JPH0628040A - マスフローコントローラー - Google Patents
マスフローコントローラーInfo
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- JPH0628040A JPH0628040A JP20717492A JP20717492A JPH0628040A JP H0628040 A JPH0628040 A JP H0628040A JP 20717492 A JP20717492 A JP 20717492A JP 20717492 A JP20717492 A JP 20717492A JP H0628040 A JPH0628040 A JP H0628040A
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- signal
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、配管内の逆流を検出して、制御バ
ルブを閉じる機能をマスフローコントローラーに持たせ
ることにより、逆流を確実に止めるとともに配管内の清
浄度の向上を図る。 【構成】 流量センサ12を配管11に設け、配管11内の逆
流を検出して逆流信号53を送信する逆流センサ13を流量
センサ12よりも下流側の配管11に設ける。また流量セン
サ12で検出した流量信号51と設定流量値とを比較判定し
てバルブ制御信号52を送信するもので、かつ逆流信号53
に基づいてバルブ閉塞信号54を送信する制御器14を設け
るとともに、配管11に流す流体の流量設定値を制御器14
に入力する設定器15を設ける。さらにバルブ制御信号52
に基づいて流量の調節を行うもので、かつバルブ閉塞信
号54に基づいて配管11を閉塞する制御バルブ16を流量セ
ンサ12と逆流センサ13との間の配管11に設けてなるもの
である。
ルブを閉じる機能をマスフローコントローラーに持たせ
ることにより、逆流を確実に止めるとともに配管内の清
浄度の向上を図る。 【構成】 流量センサ12を配管11に設け、配管11内の逆
流を検出して逆流信号53を送信する逆流センサ13を流量
センサ12よりも下流側の配管11に設ける。また流量セン
サ12で検出した流量信号51と設定流量値とを比較判定し
てバルブ制御信号52を送信するもので、かつ逆流信号53
に基づいてバルブ閉塞信号54を送信する制御器14を設け
るとともに、配管11に流す流体の流量設定値を制御器14
に入力する設定器15を設ける。さらにバルブ制御信号52
に基づいて流量の調節を行うもので、かつバルブ閉塞信
号54に基づいて配管11を閉塞する制御バルブ16を流量セ
ンサ12と逆流センサ13との間の配管11に設けてなるもの
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、配管内を流れる流体の
逆流を検出して配管を閉塞する機能を持つマスフローコ
ントローラーに関するものである。
逆流を検出して配管を閉塞する機能を持つマスフローコ
ントローラーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】複数種のガスを用いる化学的気相成長装
置やドライエッチング装置等の半導体製造装置には、そ
れぞれの種類のガスを個別に供給する配管が当該半導体
製造装置の処理室に接続されている。図３に示すよう
に、処理室３０に接続されている各配管３１，３２，３
３のそれぞれには、少なくとも上流側より、配管内の流
量を調節するためのマスフローコントローラー３４，３
５，３６と、配管内での逆流を防止するための逆止弁３
７，３８，３９が設けられている。
置やドライエッチング装置等の半導体製造装置には、そ
れぞれの種類のガスを個別に供給する配管が当該半導体
製造装置の処理室に接続されている。図３に示すよう
に、処理室３０に接続されている各配管３１，３２，３
３のそれぞれには、少なくとも上流側より、配管内の流
量を調節するためのマスフローコントローラー３４，３
５，３６と、配管内での逆流を防止するための逆止弁３
７，３８，３９が設けられている。
【０００３】上記逆止弁３７〜３９の構造を、図４によ
り説明する。図では、代表して逆止弁３７の構造を示
