JP2781876B2 - ボンベ付ガス供給装置 - Google Patents
ボンベ付ガス供給装置Info
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- JP2781876B2 JP2781876B2 JP13824390A JP13824390A JP2781876B2 JP 2781876 B2 JP2781876 B2 JP 2781876B2 JP 13824390 A JP13824390 A JP 13824390A JP 13824390 A JP13824390 A JP 13824390A JP 2781876 B2 JP2781876 B2 JP 2781876B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はボンベ付ガス供給装置、特にキャビネットに
内蔵せしめたボンベ付ガス供給装置に関するものであ
る。
内蔵せしめたボンベ付ガス供給装置に関するものであ
る。
（従来の技術） 第２図は従来のボンベ付半導体材料ガス供給機構を示
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼグター作用を生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライ
ン、16は扉15a,15bを有し上記ボンベ付ガス供給機構を
収納するキャビネット、17a,17bはボンベ接続用口金、1
8a,18bは夫々ボンベ1a,1bのボンベ口金開閉弁である。
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼグター作用を生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライ
ン、16は扉15a,15bを有し上記ボンベ付ガス供給機構を
収納するキャビネット、17a,17bはボンベ接続用口金、1
8a,18bは夫々ボンベ1a,1bのボンベ口金開閉弁である。
このような従来のボンベ付ガス供給機構においては、
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
このボンベ1aの交換に際してはガス供給ライン3a内に
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立って制御系（図示せ
ず）によってガス供給ライン3a内の高圧及び低圧開閉弁
4a,5aを閉じ、パージライン7a内の開閉弁8a及びベント
ライン10a内の開閉弁11aを開いてパージ用N2ガス源６か
らパージ用N2ガスをパージライン7a、ボンベ側のガス供
給ライン3a及びベントライン10aを介してベント口９か
ら排出せしめ、この際エゼクター12による真空排気作用
が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン3a内か
ら有害又は危険性のあるガスが完全にベントガス処理機
構（図示せず）内に排出処理されるようにしている。
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立って制御系（図示せ
ず）によってガス供給ライン3a内の高圧及び低圧開閉弁
4a,5aを閉じ、パージライン7a内の開閉弁8a及びベント
ライン10a内の開閉弁11aを開いてパージ用N2ガス源６か
らパージ用N2ガスをパージライン7a、ボンベ側のガス供
給ライン3a及びベントライン10aを介してベント口９か
ら排出せしめ、この際エゼクター12による真空排気作用
が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン3a内か
ら有害又は危険性のあるガスが完全にベントガス処理機
構（図示せず）内に排出処理されるようにしている。
（発明が解決しようとする課題） 上記のような従来のボンベ付ガス供給機構においては
ボンベ交換時には、ボンベをガス供給ラインより分離す
る前に必ずガス供給ラインに残存する有害ガスをパージ
用N2ガスに置換する作業（以後パージングと言う）をし
なければならず、この作業を忘れパージングしていない
状態でボンベ交換をした場合にはボンベ交換作業員の面
前に有害なガスが噴出する危険がある。
ボンベ交換時には、ボンベをガス供給ラインより分離す
る前に必ずガス供給ラインに残存する有害ガスをパージ
用N2ガスに置換する作業（以後パージングと言う）をし
なければならず、この作業を忘れパージングしていない
状態でボンベ交換をした場合にはボンベ交換作業員の面
前に有害なガスが噴出する危険がある。
然しながら従来は、作業忘れといった人的ミスに対す
る対策は全くなされていない。
る対策は全くなされていない。
本発明は上記の問題を解決するものである。
（課題を解決するための手段） 本発明のボンベ付ガス供給装置は共通のガス供給口と
複数のボンベ間を夫々切替可能なガス供給ラインによっ
て連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガス供給ラ
イン内のガスをパージ用ガスによってベントラインを介
して排気するようにしたボンベ付ガス供給機構と、上記
ボンベ付ガス供給機構を内蔵するキャビネットと、上記
ガス供給ライン内がパージされているか否かを判定する
判定機構と、上記複数のボンベの配置位置に対応して夫
々上記キャビネットに設けた複数の扉と、この複数の扉
の夫々に対応するボンベに関連する上記ガス供給ライン
内がパージされていないときその扉をロックしたまゝと
する機構とより成ることを特徴とする。
複数のボンベ間を夫々切替可能なガス供給ラインによっ
て連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガス供給ラ
イン内のガスをパージ用ガスによってベントラインを介
して排気するようにしたボンベ付ガス供給機構と、上記
ボンベ付ガス供給機構を内蔵するキャビネットと、上記
ガス供給ライン内がパージされているか否かを判定する
判定機構と、上記複数のボンベの配置位置に対応して夫
々上記キャビネットに設けた複数の扉と、この複数の扉
の夫々に対応するボンベに関連する上記ガス供給ライン
内がパージされていないときその扉をロックしたまゝと
する機構とより成ることを特徴とする。
