被加入第十七圖之中的實施例。該淸洗氣體方塊係 在接合部4 5 5與4 5 7處連接到化學物品容器方塊。需 要淸洗化學物品管線時，控制閥2 4 7將會開啓以容許惰 性氣體流入該化學物品管線之中。接著淸洗氣體將會流過 對於在第八圖中之旁通管線8 5開放之該方塊的隔離閥9 1，並且因而會經由該排放控制閥107被排放出去。在 化學物品容器從接合部9 9與1 0 1處被中斷連接之前， 淸洗氣體可以藉著轉開控制閥2 4 7與2 5 1而被導入化 學物品管線以及氣體出口導管之中。在淸洗氣體方塊之中 的控制閥2 3 9則可以被關閉。在化學物品容器被中斷連 接之後，淸洗氣體係持續地從被中斷連接的接合部9 9與 1 0 1處流出已塡補周圍的空氣。旁通孔2 6 5係容許流 出該等接合部之惰性氣體的流率不會太低而讓周圍的空氣 擴散進入化學物品管線，也不會太高而浪費太多惰性氣體 0 第十九圖爲一個具有選擇性廢棄物回收方塊的化學物 ______63___ 本度適用中國國家標準(CNS)A4規格（21〇 X 297公釐) * n n n n ϋ ϋ I ϋ H ^1 ϋ ϋ H ϋ n 1· n n n 一一0、· I ϋ n ϋ n I n I n 1 n I ϋ n n n n n ϋ ϋ n n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 ___B7__ 五、發明說明（和） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 品輸送系統之較佳實施例。化學物品容器方塊係在位置點 4 6 3處與該廢棄物回收方塊相連接，並且如第十二圖所 示之廢棄物回收方塊的連接接合部2 7 9係在位置點4 6 5處與一個排放管線相連接。當需要排放該化學物品容器 時，控制閥1 0 7與控制閥2 9 7將會被轉開來容許任何 氣體被排放至該排放管線。在要淸洗該化學物品管線內部 之殘留化學物品的情況中，控制閥1 〇 7、控制閥3 0 7 、以及控制閥2 8 3將會被轉開。化學物品廢棄物可以藉 由轉開閥2 4 7而被高壓的淸洗氣體加壓並且推出該化學 物品管線而到達廢棄物容器、或是藉由轉開控制閥2 〇 9 而被加壓氣體加壓並且推出該化學物品管線而到達廢棄物 容器。當該廢棄物容器充滿時，控制閥283與307將 會位於關閉位置。操作者會以手動的方式關閉隔離閥2 8 9與3 1 3，並且從接合部287與3 1 1處中斷該容器 的連接來更換。可以將空的廢棄物容器再次連接到該等接 合部以繼續運作。 第二十圖爲一個具有真空方塊的較佳實施例。如第十 三圖所示的真空方塊可以在位置點4 6 3處被連接到該化 學物品容器方塊。真空係在需要潔淨以及淸洗化學物品管 線時提供。舉例而言，在化學物品容器在接合部9 9與1 0 1處被連接到該輸送歧管之後，該化學物品管線係必須 替代地以淸洗氣體與真空淸洗。該化學物品管線可以藉著 轉開控制閥2 4 7讓淸洗氣體從該化學物品管線經由隔離 閥9 1流到旁通管線8 5、控制閥1 〇 7、控制閥2 9 7 _____64_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公g ) A7 552372 ______B7_ 五、發明說明（6丨） 、並且排放出去而以淸洗氣體來淸洗。該管線可以藉著轉 開真空控制閥3 2 9而被抽真空。在這個時候，該等控制 閥2 4 7與2 9 7會被關閉。該管線可以用此種循環方法 被淸洗最多到5 0、或在有需要時淸洗更多次。該管線將 會在最後的淸洗步驟中被抽真空。該隔離閥9 1可以被轉 開至該容器側邊，用以容許化學物品流入化學管線以用於 輸送或是再裝塡該再裝塡容器。 第二十一圖爲一個具有溶劑供應方塊的較佳實施例， 用以供應液態溶劑以用於系統的淸潔與淸洗。該溶劑供應 方塊係在位置點4 6 7處被連接到該化學物品容器方塊， 以供應溶劑到該化學物品管線以用於淸洗。該溶劑供應方 塊係在位置點4 7 1處被連接到該加壓氣體方塊，以用於 加壓到達溶劑容器的氣體。該溶劑供應方塊更可以在用於 淸洗氣體的位置點4 6 9處被連接到淸洗氣體方塊。該溶 劑供應方塊的排放管線係在位置點4 7 3處被連接到一個 排放管線。在正常的運作中，該溶劑容器係被加壓以輸送 溶劑。當需要該溶劑以用於淸洗時，控制閥3 7 7係自動 地被來自於控制方塊2 3的訊號轉開。帶有殘留化學物品 的液態溶劑會流經隔離閥9 1、控制閥1 0 7、以及控制 閥3 0 7而進入廢棄物回收容器2 9 3。當該溶劑容器淸 空時或是溶劑位準到達其低位準時，該自動控制方塊將會 警告操作者更換溶劑容器並且關閉溶劑控制閥3 7 7。該 加壓氣體控制閥2 1 9係自動地被自動控制方塊2 3關閉 。接著排放控制閥2 1 9也會自動被轉開，用以釋放在該 _______65______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） * ϋ n ϋ n «1· ϋ ϋ ϋ n ϋ I ·ϋ · ϋ ϋ 1 n n ϋ n 一 οτ I n ϋ ·ϋ ϋ n n I ϋ ϋ ϋ n ϋ n flu n n 1 n n n n n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 552372 _B7_ 五、發明說明（h ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 溶劑容器內部的壓力。可以將加壓氣體或是淸洗氣體的其 中之一供應到溶劑導管，以推動介於控制閥3 7 7以及3 8 5與隔離閥3 6 9之間的導管內部溶劑回到該容器中。 當使用淸洗氣體來淸潔管線時，在淸洗氣體方塊中的控制 閥2 6 9、控制閥3 8 5、以及隔離閥3 6 9爲開啓的。 當使用加壓氣體來淸潔管線時，隔離閥3 5 7爲關閉的， 旁通閥3 9 3、控制閥3 8 5、以及隔離閥3 6 9爲開啓 的。在淸潔管線後，淸洗氣體係被供應到氣體導管與溶劑 出口導管之中。該溶劑容器係從接合部3 5 5與3 7 1處 被中斷連接，同時隔離閥3 5 7與3 6 9係被關閉。淸洗 氣體因此會從打開的接合部流出，以堵住周圍的污染物。 第二十二圖爲化學物品輸送系統的一個較佳實施例， 其具有一個用以除去在化學物品中之溶解氣體的去除氣體 方塊。如圖所示，該去除氣體方塊係在位置點1 3 9處與 再裝塡方塊連接，並且在位置點4 7 7處與真空方塊連接 。來自於再裝塡容器的化學物品係流過一個薄膜匣4 0 5 而到達使用者工具。如果不需要化學物品或是去除氣體方 塊不需要修補，位於去除氣體方塊之前的控制閥1 6 1以 及位於該去除氣體方塊之後的控制閥417可以被關閉。 在真空管線之中的控制閥4 0 1可以被轉開以用於抽取真 空或是被關閉以用於修復。該去除氣體方塊也可以在再裝 塡方塊之前被連接到該化學物品容器方塊，以用於去除氣 體。 第二十三圖爲化學物品輸送系統的一個較佳實施例， 66__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 552372 五、發明說明（G ) 其具有一個過濾方塊。該過濾方塊係在位置點1 8處被連 接到在化學物品管線中的去除氣體方塊。雖然一個過濾器 能夠非常好地滿足過濾的需求，較佳的是如圖所示地具有 二個並聯安裝的過濾器。在正常的運作中，可以使用一個 過濾器並且另一個過濾器做爲備用。當一個過濾器在使用 一段時間之後被更換時’位於該過濾器前方與後方的隔離 閥係被操作者以手動的方式關閉。如果有需要時’可以導 入淸洗氣體以及液體溶劑來淸洗過濾器內部的化學物品管 線。在安裝一個新的過濾器之後’該過濾器與該連接裝置 應該在將化學物品導入管線中之前被淸潔以及淸洗。 雖然本發明已經參照其特定實施例而被詳細地描述， 對於熟習技術者很明白的是’在不悖離隨附之申請專利範 圍的範疇之下，可以進行各種改變與修改、以及使用同等 物0 — — — — — — — — — — — — · I I I I I I I ^^ ·1111111 ^^- I π t請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）