す。図に示すように、筒状の本体４１の一方側に流体の
流入口４２が設けられていて、他方側に流出口４３が設
けられている。この本体４１内には、ポペット４４が流
入口４２側と流出口４３側との間を遊びを持って自在に
動くように設けられている。上記ポペット４４の流入口
４２側には、当該流入口４２を閉塞可能な封止部材４５
が設けられている。さらに上記ポペット４４の流出口４
３側にはバネ４６が設けられている。このバネ４６によ
って、ポペット４４は流入口４２側に押しつけられてい
る。
り説明する。図では、代表して逆止弁３７の構造を示
す。図に示すように、筒状の本体４１の一方側に流体の
流入口４２が設けられていて、他方側に流出口４３が設
けられている。この本体４１内には、ポペット４４が流
入口４２側と流出口４３側との間を遊びを持って自在に
動くように設けられている。上記ポペット４４の流入口
４２側には、当該流入口４２を閉塞可能な封止部材４５
が設けられている。さらに上記ポペット４４の流出口４
３側にはバネ４６が設けられている。このバネ４６によ
って、ポペット４４は流入口４２側に押しつけられてい
る。
【０００４】次に上記逆止弁３７の動作を説明する。流
入口４２側より流出口４３側に流体が流れる場合には、
流体の圧力によってポペット４４が流出口４３側に押圧
されて、流体は流入口４２側より流出口４３側に流れ
る。流出口４３側で逆流が発生した場合には、流出口４
３側の圧力が流入口４２側の圧力よりも高くなるので、
ポペット４４は流入口４２側に押圧される。そして封止
部材４５とポペット４４によって、流入口４２を閉じ
る。このようにして、逆流を防止する。
入口４２側より流出口４３側に流体が流れる場合には、
流体の圧力によってポペット４４が流出口４３側に押圧
されて、流体は流入口４２側より流出口４３側に流れ
る。流出口４３側で逆流が発生した場合には、流出口４
３側の圧力が流入口４２側の圧力よりも高くなるので、
ポペット４４は流入口４２側に押圧される。そして封止
部材４５とポペット４４によって、流入口４２を閉じ
る。このようにして、逆流を防止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
造の逆止弁では、バネの反発力と流体の圧力とによって
ポペットの動作を行っている。このため、ポペットと本
体との間の隙間によって生じるがたのために、ポペット
が傾いた状態で流入口を押圧するような場合には、流入
口を完全に閉塞することができない。例えば、流出口側
で逆流が発生した場合には、逆流した流体を逆止弁で止
めることができない。また逆止弁の動作不良によって、
逆流を止めることができているか否かを外部より確認す
る手段がないので、逆流によって混合することにより爆
発等が発生する場合には、非常に危険になる。さらに逆
流によって、反応室内の混合比が変化するので、所望の
混合比が得られない。このため、製品の品質が低下す
る。
造の逆止弁では、バネの反発力と流体の圧力とによって
ポペットの動作を行っている。このため、ポペットと本
体との間の隙間によって生じるがたのために、ポペット
が傾いた状態で流入口を押圧するような場合には、流入
口を完全に閉塞することができない。例えば、流出口側
で逆流が発生した場合には、逆流した流体を逆止弁で止
めることができない。また逆止弁の動作不良によって、
逆流を止めることができているか否かを外部より確認す
る手段がないので、逆流によって混合することにより爆
発等が発生する場合には、非常に危険になる。さらに逆
流によって、反応室内の混合比が変化するので、所望の
混合比が得られない。このため、製品の品質が低下す
る。
【０００６】またさらに、通常の逆止弁には、高分子材
料よりなる封止部材が用いられている。このため、配管
により供給される流体によって、封止部材が腐食され
る。さらにポペットが可動する際に、本体とポペットと
が擦れて異物が発生する。このように、封止部材の腐食
や異物の発生によって、配管を流れる流体の清浄度は非
常に低下する。
料よりなる封止部材が用いられている。このため、配管
により供給される流体によって、封止部材が腐食され
る。さらにポペットが可動する際に、本体とポペットと
が擦れて異物が発生する。このように、封止部材の腐食
