JP6216633B2 - バルブ異常検出装置および方法 - Google Patents

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Description

この発明は、流体の流れを調節するバルブ(調節弁)の異常を検出するバルブ異常検出装置および方法に関するものである。
従来より、石油,化学系のプラントでは多数のバルブが使用されており、定期的なメンテナンスの際には、多数のバルブが整備対象の候補になる。そして、その多数のバルブの中からの実際に整備対象となるバルブの選別は、使用期間などの参考情報に基づき、整備発注者と整備受注者が適宜協議して行なっていた。また、そのための参考情報を収集してレポートとして出力する機器情報管理システムも提案されている(例えば、特許文献1参照)。
この場合、プラントで多数使用されるバルブには、整備作業として開放点検(分解整備)が絶対に必要なバルブや、逆にほとんど整備作業が不要なバルブなどが混在するため、整備対象のバルブを選別することは、整備コスト面(工数,交換部材費など)と保全効果面(安全性,動作性能など)とのトレードオフの課題を扱うことになる。
図7にプラントで使用されるバルブの一例を示す。同図において、100はバルブであり、弁101と、この弁101を駆動する操作器102とを有している。200はバルブ100に装着されたポジショナであり、弁101の実開度と設定開度との差に応じた空気圧を操作器102に与えて、弁101の開度を制御する。設定開度は開度指示値として上位装置よりポジショナ200へ送られてくる。
特開2011−215917号公報
このようなバルブ100では、例えばプラグステム(弁軸)のガイド部(プラグステムガイド部)103にスケールが付着することがあり、このプラグステムガイド部103へのスケールの付着は見逃されやすい。
スケールとは、例えばバルブを流れる流体中に含まれるカーボン系の物質などである。これが汚れとしてガイド部に固着することにより、高精度加工されたバルブ部品に実質的に加工誤差要素のような影響を及ぼすことになる。
このようなスケールの付着の懸念がある場合は、開放点検が必要なので、上記トレードオフの課題を抱える状況下で、適切な判定ができるように改善が求められている。しかしながら、従来において、スケールの付着を検出して開放点検の要否を判定することは困難とされていた。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、簡単に、スケールの付着を検出して、開放点検の要否を判定することが可能なバルブ異常検出装置および方法を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、バルブに対する全閉もしくは全開への開度指示を限界開度への開度指示として検出する開度指示検出部と、開度指示検出部により限界開度への開度指示が検出された後に、バルブの開度が整定したことを検知し、そのときのバルブの開度と限界開度との差を微小不足開度として検出する微小不足開度検出部と、微小不足開度検出部により検出された微小不足開度に基づいてバルブにスケールの付着が生じたか否かを判定する付着判定部とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、バルブに対する全閉もしくは全開への開度指示が限界開度への開度指示として検出されると、この限界開度への開度指示が検出された後にバルブの開度が整定した状態において、そのときのバルブの開度と限界開度との差が微小不足開度として検出され、その検出された微小不足開度に基づいてバルブにスケールの付着が生じたか否かが判定される。
発明者は、バルブポジショナの全閉指示(あるいは全開指示)に対し、バルブが微妙に全閉状態(あるいは全開状態)になり切らない場合、スケールの付着が発生している可能性が高いことを、鋭意研究の結果、突き止めた。そして、全閉指示時の微小開度=全閉に至るまでに足りてない残りの開度不足分(あるいは全開指示時の微小未開度=全開に至るまでに足りてない残りの開度不足分)を微小不足開度として検出し、これをスケールの付着を検出する指標とすることに想到した。
この微小不足開度を判定指標として用いれば、微小不足開度(判定指標)が予め規定された閾値を上回ったときに、開放点検すべき状態にあるものと判定することが可能となる。このようにすると、上記トレードオフの課題を抱える状況下で、スケールの付着に関する開放点検判定を客観化できるので、整備発注者と整備受注者との間のビジネス的なトラブルが発生する確率を、低減することが可能となる。