Claims (1)

1. 098895 ABCD 552372 六、申請專利範圍 1·一種可以被連接到一個化學物品輸送系統的整體 方塊，用於在半導體或是光纖製造製程中從一個液體化學 物品容器輸送一種超純淨的化學物品到一個使用位置點， 其中，前述的整體方塊是一個用於容納一種超純淨化學物 品的化學物品容器方塊、一個用於再裝塡一個容器的再裝 塡容器方塊、一個提供壓力的加壓氣體方塊、一個用於淸 洗一種化學物品的淸洗氣體方塊、一個用於廢棄物回收的 廢棄物回收方塊、一個用於產生真空的真空方塊、一個用 於供應溶劑的溶劑供應方塊、一個用於去除化學物品之氣 體的去除氣體方塊、一個用於過濾化學物品的過濾方塊、 或是以上方塊之組合，其中，該整體方塊係預先被製造； 其中，該化學物品容器方塊包含有： (1 ) 一個第一化學物品容器連接接合部，其係適用 於被接附到一個加壓氣體源； (i1)一個密封的化學物品容器； (i i i ) 一個第二化學物品容器連接接合部，其係 適用於被接附到一個整體方塊； (1 v ) —個化學物品容器入口導管，其係被連接於 該第一化學物品容器連接接合部與該密封的化學物品容器 之間，用以輸送一種加壓氣體到該密封的化學物品容器； (v ) —個化學物品容器輸送導管，其係被連接於該 密封的化學物品容器與該第二化學物品容器連接接合部之 間，用以輸送一種超純淨的化學物品到一個使用位置點或 一個整體方塊； 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 、\έ 線 552372 b c〇 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) (V ) —個化學物品容器旁通導管，其係被連接於 該化學物品容器入口導管與該化學物品容器輸送導管之間 (v i 1 )選擇性地，一個化學物品容器排放導管， 其與該化學物品容器入口導管或是該化學物品容器輸送導 管排成一列地相連接；以及 (V i i i ) —個化學物品容器位準指示器，用於監 測在該密封化學物品容器之中的位準； 其中，該化學物品容器入口導管包含有： 一個適用於移除該被密封之容器的第一化學物品容器 接合部；以及 一個連接於該第一連接接合部與該密封容器之間的第 一化學物品容器隔離閥；以及 其中，該化學物品容器輸送導管包含有： 一個化學物品容器浸沒管，其第一端部係延伸進入該 密封的化學物品容器； 一個第二化學物品容器隔離閥，其係連接於該第二化 學物品容器連接接合部與該密封的化學物品容器之間；以 及 一個適用於移除該密封化學物品容器的第二化學物品 容器接合部，其係被連接於該第二化學物品容器連接接合 部與該密封的化學物品容器之間；以及 該化學物品容器排放導管包含有’· 一個第五化學物品容器連接接合部；以及 2 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） L88895 ABCD 552372 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 一個化學物品容器控制閥，其係與該第五化學物品容 器連接接合部以及該化學物品容器入口導管排成一列地相 連接、或是與該化學物品容器輸送導管排成一列地相連接 y 其中，該再裝塡容器方塊包含有： (i ) 一個第一再裝塡容器連接接合部’其係適用於 被接附到一個整體方塊； (i i ) 一個密封的再裝塡容器； (i 1 i ) 一個再裝塡容器化學物品入口導管，其係 被連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間，以輸送一種超純淨的化學物品到該密封的再裝 塡容器； (i v ) —個第二再裝塡容器連接接合部，其適用於 被接附至一個整體方塊； 線 (v ) —個氣體導管，其係被連接於該第二再裝塡容 器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間’用以輸送一種 加壓氣體到該密封的再裝塡容器； (v i ) 一'個第二再裝塡容器連接接合部，其係適用 於被接附到一個整體方塊； (v i i ) —個再裝塡容器化學物品輸送導管，其係 被連接於該第三再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間，用以輸送化學物品到一個使用位置點或是一個 整體方塊；以及 (v i i 1 ) —個再裝塡容器位準監測器，用於監測 552372 as ^_J_ 六、申請專利範圍 在該密封的再裝塡容器中之位準； (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 其中，該再裝塡谷益化學物品入口導管包含有： 一個被連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封 再裝塡容器之間的第一再裝塡容器控制閥； 一個被連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封 再裝塡谷益之間的桌一再裝塡容器接合部；以及 一個連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封再 裝塡容器之間的第一再裝塡容器隔離閥； 其中，該氣體導管包含有： 一個適用於被接附到一個整體方塊的第四再裝塡容器 連接接合部，其係被連接於該第二再裝塡容器連接接合部 與該密封的再裝塡容器之間； 一個針狀閥，其係被連接於該第二再裝塡容器連接接 合部與該密封的再裝塡容器之間； 線！ 