や異物の発生によって、配管を流れる流体の清浄度は非
常に低下する。
【０００７】本発明は、逆流防止機能に優れたマスフロ
ーコントローラーを提供することを目的とする。
ーコントローラーを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたものである。すなわち、第１のマ
スフローコントローラーとしては、流量センサを配管に
設け、配管内の逆流を検出して逆流信号を送信する逆流
センサを流量センサよりも下流側の配管に設ける。また
流量センサで検出した流量信号と設定流量値とを比較判
定してバルブ制御信号を送信し、かつ逆流信号に基づい
てバルブ閉塞信号を送信する制御器を設けるとともに、
配管に流す流体の流量設定値を制御器に入力する設定器
を設ける。さらにバルブ制御信号に基づいて流量の調節
を行い、かつバルブ閉塞信号に基づいて配管を閉塞する
制御バルブを流量センサと逆流センサとの間の配管に設
けてなるものである。
成するためになされたものである。すなわち、第１のマ
スフローコントローラーとしては、流量センサを配管に
設け、配管内の逆流を検出して逆流信号を送信する逆流
センサを流量センサよりも下流側の配管に設ける。また
流量センサで検出した流量信号と設定流量値とを比較判
定してバルブ制御信号を送信し、かつ逆流信号に基づい
てバルブ閉塞信号を送信する制御器を設けるとともに、
配管に流す流体の流量設定値を制御器に入力する設定器
を設ける。さらにバルブ制御信号に基づいて流量の調節
を行い、かつバルブ閉塞信号に基づいて配管を閉塞する
制御バルブを流量センサと逆流センサとの間の配管に設
けてなるものである。
【０００９】あるいは第２のマスフローコントローラー
としては、配管内の順方向の流量を正の電位で検出しか
つ逆方向の流れを負の電位によって検出する流量センサ
を配管に設け、正の電位の流量信号と設定流量値とを比
較判定してバルブ制御信号を送信し、かつ負の電位の逆
流信号に基づいてバルブ閉塞信号を送信する制御器を設
けるとともに、配管に流す流体の流量設定値を制御器に
入力する設定器を設ける。さらにバルブ制御信号に基づ
いて流量の調節を行い、かつバルブ閉塞信号に基づいて
配管を閉塞する制御バルブを流量センサよりも下流側の
配管に設けてなるものである。
としては、配管内の順方向の流量を正の電位で検出しか
つ逆方向の流れを負の電位によって検出する流量センサ
を配管に設け、正の電位の流量信号と設定流量値とを比
較判定してバルブ制御信号を送信し、かつ負の電位の逆
流信号に基づいてバルブ閉塞信号を送信する制御器を設
けるとともに、配管に流す流体の流量設定値を制御器に
入力する設定器を設ける。さらにバルブ制御信号に基づ
いて流量の調節を行い、かつバルブ閉塞信号に基づいて
配管を閉塞する制御バルブを流量センサよりも下流側の
配管に設けてなるものである。
【００１０】
【作用】第１のマスフローコントローラーでは、閉塞性
能に優れた制御バルブよりも下流側に、制御器に逆流信
号を送信する逆流センサを設けたことにより、逆流が制
御バルブを通過する前に逆流センサによって逆流が検出
される。このため、制御バルブによって、配管が閉塞さ
れるので、逆流した流体は制御バルブよりも上流側に流
れない。このように、電気的に逆流を検出して、制御バ
ルブで配管を閉塞するので、配管が確実に閉じられて、
逆流が止められる。
能に優れた制御バルブよりも下流側に、制御器に逆流信
号を送信する逆流センサを設けたことにより、逆流が制
御バルブを通過する前に逆流センサによって逆流が検出
される。このため、制御バルブによって、配管が閉塞さ
れるので、逆流した流体は制御バルブよりも上流側に流
れない。このように、電気的に逆流を検出して、制御バ
ルブで配管を閉塞するので、配管が確実に閉じられて、
逆流が止められる。
【００１１】第２のマスフローコントローラーでは、流
量センサで検出される負の電位の逆流信号に基づいて、
制御器で逆流を判定し、かつ制御器より制御バルブに配
管の閉塞を指示することにより、逆流が防止される。こ
のように、電気的に逆流を検出して、制御バルブで配管
を閉塞するので、配管が確実に閉じられて、逆流が止め
られる。
量センサで検出される負の電位の逆流信号に基づいて、
制御器で逆流を判定し、かつ制御器より制御バルブに配
