JP2022505804A - 先進逆流診断を有する質量流量制御器 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2A
Description
条項2.流量の所定の値は全流量のパーセンテージである、条項1に記載の質量流量制御器。
条項3.流量の所定の値は、或る期間にわたる全流量のパーセンテージである、条項1に記載の質量流量制御器。
条項4.診断システムは、少なくとも1つの所定の値を決定することに応答して、日付、時間、及びデバイス識別子のログをとるように更に構成される、条項1に記載の質量流量制御器。
条項5.診断システムは、コントローラをハードフォールト及び安全状態の一方に入らせるように更に構成される、条項1に記載の質量流量制御器。
条項6.集中化コントローラを更に備え、集中化コントローラは、複数のコントローラから診断データを受信し、複数のコントローラのうちの少なくとも1つのコントローラの動作を制御するように構成される、条項1に記載の質量流量制御器。
条項7.質量流量制御器の動作を制御する診断システムであって、少なくとも1つのセンサ及び弁に通信可能に結合されたコントローラを備え、コントローラは、所定のセットポイント値及び少なくとも1つのセンサからの通信情報に基づいて弁を制御するように調整され、コントローラは、流体の逆流に関連する少なくとも1つの所定の値を決定し、少なくとも1つの所定の値に基づいてコントローラの動作を制御するように構成される、診断システム。
条項8.流量の所定の値は全流量のパーセンテージである、条項7に記載の診断システム。
条項9.流量の所定の値は、或る期間にわたる全流量のパーセンテージである、条項7に記載の診断システム。
条項10.コントローラは、少なくとも1つの所定の値を決定することに応答して、日付、時間、及びデバイス識別子のログをとるように更に構成される、条項7に記載の診断システム。
条項11.コントローラは、コントローラをハードフォールト及び安全状態の一方に入らせるように更に構成される、条項7に記載の診断システム。
条項12.集中化コントローラを更に備え、集中化コントローラは、複数のコントローラから診断データを受信し、複数のコントローラのうちの少なくとも1つのコントローラの動作を制御するように構成される、条項7に記載の診断システム。
条項13.質量流量制御器の動作を制御する方法であって、少なくとも1つのセンサからデータを受信することと、所定のセットポイント値及び少なくとも1つのセンサからの通信情報に基づいて弁を制御することと、流体の逆流に関連する少なくとも1つの所定の値を決定することと、少なくとも1つの所定の値に基づいてコントローラの動作を制御することとを含む、方法。
条項14.流量の所定の値は全流量のパーセンテージである、条項13に記載の方法。
条項15.流量の所定の値は、或る期間にわたる全流量のパーセンテージである、条項13に記載の方法。
条項16.少なくとも1つの所定の値を決定することに応答して、日付、時間、及びデバイス識別子のログをとることを更に含む、条項13に記載の方法。
条項17.コントローラをハードフォールト及び安全状態の一方に入らせることを更に含む、条項13に記載の方法。
条項18.集中化コントローラにおいて、複数のコントローラから診断データを受信することと、複数のコントローラのうちの少なくとも1つのコントローラの動作を制御することとを更に含む、条項13に記載の方法。
Claims (18)
- 質量流量制御器であって、
流体を受け取るように構成される入口と、
前記流体が通過する流路と、
該質量流量制御器の出口から出る前記流体の順方向の流量を調節するように構成される弁と、
前記流路を通る流体及び弁動作を監視するように構成される少なくとも1つのセンサと、
前記少なくとも1つのセンサ及び前記弁に通信可能に結合されたコントローラと、
を備え、該コントローラは、所定のセットポイント値及び前記少なくとも1つのセンサからの通信情報に基づいて前記弁を制御するように調整され、前記コントローラは診断システムを更に備え、該診断システムは、
流体の逆流に関連する少なくとも1つの所定の値を決定し、
前記少なくとも1つの所定の値に基づいて前記コントローラの動作を制御する、
ように構成される、質量流量制御器。 - 前記流量の前記所定の値は全流量のパーセンテージである、請求項1に記載の質量流量制御器。
- 前記流量の前記所定の値は、或る期間にわたる全流量のパーセンテージである、請求項1に記載の質量流量制御器。
- 前記診断システムは、前記少なくとも1つの所定の値を決定することに応答して、日付、時間、及びデバイス識別子のログをとるように更に構成される、請求項1に記載の質量流量制御器。
- 前記診断システムは、前記コントローラをハードフォールト及び安全状態の一方に入らせるように更に構成される、請求項1に記載の質量流量制御器。
- 集中化コントローラを更に備え、該集中化コントローラは、
複数のコントローラから診断データを受信し、
該複数のコントローラのうちの少なくとも1つのコントローラの動作を制御する、
ように構成される、請求項1に記載の質量流量制御器。 - 質量流量制御器の動作を制御する診断システムであって、
少なくとも1つのセンサ及び弁に通信可能に結合されたコントローラを備え、該コントローラは、所定のセットポイント値及び前記少なくとも1つのセンサからの通信情報に基づいて前記弁を制御するように調整され、前記コントローラは、
流体の逆流に関連する少なくとも1つの所定の値を決定し、
前記少なくとも1つの所定の値に基づいて前記コントローラの動作を制御する、
ように構成される、診断システム。 - 前記流量の前記所定の値は全流量のパーセンテージである、請求項7に記載の診断システム。
- 前記流量の前記所定の値は、或る期間にわたる全流量のパーセンテージである、請求項7に記載の診断システム。
- 前記コントローラは、前記少なくとも1つの所定の値を決定することに応答して、日付、時間、及びデバイス識別子のログをとるように更に構成される、請求項7に記載の診断システム。
- 前記コントローラは、該コントローラをハードフォールト及び安全状態の一方に入らせるように更に構成される、請求項7に記載の診断システム。
- 集中化コントローラを更に備え、該集中化コントローラは、
複数のコントローラから診断データを受信し、
該複数のコントローラのうちの少なくとも1つのコントローラの動作を制御する、
ように構成される、請求項7に記載の診断システム。 - 質量流量制御器の動作を制御する方法であって、
少なくとも1つのセンサからデータを受信することと、
所定のセットポイント値及び前記少なくとも1つのセンサからの通信情報に基づいて弁を制御することと、
流体の逆流に関連する少なくとも1つの所定の値を決定することと、
前記少なくとも1つの所定の値に基づいてコントローラの動作を制御することと、
を含む、方法。 - 前記流量の前記所定の値は全流量のパーセンテージである、請求項13に記載の方法。
- 前記流量の前記所定の値は、或る期間にわたる全流量のパーセンテージである、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの所定の値を決定することに応答して、日付、時間、及びデバイス識別子のログをとることを更に含む、請求項13に記載の方法。
- 前記コントローラをハードフォールト及び安全状態の一方に入らせることを更に含む、請求項13に記載の方法。
- 集中化コントローラにおいて、複数のコントローラから診断データを受信することと、
前記複数のコントローラのうちの少なくとも1つのコントローラの動作を制御することと、
を更に含む、請求項13に記載の方法。
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