JPS624803A - 真空熱処理炉の安全装置 - Google Patents
真空熱処理炉の安全装置Info
- Publication number
- JPS624803A JPS624803A JP14365485A JP14365485A JPS624803A JP S624803 A JPS624803 A JP S624803A JP 14365485 A JP14365485 A JP 14365485A JP 14365485 A JP14365485 A JP 14365485A JP S624803 A JPS624803 A JP S624803A
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- Japan
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- inert gas
- vacuum pump
- line
- gas supply
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発嬰は、爆発性ガスを使用する真空熱処理炉の安全装
置に関するものである。
置に関するものである。
［従来の技術］
例えば、超硬合金の焼結には、近年、その雰囲気ガスと
してＨｌ、ＣＯその他の爆発性を有するガスを使用する
ことが多くなって来ている。かかる爆発性ガスを用いる
焼結作業は、通常真空焼結炉内で適当な減圧状態の下で
実施されるため、炉内に大気リーク等を生じると爆発事
故の危険がある。そこで、この種の真空炉では、リーク
の発生を炉内圧の変化や雰囲気ガス中の酸素濃度の変化
などをセンシングして絶えず監視し、爆発事故を未然に
防止するための細心の配慮が払われている。
してＨｌ、ＣＯその他の爆発性を有するガスを使用する
ことが多くなって来ている。かかる爆発性ガスを用いる
焼結作業は、通常真空焼結炉内で適当な減圧状態の下で
実施されるため、炉内に大気リーク等を生じると爆発事
故の危険がある。そこで、この種の真空炉では、リーク
の発生を炉内圧の変化や雰囲気ガス中の酸素濃度の変化
などをセンシングして絶えず監視し、爆発事故を未然に
防止するための細心の配慮が払われている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかし、現状では焼結炉本体についての安全性について
は対策が講じられているものの、炉内の爆発性ガスを真
空ポンプで吸引し排気するその排気ラインについては余
り注意が払われておらず、このためこの種焼結炉による
操業の安全性の確保は必ずしも完全なものとは言えない
情況にある。
は対策が講じられているものの、炉内の爆発性ガスを真
空ポンプで吸引し排気するその排気ラインについては余
り注意が払われておらず、このためこの種焼結炉による
操業の安全性の確保は必ずしも完全なものとは言えない
情況にある。
具体的に言えば、特に焼結炉から爆発性ガスを吸引する
真空ポンプの停止時または始動時乃至運転中に排気ライ
ン中で一時的に爆発性ガスと空気（酸素）とが混合し、
両者の危険な混合状態を呈する可能性があることである
。そして、このような危険性は真空焼結炉の場合のみな
らず、爆発性ガスを雰囲気ガスとして使用する真空熱処
理炉一般に共通する問題として提起される。
真空ポンプの停止時または始動時乃至運転中に排気ライ
ン中で一時的に爆発性ガスと空気（酸素）とが混合し、
両者の危険な混合状態を呈する可能性があることである
。そして、このような危険性は真空焼結炉の場合のみな
らず、爆発性ガスを雰囲気ガスとして使用する真空熱処
理炉一般に共通する問題として提起される。
本発明は、かかる閘題点に着目し、真空熱処理炉の排気
系路で爆発性ガスと酸素とが混合するおそれを確実に防
止でき、爆発事故の危険性を完全に排除できるようにし
た安全装置を提供する目的でなされたものである。
系路で爆発性ガスと酸素とが混合するおそれを確実に防
止でき、爆発事故の危険性を完全に排除できるようにし
