JPH0434300A

JPH0434300A - ボンベ付ガス供給装置

Info

Publication number: JPH0434300A
Application number: JP13824490A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Yokoki; 横木　和夫
Original assignee: Teisan KK
Current assignee: Teisan KK
Priority date: 1990-05-30
Filing date: 1990-05-30
Publication date: 1992-02-05
Anticipated expiration: 2013-07-30
Also published as: JP2781877B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はボンベ付ガス供給装置、特にキャビネットに内
蔵せしめたボンベ付ガス供給装置に関するものである。

（従来の技術）第２図は従来のボンベ行手導体材料ガス供給機構を示し
、ｌａ、ｌｂは夫々シラン、ホスフィン等の半導体材料
ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ、３ｂは夫々上記
ボンベｌａ、ｌｂとガス供給口２間を連通ずるガス供給
ライン、４ａ、４ｂ及び５ａ、５ｂは夫々上記ガス供給
ライン３ａ。

３ｂに介挿したボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低
圧開閉弁、６はパージ用Ｎ、ガス源、７ａ。

７ｂは夫々このＮ、ガス源６と上記ガス供給うイン３ａ
、３ｂのボンベ接続部分間を連通ずるパージライン、８
ａ、８ｂは夫々上記パージライン７ａ、７ｂに介挿され
た開閉弁、９はベントロ、１０ａ、１０ｂは夫々このベ
ントロ９と上記ガス供給ライン３ａ、３ｂ内の高圧開閉
弁４ａ、４ｂのボンベ側開口間を連通ずるベントライン
、ｌｌａ。

１１ｂは夫々上記ヘントラインｔｏａ、ｌＯｂに介挿さ
れた開閉弁、１２は上記ベントロ９に真空を作用せしめ
るためのエゼクタ−１１３はこのエゼクタ−１２にエゼ
クタ−作用を生せしめるために流す高圧Ｎ２ガスのガス
源、１４はその供給ライン、１６は１ｊｉ１５ａ、１５
ｂを有し上記ボンベ付ガス供給機構を収納するキャビネ
ット、１７ａ１７ｂはボンベ接続用口金、１８ａ、１８
ｂは夫々ボンベｌａ、ｌｂのポンペロ金量閉弁である。

このような従来のボンベ付ガス供給機構においては、例
えばボンベ交換側のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂに切り替えて
ボンベ１ｂを使用し、ボンベ１ｂを使用している間にボ
ンベ１ａを新しいボンベに交換するようにしている。

このボンベｌａの交換に際してはガス供給ライン３ａ内
に残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れる
のを防ぐためボンベ交換側り翻しに先立って制御系（図
示せず）によってガス供給ライン３ａ内の高圧及び低圧
開閉弁４ａ、５ａを閉じ、パージライン７ａ内の開閉弁
８ａ及びベントライン１０ａ内の開閉弁１１ａを開いて
パージ用Ｎ、ガス源６からパージ用Ｎｔガスをパージラ
イン７ａ、ボンベ側のガス供給ライン３ａ及びベントラ
イン１０ａを介してベントロ９から排出せしめ、この際
エゼクタ−１２による真空排気作用が上記排気を促進し
、ボンベ側のガス供給うイン３ａ内から有害又は危険性
のあるガスが完全にベントガス処理機構（図示せず）内
に排出処理されるようにしている。

（発明が解決しようとする課Ｂ）然しながら上記のような従来のボンベ付ガス供給機構に
おいてはボンベ切り替え後に行う、ボンベ交換作業にお
いては、各ボンベｌａ、ｌｂのガス供給ラインが互いに
開閉弁４ａ、５ａ　（４ｂ５ｂ）でしきられているとは
言え、配管ラインの一方ではガスが供給されている状態
であり、そのガス供給中のラインに接続されているライ
ンの一部、すなわちボンベ交換側の配管３ａ（３ｂ）と
ボンベ接続口１？ａ（１７ｂ）を開放しなければならず
、もし万が一ボンベ交換側のラインの開閉弁が開（事が
あれば作業中の作業員の面前にを害ガスが噴出すること
となり危険である。

従来は、このような危険作業時に想定される誤操作ない
しは機械的故障による危険性に対する対策は全くなされ
ていない。

本発明は上記の問題を解決するものである。

（課題を解決するための手段）本発明のボンベ付ガス供給装置は共通のガス供給口と複
数のボンベ間を夫々切替可能なガス供給ラインによって
連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガス供給ライ
ン内のガスをパージ用ガスによってベントラインを介し
て排気するようにしたボンベ付ガス供給機構と、上記ガ
ス供給ラインの開閉弁を開閉制御する制御系と、上記ボ
ンベ付ガス供給機構を内蔵するキャビネットと、このキ
ャビネット内の排気機構と、上記複数のボンベの配置位
置に対応して夫々上記キャビネットに設けた複数の扉と
、この複数の扉の開を検知し、開かれた扉に対応するボ
ンベに関連する上記ガス供給ラインの開閉弁を上記制御
系から切り離し閉じたま＼にする機構とより成ることを
特徴とする。