（作 用） 本発明のボンベ付ガス供給装置においてはパージング
されていないガス供給ラインに関連する扉はロックされ
たまゝとなる。
されていないガス供給ラインに関連する扉はロックされ
たまゝとなる。
（実 施 例） 以下図面によって本発明の実施例を説明する。
本発明においては第２図に示すようなボンベ付ガス供
給機構を収納する２枚の扉15a,15bを有するキャビネッ
ト16内において、上記扉15a,15bの位置に夫々上記ボン
ベ1a,1bを配置し、例えばボンベ1aは左側の扉15aを開け
ないとボンベの交換はもとより、そのボンベ1aの接続用
口金17aを外すこともできないようにし、又ボンベ1bは
右側の扉15bを開けないと同様にボンベの交換及び接続
用口金17bの取り外しができないように構成する。更
に、上記各ボンベ1a,1bに関連するガス供給ライン3a,3b
内がパージされているか否かを判定する判定機構（図示
せず）と、上記各扉15a,15bを夫々ロックするロック機
構（図示せず）を設け、上記ガス供給ラインがパージさ
れていないとき、このガス供給ラインに接続されている
ボンベに関連する扉がロックされたまゝとなり、開かれ
ないようにする。
給機構を収納する２枚の扉15a,15bを有するキャビネッ
ト16内において、上記扉15a,15bの位置に夫々上記ボン
ベ1a,1bを配置し、例えばボンベ1aは左側の扉15aを開け
ないとボンベの交換はもとより、そのボンベ1aの接続用
口金17aを外すこともできないようにし、又ボンベ1bは
右側の扉15bを開けないと同様にボンベの交換及び接続
用口金17bの取り外しができないように構成する。更
に、上記各ボンベ1a,1bに関連するガス供給ライン3a,3b
内がパージされているか否かを判定する判定機構（図示
せず）と、上記各扉15a,15bを夫々ロックするロック機
構（図示せず）を設け、上記ガス供給ラインがパージさ
れていないとき、このガス供給ラインに接続されている
ボンベに関連する扉がロックされたまゝとなり、開かれ
ないようにする。
（発明の効果） 上記のように本発明のボンベ付ガス供給装置によれば
ガス供給ラインのパージ作業が完了していない場合に
は、扉を開けることができず、従ってボンベ交換もでき
なくなるため、パージング作業忘れにより、ボンベ交換
作業時に有害な配管ライン内残存ガスがボンベ接続用口
金17a（17b）より噴出する危険性を防ぐことができる大
きな利益がある。
ガス供給ラインのパージ作業が完了していない場合に
は、扉を開けることができず、従ってボンベ交換もでき
なくなるため、パージング作業忘れにより、ボンベ交換
作業時に有害な配管ライン内残存ガスがボンベ接続用口
金17a（17b）より噴出する危険性を防ぐことができる大
きな利益がある。
第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置におけるキャビ
ネットの正面図、第２図は従来のボンベ付ガス供給機構
の構成図である。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15a,15b……扉、16
……キャビネット、17a,17b……ボンベ接続用口金、18
a,18b……ボンベ用口金開閉弁。
ネットの正面図、第２図は従来のボンベ付ガス供給機構
の構成図である。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15a,15b……扉、16
……キャビネット、17a,17b……ボンベ接続用口金、18
a,18b……ボンベ用口金開閉弁。
Claims (1)
- 【請求項１】共通のガス供給口と複数のボンベ間を夫々
切替可能なガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換
に際しこれに関連するガス供給ライン内のガスをパージ
用ガスによってベントラインを介して排気するようにし
たボンベ付ガス供給機構と、上記ボンベ付ガス供給機構
を内蔵するキャビネットと、上記ガス供給ライン内がパ
ージされているか否かを判定する判定機構と、上記複数
のボンベの配置位置に対応して夫々上記キャビネットに
設けた複数の扉と、この複数の扉の夫々に対応するボン
ベに関連する上記ガス供給ライン内がパージされていな
いときその扉をロックしたまゝとする機構とより成るこ
とを特徴とするボンベ付ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13824390A JP2781876B2 (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | ボンベ付ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13824390A JP2781876B2 (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | ボンベ付ガス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0434299A JPH0434299A (ja) | 1992-02-05 |
| JP2781876B2 true JP2781876B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=15217421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13824390A Expired - Fee Related JP2781876B2 (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | ボンベ付ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2781876B2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP13824390A patent/JP2781876B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0434299A (ja) | 1992-02-05 |
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