た安全装置を提供する目的でなされたものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、このような目的を達成するために、爆発性ガ
スを含む熱処理炉内からの排ガスを真空ポンプで吸引し
て大気中に放出せしめるようにした真空熱処理炉の排気
システムにおいて、前記熱処理炉内の排気口と前記真空
ポンプの吸気口とをメインバルブを介して連通ずる上流
側配気系路と、一端が前記真空ポンプの排気口と連通さ
れ他端に大気放出口を有する下流側排気系路と、この下
流側排気系路に第１バルブを介して連通され不活性ガス
供給手段から該下流側排気系路に不活性ガスを流入させ
る第１不活性ガス供給系路と、前記メインバルブと前記
真空ポンプとの間の上流側排気系路に第２バルブを介し
て連通され前記不活性ガス供、給手段から該上流側排気
系路に不活性ガスを流入させる第２不活性ガス供給系路
とを設けたことを特徴としている。
スを含む熱処理炉内からの排ガスを真空ポンプで吸引し
て大気中に放出せしめるようにした真空熱処理炉の排気
システムにおいて、前記熱処理炉内の排気口と前記真空
ポンプの吸気口とをメインバルブを介して連通ずる上流
側配気系路と、一端が前記真空ポンプの排気口と連通さ
れ他端に大気放出口を有する下流側排気系路と、この下
流側排気系路に第１バルブを介して連通され不活性ガス
供給手段から該下流側排気系路に不活性ガスを流入させ
る第１不活性ガス供給系路と、前記メインバルブと前記
真空ポンプとの間の上流側排気系路に第２バルブを介し
て連通され前記不活性ガス供、給手段から該上流側排気
系路に不活性ガスを流入させる第２不活性ガス供給系路
とを設けたことを特徴としている。
［作用］
真空熱処理炉の排気システムに、このような第１、第２
の不活性ガス供給系路を付設したものであれば、メイン
バルブを開にして真空ポンプを運転しているときには、
その第１バルブを開にして第１不活性ガス供給系路から
下流側排気系路に不活性ガスを流入せしめ、該下流側排
気系路内を正圧域におくようにする。すると、真空ポン
プの運転中に下流側排気系路にその大気放出口から空気
が逆流してきて、該Ｆ流側排気系路内で危険な爆発性ガ
スと酸素の混合が確実に防止できる。また、真空ポンプ
の運転を停止するときには、メインバルブを閉じると°
ともに、第１、第２バルブを共に開にして第１、第２の
不活性ガス供給系路から下流側配気系路と真空ポンプ側
の上流側配気系路とにそれぞれ不活性ガスを流入せしめ
る。すなわち、こうすれば上流側配気系路と上流側配気
系路に残存する爆発性が不活性ガスで瞬時にガスパージ
することができるのである。
の不活性ガス供給系路を付設したものであれば、メイン
バルブを開にして真空ポンプを運転しているときには、
その第１バルブを開にして第１不活性ガス供給系路から
下流側排気系路に不活性ガスを流入せしめ、該下流側排
気系路内を正圧域におくようにする。すると、真空ポン
プの運転中に下流側排気系路にその大気放出口から空気
が逆流してきて、該Ｆ流側排気系路内で危険な爆発性ガ
スと酸素の混合が確実に防止できる。また、真空ポンプ
の運転を停止するときには、メインバルブを閉じると°
ともに、第１、第２バルブを共に開にして第１、第２の
不活性ガス供給系路から下流側配気系路と真空ポンプ側
の上流側配気系路とにそれぞれ不活性ガスを流入せしめ
る。すなわち、こうすれば上流側配気系路と上流側配気
系路に残存する爆発性が不活性ガスで瞬時にガスパージ
することができるのである。
［実施例］
以下１本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
添付図は、本発明に係る真空焼結炉の排気システムの概
要を図示しており、図においてｌは、チャンバー２内で
処理物ａを収納するためのタイトボックス３と、このタ
イトボックス３内を加熱するためのヒータ４等を設けて
構成される真空焼としてＨｌやＧＯなどの爆発性ガスを
炉内に流入させるガス導入口１ａと、この爆発性ガスを
含む排ガスを外部に排気するための排気口１ｂとを設け
ている。５は真空ポンプ（ロータリポンプ）であり、真
空焼結炉１内から爆発性ガスを含んだ排ガスを真空吸引
