JPS6051511A - 油浄化装置 - Google Patents
油浄化装置Info
- Publication number
- JPS6051511A JPS6051511A JP58158528A JP15852883A JPS6051511A JP S6051511 A JPS6051511 A JP S6051511A JP 58158528 A JP58158528 A JP 58158528A JP 15852883 A JP15852883 A JP 15852883A JP S6051511 A JPS6051511 A JP S6051511A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- gas
- filter
- pump
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0063—Regulation, control including valves and floats
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は油回転真空ポンプ等の油を浄化し油劣化を防止
するとともに、ポンプの機械的摩耗、化学的腐食を防止
する油浄化装置に関するものである。
するとともに、ポンプの機械的摩耗、化学的腐食を防止
する油浄化装置に関するものである。
近年、半導体工業で幻、新しい装置の開発に伴い。
それに使われている油回転ポンプが苛酷な条件の下で使
われ始めてきている。例えはドライエツチング装置、プ
ラズマＣｖ１）装置等では特殊ガスを損気するため油回
転ポンプの油を著しく劣化させ油回転ポンプの駆動に支
障をきだし、ひいては油回転ポンプの寿命まで短かくし
ている。例えばエツチングガスとしてＢＣｌ３を用いる
とき、油中に侵入したこのガスは、油中でＨ２Ｏ，若し
くは０２と反応して１３２Ｑ３とＨＣＡ！ 、若しく
Ｕ： Ｂ２ｏ３とＣ１２を生ずるが、 Ｂ２Ｑ３は高硬
度の固体（微粒子）であって。
われ始めてきている。例えはドライエツチング装置、プ
ラズマＣｖ１）装置等では特殊ガスを損気するため油回
転ポンプの油を著しく劣化させ油回転ポンプの駆動に支
障をきだし、ひいては油回転ポンプの寿命まで短かくし
ている。例えばエツチングガスとしてＢＣｌ３を用いる
とき、油中に侵入したこのガスは、油中でＨ２Ｏ，若し
くは０２と反応して１３２Ｑ３とＨＣＡ！ 、若しく
Ｕ： Ｂ２ｏ３とＣ１２を生ずるが、 Ｂ２Ｑ３は高硬
度の固体（微粒子）であって。
軸、シール等を機械的に摩耗し、 ＨＣｌやＣ１２はこ
れらを化学的に腐食する。との摩耗と腐食幻相乗的に作
用して油回転ポンプを急速に損傷し、その１＼では通常
１０時間以内に回転起動の困難、やきつき、シール部の
摩耗による真空不良、排気弁の欠損等を生ずる。かつ、
？＋ｌｌけ伸速に劣化する。
れらを化学的に腐食する。との摩耗と腐食幻相乗的に作
用して油回転ポンプを急速に損傷し、その１＼では通常
１０時間以内に回転起動の困難、やきつき、シール部の
摩耗による真空不良、排気弁の欠損等を生ずる。かつ、
？＋ｌｌけ伸速に劣化する。
そこで油回転ポンプに油の４鍋機能を倫えたフィルター
ユニ、トを接続し、ぞノ１を通過させることにより油中
に含まれる汚染物質を捕捉させ、常に浄化された油を油
回転真空ポンプに供給することを目的としまた油循環シ
ステムが使用さｉｌている。
ユニ、トを接続し、ぞノ１を通過させることにより油中
に含まれる汚染物質を捕捉させ、常に浄化された油を油
回転真空ポンプに供給することを目的としまた油循環シ
ステムが使用さｉｌている。
１疋来の方式を第１図及び第２図に示す。第１図に示す
ものｉＩ ）ロコイドボンプ（タケギヤーポンプ等の定
容ポンプ）４からＩ＋１出された油８がフィルターユニ
ット２を通過し油回転ポンプ１に回収される油循環シス
テムとなっている。この場合、汚染物質を含んだ油８−
１が１０接トロコイドポンプ４をｉｉｌ＋過するため、