一個第二控制閥，其係被連接於該第二再裝塡容器連 接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個第二再裝塡容器接合部，其係被連接於該第二再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；以及 一個第二再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該第二再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；以及 該再裝塡容器化學物品輸送導管包含有： 一個第三再裝塡容器控制閥，其係被連接於該第三連 接接合部與該密封的容器之間； 一個適用於移除該密封容器的第三再裝塡容器接合部 -----4--------- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 552372 A8B8C8D8 申請專利範圍 ’其係被連接於該第三連接接合部與該密封的容器之間； 一個第三再裝塡容器隔離閥，其係被連接在該第三再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個第四再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該第三再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個汽門，其係被連接於該第Η再裝塡容器連接接合 部與該密封的再裝塡容器之間；以及 一個帶有延伸進入該密封再裝塡容器之第一端部的浸 沒管，並且其係與該再裝塡容器化學物品輸送導管排成一 列； 其中，該加壓氣體方塊包含有： (i ) 一個第一加壓氣體方塊連接接合部，其係適用 於接收一種惰性氣體； (i i )至少一個加壓氣體方塊氣體導管； (1 i i ) 一個加壓氣體方塊隔離閥，其係被連接於 前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方 塊氣體導管之間； (i v ) —個加壓氣體方塊調節器，其係被連接於前 述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊 氣體導管之間； (v ) —個加壓氣體方塊過濾器，其係被連接於前述 的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊氣 體導管之間； (v i ) 一個第一加壓氣體方塊壓力感測器’其被連 __5 —___________ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 、-° 線 552372 b C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 接於前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣 體方塊氣體導管之間；以及 (V 1 i ) —個加壓氣體方塊止回閥，其係被連接於 前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方 塊氣體導管之間； 其中，該至少一個的加壓氣體方塊氣體導管係包含有 一個第二加壓氣體方塊連接接合部，其係適用於被接 附至一個整體方塊； 一個加壓氣體方塊針狀閥，其係選擇性地被連接於前 述的第二加壓氣體方塊連接接合部與前述的止回閥之間； 一個加壓氣體方塊控制閥，其係被連接於前述的第二 加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊止回閥之 間；以及 一個第二加壓氣體方塊壓力感測器，其係被連接於前 述的第二加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊 止回閥之間； 其中，該淸洗氣體方塊包含有： (1 ) 一個第一淸洗氣體連接接合部，其係適用於被 連接至一個第一整體方塊； (i1)至少一個淸洗氣體導管； (1 i i ) 一個淸洗氣體隔離閥，其係被連接於該第 一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (1 V ) —個壓力調節器，其係被連接於該第一淸洗 -6—--- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 88899 ABCD 552372 六、申請專利範圍 氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) (V ) —個淸洗氣體過濾器，其係被連接於該第一淸 洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (V i ) —個淸洗氣體控制閥，其被連接於該第一淸 洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (V i i ) —個淸洗氣體止回閥，其係被連接於該第 一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (V i i i ) —個淸洗氣體壓力感測器，其被連接於 該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間；以及 (1 X ) —個淸洗氣體流動限制口，其係被連接於該 淸洗氣體控制閥附近； 其中，該淸洗氣體導管包含有： 至少一個適用於被連接到一個第二淸洗氣體整體方塊 的第二淸洗氣體連接接合部；以及 至少一個淸洗氣體控制閥，該控制閥係被連接於該第 一淸洗氣體連接接合部與該第二淸洗氣體連接接合部之間 y 其中，該廢棄物回收方塊包含有： (i ) 一個第一廢棄物回收連接接合部，其係適用於 從至少一個整體方塊接收廢棄物； (1 1 ) 一個密封的廢棄物回收容器； (i 1 1 ) 一個廢棄物回收入口，其係被連接於該密 封的廢棄物回收容器與該第一廢棄物回收連接接合部之間 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 552372 I D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (1 V ) —個第二廢棄物回收容器連接接合部，其適 用於被接附至一個整體方塊； (V ) —個廢棄物排放口，其被連接於該密封的廢棄 物回收容器與該第二廢棄物回收容器連接接合部之間； (V i ) —個第一廢棄物回收控制閥，其係被連接於 該廢棄物入口與該廢棄物排出口之間；以及 (v i 1 ) —個廢棄物回收位準指示器，用於監測在 該密封的廢棄物回收容器中的位準；以及 該廢棄物入口包含有： 一個第二廢棄物回收控制閥，其係被連接於該第一廢 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間； 一個第一廢棄物回收容器接合部，其係被連接於該第 一廢棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間 :以及 一個第一廢棄物回收隔離閥，其係被連接於該第一廢 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間；以 及 其中，該廢棄物排放口包含有： 一個第二廢棄物回收隔離閥，其係被連接於該第二廢 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間； 一個第二廢棄物回收容器接合部，其係被連接於該第 