本発明では、限界開度への開度指示としてバルブに対する全閉への開度指示(全閉開度への開度指示)を検出する場合、全閉開度への開度指示が検出された後に、バルブの開度が整定したことを検知し、そのときのバルブの開度と全閉開度(0%開度)との差を微小開度Aとして検出し、検出された微小開度Aと予め定められている閾値αとを比較し、その比較結果からバルブにスケールの付着が生じたか否かを判定するようにする(請求項1)。
また、本発明では、限界開度への開度指示としてバルブに対する全開への開度指示(全開開度への開度指示)を検出する場合、全開開度への開度指示が検出された後に、バルブの開度が整定したことを検知し、そのときのバルブの開度と全開開度(100%開度)との差を微小未開度Bとして検出し、検出された微小未開度Bと予め定められている閾値βとを比較し、その比較結果からバルブにスケールの付着が生じたか否かを判定するようにする(請求項2)。
微小不足開度(判定指標)が予め規定された閾値を上回ったときであっても、開度検出機能のシフト現象(実際の開度と検出される開度がずれてしまう現象)である可能性も残る。したがって、上記閾値を上回った微小不足開度に合わせるように、バルブへの開度指示値を変更し、検出される開度が実質的に変化しない(開度指示値と実開度値とが一致するようになる)のであれば、開度検出機能のシフト現象は発生しておらず、スケールの付着であると判定(再判定)するのが好ましい。逆に、上記のように開度指示を変更したときに、上記微小不足開度とほぼ同等の開度誤差が生じるのであれば、開度検出機能のシフト現象が発生しているのであり、スケールの付着ではないと判定するのが好ましい。
そこで、請求項1に係る発明では、バルブにスケールの付着が生じていると判定された場合、バルブの開度と全閉開度との差を微小開度Aとするような開度指示への変更を指示し、バルブに対する開度指示が変更された後に、バルブの開度がその指示された開度に整定したことを検知し、そのときのバルブの開度と全閉開度との差が微小開度Aに一致しているか否かを確認し、バルブの開度と全閉開度との差が微小開度Aに一致していることが確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と再判定するようにする。また、請求項3に係る発明では、バルブの開度と全閉開度との差が微小開度Aに一致していることが確認されなかった場合、スケールの付着状態は誤判定であると判定するようにする。この場合、微小開度Aへの開度指示の変更は、ポジショナ自体に通知するようにしてもよく、オペレータに通知するようにしてもよい。
また、請求項2に係る発明では、バルブにスケールの付着が生じていると判定された場合、バルブの開度と全開開度との差を微小未開度Bとするような開度指示への変更を指示し、バルブに対する開度指示が変更された後に、バルブの開度がその指示された開度に整定したことを検知し、そのときのバルブの開度と全開開度との差が微小未開度Bに一致しているか否かを確認し、バルブの開度と全開開度との差が微小未開度Bに一致していることが確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と再判定するようにする。また、請求項4に係る発明では、バルブの開度と全開開度との差が微小未開度Bに一致していることが確認されなかった場合、スケールの付着状態は誤判定であると判定するようにする。この場合、微小未開度Bへの開度指示の変更は、ポジショナ自体に通知するようにしてもよく、オペレータに通知するようにしてもよい。
本発明によれば、バルブに対する全閉もしくは全開への開度指示を限界開度への開度指示として検出し、この限界開度(全閉開度もしくは全開開度)への開度指示が検出された後にバルブの開度が整定した状態において、そのときのバルブの開度と限界開度との差を微小不足開度(微小開度もしくは微小未開度)として検出し、その検出された微小不足開度に基づいてバルブにスケールの付着が生じたか否かを判定するようにしたので、簡単に、スケールの付着を検出して、開放点検の要否を判定することが可能となる。