スラッジ等の汚染物ｒ［がトロコイドポンプ４の様ｉｌ
を妨け／こり、故＋ｔｒｘを訪発させたりし、雪だ、フ
ィルタルエレメント３に汚染物／１７ｊが捕捉されるに
従いフィルターエレメント３に加わる圧力が増大してい
くので、圧力監視Ｉ’Ｎとして圧力側６．安全え１卯と
しｒレリーフ升５等の＋ｊと品を設′け−Ｃいる。
ものｉＩ ）ロコイドボンプ（タケギヤーポンプ等の定
容ポンプ）４からＩ＋１出された油８がフィルターユニ
ット２を通過し油回転ポンプ１に回収される油循環シス
テムとなっている。この場合、汚染物質を含んだ油８−
１が１０接トロコイドポンプ４をｉｉｌ＋過するため、
スラッジ等の汚染物ｒ［がトロコイドポンプ４の様ｉｌ
を妨け／こり、故＋ｔｒｘを訪発させたりし、雪だ、フ
ィルタルエレメント３に汚染物／１７ｊが捕捉されるに
従いフィルターエレメント３に加わる圧力が増大してい
くので、圧力監視Ｉ’Ｎとして圧力側６．安全え１卯と
しｒレリーフ升５等の＋ｊと品を設′け−Ｃいる。
へｆｌ、、’ ２１９／ｊに示すもの（件 ：’＜）、
−１１ｙ＜１の油浄化装置Ｍを改■セＬ、）口＝＋イド
ボポンの１１１之弓１イ１川にフィルターユニットを配
備し、油循環ラインに三方弁を接続しｋものである。こ
オフ分説明すると、ＩＬＪ油回転ポンフ、２ｆｒｌフイ
ルターユニ７ト、３けフィルターエレメント、４はトロ
コイドポンプ、７′及ヒフ′′は三方す゛、８娃：油、
８−１は汚れた油、８−２は浄化された油 ９ （，１
被真空室、ＩＱはユニ、ト化７Σれた油浄化ゲ装置であ
る。第２図の場合は、トロコイドポンプ４はフィルター
ユニット２の負圧側に配（Ｍ＋しであるのでフィルター
ユニットイ則の２由を吸引する形になっている。そのた
め油回転ポンプ１がら排出されてくる汚れ＊−ｉｒ＋１
８−、け必ずフィルターエレメント３を通過するので′
帛に浄化さｆＲこ油８−２がトロコイドポンプ４に供給
さｉｌる。従ってトロコイドポンプ４ Ｖ＋辞ｌに安定
した状態で使用されることになるのでト「２コイドポン
プ４の１Ｆ簡に役立つ。
−１１ｙ＜１の油浄化装置Ｍを改■セＬ、）口＝＋イド
ボポンの１１１之弓１イ１川にフィルターユニットを配
備し、油循環ラインに三方弁を接続しｋものである。こ
オフ分説明すると、ＩＬＪ油回転ポンフ、２ｆｒｌフイ
ルターユニ７ト、３けフィルターエレメント、４はトロ
コイドポンプ、７′及ヒフ′′は三方す゛、８娃：油、
８−１は汚れた油、８−２は浄化された油 ９ （，１
被真空室、ＩＱはユニ、ト化７Σれた油浄化ゲ装置であ
る。第２図の場合は、トロコイドポンプ４はフィルター
ユニット２の負圧側に配（Ｍ＋しであるのでフィルター
ユニットイ則の２由を吸引する形になっている。そのた
め油回転ポンプ１がら排出されてくる汚れ＊−ｉｒ＋１
８−、け必ずフィルターエレメント３を通過するので′
帛に浄化さｆＲこ油８−２がトロコイドポンプ４に供給
さｉｌる。従ってトロコイドポンプ４ Ｖ＋辞ｌに安定
した状態で使用されることになるのでト「２コイドポン
プ４の１Ｆ簡に役立つ。
超えることがなくなるのでフィルターエレメントとじて
けヂＰ想的な使われがたとなり ’：ｌ＋、 １図のレ
リーフ弁５や圧力計６を省略できる。
けヂＰ想的な使われがたとなり ’：ｌ＋、 １図のレ
リーフ弁５や圧力計６を省略できる。
々お、フィルターニレメンｌ−３の交換の時ｒ１１．巳
方１ｆＰ ７“のＳ Ｕ ）’ （１１の弁と三方弁７
′のＥＸ側の弁を開け（７′及び７“の油回転ボンブイ
１１１１の弁仁１、閉じている）、トロコイドポンプ４
；ｒｌｊＦ動させると、フィルターユニット２内の油は
音は（５’＋を全に抜へ出すことができる。
方１ｆＰ ７“のＳ Ｕ ）’ （１１の弁と三方弁７
′のＥＸ側の弁を開け（７′及び７“の油回転ボンブイ
１１１１の弁仁１、閉じている）、トロコイドポンプ４
；ｒｌｊＦ動させると、フィルターユニット２内の油は
音は（５’＋を全に抜へ出すことができる。
しかし、これら従来の第１［ヅｌ、ｉ）！、２図のν置