二廢棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間 ;以及 一個第三廢棄物回收控制閥，其係被連接於該第二廢 -8----- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 552372 § D8 六、申請專利範圍 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中，該真空方塊包含有： (1 ) 一個真空產生器； (1 1 ) 一個第一真空方塊控制閥，其與該真空產生 器排成一列；以及 (1 1 1 )至少一個的真空導管，其係適用於提供真 空並且與該真空產生器排成一列；以及 其中，該真空導管包含有： 一個真空方塊連接接合部，其係適用於被接附到至少 一個整體方塊；以及 一個第二真空方塊控制閥，其係被連接於該連接接合 部與該真空產生器之間； 其中，該溶劑供應方塊包含有： (i)一個第一溶劑供應連接接合部，其係適用於連 接到一個第一整體方塊； (i 1 ) 一個密封的溶劑供應容器； (1 1 i ) 一個加壓溶劑供應氣體入口，其係被連接 於該第一溶劑供應連接接合部與該密封的容器之間； (1 V ) —個第二溶劑供應連接接合部，其適用於被 連接到一個第二整體方塊； (V ) —個溶劑供應輸送出口，其係被連接於該第二 連接接合部與該密封的容器之間； (V i ) —個溶劑供應控制閥，其係被連接於該溶劑 供應加壓氣體入口與該溶劑供應輸送出口之間；以及 -g---- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 552372 頜 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) (V i i ) —個溶劑供應位準指示器，用於監測在該 密封容器中的位準； 其中，該加壓氣體入口包含有： 一個第一溶劑供應容器接合部，其係被連接於該第一 連接接合部與該密封的容器之間； —個第二溶劑供應控制閥，其係被連接於該第一丨谷劑 供應連接接合部與該密封的溶劑供應容器之間；以及 一個第一溶劑供應隔離閥，其係被連接於該第一溶劑 供應連接接合部與該密封的溶劑供應容器之間；以及 其中，該溶劑供應輸送出口包含有： — 一個溶劑供應浸沒管，其具有一個延伸進入該密封谷 器中的端部； 十 •-個第二溶劑供應隔離閥，其係被連接於該密封的浴 線 劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間； A土 一個第二溶劑供應容器接合部，其係被連接於該在衬 的溶劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間’ 、& 一個第三溶劑供應控制閥，其係被連接於該常封的溶 劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間；以及、# 一個第四溶劑供應控制閥，其係被連接於該密封的檢 劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間； 其中，該去除氣體方塊包含有： 、 (i )一個第一去除氣體方塊連接接合部，其係適 於被接附到一個整體方塊； (i i)一個第二去除氣體方塊連接接合部。其係I 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） Λ8 B8 C8 552372 、申凊專利範圍 用於被接附到一個整體方塊； (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) (i i i ) 一個去除氣體方塊化學物品入口導s ’其 係包含有一個第一去除氣體方塊隔離閥並且係被連接於該 第一去除氣體方塊連接接合部與該第二去除氣體方塊連接 接合部之間； (i v ) —個薄膜匣，其係被連接於該第一去除氣體 方塊連接接合部與該第二去除氣體方塊連接接合部之間； (v ) —個去除氣體方塊化學物品出口導管’其係包 含有一個第二去除氣體方塊隔離閥並且係被連接於該第一 去除氣體方塊連接接合部與該第二去除氣體方塊連接接合 部之間；以及 (v i ) —個去除氣體方塊控制閥，其係被連接於該 薄膜匣與該第二去除氣體方塊連接接合部之間，以及 其中，該過濾方塊包含有： 線 (i ) 一個第一過濾方塊連接接合部，其適用心被連 接到一個第一整體方塊； (i i ) 一個第二過濾方塊連接接合部，其適用於被 連接到一個第二整體方塊；以及 (i i i )至少一個過濾導管，其係被連接於該第一 過濾方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間， 其中，該過濾導管包含有： 一個第一過濾方塊隔離閥，其係被連接於該第一過濾 方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間， 一個過濾器，其係被連接於該第一過濾方塊連接接合 廊規格⑽ 552372 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 部與該第二過濾方塊連接接合部之間；以及 一個第二過濾方塊隔離閥，其係被連接於該第一過濾 方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中， 該使用位置點是一個蒸發器。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中， 該整體方塊是一個用於輸送一種超純淨化學物品到一個使 用位置點或是一個第二整體方塊的化學物品容器方塊。 4 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中， 該整體方塊是一個再裝塡容器方塊，其係用於從一個化學 物品容器方塊接收化學物品以及輸送化學物品到一個使用 位置點或是一個第二整體方塊。 5 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中， 該整體方塊是一個加壓氣體方塊。 6 ·如申請專利範圍第5項所述之整體方塊，其更包 含有一個另外的氣體導管，該氣體導管包含有= 一個第三加壓氣體連接接合部，其係適用於被接附到 一個整體方塊；以及 一個第二加壓氣體控制閥，其係被連接於前述的第二 連接接合部與前述的止回閥之間。 ‘ 7 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中， 該整體方塊是一個淸洗氣體方塊。 8 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中， 該整體方塊是一個廢棄物回收方塊。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T: 線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐) 552372 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中， 該整體方塊是一個真空方塊，用於提供真空到一個或是更 多個整體方塊。 