KR100732006B1 - 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는, 압력유체의 통로를 개폐하기 위한 압력유체제어밸브(100)와; 상기 압력유체제어밸브(100)를 제어하기 위한 파이로트밸브(100a)와; 진공을 발생, 파괴시키기 위한 압력유체를 공급하는 압력유체공급포트(45)와; 공급된 압력유체를 외부로 배출하는 배기포트(40)와; 진공배관에 접속되어 이송물을 흡착하는 진공포트(35)와; 상기 진공포트(35)에 진공을 발생시키는 진공발생부(50)와; 상기 진공포트(35)의 진공을 파괴하기 위한 압력유체를 저장하는 진공파괴내부체적유지부(60)와; 상기 진공포트(35)로 상기 진공파괴내부체적유지부(60)의 압력유체를 유입시키는 진공파괴부(70)로 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는 진공발생유니트 내부 또는 외부에 진공을 파괴시킬 수 있는 진공파괴체적을 구성하여 별도의 진공파괴용 밸브를 사용하지 않고 밸브의 제어를 단순화하고 진공발생유니트의 소형화, 경량화 혹은 비용절감의 효과가 있다.
진공파괴내부체적유지부, 진공파괴외부체적포트, 진공발생유니트

Description

진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트{A vacuum generating unit provided with volume for destruction of vacuum}
도 1은 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 ON시 압력유체제어용밸브의 작동상태를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 OFF시 압력유체제어용밸브의 작동상태를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 ON시 압력유체제어용밸브의 작동에 의해 진공이 발생하고 진공파괴체적에 압력유체가 저장되는 유체흐름을 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 OFF시 압력유체제어용밸브의 작동에 의해 진공이 파괴되는 유체흐름을 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10: 몸체부 11: 제11통로
12: 제12통로 13: 제13통로
14: 제14통로 15: 제14통로
16: 제16통로 17: 제17통로
18: 제18통로 19: 제19통로
20: 제20통로 22: 제22통로
23: 제23통로 24: 제24통로
25: 필터부 30: 진공파괴외부체적포트
35: 진공포트 40: 배기포트
45: 압력유체공급포트 50: 진공발생부
51: 노즐 52: 제1디퓨져
53: 제2디퓨져 60: 진공파괴내부체적유지부
70: 진공파괴부 81: 제81통로
82: 제82통로 83: 제83통로
86: 제86통로 100: 압력유체제어용밸브
100a: 파이로트전자밸브 101: 스풀
1: P포트 2: A포트
3: B포트 4: R1포트
5: R2포트
본 발명은 진공발생유니트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공발생유니 트 내부에 진공파괴용 체적을 구성하고, 파이로트전자밸브의 On/Off에 의해 하나의 압력유체제어용밸브를 작동시켜 진공을 발생 또는 파괴시키는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트에 관한 것이다.
일반적으로, 진공발생유니트는 반도체칩 본딩(Bonding), 반도체칩 마운팅(Mounting), 극소형부품의 흡착반송, 인쇄기로의 종이전송 등에 있어서 진공을 발생시켜서 이송물을 흡착하여 이송하고, 이송된 위치에서 진공을 파괴하여 이송물을 이탈시키는데 사용된다.
종래의 진공발생유니트는 진공을 발생시키는 수단으로 진공발생용 밸브를, 진공을 파괴하기 위한 수단으로 진공파괴용 밸브를 사용하였다. 국내 등록특허 제10-0387364호에 개시된 발명을 살펴보더라도 진공을 발생 또는 파괴시키기 위하여 진공발생용 밸브와 진공파괴용 밸브를 모두 갖춘 진공발생유니트에 관하여 설명하고 있다.
진공파괴용 밸브를 사용한 종래의 진공발생유니트는 진공파괴용 밸브의 통로에 유량조절나사를 설치하여 진공파괴용 밸브가 작동하면 유량조절나사를 통해 압축유체를 진공포트로 흘려 보냄으로써 진공을 파괴시키는 방식을 채택하는 경우가 일반적이다.
그러나, 이러한 종래의 진공발생유니트는 진공발생용 밸브와 진공파괴용 밸브를 모두 구비하여야 할 뿐만 아니라 각각의 밸브를 별도로 제어해야 하는 번거로움이 있었고 진공발생유니트의 소형화, 경량화 혹은 비용절감에 기여하지 못하는 문제점이 있었다.