して大気中に放出せしめる。そして、このために、前記
真空焼結炉１の排気口１ｂと真空ポンプ５の吸気口５ａ
とを接続連通する上流側排気系路６と、一端が真空ポン
プ５の排気口５ｂに接続連通され他端に大気放出口８を
有する下流側排気系路７とを配設している。そして、上
流側排気系路６にはこの排気システムのメインバルブ９
が介設され、真空ポンプ５の運転作動時のみ炉ｌ内と排
気ラインとの接続を行なわしめるように開閉状態が切換
えられる。
要を図示しており、図においてｌは、チャンバー２内で
処理物ａを収納するためのタイトボックス３と、このタ
イトボックス３内を加熱するためのヒータ４等を設けて
構成される真空焼としてＨｌやＧＯなどの爆発性ガスを
炉内に流入させるガス導入口１ａと、この爆発性ガスを
含む排ガスを外部に排気するための排気口１ｂとを設け
ている。５は真空ポンプ（ロータリポンプ）であり、真
空焼結炉１内から爆発性ガスを含んだ排ガスを真空吸引
して大気中に放出せしめる。そして、このために、前記
真空焼結炉１の排気口１ｂと真空ポンプ５の吸気口５ａ
とを接続連通する上流側排気系路６と、一端が真空ポン
プ５の排気口５ｂに接続連通され他端に大気放出口８を
有する下流側排気系路７とを配設している。そして、上
流側排気系路６にはこの排気システムのメインバルブ９
が介設され、真空ポンプ５の運転作動時のみ炉ｌ内と排
気ラインとの接続を行なわしめるように開閉状態が切換
えられる。
しかして、かかる真空焼結炉１の排気システムにおいて
、次のような構成を付加している。すなわち、まず前記
下流側排気系路７に、その真空ポンプ５の排気口５ｂ近
傍位置で第１不活性ガス供給系路１１を接続して連通さ
せるようにしている、この第１不活性ガス供給系路１１
は、ガス貯留器のような不活性ガス供給手段１０から該
下流側排気系路７にＮ２その他の不活性ガスを流入させ
るためのもので、その途中に介設した第１バルブ１２の
開度調整によりガス流入量を自在に可変できるものとし
ている。また、前記メインバルブ９と前記真空ポンプ５
の吸気口５ａとの間の上流側排気系路６ｂに、前記第１
不活性ガス供給系路１１から分岐する第２不活性ガス供
給系路１３を接続して連通させるようにしている。この
第２不活性ガス供給系路１３は、共通の前記不活性ガス
供給手段１０から該上流側排気系路６ｂに不活性ガスを
必要なときのみ流入させるためのもので、その途中に介
設した第２パルプ１４の開閉で所定のタイミングに不活
性ガスを流入できるようにしている。そして、これら第
１、第２不活性ガス供給系路１１．１３に設けられたバ
ルブ１２．１４は、前記メインバルブ９と共に制御手段
１５により各バルブの開閉切換または開度調整が自動制
御される。すなわち、メインバルブ９は制御手段１５か
らの指令信号ＣＯを入力して真空ポンプ５の運転開始−
運転停止に連動して開閉される。また、第１バルブ１１
は制御手段１５からの指令信号ＣＩを入力して、真空ポ
ンプ５の運転作動中は下流側排気系路７を正圧域にする
小流量の不活性ガスを絶えず下流側排気系路７に流入さ
せるバルブ開度に制御され、真空ポンプ５の運転停止時
には一定時間下流側排気系路７に大流量の不活性ガスを
流入させるバルブ開度に制御されるようになっている。
、次のような構成を付加している。すなわち、まず前記
下流側排気系路７に、その真空ポンプ５の排気口５ｂ近
傍位置で第１不活性ガス供給系路１１を接続して連通さ
せるようにしている、この第１不活性ガス供給系路１１
は、ガス貯留器のような不活性ガス供給手段１０から該
下流側排気系路７にＮ２その他の不活性ガスを流入させ
るためのもので、その途中に介設した第１バルブ１２の
開度調整によりガス流入量を自在に可変できるものとし
ている。また、前記メインバルブ９と前記真空ポンプ５
の吸気口５ａとの間の上流側排気系路６ｂに、前記第１
不活性ガス供給系路１１から分岐する第２不活性ガス供
給系路１３を接続して連通させるようにしている。この
第２不活性ガス供給系路１３は、共通の前記不活性ガス
供給手段１０から該上流側排気系路６ｂに不活性ガスを
必要なときのみ流入させるためのもので、その途中に介