1 〇 ·如申請專利範圍第9項所述之整體方塊，其中 ，該真空發生器是一個文氏管（v e n t u r i )或是一 個真空泵。 1 1 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中 ，該整體方塊是一個溶劑供應方塊。 1 2 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中 ，該整體方塊是一個去除氣體方塊，用於去除在一種超純 淨化學物品之中的溶解氣體。 1 3 ·如申請專利範圍第1項所述之整體方塊，其中 ，該整體方塊是一個過濾方塊，用於從一種超純淨化學物 品之中去除顆粒。 1 4 · 一種化學物品輸送系統，其係用於從一個化學 物品容器輸送一種超純淨化學物品到一個使用位置點，該 系統包含有： (1)一個申請專利範圍第3項所述之化學物品容器 方塊； (1 1 ) 一個化學物品輸送方塊，其係與該化學物品 容器方塊排成一列；以及 (1 1 1 ) 一個使用位置點，其係與該化學物品容器 方塊以及該化學物品輸送方塊排成一列。 15·如申請專利範圍第14項所述之化學物品輸送 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 552372 韶 C8 __D8 六、申請專利範圍 系統’其中，該化學物品輸送方塊是〜個如申請專利範圍 第5項所述的加壓氣體方塊。 1 6 ·如申請專利範圍第1 4項所述之化學物品輸送 系統’其更包含有至少一個的整體方塊。 1 7 ·如申請專利範圍第1 6項所述之化學物品輸送 系統’其中，該至少一個的整體方塊係選擇自··一個再裝 塡容器方塊、一個加壓氣體方塊、一個淸洗氣體方塊、一 個廢棄物回收方塊、一個真空方塊、一個溶劑供應方塊、 一個去除氣體方塊、或是一個過濾方塊。 18·如申請專利範圍第14項所述之化學物品輸送 系統’其中，該使用位置點是一個蒸發器。 19·如申請專利範圍第14項所述之化學物品輸送 系統’其中，該使用位置點是一個製造製程工具。 2 〇 ·如申請專利範圍第1 4項所述之化學物品輸送 系統’其中，該使用位置點是一個電子製造工具。 21·如申請專利範圍第14項所述之化學物品輸送 系統’其中，該使用位置點是一個半導體製程工具。 2 2 · —種化學物品輸送系統，其係用於在一個半導 體或是一個光纖製造製程中，從一個液體化學物品容器輸 送一種超純淨化學物品到一個使用位置點，該化學物品輸 送系統包含有一個用於容納一種超純淨化學物品之預先製 造的化學物品容器方塊、一個用於再裝塡一個容器之預先 製造的再裝塡容器、一個用於提供壓力之預先製造的加壓 氣體方塊、一個用於淸洗一種化學物品之預先製造的淸洗 -------η-- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 、1T* 線 552372 Us8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 氣體方塊、一個用於廢棄物回收之預先製造的廢棄物回收 方塊 '一個用於產生真空之預先製造的真空方塊、一個用 於供應溶劑之預先製造的溶劑供應方塊、一個用於去除一 種化學物品之氣體的預先製造之去除氣體方塊、以及一個 用於過濾一種化學物品之預先製造的過濾方塊；並且 其中，該預先製造的化學物品容器方塊包含有： (i)一個第一化學物品容器連接接合部’其係適用 於被接附到一個加壓氣體源； (i i ) 一個密封的化學物品容器； (i i i ) 一個第二化學物品容器連接接合部’其係 適用於被接附到一個整體方塊； (i v ) —個化學物品容器入口導管，其係被連接於 該第一化學物品容器連接接合部與該密封的化學物品容器 之間，用以輸送一種加壓氣體到該密封的化學物品容器； 線 (v ) —個化學物品容器輸送導管，其係被連接於該 密封的化學物品容器與該第二化學物品容器連接接合部之 間，用以輸送一種超純淨的化學物品到一個使用位置點或 一個整體方塊； (v i ) —個化學物品容器旁通導管，其被連接於該 化學物品容器入口導管與該化學物品容器輸送導管之間； (V 1 i )選擇性地，一個化學物品容器排放導管， 其係與該化學物品容器入口導管或是該化學物品容器輸送 導管排成一列地相連接；以及 (v 1 i i ) —個化學物品容器位準指示器，用於監 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） C8 D8 六、申請專利範圍 測在該密封化學物品容器之中的位準； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中，該化學物品容器入口導管包含有： 一個第一化學物品容器接合部，其適用於移除該密封 的容器；以及 一個第一化學物品容器隔離閥，其係被連接於該第一 連接接合部與該密封的容器之間；以及 其中，該化學物品容器輸送導管包含有： 一個化學物品容器浸沒管，其第一端部係延伸進入該 密封的化學物品容器； 一個第二化學物品容器隔離閥，其係被連接於該第二 化學物品容器連接接合部與該密封的化學物品容器之間； 以及 一個適用於移除該密封之化學物品容器的第二化學物 品容器接合部，其係被連接於該第二化學物品容器連接接 合部與該密封的化學物品容器之間； 其中，該化學物品容器排放導管包含有： 一個第五化學物品容器連接接合部；以及 一個化學物品容器控制閥，其係與該第五化學物品容 器連接接合部以及該化學物品容器入口導管排成一列地相 連接、或是與該化學物品容器輸送導管排成一列地相連接 9 其中，該預先製造的再裝塡容器方塊包含有： (i ) 一個第一再裝塡容器連接接合部，其係適用於 被接附到一個整體方塊； -u----- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐）

   552372 κ、申請專利範圍 (i i ) 一個密封的再裝塡容器； (i 1 i ) 一個再裝塡容器化學物品入口導管，其係 被連接於該第一再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間，用以輸送一種超純淨的化學物品到該密封的再 裝塡容器； (i v ) —個第二再裝塡容器連接接合部，其適用於 被接附至一個整體方塊； (v ) —個氣體導管，其係被連接於該第二再裝塡容 器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間，用以輸送一種 加壓氣體到該密封的再裝塡容器； (v i ) —個第三再裝塡容器連接接合部，其係適用 於被接附到一個整體方塊； (V i i ) —個再裝塡容器化學物品輸送導管，其係 被連接於該第三再裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡 容器之間，用以輸送化學物品到一個使用位置點或是一個 整體方塊；以及 (v i i i ) —個再裝塡容器位準監測器，用於監測 在該密封的再裝塡容器中之位準； 其中’該再裝塡容器化學物品入口導管包含有： 一個第一再裝塡容器控制閥，其係被連接於該第一再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個第一再裝塡容器接合部，其係被連接於該第一再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；以及 一個第一再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該第一再 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、\έ 線 I 1 本紙張尺度賴t關賴準(CNSTX4驗(210 X a/i釐)'" 一 552372