本発明に係るバルブ異常検出装置の一実施の形態(実施の形態1)の要部を示すブロック図である。 ゼロ点テストを行った場合の入力信号SPと整備前の弁開度PVBFと整備後の弁開度PVAFとを示す図である。 本発明に係るバルブ異常検出装置の他の実施の形態(実施の形態2)の要部を示すブロック図である。 本発明に係るバルブ異常検出装置の別の実施の形態(実施の形態3)の要部を示すブロック図である。 実施の形態3においてスケール付着と判定される検出開度(実開度値)PVおよび開度指示(開度指示値)SPの動きおよびシフト現象と判定されるべき検出開度(実開度値)PVおよび開度指示(開度指示値)SPの動きを示す図である。 本発明に係るバルブ異常検出装置の別の実施の形態(実施の形態4)の要部を示すブロック図である。 ポジショナを装着したバルブの一例を示す図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明では、本発明の権利範囲に含まれないものも実施の形態として記載されているが、ここでは全て実施の形態として説明する。
〔実施の形態1〕
図1は本発明に係るバルブ異常検出装置の一実施の形態(実施の形態1)の要部を示すブロック図である。このバルブ異常検出装置300(300A)は、図7に示したポジショナ200が装着されたバルブ100に対して適用されるコンピュータ上のソフトウェアツールであり、ポジショナ200に対する上位装置に設けられ、バルブ100の異常としてスケールの付着を検出する。
図1において、1Aは全閉指示検出部(開度指示検出部)、2Aは全閉不全確認部(微小不足開度検出部)、3Aは判定指標出力部、4Aは付着判定部、5Aは付着通知部である。このバルブ異常検出装置300における各部の処理動作は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現される。具体的には、コンピュータにプログラムがインストールされ、このインストールされたプログラムに従うCPU(Central Processing Unit)の処理動作として実現される。
全閉指示検出部1Aは、バルブ100に対する開度指示値SP(ポジショナ200への開度指示値SP)を入力とし、バルブ100に対する全閉への開度指示(限界開度への開度指示)を検出する。
全閉不全確認部2Aは、バルブ100の実開度値PV(ポジショナ200からのバルブ100の実開度値PV)を入力とし、全閉指示検出部1Aがバルブ100に対する全閉への開度指示を検出した場合、この開度指示が検出された後にバルブ100の開度が整定したことを検知し、そのときのバルブ100の開度(整定開度)と全閉開度(0%開度)との差を微小開度(微小不足開度)Aとして検出する。
判定指標出力部3Aは、全閉不全確認部2Aからの微小開度Aを入力とし、この微小開度Aを判定指標Aとして出力する。付着判定部4Aは、判定指標出力部3Aからの判定指標Aを入力とし、予め設定されている閾値αと比較する。
判定指標出力部3Aが出力する判定指標Aは、すなわち全閉不全確認部2Aが検出する微小開度Aは、バルブ100を駆動するポジショナ200への全閉指示に対し、バルブ100が微妙に全閉状態になり切らない状態を示す指標であり、プラグステムガイド部103にスケールの付着が発生すると、微小開度Aが大きくなる。
図2にゼロ点テストを行った場合の入力信号SPと、整備前の弁開度PVBFと、整備後の弁開度PVAFとを示す。プラグステムガイド部103にスケールの付着が発生すると、入力信号SPがゼロであるとき、整備前の弁開度PVBFと整備後の弁開度PVAFとの間に差が生じる。この差を示す指標が微小開度Aである。
付着判定部4Aにおける閾値αは、この微小開度Aの変化に着目し、バルブ100にスケールの付着が生じているか否かの判定基準として定められたものである。付着判定部4Aは、微小開度Aが閾値αを超えた場合(A>α)、すなわち判定指標出力部3Aからの判定指標Aが閾値αを超えた場合(A>α)、バルブ100にスケールの付着が生じたと判定する。付着通知部5Aは、付着判定部4Aからの判定結果を入力とし、その判定結果(開放点検推奨)をオペレータに通知する。
すなわち、全閉(あるいは全開)以外の中間的な開度では、不全な状態を検出して判定することは困難である。一方、全閉(あるいは全開)では再現性のある一定のオフセットとして検出することができるので、このオフセットから不全な状態を判定することが可能となる。実施の形態1では、このオフセットを微小開度Aとして検出し、この微小開度Aを閾値αと比較することによってスケールの付着が生じたか否かを判定し、その判定結果をオペレータに通知する。図2の例では、閾値αを0.2%程度としている。
〔実施の形態2〕
図3は本発明に係るバルブ異常検出装置の他の実施の形態(実施の形態2)の要部を示すブロック図である。実施の形態1では、全閉でのオフセットを微小開度Aとして検出するようにしたが、実施の形態2では、全開でのオフセットを微小未開度Bとして検出するようにする。