には欠点がある。それは前記したＦＩｃｌ、Ｃ１２等の
腐食性ガスへの対しｔｌ、が不充分なことである。こｉ
ｌらのガスを楼械式のフィルターユニットで完全に除去
するこトケ困１ｊＴｌ／ｌで、ガスフィルクーの微卸）
孔に捕捉された水などに溶けた形のものだいｊが除去プ
Ｊ′１．大部分は素通りしてト「１コナドボンフ” ＋
？＋ｉ１回転ポンプ１を９１食し、油を劣化させる。
には欠点がある。それは前記したＦＩｃｌ、Ｃ１２等の
腐食性ガスへの対しｔｌ、が不充分なことである。こｉ
ｌらのガスを楼械式のフィルターユニットで完全に除去
するこトケ困１ｊＴｌ／ｌで、ガスフィルクーの微卸）
孔に捕捉された水などに溶けた形のものだいｊが除去プ
Ｊ′１．大部分は素通りしてト「１コナドボンフ” ＋
？＋ｉ１回転ポンプ１を９１食し、油を劣化させる。
これらｊｐ＋１食性ガスへの対策としては、従来１ｒ］
例えば特開５４−１７５（う０７’センコ）％４ｉ油回
転ポンプ、のように、ポンプの接触部やシール部を弗素
樹脂あるいはセラミ、夕等の耐食性層相で（＃’ｊ Ｉ
Ｊνするものがあるが、こＪｌは＆４． ｆｆ７を６゛
・１価にする。かつ、これでは油の劣化員防止できない
。
例えば特開５４−１７５（う０７’センコ）％４ｉ油回
転ポンプ、のように、ポンプの接触部やシール部を弗素
樹脂あるいはセラミ、夕等の耐食性層相で（＃’ｊ Ｉ
Ｊνするものがあるが、こＪｌは＆４． ｆｆ７を６゛
・１価にする。かつ、これでは油の劣化員防止できない
。
腐食性ガスの除去を排気装ｆｆＮで行なうものに例えば
捕間５６−７７３８１「ドライエツチング装ｊ’ｆの枡
気装箭」がある。これのドライエツチングのエノチンダ
室にルーツポンプの吸気口を連結し、かつルーツポンプ
の排気口に冷却トラップを介して油回転ポンプの吸気口
を連結するという＋１へ成のもので、ガスを冷却トラッ
プに捕捉するものである。し、かじ５゜これには液体要
素を用いるため装置が大損りで高価になり、トラップさ
れたガスの放出に格別の装置２作業を心裏ｊとする欠点
がある。
捕間５６−７７３８１「ドライエツチング装ｊ’ｆの枡
気装箭」がある。これのドライエツチングのエノチンダ
室にルーツポンプの吸気口を連結し、かつルーツポンプ
の排気口に冷却トラップを介して油回転ポンプの吸気口
を連結するという＋１へ成のもので、ガスを冷却トラッ
プに捕捉するものである。し、かじ５゜これには液体要
素を用いるため装置が大損りで高価になり、トラップさ
れたガスの放出に格別の装置２作業を心裏ｊとする欠点
がある。
本発明は、この問題をＨ決するものである。
本発明の実施例を第３図に示ず。
第３図の油浄化装置１００が、氾２図の油浄化装イバ。
１０と異なる点は、（（ヤ械的フィルターユニ、１・２
とトロコイドポンプ４との間にガス吸着性！ ｒａｔ
／及びガス中和性フィルター２０（以下で１ｒ２上中に
カスフィルターとよぶ）を挿入したところにある。
とトロコイドポンプ４との間にガス吸着性！ ｒａｔ
／及びガス中和性フィルター２０（以下で１ｒ２上中に
カスフィルターとよぶ）を挿入したところにある。
ガスフィルクー２０１’（はＥ１食性ガスを吸危炉１ｐ
ｈする活性炭等、又はρ１触性ガスを中＋１１するＣａ
Ｃ（１３とアルミナ等の混合物弯（例え＆、ｊ： ｌ’
−Ｔ−レキュラーシーブ」、「ゼオライト」がある）力
神Ｊ二／１（さｉＩる。
ｈする活性炭等、又はρ１触性ガスを中＋１１するＣａ
Ｃ（１３とアルミナ等の混合物弯（例え＆、ｊ： ｌ’
−Ｔ−レキュラーシーブ」、「ゼオライト」がある）力
神Ｊ二／１（さｉＩる。
アルミナのり、ｉν、結体をガスフィルター２０とし−
Ｃ使用するときにｋｉ−、、Ｊｌｌ’！： ｆＣ性ガス
の吸オー１と中第１１が回１積にｊＧ 行シ＋ ガスフ
ィルター〇）、ｉ命を長いものｔｉ（−Ｊる。
Ｃ使用するときにｋｉ−、、Ｊｌｌ’！： ｆＣ性ガス
の吸オー１と中第１１が回１積にｊＧ 行シ＋ ガスフ
ィルター〇）、ｉ命を長いものｔｉ（−Ｊる。
」−記のように挿入するガス吸着件又←Ｊ、／及Ｏ・カ