본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는 이러한 종래의 문제점을 개선하기 위하여 종래의 진공파괴용 밸브를 대신하여 진공발생유니트 내부에 진공을 파괴시킬 수 있는 진공파괴체적을 구성하고, 파이로트전자밸브의 ON/OFF에 의해 하나의 압력유체제어용밸브를 작동시켜 진공을 발생 또는 파괴시킴으로써 밸브의 제어를 단순화하고 진공발생유니트의 소형화, 경량화 혹은 비용절감에 있어서 개량된 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는, 압력유체의 통로를 개폐하기 위한 압력유체제어밸브(100)와; 상기 압력유체제어밸브(100)를 제어하기 위한 파이로트밸브(100a)와; 진공을 발생, 파괴시키기 위한 압력유체를 공급하는 압력유체공급포트(45)와; 공급된 압력유체를 외부로 배출하는 배기포트(40)와; 진공배관에 접속되어 이송물을 흡착하는 진공포트(35)와; 상기 진공포트(35)에 진공을 발생시키는 진공발생부(50)와; 상기 진공포트(35)의 진공을 파괴하기 위한 압력유체를 저장하는 진공파괴내부체적유지부(60)와; 상기 진공포트(35)로 상기 진공파괴내부체적유지부(60)의 압력유체를 유입시키는 진공파괴부(70)로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공발생부(50)는 상기 압력유체제어용밸브(100)로 유입된 압력유체와 상기 진공포트(35)의 압력유체를 상기 배기포트(40)로 배출하면서 상기 진 공포트(35)에 진공을 발생시키고, 이와 동시에 상기 진공파괴내부체적유지부(60)에는 상기 압력유체제어용밸브(100)를 통하여 진공을 파괴시킬 압력유체를 저장하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공파괴부(70)는 상기 진공파괴내부체적유지부(60)에 저장된 압력유체를 상기 압력유체제어용밸브(100)를 통하여 이송받아 상기 진공포트(35)에 유입시킴으로써 상기 진공포트(35)의 진공을 파괴시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공발생유니트의 내부로 흡인된 압력유체로부터 이물질을 제거하기 위한 필터(25)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압력유체공급포트(45)와 연통된 압력유체이송통로에는 일반 공압력 전자밸브와 함께 매니홀드블록에 장착하는 경우, 압력유체의 공급을 위한 별도의 통로 및 유체공급원을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공파괴내부체적유지부(60)에는 그 내부의 체적으로만으로 진공을 파괴시킬 압력유체의 양이 부족할 경우, 그 일단부에 진공파괴외부체적포트(30)를 연장하여 형성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압력유체제어용밸브(100)는 P포트(1), A포트(2), B포트(3), R2포트(5)및 2위치 스풀(101)을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압력유체제어용밸브(100)는 P포트(1), A포트(2), B포트(3), R2포트(5), 별도의 배기포트에 연결되거나 진공포트(35)와 연통되는 R1포트(4) 및 2위치 스풀(101)을 구비한 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 구성을 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 단면도,도 2는 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 ON시 압력유체제어용밸브의 작동상태를 도시한 단면도, 도 3은 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 OFF시 압력유체제어용밸브의 작동상태를 도시한 단면도, 도 4는 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 ON시 압력유체제어용밸브의 작동에 의해 진공이 발생하고 진공파괴체적에 압력유체가 저장되는 유체흐름을 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 파이로트전자밸브 OFF시 압력유체제어용밸브의 작동에 의해 진공이 파괴되는 유체흐름을 도시한 도면이다.
본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는 도 1에 도시된 바와 같이, 전체적으로 파이로트전자밸브(100a), 압력유체제어용밸브(100), 진공발생부(50), 필터(25), 진공파괴내부체적유지부(60), 진공파괴부(70), 진공파괴외부체적포트(30), 진공포트(35), 배기포트(40), 압력유체공급포트(45), 그리고 다수의 압력유체통로로 구성된다.