   、申凊專利範圍 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 其中，該氣體導管包含有： —個適用於被接附到一個整體方塊的第四再裝塡容器 連接接合部’其係被連接於該第二再裝塡容器連接接合部 與該密封的再裝塡容器之間； 一個針狀閥，其係被連接於該第二再裝塡容器連接接 合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個第二控制閥，其係被連接於該第二再裝塡容器連 接接合部與該密封的再裝塡容器之間； —個第二再裝塡容器接合部，其係被連接於該第二再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；以及 一個第二再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該第二再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間；以及 其中，該再裝塡容器化學物品輸送導管包含有： 一個第三再裝塡容器控制閥，其係被連接於該第三連 接接合部與該密封的容器之間； 一個適用於移除該被密封容器的第三再裝塡容器接合 部’其係被連接於該第三連接接合部與該密封的容器之間 一個第三再裝塡容器隔離閥，其係被連接在該第三再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個第四再裝塡容器隔離閥，其係被連接於該第三再 裝塡容器連接接合部與該密封的再裝塡容器之間； 一個汽門，其係被連接於該第三再裝塡容器連接接合 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 2971^釐) 一 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 、1T: 線 I 1 A8B8C8D8 552372 κ、申請專利範圍 部與該密封的再裝塡容器之間；以及 一個浸沒管，其係帶有延伸進入該密封再裝塡容器的 第一端部並且其係與該再裝塡容器化學物品輸送導管排成 —歹[]; < 其中，該預先製造的加壓氣體方塊包含有： (1 ) 一個第一加壓氣體方塊連接接合部，其係適用 於接收一種惰性氣體； (1i)至少一個加壓氣體方塊氣體導管； (i i i )—個加壓氣體方塊隔離閥’其係被連接於 前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方 塊氣體導管之間； (i v ) —個加壓氣體方塊調節器，其係被連接於前 述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊 氣體導管之間； (v ) —個加壓氣體方塊過濾器，其係被連接於前述 的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊氣 體導管之間； (v i ) —個第一加壓氣體方塊壓力感測器，其被連 接於前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣 體方塊氣體導管之間；以及 (v i i ) —個加壓氣體方塊止回閥，其係被連接於 前述的第一加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方 塊氣體導管之間； 其中，該至少一個的加壓氣體方塊氣體導管係包含有 __ — ---w— ---- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 χ 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、\Μα 線 11 A 552372 篮 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 一個第二加壓氣體方塊連接接合部，其係適用於被接 附至一個整體方塊； 一個加壓氣體方塊針狀閥，其係選擇性地被連接於前 述的第二加壓氣體方塊連接接合部與前述的止回閥之間； 一個加壓氣體方塊控制閥，其係被連接於前述的第二 加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊止回閥之 間；以及 一個第二加壓氣體方塊壓力感測器，其係被連接於前 述的第二加壓氣體方塊連接接合部與前述的加壓氣體方塊 止回閥之間； 其中，該預先製造的淸洗氣體方塊包含有： (i ) 一個第一淸洗氣體連接接合部，其係適用於被 連接至一個第一整體方塊； (i i )至少一個淸洗氣體導管； (i 1 i ) 一個淸洗氣體隔離閥，其係被連接於該第 一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (i v ) —個壓力調節器，其係被連接於該第一淸洗 氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (v ) —個淸洗氣體過濾器，其係被連接於該第一淸 洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (v i ) —個淸洗氣體控制閥，其係被連接於該第一 淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (v i i ) —個淸洗氣體止回閥，其係被連接於該第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐) 552372 § D8 六、申請專利範圍 一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (V 1 i 1 ) —個淸洗氣體壓力感測器，其係被連接 於該第一淸洗氣體連接接合部與淸洗氣體導管之間；以及 (1 X ) —個淸洗氣體流動限制口，其係被連接於該 淸洗氣體控制閥附近；以及 其中，該淸洗氣體導管包含有= 至少一個第二淸洗氣體連接接合部，其係適用於被連 接到一個第二淸洗氣體整體方塊；以及 至少一個淸洗氣體控制閥，該控制閥係被連接於該第 一淸洗氣體連接接合部與該第二淸洗氣體連接接合部之間 其中，該預先製造的廢棄物回收方塊包含有： (1 ) 