設した第２パルプ１４の開閉で所定のタイミングに不活
性ガスを流入できるようにしている。そして、これら第
１、第２不活性ガス供給系路１１．１３に設けられたバ
ルブ１２．１４は、前記メインバルブ９と共に制御手段
１５により各バルブの開閉切換または開度調整が自動制
御される。すなわち、メインバルブ９は制御手段１５か
らの指令信号ＣＯを入力して真空ポンプ５の運転開始−
運転停止に連動して開閉される。また、第１バルブ１１
は制御手段１５からの指令信号ＣＩを入力して、真空ポ
ンプ５の運転作動中は下流側排気系路７を正圧域にする
小流量の不活性ガスを絶えず下流側排気系路７に流入さ
せるバルブ開度に制御され、真空ポンプ５の運転停止時
には一定時間下流側排気系路７に大流量の不活性ガスを
流入させるバルブ開度に制御されるようになっている。
モして又、第２バルブ１４は制御手段１５からの指令信
号Ｃ２を入力して、真空ポンプ５の運転作動中は閉止状
態に保持され、真空ポンプ５の運転停止時のみ一定時間
上流側排気系路６ｂに所定量の不活性ガスを流入させる
バルブ開成状態に切換えられるように制御される。
号Ｃ２を入力して、真空ポンプ５の運転作動中は閉止状
態に保持され、真空ポンプ５の運転停止時のみ一定時間
上流側排気系路６ｂに所定量の不活性ガスを流入させる
バルブ開成状態に切換えられるように制御される。
以上のような機構の安全装置を具備したものであれば、
次のようにしてその排気ラインにおける爆発事故の危険
が取り除かれるものとなる。すなわち、メインバルブ９
を開にして真空ポンプ５の運転の開始したときには、そ
の第１バルブ１２が開成され第１不活性ガス供給系路１
１から下流側排気系路７に不活性ガスを流入されてその
内部が正圧域におかれるから、真空ポンプ５の運転開始
時乃至運転中に下流側排気系路７内にその大気放出Ｏ８
から空気が逆流してきて、該下流側排気系路７内での爆
発性ガスと酸素との危険な混合が確実に防止できる０次
いで、真空ポンプ５の運転を停止する（停電等の原因で
不慮に停止されるときを含む）には、メインバルブ９が
閉じられるとともに、第１、第２バルブ１２．１４が同
時に開成され第１、第２の不活性ガス供給系路１１．１
３から下流側配気系路７と真空ポンプ側の上流側配気系
路６ｂとに同時にそれらの内容積に相当する大流量の不
活性ガスが一時的に流入されるから、メインバルブ９以
降の排気ラインに残存する爆発性ガスが不活性ガスで瞬
時にガスパージされ、下流側配気系路７と上流側配気系
路６ｂの内部が即座に不活性ガスで置換されることにな
る。なお、必要に応じ真空ポンプ５の停止後も引き続き
第１不活性ガス供給系路１１から下流側排気系路７に不
活性ガスを流し続けるようにしてもよい。
次のようにしてその排気ラインにおける爆発事故の危険
が取り除かれるものとなる。すなわち、メインバルブ９
を開にして真空ポンプ５の運転の開始したときには、そ
の第１バルブ１２が開成され第１不活性ガス供給系路１
１から下流側排気系路７に不活性ガスを流入されてその
内部が正圧域におかれるから、真空ポンプ５の運転開始
時乃至運転中に下流側排気系路７内にその大気放出Ｏ８
から空気が逆流してきて、該下流側排気系路７内での爆
発性ガスと酸素との危険な混合が確実に防止できる０次
いで、真空ポンプ５の運転を停止する（停電等の原因で
不慮に停止されるときを含む）には、メインバルブ９が
閉じられるとともに、第１、第２バルブ１２．１４が同
時に開成され第１、第２の不活性ガス供給系路１１．１
３から下流側配気系路７と真空ポンプ側の上流側配気系
路６ｂとに同時にそれらの内容積に相当する大流量の不
活性ガスが一時的に流入されるから、メインバルブ９以
降の排気ラインに残存する爆発性ガスが不活性ガスで瞬
時にガスパージされ、下流側配気系路７と上流側配気系
路６ｂの内部が即座に不活性ガスで置換されることにな
る。なお、必要に応じ真空ポンプ５の停止後も引き続き
第１不活性ガス供給系路１１から下流側排気系路７に不
活性ガスを流し続けるようにしてもよい。
したがって、このシステムを採用すれば、真空ポンプ５
の運転中、停止時のいずれのときでも、その排気系路６