図3において、1Bは全開指示検出部(開度指示検出部)、2Bは全開不全確認部(微小不足開度検出部)、3Bは判定指標出力部、4Bは付着判定部、5Bは付着通知部であり、基本的には実施の形態1と同様の構成とされている。
このバルブ異常検出装置300(300B)において、全開指示検出部1Bは、バルブ100に対する開度指示値SP(ポジショナ200への開度指示値SP)を入力とし、バルブ100に対する全開への開度指示(限界開度への開度指示)を検出する。
全開不全確認部2Bは、バルブ100の実開度値PV(ポジショナ200からのバルブ100の実開度値PV)を入力とし、全開指示検出部1Bがバルブ100に対する全開への開度指示を検出した場合、この開度指示が検出された後にバルブ100の開度が整定したことを検知し、そのときのバルブ100の開度(整定開度)と全開開度(100%開度)との差を微小未開度(微小不足開度)Bとして検出する。
判定指標出力部3Bは、全開不全確認部2Bからの微小未開度Bを入力とし、この微小未開度Bを判定指標Bとして出力する。付着判定部4Bは、判定指標出力部3Bからの判定指標Bを入力とし、予め設定されている閾値βと比較する。
判定指標出力部3Bが出力する判定指標Bは、すなわち全開不全確認部2Bが検出する微小未開度Bは、バルブ100を駆動するポジショナ200への全開指示に対し、バルブ100が微妙に全開状態になり切らない状態を示す指標であり、プラグステムガイド部103にスケールの付着が発生すると、微小未開度Bが大きくなる。
付着判定部4Bにおける閾値βは、この微小未開度Bの変化に着目し、バルブ100にスケールの付着が生じているか否かの判定基準として定められたものである。付着判定部4Bは、微小未開度Bが閾値βを超えた場合(B>β)、すなわち判定指標出力部3Bからの判定指標Bが閾値βを超えた場合(B>β)、バルブ100にスケールの付着が生じたと判定する。付着通知部5Bは、付着判定部4Bからの判定結果を入力とし、その判定結果(開放点検推奨)をオペレータに通知する。
〔実施の形態3〕
図4は本発明に係るバルブ異常検出装置の別の実施の形態(実施の形態3)の要部を示すブロック図である。実施の形態1(図1)では、付着判定部4Aにおける判定結果をオペレータに通知するようにしたが、実施の形態3では、その判定結果が正しいか否かを再判定するようにする。
すなわち、微小開度Aが閾値αを上回ったときであっても、開度検出機能のシフト現象(実際の開度と検出される開度がずれてしまう現象)である可能性も残る。したがって、閾値αを上回った微小開度Aに合わせるように、バルブ100への開度指示値SPを変更し、検出される開度が実質的に変化しない(開度指示値SPと実開度値PVとが一致するようになる)のであれば(図5(a)参照)、開度検出機能のシフト現象は発生しておらず、スケールの付着であると判断できる。逆に、上記のように開度指示値SPを変更したときに、微小開度Aとほぼ同等の開度誤差が生じるのであれば(図5(b)参照)、開度検出機能のシフト現象が発生しているのであり、スケールの付着ではないと判断できる。
このような再判定を行うために、実施の形態3では、実施の形態1の構成に加え、すなわち、全閉指示検出部1A,全閉不全確認部2A,判定指標出力部3A,付着判定部4Aおよび付着通知部5Aに加え、さらに、開度変更指示部6Aと、変更指示取得部7Aと、検出不全確認部8Aと、付着再判定部9Aと、付着再通知部10Aとを設けている。
このバルブ異常検出装置300(300C)において、開度変更指示部6Aは、付着通知部5Aからの判定結果を受けて、すなわちバルブ100にスケールの付着が生じているという判定結果(開放点検推奨)を受けて、バルブ100の開度と全閉開度との差を微小開度Aとするような開度指示値SPAへの変更指示を変更指示取得部7Aへ送る。
変更指示取得部7Aは、開度変更指示部6Aからの開度指示値SPAへの変更指示を取得し、その開度指示値SPAへの変更指示をポジショナ200に通知すると共に、開度指示値SPAへの変更指示をポジショナ200に通知した旨を検出不全確認部8Aに知らせる。
検出不全確認部8Aは、変更指示取得部7Aから開度指示値SPAへの変更指示をポジショナ200に通知した旨の知らせを受けると、バルブ100の実開度値PVがその指示された開度に整定したことを検知し、その時のバルブ100の実開度値PV(整定開度)と全閉開度(0%開度)との差(開度差)Axが微小開度Aに一致しているか否かを確認する。この場合、例えば、微小開度Aと開度差Axとの差を求め、その差が予め規定された誤差範囲にあるか否かで微小開度Aとの一致を確認する。