一個第一廢棄物回收連接接合部，其係適用於 從至少一個整體方塊接收廢棄物； (i i ) 一個被密封的廢棄物回收容器； (i i i ) 一個廢棄物回收入口，其係被連接於該密 封的廢棄物回收容器與該第一廢棄物回收連接接合部之間 j (1 V ) —個第二廢棄物回收容器連接接合部，其係 適用於被接附至一個整體方塊； (V ) —個廢棄物排放口，其係被連接於該密封的廢 棄物回收容器與該第二廢棄物回收容器連接接合部之間； (V 1 ) —個第一廢棄物回收控制閥，其係被連接於 該廢棄物入口與該廢棄物排出口之間；以及 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 888 8 ABCD 552372 六、申請專利範圍 (V 1 i ) —個廢棄物回收位準指示器，用於監測在 該密封的廢棄物回收容器中的位準； 其中，該廢棄物入口包含有： 一個第二廢棄物回收控制閥，其係被連接於該第一廢 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間； 一個第一廢棄物回收容器接合部，其係被連接於該第 一廢棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間 :以及 一個第一廢棄物回收隔離閥，其係被連接於該第一廢 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間；以 及 其中，該廢棄物排放口係包含有： 一個第二廢棄物回收隔離閥，其係被連接於該第二廢 棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間； 一個第二廢棄物回收容器接合部，其係被連接於該第 二廢棄物回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間 :以及 一個第三廢棄物回收控制閥，其係被連接於該第二廢棄物 回收連接接合部與該密封的廢棄物回收容器之間； 其中，該預先製造的真空方塊包含有： (i)一個真空產生器； (1 1 ) 一個第一真空方塊控制閥，其係與該真空產 生器排成一列；以及 (i 1 1 )至少一個的真空導管，其係適用於提供真 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁)

   本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 552372 - C8 D8 六、申請專利範圍 空並且與該真空產生器排成一列； (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 其中，該真空導管包含有： 一個真空方塊連接接合部，其係適用於被接附到至少 一個整體方塊；以及 一個第二真空方塊控制閥，其係被連接於該連接接合 部與該真空產生器之間； 其中，該預先製造的溶劑供應方塊係包含有： (1 ) 一個第一溶劑供應連接接合部，其係適用於連 接到一個第一整體方塊； (1 i ) 一個密封的溶劑供應容器； (i i i)一個加壓溶劑供應氣體入口，其被連接於 該第一溶劑供應連接接合部與該密封的容器之間； (i V ) —個第二溶劑供應連接接合部，其適用於被 連接到一個第二整體方塊； (V ) —個溶劑供應輸送出口，其係被連接於該第二 連接接合部與該密封的容器之間； (V i ) —個溶劑供應控制閥，其係被連接於該溶劑 供應加壓氣體入口與該溶劑供應輸送出口之間；以及 (V i i ) —個溶劑供應位準指示器，用於監測在該 密封容器中的位準； 其中，該加壓氣體入口包含有： 一個第一溶劑供應容器接合部，其係被連接於該第一 連接接合部與該密封的容器之間； 一個第二溶劑供應控制閥，其係被連接於該第一溶劑 -23---—- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 09889? ABCD 552372 六、申請專利範圍 供應連接接合部與該密封的溶劑供應容器之間；以及 一個第一溶劑供應隔離閥，其係被連接於該第一溶劑 供應連接接合部與該密封的溶劑供應容器之間；以及 其中，該溶劑供應輸送出口包含有： 一個溶劑供應浸沒管，其具有一個延伸進入該密封容 器中的端部； 一個第二溶劑供應隔離閥，其係被連接於該密封的溶 劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間； 一個第二溶劑供應容器接合部，其係被連接於該密封 的溶劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間； 一個第三溶劑供應控制閥，其係被連接於該密封的溶 劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間；以及 一個第四溶劑供應控制閥，其係被連接於該密封的溶 劑供應容器與該第二溶劑供應連接接合部之間； 其中，該預先製造的去除氣體方塊包含有： (i ) 一個第一去除氣體方塊連接接合部，其係適用 於被接附到一個整體方塊； (i i ) 一個第二去除氣體方塊連接接合部。其係適 用於被接附到一個整體方塊； (1 1 1 ) 一個去除氣體方塊化學物品入口導管，其 係包含有一個第一去除氣體方塊隔離閥並且係被連接於該 第一去除氣體方塊連接接合部與該第二去除氣體方塊連接 接合部之間； (1 V ) —個薄膜匣，其係被連接於該第一去除氣體 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁)

   本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 552372 as B8 C8 D8 六、申請專利範圍 方塊連接接合部與該第二去除氣體方塊連接接合部之間； (V ) —個去除氣體方塊化學物品出口導管’其係包 含有一個第二去除氣體方塊隔離閥並且係被連接於該第一 去除氣體方塊連接接合部與該第二去除氣體方塊連接接合 部之間；以及 (V i ) —個去除氣體方塊控制閥，其係被連接於該 薄膜匣與該第二去除氣體方塊連接接合部之間； 其中，該預先製造的過濾方塊包含有： (丄）一個第一過瀘方塊連接接合部，其適用於被連 接到一個第一整體方塊； (i i)一個第二過濾方塊連接接合部，其係適用於 被連接到一個第二整體方塊；以及 (i i i)至少一個過濾導管，其係被連接於該第一 過濾方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間； 其中，該過濾導管包含有： 一個第一過濾方塊隔離閥，其係被連接於該第一過濾 方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間； 一個過濾器，其係被連接於該第一過濾方塊連接接口 部與該第二過濾方塊連接接合部之間；以及 一個第二過濾方塊隔離閥，其係被連接於該第一過濾 方塊連接接合部與該第二過濾方塊連接接合部之間。 2 3 ·如申請專利範圍第2 2項所述之化學物品輸送 系統，其中，該使用位置點係爲一個蒸發器。 