管の閉塞を指示することにより、逆流が防止される。こ
のように、電気的に逆流を検出して、制御バルブで配管
を閉塞するので、配管が確実に閉じられて、逆流が止め
られる。
【００１２】
【実施例】本発明の第１の実施例を、図１のシステム構
成図により説明する。図に示すように、配管１１には、
当該配管１１内を流れる流体（図示せず）の流量を検出
する流量センサ１２が設けられている。上記流量センサ
１２よりも下流側の配管１１には、配管１１内の逆流を
検出する逆流センサ１３が設けられている。また上記流
量センサ１２と上記逆流センサ１３とには制御器１４が
接続されている。上記制御器１４には、配管１１に流す
流体の流量設定値を入力する設定器１５が接続されてい
る。さらに上記流量センサ１２と上記逆流センサ１３と
の間の配管１１には、上記制御器１４に接続されている
制御バルブ１６が設けられている。この制御バルブ１６
には、閉塞性能に優れたバルブが用いられる。上記の如
くに、マスフローコントローラー１０は構成される。
成図により説明する。図に示すように、配管１１には、
当該配管１１内を流れる流体（図示せず）の流量を検出
する流量センサ１２が設けられている。上記流量センサ
１２よりも下流側の配管１１には、配管１１内の逆流を
検出する逆流センサ１３が設けられている。また上記流
量センサ１２と上記逆流センサ１３とには制御器１４が
接続されている。上記制御器１４には、配管１１に流す
流体の流量設定値を入力する設定器１５が接続されてい
る。さらに上記流量センサ１２と上記逆流センサ１３と
の間の配管１１には、上記制御器１４に接続されている
制御バルブ１６が設けられている。この制御バルブ１６
には、閉塞性能に優れたバルブが用いられる。上記の如
くに、マスフローコントローラー１０は構成される。
【００１３】次に上記マスフローコントローラー１０の
動作を説明する。配管１１内の流量制御は、まず流量セ
ンサ１２によって配管１１内の流量を測定する。そして
測定した流量を流量信号５１として制御器１４に送信す
る。制御器１４では、当該制御器１４に入力された設定
流量値と送信された流量信号５１とを比較判定して、バ
ルブの開閉を調節するバルブ制御信号５２を制御バルブ
１６に送信する。制御バルブ１６では、バルブ制御信号
５２に基づいてバルブの開閉を行い、配管１１内の流量
を適性な流量にする。
動作を説明する。配管１１内の流量制御は、まず流量セ
ンサ１２によって配管１１内の流量を測定する。そして
測定した流量を流量信号５１として制御器１４に送信す
る。制御器１４では、当該制御器１４に入力された設定
流量値と送信された流量信号５１とを比較判定して、バ
ルブの開閉を調節するバルブ制御信号５２を制御バルブ
１６に送信する。制御バルブ１６では、バルブ制御信号
５２に基づいてバルブの開閉を行い、配管１１内の流量
を適性な流量にする。
【００１４】上記配管１１の下流側で逆流が生じた場合
には、逆流センサ１３によって逆流を検出して、逆流信
号５３として制御器１４に送信する。制御器１４では、
逆流信号５３を受信したならば、直ちにバルブ閉塞信号
５４を制御バルブ１６に送信する。制御バルブ１６は、
バルブ閉塞信号５４に基づいて、直ちに配管１１を閉塞
する。このようにして、配管１１の下流側で発生した逆
流を制御バルブ１６で止める。
には、逆流センサ１３によって逆流を検出して、逆流信
号５３として制御器１４に送信する。制御器１４では、
逆流信号５３を受信したならば、直ちにバルブ閉塞信号
５４を制御バルブ１６に送信する。制御バルブ１６は、
バルブ閉塞信号５４に基づいて、直ちに配管１１を閉塞
する。このようにして、配管１１の下流側で発生した逆
流を制御バルブ１６で止める。
【００１５】上記マスフローコントローラー１０では、
閉塞性能に優れた制御バルブ１６よりも下流側に、制御
器１４に逆流信号５３を送信する逆流センサ１３を設け
たことにより、逆流が制御バルブ１６を通過する前に逆
流センサ１３によって逆流が検出される。このため、制
御バルブ１６によって、直ちに配管１１が閉塞されるの
で、逆流した流体は制御バルブ１６よりも上流側に流れ
ない。このように、電気的に逆流を検出して、制御バル
ブ１６で配管１１を閉塞するので、配管１１が確実に閉
じられ、逆流を止めることができる。