먼저, 몸체부(10)의 일측에 진공을 발생 또는 파괴시키기 위하여 P포트(1), A포트(2), B포트(3), R1포트(4), R2포트(5) 등 5포트와 2위치 스풀(101)을 구비한 압력유체제어용밸브(100) 또는 P포트(1), A포트(2), B포트(3), R2포트(5) 등 4포트와 2위치 스풀(101)를 구비한 압력유체제어용밸브(100)가 결합되어 있고, 상기 압 력유체제어용밸브(100)를 제어하기 위한 파이로트전자밸브(100a)가 횡으로 결합되어 있다.
상기 압력유체제어용밸브(100)의 P포트(1)는 제12통로(12), 제11통로(11), 제16통로(16), 제81통로(81)와 연통되고, 제81통로(81)는 압력유체공급원에 접속된 압력유체공급포트(45)와 결합된다. 상기 압력유체제어밸브(100)의 A포트(2)는 제13통로와 연통되고 상기 제13통로(13)는 진공발생부(50)와 결합되어 있는데 상기 진공발생부(50)는 노즐(51), 제1디퓨져(52) 및 제2디퓨져(53)가 횡방향으로 결합되어 구성되고, 상기 진공발생부(50)는 소음기가 장착가능한 배기포트(40)에 연결된다.
또한, 상기 압력유체제어용밸브(100)의 B포트(3)는 제15통로(15), 제83통로(83), 및 제18통로(18)와 연통되고, 상기 제15통로(15), 제83통로(83), 및 제18통로(18)는 후술할 진공파괴내부체적유지부(60)를 구성한다. 이 때, 진공포트(35)의 배관 길이 또는 진공포트(35)의 체적에 따라 진공파괴내부체적유지부(60)의 압력유체량이 부족할 경우, 상기 제18통로(18)로부터 연장된 진공발생유니트 외부에 진공파괴외부체적포트(30)를 확장하여 구성하는 것이 바람직하다.
다음으로, 상기 압력유체제어용밸브(100)의 R2포트(5)는 제14통로(14), 제82통로(82), 제23통로(23) 및 제22통로(22)와 연통되고, 이 때 상기 제14통로(14), 제82통로(82), 제23통로(23) 및 제22통로(22)는 후술할 진공파괴부(70)를 구성하게 되고 상기 제22통로(22)는 진공포트(35)와 결합된다. 상기 진공포트(35)는 제17통로(17), 제19통로(19), 제24통로(24) 및 제20통로(20)와 연통되고 상기 제19통로(19)와 제20통로(20)는 진공발생부(50)에 연통되게 배설되며, 상기 제17통로(17)와 제19통로(19) 사이에는 흡인되는 압력유체를 정화하기 위한 필터(25)를 구비하고 있다.
상기 압력유체제어밸브(100)의 R1포트(4)는 가변적으로 사용되는 포트로서, 도 1에는 폐쇄된 것을 도시되어 있으나, 필요에 따라 별도의 배기포트(미도시) 또는 진공포트(35)와 연통되도록 배설한다.
결국, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는 몸체부(10)를 중심으로 살펴보면, 몸체부(10)의 좌측에는 압력유체제어용밸브(100)와 파이로트전자밸브(100a)가 결합되고, 우측에는 상부로부터 진공포트(35), 배기포트(40) 및 압력유체공급포트(45)가 차례로 배설되며, 몸체부(10)의 상부에는 필터(25)와 진공파괴외부체적포트(30)가 배설된다. 몸체부(10)의 내부에는 진공발생부(50), 진공파괴내부체적유지부(60) 및 진공파괴부(70) 등 다수의 유체통로가 구비된다.
또한, 유체통로를 중심으로 살펴보면, 제11통로(11), 제18통로(18), 제19통로(19), 제20통로(20), 제23통로(23), 제86통로(86)는 종으로 배설되고, 제12통로(12), 제13통로(13), 제14통로(14), 제15통로(15), 제16통로(16), 제17통로(17), 제22통로(22), 제24통로(24), 제81통로(81), 제82통로(82), 제83통로(83)는 횡으로 배설된다.
본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는 다수개를 연설하여 매니폴드화할 수도 있는데, 매니폴드블록에 장착하여 사용하는 경우에는 함께 장착되는 일반 공압력 전자밸브유니트들과 공통적으로 유체를 공급받기 위하여, 상 기 제81통로(81)에 수직으로 제86통로(86)를 연통시켜 별도의 유체공급원으로부터 압력유체를 공급받도록 구성한다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 진공발생과정 및 진공파괴과정에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 진공발생과정을 도 2 및 도 4를 참조하여 설명한다.