（作　用）本発明のボンベ付ガス供給装置においてはキャビネット
の扉開放によってこれに対応するボンベに関連するガス
供給ライン中の開閉弁が自動的に制御系より分離され、
扉開放後のボンベ交換作業等の進行中に誤操作ないしは
、不測の制御系のトラブルによって開閉弁が開く等の事
故が生じない。

（実　施　例）以下図面によって本発明の詳細な説明する。

本発明においては第２図に示すようなボンベ付ガス供給
機構を収納する２枚の５ｔ１５ａ、１５ｂを有するキャ
ビネット１６内の雰囲気を常時排気機構（図示せず）に
よってベントガス処理機構に排出せしめると共に、上記
１ｔ１５ａ、１５ｂの位置に夫々上記ボンベｌａ、ｌｂ
を配置し、例えばボンベ１ａは左側のｆｉ　１５　ａを
開けないとボンベの交換はもとより、そのボンベ１ａの
接続用口金１７ａを外すこともできないようにし、又ボ
ンベ１ｂは右側の扉１５ｂを開けないと同様にボンベの
交換及び接続用口金１７ｂの取り外しができないように
構成する。更に、上記扉１５ａ、１５ｂに、その開閉に
よって作動するボンベ開放状態検知機構（図示せず）を
設け、これによって開放した扉に対応するボンベに関す
る供給ライン中の開閉弁（第２図中で、左扉１５ａを開
いた場合には第１図のボンベ１ａの口金開閉弁１８ａと
上記各開閉弁４ａ、５ａ、８ａ、ｌｌａ、右扉１５ｂを
開いた場合には、ボンベ１ｂの口金開閉弁１８ｂと上記
各開閉弁４ｂ、５ｂ、８ｂ、１ｌｂ）を、それを開閉制
御する制御系（図示せず）より自動的に切り離すことに
より、扉開放時にその扉に対応する供給ラインの開閉弁
が開かないようにする。

（発明の効果）上記のように本発明のボンベ付ガス供給装置によれば扉
を開けた状態でしか行えないボンベ交換作業中（この時
にはボンベと配管の接続部が一時的に開放されている状
態で危険な状態といえる）に誤操作や制御系のトラブル
が発生したとしても、その扉に対応する供給ラインの開
閉弁は開く事がないため、配管系の残存ガスとか、開け
た扉と反対の供給系（これはガスを供給中ですべての開
閉弁が開いている状態）からガスが逆流して、ビンベ交
換のために開放された接続用口金１７２（１７ｂ）より
、危険性ガスが噴出するといった危険がなくなり、ボン
ベ交換が極めて安全になし得る大きな利益がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置におけるキャビ
ネットの正面図、第２図は従来のボンベ付ガス供給機構
の構成図である。ｌａ、Ｉｂ・・・ボンベ、２・・・ガス供給口、３ａ、
３ｂ、１４−ガス供給ライン、４ａ。４ｂ・・・高圧開閉弁、５ａ、５ｂ・・・低圧開閉弁、
６．１３・・・Ｎ、ガス源、７ａ、７ｂ・・・パージラ
イン、８ａ、８ｂ、ｌｌａ、Ｉｌｂ・・・開閉弁、９・
・・ベントロ、１０ａ、１０ｂ・・・ベントライン、１
２・・・エゼクタ−１５ａ、１５ｂ・・・扉、１６・・
・キャビネット、１７ａ、１７ｂ・・・ボンベ接続用口
金、１１３ａ、１８ｂ・・・ボンベ用口金開閉弁。斃　１　図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）共通のガス供給口と複数のボンベ間を夫々切替可
能なガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換に際し
これに関連するガス供給ライン内のガスをパージ用ガス
によってベントラインを介して排気するようにしたボン
ベ付ガス供給機構と、上記ガス供給ラインの開閉弁を開
閉制御する制御系と、上記ボンベ付ガス供給機構を内蔵
するキャビネットと、このキャビネット内の排気機構と
、上記複数のボンベの配置位置に対応して夫々上記キャ
ビネットに設けた複数の扉と、この複数の扉の開を検知
し、開かれた扉に対応するボンベに関連する上記ガス供
給ラインの開閉弁を上記制御系から切り離し閉じたまゝ
にする機構とより成ることを特徴とするボンベ付ガス供
給装置。