ス中イ［」性フィルター２０娃、極めて安価で、４Ｊ１
〆１１００に糾込むことも容＆であるが、イーσ）り）
Ｊ果を」−著るしい。これＶ（： Ｊ：つて胴１六ｆ１
カスＣ殆んと完全に１ｌｊｉ去され、ポンプ４及びｌの
面ｊ久力はｌ； ｊ￥ｒ ｔ、 、油の劣化は阻止され
る。
ス中イ［」性フィルター２０娃、極めて安価で、４Ｊ１
〆１１００に糾込むことも容＆であるが、イーσ）り）
Ｊ果を」−著るしい。これＶ（： Ｊ：つて胴１六ｆ１
カスＣ殆んと完全に１ｌｊｉ去され、ポンプ４及びｌの
面ｊ久力はｌ； ｊ￥ｒ ｔ、 、油の劣化は阻止され
る。
ガスフィルター２Ｏｆ−ｔこれを第３図の２１の位置即
ちフィルターユニット２の前に１？ｆ＜こともできる。
ちフィルターユニット２の前に１？ｆ＜こともできる。
このトガスフイルターユニ、ト２が腐食性ガスから触放
略オ］る効果がある。（（，１，４トガスフイルターに
目詰りの可能性が増す。） 本発明で追加するガスフィ／ｌ・クーは安価でコンパク
トであるから、２０と２１の内位（Ｆｆにとｉｌを憤１
〈こともＦ’Ｔ Ｔｉｔｊである。
略オ］る効果がある。（（，１，４トガスフイルターに
目詰りの可能性が増す。） 本発明で追加するガスフィ／ｌ・クーは安価でコンパク
トであるから、２０と２１の内位（Ｆｆにとｉｌを憤１
〈こともＦ’Ｔ Ｔｉｔｊである。
ガスフィルター２０のエレメント３０の交換は、前述の
フィルターユニット２のエレメント３０交神と同様に１
１なうことかでへる。エレメント３０ は大力の場合：
ＩＩ・い捨ての）［）をとるため交４ｉｆ＋作業に手間
はか＼らす、無釦年図軍のように予１ノｆｙ＋のガスフ
ィルター２０′と三方弁２２．２３を設けて、運転を停
止することなくエレメントを交換するなどの装置ｎも充
分な経済性の下に＝＜ ａｒ、可能である。
フィルターユニット２のエレメント３０交神と同様に１
１なうことかでへる。エレメント３０ は大力の場合：
ＩＩ・い捨ての）［）をとるため交４ｉｆ＋作業に手間
はか＼らす、無釦年図軍のように予１ノｆｙ＋のガスフ
ィルター２０′と三方弁２２．２３を設けて、運転を停
止することなくエレメントを交換するなどの装置ｎも充
分な経済性の下に＝＜ ａｒ、可能である。
本発明の機械式フィルターユニット２とガスフィルター
２０は、この一方又は両方を図の２５ の位１ハ。
２０は、この一方又は両方を図の２５ の位１ハ。
即ちトロコイドポンプ４の吐出側に置くこともできる。
殊にフィルターユニット２をＩ）Ｉ出（ｌｉｌ Ｋ ｆ
・へ゛〈と、高ＬＩ−で炉・尚できる便′凸がある。（
ｋたし７．圧力釧やレリーフ弁は多くの坊”、汗欠かせ
ない。）フィルターユニット２を１↓１出倶１ｉ＃（Ｉ
Ｗ（＜とともに。
・へ゛〈と、高ＬＩ−で炉・尚できる便′凸がある。（
ｋたし７．圧力釧やレリーフ弁は多くの坊”、汗欠かせ
ない。）フィルターユニット２を１↓１出倶１ｉ＃（Ｉ
Ｗ（＜とともに。
それケ簡単にしたものをポンプ４の吸込側にも設けろと
いう構成も有用でイ・）る。
いう構成も有用でイ・）る。
同にこと乞１．ガスフィルター２０（Ｃついても 言い
うる。
うる。
本イ１を明のトロコイドポンゾ熔の定゛谷ポンプ４とフ
ィルターユニット２ トガスフイルター２０ の五者力
（ のｌ［４Ｊ′性２個□９．関係１”Ｉｔ’、 ｉｌ′＋
は、油中の汚染物Ｊ＃１１の押知、多小、性曹に応じて
過室）゛祝択坏れるものである。
ィルターユニット２ トガスフイルター２０ の五者力
（ のｌ［４Ｊ′性２個□９．関係１”Ｉｔ’、 ｉｌ′＋
は、油中の汚染物Ｊ＃１１の押知、多小、性曹に応じて
過室）゛祝択坏れるものである。
なＪ：、−、本発明の楼梯式フィルターユニット２と。
ガスフィルター２０は、こノ１を合体させて両者のイ炒
Ｎｉ：を合せ持つ一個のフィルターに＋１・′、成する
こともできる。
Ｎｉ：を合せ持つ一個のフィルターに＋１・′、成する
こともできる。
本発明の油浄化装置ｔ’ｔ ｒｉ、−１−記の通りであ
るため、こねを設備した油回転ポンプの寿命１極めて長