付着再判定部9Aは、検出不全確認部8Aからの確認結果を入力とし、開度差Axと微小開度Aとの一致が確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と判定する。開度差Axと微小開度Aとの一致が確認されなかった場合、付着判定部4Aにおいて判定されたスケールの付着状態は誤判定であると判定する。付着再通知部10Aは、付着再判定部9Aからの判定結果(再判定結果)を入力とし、その判定結果(開放点検推奨/誤判定)をオペレータに通知する。
なお、この例では、検出不全確認部8Aにおいて、開度差Axと微小開度Aとの一致のみを確認しているが、開度差Axと微小開度Aとが一致していないことが確認された場合、開度差Axと微小開度Aとの差を誤差として求め、その誤差が微小開度Aとほぼ同等であればシフト現象であると判定し、その判定結果を合わせて付着再判定部9Aへ送り、付着再通知部10Aを通してシフト現象による誤判定であることをオペレータに通知するようにしてもよい。
また、この例では、開度指示値SPAへの変更指示をポジショナ100へ自動的に通知するようにしているが、開度指示値SPAへの変更をオペレータに通知するようにしてもよい。この場合、開度指示値SPAへの変更の通知を受けたオペレータが確認のうえ、手動でポジショナ100へ開度指示値SPAを送るようにする。
〔実施の形態4〕
図6は本発明に係るバルブ異常検出装置の別の実施の形態(実施の形態4)の要部を示すブロック図である。実施の形態2(図3)では、付着判定部4Bにおける判定結果をオペレータに通知するようにしたが、実施の形態4でも、実施の形態3と同様、その判定結果が正しいか否かを再判定するようにする。
このような再判定を行うために、実施の形態4では、実施の形態2の構成に加え、すなわち、全開指示検出部1B,全開不全確認部2B,判定指標出力部3B,付着判定部4Bおよび付着通知部5Bに加え、さらに、開度変更指示部6Bと、変更指示取得部7Bと、検出不全確認部8Bと、付着再判定部9Bと、付着再通知部10Bとを設けている。
このバルブ異常検出装置300(300D)において、開度変更指示部6Bは、付着通知部5Bからの判定結果を受けて、すなわちバルブ100にスケールの付着が生じているという判定結果(開放点検推奨)を受けて、バルブ100の開度と全開開度との差を微小未開度Bとするような開度指示値SPBへの変更指示を変更指示取得部7Bへ送る。
変更指示取得部7Bは、開度変更指示部6Bからの開度指示値SPBへの変更指示を取得し、その開度指示値SPBへの変更指示をポジショナ200に通知すると共に、開度指示値SPBへの変更指示をポジショナ200に通知した旨を検出不全確認部8Bに知らせる。
検出不全確認部8Bは、変更指示取得部7Bから開度指示値SPBへの変更指示をポジショナ200に通知した旨の知らせを受けると、バルブ100の実開度値PVがその指示された開度に整定したことを検知し、その時のバルブ100の実開度値PV(整定開度)と全開開度(100%開度)との差(開度差)Bxが微小未開度Bに一致しているか否かを確認する。この場合、例えば、微小未開度Bと開度差Bxとの差を求め、その差が予め規定された誤差範囲にあるか否かで微小未開度Bとの一致を確認する。
付着再判定部9Bは、検出不全確認部8Bからの確認結果を入力とし、開度差Bxと微小未開度Bとの一致が確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と判定する。開度差Bxと微小未開度Bとの一致が確認されなかった場合、付着判定部4Bにおいて判定されたスケールの付着状態は誤判定であると判定する。付着再通知部10Bは、付着再判定部9Bからの判定結果(再判定結果)を入力とし、その判定結果(開放点検推奨/誤判定)をオペレータに通知する。
なお、この例では、検出不全確認部8Bにおいて、開度差Bxと微小未開度Bとの一致のみを確認しているが、開度差Bxと微小未開度Bとが一致していないことが確認された場合、開度差Bxと微小未開度Bとの差を誤差として求め、その誤差が微小未開度Bとほぼ同等であればシフト現象であると判定し、その判定結果を合わせて付着再判定部9Bへ送り、付着再通知部10Bを通してシフト現象による誤判定であることをオペレータに通知するようにしてもよい。