2 4 ·如申請專利範圍第2 2項所述之化學物品輸送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) -一tf 線 552372 I D8 六、申請專利範圍 系統，其中，該使用位置點係爲一個製造製程工具。 2 5 ·如申請專利範圍第2 2項所述之化學物品輸送 系統，其中，該使用位置點係爲一個電子製造工具。 2 6 ·如申請專利範圍第2 2項所述之化學物品輸送 系統，其中，該使用位置點係爲一個半導體製程工具。 2 7 · —種用於輸送一種超純淨化學物品到一個使 用位置點的方法，該方法包含有以下步驟： (i )將一個容納有一種超純淨化學物品的化學物品 容器方塊連接到一個化學物品輸送方塊；以及 (i i )將該超純淨化學物品引導至一個使用位置點 〇 2 8 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其更包 含有將至少一個整體方塊連接至前述化學物品輸送系統的 步驟。 2 9 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中， 該整體方塊係選擇自：一個再裝塡容器方塊、一個加壓氣 體方塊、一個淸洗氣體方塊、一個廢棄物回收方塊、一個 真空方塊、一個溶劑供應方塊、一個去除氣體方塊、或是 一個過濾方塊。 3 〇 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中， 該整體方塊係爲一個溶劑供應方塊或是一個再裝塡容器方 塊，並且更包含有在將該超純淨化學物品引導至一個使用 位置點之前，將一種溶劑輸送到一個整體方塊的步驟。 3 1 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中， -2S----- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) -一 ti 線 -- 552372 I Co D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 該溶劑係選擇自包含有以下溶劑的群組：異丙醇、四氫基 喃（tetrahydrofuran)、異丙醇/四氫 基喃之混合物、t e t r ag 1 yme、二甲苯、甲苯、 丁基醋酸鹽、benzo nitrile、乙醇、己烷、 辛院、或是以上的組合。。 3 2 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中， 該使用位置點是一個蒸發器。 3 3 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中’ 該使用位置點是一個製造製程工具。 3 4 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中’ 該使用位置點是一個電子製造工具。 3 5 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中， 該使用位置點是一個光纖製造工具。 3 6 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中， 該使用位置點是一個半導體製造工具。 3 7 ·如申請專利範圍第2 7項所述之方法，其中， 該超純淨化學物品係選擇自：tetramethylsilane、 dimethyl-dimethoxy-silane、copper(n)bis(hexafluoroacetylacetonate)、 copper(n)hexafluoroacetylacetonate tetramethylvinylsilane、triisobutylaluminum、 trimethylaminalane、triethylaminalane、dimethylethylaminalane、bis (trimethylamin)al姐e、dimethylaluminumhydride、titanium tetrachloride、 tetrakisdimethylaminotitanium (TDMAT) ^ tetra-kisdiethylamino tantalum (Ta(Net)4) 、penta-kisdiethylamino tantalum (Ta(Net)5)、tantalum pentachloride (TaCl5)、 tungstenhexocarbonyl (W(C0)6)、bisdipivaloylmethanato barium (Ba(DPM)2)、 bisdipivaloylmethanato strontium (Sr(DPM)2)、bis-isopropoxy 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) A8B8C8D8 552372 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) bisdipivaloylmethanato titanium Ti(l-OC3H7)2DPM)2、trimethylaluminum (TMA)、 tetrakisdimethylamino zirconium (Zr(NME)4) ^ tetrakisdiethylamino zirconium (Zr(Net)4)、zirconium t-Butoxide (Zr(t-OBu)4)、tetrakisdiethylamino hafhium (Hf(Net)4)、tetrakisdimethylamino hafiiium (Hf(NME)4)、hafiiium t-Butoxide (Hf(t-〇bu)4)、trihexafluoroacetylacetate platinum (Pt(Hfa)3)、bis(ethylcyclopentadienyl) ruthenium (EeCp2Ru)、acetylacetate iridium (Ir(Acac))、dipivaloylmethane compounds、alkoxide compounds、bisdipivaloylmethanato lead (Pb(DPM)2)、 bisdipivaloylmethanato zirconium (Zr(DPM)4)、trimethyl bismuth (BiMe3)、 tetraethylorthosilicate(TEOS)、tantalum pentaethoxide (Ta(OEt)5)、 tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) ' bis(tertiary-butylamino)silane (BTBAS) ' trimethylphosphate (TMPO)、trimethylborate (TMB)、或是 trimethylphosphite (TMPI) 〇 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 x 297公釐)