いものとなる。寸だ油の劣化の、４１行もＩＳＩ＋止さ
シ１．その真空排気力は長時間に亘る１東続運転でも低
下しない。
るため、こねを設備した油回転ポンプの寿命１極めて長
いものとなる。寸だ油の劣化の、４１行もＩＳＩ＋止さ
シ１．その真空排気力は長時間に亘る１東続運転でも低
下しない。
半鎮体工梁に水装置ｔイの寄与Ｐるところｄ、甚大であ
り、不為の発明とＦｌうことかできる。
り、不為の発明とＦｌうことかできる。
第１．２図は従来の油循壌力式のブロックダイアダラム
、；９３図は本発明の一実施例のブロックダイアダラム
である。 １・・・・・油回転ポンプ、２・・−フィルターユニッ
ト。
、；９３図は本発明の一実施例のブロックダイアダラム
である。 １・・・・・油回転ポンプ、２・・−フィルターユニッ
ト。
Claims (1)
- 反応ガスもしくは腐食性ガスを吸気・排気する油回転真
空ポンプの作動油浄化装置において、定容型ポンプと２
機械式のフィルターユニツ）と、ガス吸着性又ハ／及ヒ
ガス中和性フィルターにより構成きれていることを特徴
とする油浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58158528A JPS6051511A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 油浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58158528A JPS6051511A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 油浄化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6051511A true JPS6051511A (ja) | 1985-03-23 |
Family
ID=15673700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58158528A Pending JPS6051511A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 油浄化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6051511A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS627408A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-14 | Ulvac Corp | 真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置 |
| JPH0533007A (ja) * | 1991-04-24 | 1993-02-09 | Dowa Mining Co Ltd | 金属あるいはセラミツクス粉末成形品のバインダ除去方法及びその装置 |
| JPH11107923A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-20 | Chuo Giken:Kk | 空気圧縮機 |
| CN105257541A (zh) * | 2015-10-20 | 2016-01-20 | 芜湖环球汽车配件有限公司 | 一种真空泵 |
-
1983
- 1983-08-30 JP JP58158528A patent/JPS6051511A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS627408A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-14 | Ulvac Corp | 真空プロセス装置用油回転ポンプ油循環浄化装置 |