파이로트전자밸브가 OFF상태에서 ON상태로 전환시 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 압력유체공급포트(45) 또는 제86통로(86)에 결합된 별도의 유체공급원(미도시)로부터 압력유체가 공급되고 공급된 압력유체는 제81통로(81), 제11통로(11), 제12통로(12)를 통하여 상기 압력유체제어용밸브(100)의 P포트(1)로 유입되며, 상기 압력유체제어용밸브(100)의 2위치 스풀(101)의 이동에 의해 A포트(2)와 B포트(3)가 개방되고 R1포트(4)와 R2포트(5)는 폐쇄된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 압력유체제어밸브(100)의 P포트(1)로 유입된 압력유체는 다시 A포트(2) 및 B포트(3)를 통하여 이동하게 되는데, A포트로 유입되는 압력유체는 제13통로(13)를 거쳐 상기 진공발생부(50)의 노즐(51)의 노즐구멍으로부터 제1디퓨져(52), 제2디퓨져(53)를 향하여 토출됨으로써 배기포트(40)로 압력유체가 배출되는 동시에 진공이 발생하고, 이 때, 진공포트(35)의 압력유체가 제17통로(17), 필터(25), 제19통로(19), 제20통로(20)를 통하여 상기 진공발생부(50)로 흡인되면서 종국적으로 배기포트(40)를 통하여 배출됨으로써 진공포트(35)에는 진공이 발생된다.
A포트(2)로 압력유체가 유입되는 동시에 B포트(3)로도 압력유체가 유입되는데, 유입된 압력유체는 앞서 상술한 바와 같이, 제15통로(15), 제83통로(83), 제18통로(18)으로 연통된 진공파괴내부체적유지부(60)를 구성하게 된다. 이 때, 진공포트(35)의 배관 길이 또는 진공포트(35)의 체적에 따라 진공파괴내부체적유지부(60)의 압력유체가 부족할 경우, 상기 제18통로(18)로부터 연장된 진공발생유니트 외부에 진공파괴외부체적포트(30)를 확장하여 구성하는 것이 바람직하다.
따라서, 진공파괴내부체적유지부(60)와 진공파괴외부체적포트(30)는 종래의 진공발생유니트의 진공파괴용 밸브를 대신하여 진공을 파괴하기 위한 압력유체체적을 구성한다.
다음으로, 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트의 진공파괴과정을 도 3 및 도 5를 참조하여 설명한다.
상기한 바와 같이, 진공발생상태에서는 진공포트(35)는 진공상태를 유지하고 진공파괴내부체적유지부(60)에는 진공을 파괴하기 위하여 압력유체가 채워진다.
상기 진공발생상태에서 파이로트전자밸브(100a)가 ON에서 OFF상태가 되면 상기 압력유체제어용밸브(100)의 2위치 스풀(101)의 이동에 의하여 P포트(1)와 A포트(2)간 연결부분과 P(1)포트와 B포트(3)간 연결부분이 폐쇄되고, A포트(2)와 R1포트(4)간 연결부분과 B포트(3)와 R2포트(5)간 연결부분이 개방된다. 이 때, 상기 제16통로(16)는 압력유체공급포트(45)에서 공급된 압력유체로 압력유체제어용밸브(100)의 2위치 스풀(101)을 가압함으로써 2위치 스풀(101)의 이동을 원활하게 하는 역할을 한다.
이에 따라, 상기 진공파괴내부체적유지부(60)과 진공파괴외부체적포트(30)에 채워져 있던 압력유체가 B포트(3)를 통하여 R2포트(5)로 유입되고, 유입된 압력유체는 제14통로(14), 제82통로(82), 제23통로(23), 제22통로(22)로 연통하여 구성된 진공파괴부(70)를 통하여 결국 진공포트(35)로 유입됨으로써 진공포트(35)의 진공상태를 파괴한다.