ｂ、７内で爆発性ガスと大気放出口８から逆流する空気
（酸素）とが混合したり或いは排気系路６ｂ、７内に爆
発性ガスが滞留する危険な状態を惹起するおそれが完全
に回避できるものとなり、この種焼結炉の操業の安全性
に万全を期することができるものとなる。また、このシ
ステムでは、真空ポンプ５の停止時には同時に上流側排
気系路６ｂへも不活性ガスを流入してガスパージするよ
うにしているので、ポンプ停止に伴ないその下流側排気
系路７から該真空ポンプ５内を通過したオイルを含むガ
スが逆流して、上流側の炉１等をオイルで汚染する心配
もない。
の運転中、停止時のいずれのときでも、その排気系路６
ｂ、７内で爆発性ガスと大気放出口８から逆流する空気
（酸素）とが混合したり或いは排気系路６ｂ、７内に爆
発性ガスが滞留する危険な状態を惹起するおそれが完全
に回避できるものとなり、この種焼結炉の操業の安全性
に万全を期することができるものとなる。また、このシ
ステムでは、真空ポンプ５の停止時には同時に上流側排
気系路６ｂへも不活性ガスを流入してガスパージするよ
うにしているので、ポンプ停止に伴ないその下流側排気
系路７から該真空ポンプ５内を通過したオイルを含むガ
スが逆流して、上流側の炉１等をオイルで汚染する心配
もない。
本発明は、以上の如くして真空焼結炉における排気シス
テムでの爆発事故の危険性を排除できるものである。そ
して、本発明は真空焼結炉のみならず、雰囲気ガスとし
て爆発性ガスを使用するその他の真空熱処理炉の場合に
ついても同様に利用可能な汎用性をもったものであるこ
とは言うまでもない、なお、第１、第２不活性ガス供給
系路１１．１３に設けたバルブ１２．１４の開閉切換や
開度調整の具体的な制御の内容、またメインバルブ９を
含めてそれらの具体的な制御方式等は、上記実施例に拘
束されず、必要に応じ様々に改良、変更等を加えること
ができる。
テムでの爆発事故の危険性を排除できるものである。そ
して、本発明は真空焼結炉のみならず、雰囲気ガスとし
て爆発性ガスを使用するその他の真空熱処理炉の場合に
ついても同様に利用可能な汎用性をもったものであるこ
とは言うまでもない、なお、第１、第２不活性ガス供給
系路１１．１３に設けたバルブ１２．１４の開閉切換や
開度調整の具体的な制御の内容、またメインバルブ９を
含めてそれらの具体的な制御方式等は、上記実施例に拘
束されず、必要に応じ様々に改良、変更等を加えること
ができる。
［発明の効果］
以上に説明したように、本発明は真空熱処理炉の排気系
路で爆発性ガスと酸素とが混合するおそれを確実に防止
できて爆発事故の危険性を排除でき、併せてガスの逆流
に伴なう真空ポンプ上流側でのオイルによる汚染問題も
解消できる安全装置を提供することができたものである
。
路で爆発性ガスと酸素とが混合するおそれを確実に防止
できて爆発事故の危険性を排除でき、併せてガスの逆流
に伴なう真空ポンプ上流側でのオイルによる汚染問題も
解消できる安全装置を提供することができたものである
。
添付図は本発明の一実施例を示す真空焼結炉における排
気システムの概略説明図である。 １・・・真空焼結炉 １ａ１１ｅ１１ガス導入口、ｉｂ・・拳排気口５・・・
真空ポンプ（ロータリポンプ）５ ａ＊ １１ ＠吸気
口、 ５ｂｅＩＩ１１排気口６・・・上流側排気系路 ６ｂ・・・真空ポンプ側の上流側排気系路７・・・下流
側排気系路 ８・Φ・大気放出口 ９・・・メインバルブ １０・拳・不活性ガス供給手段 １１−−−第１不活性ガス供給系路 １２・・・第１バルブ １３・・・第２不活性ガス供給系路 １４・や・第２バルブ １５・Φ・制御手段
気システムの概略説明図である。 １・・・真空焼結炉 １ａ１１ｅ１１ガス導入口、ｉｂ・・拳排気口５・・・
真空ポンプ（ロータリポンプ）５ ａ＊ １１ ＠吸気
口、 ５ｂｅＩＩ１１排気口６・・・上流側排気系路 ６ｂ・・・真空ポンプ側の上流側排気系路７・・・下流
側排気系路 ８・Φ・大気放出口 ９・・・メインバルブ １０・拳・不活性ガス供給手段 １１−−−第１不活性ガス供給系路 １２・・・第１バルブ １３・・・第２不活性ガス供給系路 １４・や・第２バルブ １５・Φ・制御手段