閉塞性能に優れた制御バルブ１６よりも下流側に、制御
器１４に逆流信号５３を送信する逆流センサ１３を設け
たことにより、逆流が制御バルブ１６を通過する前に逆
流センサ１３によって逆流が検出される。このため、制
御バルブ１６によって、直ちに配管１１が閉塞されるの
で、逆流した流体は制御バルブ１６よりも上流側に流れ
ない。このように、電気的に逆流を検出して、制御バル
ブ１６で配管１１を閉塞するので、配管１１が確実に閉
じられ、逆流を止めることができる。
【００１６】次に第２の実施例を、図２のシステム構成
図により説明する。図では、通常のマスフローコントロ
ーラーに逆流防止機能を付加したマスフローコントロー
ラー２０を説明する。配管２１には、順方向の流量を正
の電位で検出しかつ逆方向の流れを負の電位によって検
出する流量センサ２２が設けられている。この流量セン
サ２２には制御器２３が接続されている。この制御器２
３には、配管２１に流す流体の流量設定値を入力する設
定器２４が接続されている。さらに上記流量センサ２２
の下流側の配管２１には、上記制御器２３に接続されて
いる制御バルブ２５が設けられている。上記の如くに、
マスフローコントローラー２０は構成される。
図により説明する。図では、通常のマスフローコントロ
ーラーに逆流防止機能を付加したマスフローコントロー
ラー２０を説明する。配管２１には、順方向の流量を正
の電位で検出しかつ逆方向の流れを負の電位によって検
出する流量センサ２２が設けられている。この流量セン
サ２２には制御器２３が接続されている。この制御器２
３には、配管２１に流す流体の流量設定値を入力する設
定器２４が接続されている。さらに上記流量センサ２２
の下流側の配管２１には、上記制御器２３に接続されて
いる制御バルブ２５が設けられている。上記の如くに、
マスフローコントローラー２０は構成される。
【００１７】次に上記マスフローコントローラー２０の
動作を説明する。配管２１内の流量制御は、まず流量セ
ンサ２２によって配管２１内の流量を正の電位で検出す
る。そして検出した正の電位を流量信号６１として制御
器２３に送信する。制御器２３では、当該制御器２３に
入力された設定流量値と送信された流量信号６１とを比
較判定して、バルブの開閉を調節するバルブ制御信号６
２を制御バルブ２５に送信する。制御バルブ２５では、
バルブ制御信号６２に基づいてバルブの開閉を行い、配
管２１内の流量を適性な流量にする。
動作を説明する。配管２１内の流量制御は、まず流量セ
ンサ２２によって配管２１内の流量を正の電位で検出す
る。そして検出した正の電位を流量信号６１として制御
器２３に送信する。制御器２３では、当該制御器２３に
入力された設定流量値と送信された流量信号６１とを比
較判定して、バルブの開閉を調節するバルブ制御信号６
２を制御バルブ２５に送信する。制御バルブ２５では、
バルブ制御信号６２に基づいてバルブの開閉を行い、配
管２１内の流量を適性な流量にする。
【００１８】上記配管２１の下流側で逆流が生じた場合
には、流量センサ２２が逆流を負の電位として検出す
る。そして検出した負の電位を逆流信号６３として制御
器２３に送信する。制御器２３では、逆流信号６３を受
信したならば、直ちにバルブ閉塞信号６４を制御バルブ
２５に送信する。制御バルブ２５は、バルブ閉塞信号６
４に基づいて、直ちに配管２１を閉塞する。このように
して、配管２１の下流側で発生した逆流を制御バルブ２
５で止める。
には、流量センサ２２が逆流を負の電位として検出す
る。そして検出した負の電位を逆流信号６３として制御
器２３に送信する。制御器２３では、逆流信号６３を受
信したならば、直ちにバルブ閉塞信号６４を制御バルブ
２５に送信する。制御バルブ２５は、バルブ閉塞信号６
４に基づいて、直ちに配管２１を閉塞する。このように
して、配管２１の下流側で発生した逆流を制御バルブ２
５で止める。
【００１９】上記マスフローコントローラー２０では、
流量センサ２２で検出される負の電位によって、制御器
２３で逆流を判定し、かつ制御器２３より制御バルブ２
５に配管２１の閉塞を指示することにより、逆流が防止
される。このように、電気的に逆流を検出して、制御バ
ルブ２５で配管２１を閉塞するので、配管２１が確実に
閉じられる。上記マスフローコントローラー２０は、通