また、この例では、開度指示値SPBへの変更指示をポジショナ100へ自動的に通知するようにしているが、開度指示値SPBへの変更をオペレータに通知するようにしてもよい。この場合、開度指示値SPBへの変更の通知を受けたオペレータが確認のうえ、手動でポジショナ100へ開度指示値SPBを送るようにする。
また、上述した実施の形態1,3では、バルブ異常検出装置300に判定指標出力部3Aを設けているが、全閉不全確認部2Aからの微小開度Aを判定指標として直接、付着判定部4Aへ送るようにしてもよい。実施の形態2,4でも同様であり、全開不全確認部2Bからの微小未開度Bを判定指標として直接、付着判定部4Bへ送るようにしてもよい。
また、上述した実施の形態1〜4では、バルブ異常検出装置300をポジショナ200に対する上位装置に設けているが、ポジショナ200に設けるようにしてもよく、上位装置とポジショナ200とにバルブ異常検出装置300の機能を分担させるようにしてもよい。
また、上述した実施の形態1〜4では、バルブ100にスケールの付着が発生したか否かをオンラインで判定するようにしているが、収集した履歴データを用いてスケールの付着が発生したか否かをオフライン的に検証するようにしてもよい。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
1A…全閉指示検出部、1B…全開指示検出部、2A…全閉不全確認部、2B…全開不全確認部、3A,3B…判定指標出力部、4A,4B…付着判定部、5A,5B…付着通知部、6A,6B…開度変更指示部、7A,7B…変更指示取得部、8A,8B…検出不全確認部、9A,9B…付着再判定部、10A,10B…付着再通知部、100…バルブ、101…弁、102…操作器、103…プラグステムガイド部、200…ポジショナ、300(300A〜300D)…バルブ異常検出装置。

Claims (6)

  1. 流体の流れを調節するバルブの異常を検出するバルブ異常検出装置において、
    前記バルブに対する全閉への開度指示を全閉開度への開度指示として検出する開度指示検出部と、
    前記開度指示検出部により前記全閉開度への開度指示が検出された後に、前記バルブの開度が整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全閉開度との差を微小開度として検出する微小不足開度検出部と、
    前記微小不足開度検出部により検出された微小開度と予め定められている閾値とを比較し、その比較結果から前記バルブにスケールの付着が生じたか否かを判定する付着判定部と
    前記付着判定部において前記バルブにスケールの付着が生じていると判定された場合、前記バルブの開度と前記全閉開度との差を前記微小開度とするような開度指示への変更を指示する開度変更指示部と、
    前記開度変更指示部により前記バルブに対する開度指示が変更された後に、前記バルブの開度がその指示された開度に整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全閉開度との差が前記微小開度に一致しているか否かを確認する検出不全確認部と、
    前記検出不全確認部において前記バルブの開度と前記全閉開度との差が前記微小開度に一致していることが確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と再判定する付着再判定部と
    を備えることを特徴とするバルブ異常検出装置。
  2. 流体の流れを調節するバルブの異常を検出するバルブ異常検出装置において、
    前記バルブに対する全開への開度指示を全開開度への開度指示として検出する開度指示検出部と、
    前記開度指示検出部により前記全開開度への開度指示が検出された後に、前記バルブの開度が整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全開開度との差を微小未開度として検出する微小不足開度検出部と、
    前記微小不足開度検出部により検出された微小未開度と予め定められている閾値とを比較し、その比較結果から前記バルブにスケールの付着が生じたか否かを判定する付着判定部と、
    前記付着判定部において前記バルブにスケールの付着が生じていると判定された場合、前記バルブの開度と前記全開開度との差を前記微小未開度とするような開度指示への変更を指示する開度変更指示部と、
    前記開度変更指示部により前記バルブに対する開度指示が変更された後に、前記バルブの開度がその指示された開度に整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全開開度との差が前記微小未開度に一致しているか否かを確認する検出不全確認部と、