Claims (1)
- 爆発性ガスを含む熱処理炉内からの排ガスを真空ポンプ
で吸引して大気中に放出せしめるようにした真空熱処理
炉の排気システムにおいて、前記熱処理炉内の排気口と
前記真空ポンプの吸気口とをメインバルブを介して連通
する上流側排気系路と、一端が前記真空ポンプの排気口
と連通され他端に大気放出口を有する下流側排気系路と
、この下流側排気系路に第１バルブを介して連通され不
活性ガス供給手段から該下流側排気系路に不活性ガスを
流入させる第１不活性ガス供給系路と、前記メインバル
ブと前記真空ポンプとの間の上流側排気系路に第２バル
ブを介して連通され前記不活性ガス供給手段から該上流
側排気系路に不活性ガスを流入させる第２不活性ガス供
給系路とを設けたことを特徴とする真空熱処理炉の安全
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60143654A JPH0657844B2 (ja) | 1985-06-30 | 1985-06-30 | 真空熱処理炉の安全装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60143654A JPH0657844B2 (ja) | 1985-06-30 | 1985-06-30 | 真空熱処理炉の安全装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624803A true JPS624803A (ja) | 1987-01-10 |
| JPH0657844B2 JPH0657844B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=15343817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60143654A Expired - Fee Related JPH0657844B2 (ja) | 1985-06-30 | 1985-06-30 | 真空熱処理炉の安全装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0657844B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0212712A (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-17 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 水密電線製造法 |
| JP2015104701A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 日立工機株式会社 | 遠心機、及び遠心機におけるロータ室の開放方法 |
| CN107254573A (zh) * | 2017-06-14 | 2017-10-17 | 沈阳航空航天大学 | 用于感应加热局部热处理的气氛控制装置及方法 |
| CN113736982A (zh) * | 2020-05-27 | 2021-12-03 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 用于焊后在线热处理的气体保护装置及其使用方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5364122U (ja) * | 1976-11-02 | 1978-05-30 | ||
| JPS59186799U (ja) * | 1983-05-30 | 1984-12-11 | 石川島播磨重工業株式会社 | 高温熱処理炉用電熱装置 |
-
1985
- 1985-06-30 JP JP60143654A patent/JPH0657844B2/ja not_active Expired - Fee Related
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