常のマスフローコントローラーの制御器に、負の電位に
よって逆流を判定して配管の閉塞を制御バルブに指示す
る機能を付加するだけで構成することが可能になる。
流量センサ２２で検出される負の電位によって、制御器
２３で逆流を判定し、かつ制御器２３より制御バルブ２
５に配管２１の閉塞を指示することにより、逆流が防止
される。このように、電気的に逆流を検出して、制御バ
ルブ２５で配管２１を閉塞するので、配管２１が確実に
閉じられる。上記マスフローコントローラー２０は、通
常のマスフローコントローラーの制御器に、負の電位に
よって逆流を判定して配管の閉塞を制御バルブに指示す
る機能を付加するだけで構成することが可能になる。
【００２０】
【発明の効果】以上、説明したように請求項１の発明に
よれば、制御バルブよりも下流側に、制御器に逆流信号
を送信する逆流センサを設けたことにより、逆流が制御
バルブを通過する前に逆流センサによって逆流を電気的
に検出できる。このため、制御バルブによって、配管を
確実に閉塞できるので、逆流した流体は制御バルブより
も上流側に流れなくなる。よって、逆流は確実に止める
ことができる。また請求項２の発明によれば、流量セン
サで検出される負の電位によって、制御器が逆流を判定
し、直ちに制御バルブに配管の閉塞が指示されるので、
逆流は防止できる。このように、電気的に逆流を検出し
て、制御バルブで配管を閉塞するので、配管が確実に閉
じられ、逆流を止めることができる。上記のように、マ
スフローコントローラーの制御バルブで逆流を防止する
ので、配管を流れる流体を汚染することがなくなる。こ
の結果、流体の清浄度の向上を図ることができる。
よれば、制御バルブよりも下流側に、制御器に逆流信号
を送信する逆流センサを設けたことにより、逆流が制御
バルブを通過する前に逆流センサによって逆流を電気的
に検出できる。このため、制御バルブによって、配管を
確実に閉塞できるので、逆流した流体は制御バルブより
も上流側に流れなくなる。よって、逆流は確実に止める
ことができる。また請求項２の発明によれば、流量セン
サで検出される負の電位によって、制御器が逆流を判定
し、直ちに制御バルブに配管の閉塞が指示されるので、
逆流は防止できる。このように、電気的に逆流を検出し
て、制御バルブで配管を閉塞するので、配管が確実に閉
じられ、逆流を止めることができる。上記のように、マ
スフローコントローラーの制御バルブで逆流を防止する
ので、配管を流れる流体を汚染することがなくなる。こ
の結果、流体の清浄度の向上を図ることができる。
【図１】第１の実施例のシステム構成図である。
【図２】第２の実施例のシステム構成図である。
【図３】従来例のシステム構成図である。
【図４】逆止弁の概略構成断面図である。
１０ マスフローコントローラー １１ 配管 １２ 流量センサ １３ 逆流センサ １４ 制御器 １５ 設定器 １６ 制御バルブ ２０ マスフローコントローラー ２１ 配管 ２２ 流量センサ ２３ 制御器 ２４ 設定器 ２５ 制御バルブ ５１ 流量信号 ５２ バルブ制御信号 ５３ 逆流信号 ５４ バルブ閉塞信号 ６１ 流量信号 ６２ バルブ制御信号 ６３ 逆流信号 ６４ バルブ閉塞信号
Claims (2)
- 【請求項１】 配管に設けた流量センサと、 前記配管内の逆流を検出して逆流信号を送信するもの
で、前記流量センサよりも下流側の当該配管に設けた逆
流センサと、 前記流量センサで検出した流量信号と設定流量値とを比
較判定してバルブ制御信号を送信するもので、かつ前記
逆流センサで検出した逆流信号に基づいてバルブ閉塞信
号を送信する制御器と、 前記配管内を流れる流体の流量設定値を前記制御器に入
力する設定器と、 前記バルブ制御信号に基づいて流量の調節を行うもの
で、かつ前記バルブ閉塞信号に基づいて配管を閉塞する
ものであって、前記流量センサと前記逆流センサとの間
の当該配管に設けた制御バルブとよりなることを特徴と
するマスフローコントローラー。 - 【請求項２】 配管内の順方向の流量を正の電位で検出
しかつ逆方向の流れを負の電位によって検出するもの
で、当該配管に設けた流量センサと、 前記流量センサで検出した正の電位の流量信号と設定流
量値とを比較判定してバルブ制御信号を送信するもの