한편, 도면에는 도시되어 있지 않으나 상기 압력유체제어밸브(100)의 R1포트(4)는 가변적으로 사용되는 포트로서, 상기 압력유체제어밸브(100)가 R1포트(4)를 포함한 5포트를 구비한 경우, 별도의 배기포트(미도시) 또는 진공포트(35)와 연통되도록 배설하여, 진공발생시 진공발생부(50)에서 배기포트(40)로 미처 배출되지 못한 압력유체를 A포트(2)를 경유하여 R1포트(4)를 통하여 별도의 배기포트(미도시)로 배출되거나, A포트(2)를 경유하여 R1포트(4)를 통하여 연통된 진공포트(35)로 유입되어 진공파괴내부체적유지부(60)과 진공파괴외부체적포트(30)에 채워져 있던 압력유체와 함께 진공포트(35)의 진공상태를 파괴하는 역할을 한다.
또한, 상기 압력유체밸브(100)가 R1포트(4)가 제외된 4포트를 구비한 경우에도 상기 진공포트(35)의 진공상태를 파괴하는데 아무런 지장을 주지 않는다.
따라서, 진공발생상태에서 이송물을 흡작한 후 소정의 거리만큼 이동한 후, 진공파괴를 통하여 진공포트(35)의 진공이 제거되어 이송물을 소정의 위치로 이탈시키게 된다.
이상과 같이 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 실시예와 실질적으로 균등의 범위에 있 는 것까지 본 발명의 권리범위에 미친다는 것은 당업자들에게는 명백하다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트는 종래의 진공파괴용 밸브를 대신하여 진공발생유니트 내부 또는 외부에 진공을 파괴시킬 수 있는 진공파괴체적를 구성하고, 파이로트전자밸브의 ON/OFF에 의해 하나의 압력유체제어용밸브를 작동시켜 진공을 발생 또는 파괴시킴으로써 밸브의 제어를 단순화하고 진공발생유니트의 소형화, 경량화 혹은 비용절감의 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 압력유체의 통로를 개폐하기 위한 압력유체제어용밸브(100)와;
    상기 압력유체제어밸브(100)를 제어하기 위한 파이로트전자밸브밸브(100a)와;
    진공을 발생, 파괴시키기 위한 압력유체를 공급하는 압력유체공급포트(45)와;
    공급된 압력유체를 외부로 배출하는 배기포트(40)와;
    진공배관에 접속되어 이송물을 흡착하는 진공포트(35)와;
    상기 진공포트(35)에 진공을 발생시키는 진공발생부(50)와;
    상기 진공포트(35)의 진공을 파괴하기 위한 압력유체를 저장하는 진공파괴내부체적유지부(60)와;
    상기 진공포트(35)로 상기 진공파괴내부체적유지부(60)의 압력유체를 유입시키는 진공파괴부(70)로 구성되며,
    상기 진공파괴내부체적유지부(60)에는 그 내부의 체적으로만으로 진공을 파괴시킬 압력유체의 양이 부족할 경우, 그 일단부에 진공파괴외부체적포트(30)를 연장하여 형성하는 것을 특징으로 하는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진공발생부(50)는 상기 압력유체제어용밸브(100)로 유입된 압력유체와 상기 진공포트(35)의 압력유체를 상기 배기포트(40)로 배출하면서 상기 진공포트(35)에 진공을 발생시키고, 이와 동시에 상기 진공파괴내부체적유지부(60)에는 상 기 압력유체제어용밸브(100)를 통하여 진공을 파괴시킬 압력유체를 저장하는 것을 특징으로 하는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 진공파괴부(70)는 상기 진공파괴내부체적유지부(60)에 저장된 압력유체를 상기 압력유체제어용밸브(100)를 통하여 이송받아 상기 진공포트(35)에 유입시킴으로써 상기 진공포트(35)의 진공을 파괴시키는 것을 특징으로 하는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 진공발생유니트의 내부로 흡인된 압력유체로부터 이물질을 제거하기 위한 필터(25)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 압력유체공급포트(45)와 연통된 압력유체이송통로에는 일반 공압력 전자밸브와 함께 매니홀드블록에 장착하는 경우, 압력유체의 공급을 위한 별도의 통로 및 유체공급원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트.
  6. 삭제
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압력유체제어용밸브(100)는 P포트(1), A포트(2), B포트(3), R2포트(5)및 2위치 스풀(101)을 구비한 것을 특징으로 하는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압력유체제어용밸브(100)는 P포트(1), A포트(2), B포트(3), R2포트(5), 별도의 배기포트에 연결되거나 진공포트(35)와 연통되는 R1포트(4) 및 2위치 스풀(101)을 구비한 것을 특징으로 하는 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트.
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