| JPH0533007A (ja) * | 1991-04-24 | 1993-02-09 | Dowa Mining Co Ltd | 金属あるいはセラミツクス粉末成形品のバインダ除去方法及びその装置 |
| JPH11107923A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-20 | Chuo Giken:Kk | 空気圧縮機 |
| CN105257541A (zh) * | 2015-10-20 | 2016-01-20 | 芜湖环球汽车配件有限公司 | 一种真空泵 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2196901A1 (en) | Dry gas seal contamination prevention system | |
| CN108970301A (zh) | 一种喷漆房用空气处理装置 | |
| CN108328577A (zh) | 一种氢气纯化器 | |
| JPS6051511A (ja) | 油浄化装置 | |
| KR101935336B1 (ko) | 체임버를 배기시키고 상기 체임버로부터 추출된 기체를 정화하는 장치 및 방법 | |
| US20220111324A1 (en) | Manifold assembly for trap filter systems | |
| CN205164422U (zh) | 一种压缩机空气净化装置 | |
| US6808546B2 (en) | Device and method for exhaust air processing, in particular, for clean room devices | |
| WO2010026476A3 (en) | Method and device for cleaning a filter for fluids | |
| US20160236126A1 (en) | Air purification system | |
| CN110453199B (zh) | 一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置 | |
| JPS61187911A (ja) | フイルタエレメントの清掃方法 | |
| CN107569902B (zh) | 一种印染废水的处理方法及装置 | |
| CN210420154U (zh) | 一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置 | |
| CN210915685U (zh) | 一种级数可调的多级污水处理装置 | |
| KR20150094536A (ko) | 습식세정기능을 가지는 수봉식 진공펌프 | |
| JP4491696B2 (ja) | 排気ガス処理装置 | |
| US20220112598A1 (en) | Trap filter system for semiconductor equipment | |
| EP1181965A1 (en) | Device for cleaning a fluid in the form of a vapor from a circuit | |
| CN216034320U (zh) | 空气处理装置 | |
| JPS58184433A (ja) | グロ−ブボツクス及び同様な設備用の換気装置 | |
| WO2022214154A1 (fr) | Dispositif et procédé d'élimination des poussières, des fumées, des gaz et des vapeurs évacués dans l'environnement. | |
| JPS646808B2 (ja) | ||
| JP3129980B2 (ja) | トラップ装置及びその再生方法 | |
| CN219716286U (zh) | 腹透透析三孔模型 |