で、かつ前記流量センサで検出した負の電位の逆流信号
に基づいてバルブ閉塞信号を送信する制御器と、 前記配管内を流れる流体の流量設定値を前記制御器に入
力する設定器と、 前記バルブ制御信号に基づいて流量の調節を行うもの
で、かつ前記バルブ閉塞信号に基づいて配管を閉塞する
ものであって、前記流量センサよりも下流側の前記配管
に設けた制御バルブとよりなることを特徴とするマスフ
ローコントローラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20717492A JPH0628040A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | マスフローコントローラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20717492A JPH0628040A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | マスフローコントローラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628040A true JPH0628040A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16535464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20717492A Pending JPH0628040A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | マスフローコントローラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628040A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH101776A (ja) * | 1996-06-10 | 1998-01-06 | Canon Inc | 半導体を作製する装置のガス供給方法および供給装置 |
| JP2004511905A (ja) * | 2000-10-06 | 2004-04-15 | ラム リサーチ コーポレーション | 半導体処理のためのガス供給装置 |
| KR100684874B1 (ko) * | 2004-11-23 | 2007-02-20 | 삼성전자주식회사 | 질량 유량 제어기 및 그것의 동작방법 |
| JP2022505804A (ja) * | 2018-10-26 | 2022-01-14 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 先進逆流診断を有する質量流量制御器 |
-
1992
- 1992-07-10 JP JP20717492A patent/JPH0628040A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH101776A (ja) * | 1996-06-10 | 1998-01-06 | Canon Inc | 半導体を作製する装置のガス供給方法および供給装置 |
| JP2004511905A (ja) * | 2000-10-06 | 2004-04-15 | ラム リサーチ コーポレーション | 半導体処理のためのガス供給装置 |
| JP4838971B2 (ja) * | 2000-10-06 | 2011-12-14 | ラム リサーチ コーポレーション | 半導体処理のためのガス供給装置及び基板処理方法 |
| KR100684874B1 (ko) * | 2004-11-23 | 2007-02-20 | 삼성전자주식회사 | 질량 유량 제어기 및 그것의 동작방법 |
| JP2022505804A (ja) * | 2018-10-26 | 2022-01-14 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 先進逆流診断を有する質量流量制御器 |
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