    前記検出不全確認部において前記バルブの開度と前記全開開度との差が前記微小未開度に一致していることが確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と再判定する付着再判定部と
    を備えることを特徴とするバルブ異常検出装置。
  3. 請求項1に記載されたバルブ異常検出装置において、
    前記付着再判定部は、
    前記検出不全確認部において前記バルブの開度と前記全閉開度との差が前記微小開度に一致していることが確認されなかった場合、前記付着判定部において判定されたスケールの付着状態は誤判定であると判定する
    ことを特徴とするバルブ異常検出装置。
  4. 請求項2に記載されたバルブ異常検出装置において、
    前記付着再判定部は、
    前記検出不全確認部において前記バルブの開度と前記全開開度との差が前記微小未開度に一致していることが確認されなかった場合、前記付着判定部において判定されたスケールの付着状態は誤判定であると判定する
    ことを特徴とするバルブ異常検出装置。
  5. 流体の流れを調節するバルブの異常を検出するバルブ異常検出方法において、
    前記バルブに対する全閉への開度指示を全閉開度への開度指示として検出する開度指示検出ステップと、
    前記開度指示検出ステップにより前記全閉開度への開度指示が検出された後に、前記バルブの開度が整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全閉開度との差を微小開度として検出する微小不足開度検出ステップと、
    前記微小不足開度検出ステップにより検出された微小開度と予め定められている閾値とを比較し、その比較結果から前記バルブにスケールの付着が生じたか否かを判定する付着判定ステップと、
    前記付着判定ステップによって前記バルブにスケールの付着が生じていると判定された場合、前記バルブの開度と前記全閉開度との差を前記微小開度とするような開度指示への変更を指示する開度変更指示ステップと、
    前記開度変更指示ステップにより前記バルブに対する開度指示が変更された後に、前記バルブの開度がその指示された開度に整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全閉開度との差が前記微小開度に一致しているか否かを確認する検出不全確認ステップと、
    前記検出不全確認ステップによって前記バルブの開度と前記全閉開度との差が前記微小開度に一致していることが確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と再判定する付着再判定ステップと
    を備えることを特徴とするバルブ異常検出方法
  6. 流体の流れを調節するバルブの異常を検出するバルブ異常検出方法において、
    前記バルブに対する全開への開度指示を全開開度への開度指示として検出する開度指示検出ステップと、
    前記開度指示検出ステップにより前記全開開度への開度指示が検出された後に、前記バルブの開度が整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全開開度との差を微小未開度として検出する微小不足開度検出ステップと、
    前記微小不足開度検出ステップにより検出された微小未開度と予め定められている閾値とを比較し、その比較結果から前記バルブにスケールの付着が生じたか否かを判定する付着判定ステップと、
    前記付着判定ステップによって前記バルブにスケールの付着が生じていると判定された場合、前記バルブの開度と前記全開開度との差を前記微小未開度とするような開度指示への変更を指示する開度変更指示ステップと、
    前記開度変更指示ステップによって前記バルブに対する開度指示が変更された後に、前記バルブの開度がその指示された開度に整定したことを検知し、そのときの前記バルブの開度と前記全開開度との差が前記微小未開度に一致しているか否かを確認する検出不全確認ステップと、
    前記検出不全確認ステップによって前記バルブの開度と前記全開開度との差が前記微小未開度に一致していることが確認された場合、確度の高いスケールの付着状態と再判定する付着再判定ステップと
    を備えることを特徴とするバルブ異常検出方法
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