JP3576602B2 - 負圧発生ユニット - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、エゼクタ部で発生した負圧を外部機器に供給する負圧発生ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、エゼクタによって負圧作用を発生させ、前記負圧作用に基づき吸着用パッド等の吸着手段を介してワークを吸着、搬送することが行われている。
【0003】
すなわち、圧縮空気供給源からエゼクタを構成するノズルに圧縮空気を供給し、前記ノズルから噴出する圧縮空気がディフューザを通過することにより、該ノズルとディフューザとの間に負圧作用を発生させるものである。この場合、複数のワークを大量に且つ効率的に搬送するために、複数個のエゼクタを連設して一体化し、前記一体化されたエゼクタに対して夫々圧縮空気供給源からの圧縮空気を供給して使用している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術では、圧縮空気供給源、例えば、コンプレッサ等における圧縮空気の供給量が限定されていることから、1つの圧縮空気供給源に接続可能なエゼクタの個数が制限されるという不都合がある。このため、前記圧縮空気供給源における圧縮空気の供給量を越えて多数個のエゼクタを使用した場合、前記エゼクタで発生する負圧力が低下してしまい、ワークに対する吸着不良等の影響を及ぼすという不都合がある。
【0005】
また、前記エゼクタでは、負圧作用を発生させるために、常時、ノズルからディフューザに向かって圧縮空気を噴出しなければならず、前記ディフューザを通過した圧縮空気は大気中に排気されるだけであることから、圧縮空気を効率的に利用することができないという不都合がある。
【0006】
そこで、前記圧縮空気供給源の個数を増加させることが考えられるが、前記圧縮空気供給源のコストが高いとともに、多大なスペースを占有するという他の不都合がある。
【0007】
この場合、前記エゼクタに代替して真空ポンプを用いてワークの吸着、搬送を行うことが考えられるが、同様に、前記真空ポンプが供給する負圧容量が限定され、前記真空ポンプに接続される吸着手段等の空気圧機器の数が制限される不都合がある。また、前記真空ポンプを用いて発生する負圧を蓄積しようとする場合、真空ポンプのコストが増大するとともに、装置全体が大型化するという不都合がある。
【0008】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、圧縮空気供給源から供給される圧縮空気の量を節減して効率的に利用するとともに、小型・軽量化を図ることが可能な負圧発生ユニットを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、圧縮空気供給源に接続され、圧縮空気供給ポートを有するブロック部と、
前記圧縮空気供給ポートから導入された圧縮空気によって負圧作用を発生させるエゼクタ部と、
前記エゼクタ部で発生した負圧を貯蔵する単一の負圧貯蔵部と、
前記負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧を複数の外部機器に供給する負圧供給部と、
前記負圧貯蔵部内の負圧量に基づいて、前記圧縮空気供給ポートからエゼクタ部への圧縮空気の供給量を制御するコントローラユニットと、
を備え
前記負圧供給部は複数の供給機構からなり、前記単一の負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧が前記複数の供給機構を介して複数の外部機器に供給されることを特徴とする。
【0010】
上記の本発明に係る負圧発生ユニットでは、圧縮空気供給ポートから導入された圧縮空気によってエゼクタ部で負圧作用を発生させ、前記発生した負圧を単一の負圧貯蔵部に貯蔵する。コントローラユニットは、前記負圧貯蔵部内の負圧量を検出し、前記負圧量が所定値に到達するまでエゼクタ部へ圧縮空気を供給する。前記負圧貯蔵部内の負圧量が所定値に到達すると、コントローラユニットはエゼクタ部への圧縮空気の供給を停止する。
【0011】
この場合、コントローラユニットは、負圧貯蔵部内の負圧量が所定値を満たすようにエゼクタ部へ圧縮空気を供給し、あるいは停止して圧縮空気の供給量を制御する。従って、圧縮空気供給源から供給される圧縮空気の流量を節減することができるとともに、複数の供給機構からなる負圧供給部によって効率的に複数の外部機器に単一の負圧貯蔵部内の負圧を分配することができる。
【0012】
【実施例】
次に、本発明に係る負圧発生ユニットについて好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0013】
図1は、本発明の実施例に係る負圧発生ユニットの正面図、図2は、図1の平面図、図3は、図2のIII−III線に沿った縦断面図、図4は、図1の右側面図、図5は、図1の背面図である。
【0014】
この負圧発生ユニット10は、基本的には、図3に示されるように、基台プレート12と、前記基台プレート12上に設けられ、発生した負圧を貯蔵する負圧貯蔵部14と、前記負圧貯蔵部14と一体的に形成され、複数のノズル部からなるエゼクタ部16と、前記負圧貯蔵部14およびエゼクタ部16に併設され、圧縮空気供給ポート18を有する管継手20が設けられたブロック部22と、前記エゼクタ部16に搭載され、前記負圧貯蔵部14内の負圧力を検出する負圧検出部24と、前記負圧検出部24に隣接して配設され、前記エゼクタ部16から導出される圧縮空気を外部に排気するとともに消音機能を発揮する消音部26と、前記基台プレート12上に固定され、吸着用パッド等の吸着手段に負圧を供給する負圧供給部28(図2参照)と、負圧貯蔵部14並びに負圧供給部28に隣接して設けられ、リード線30を介して負圧検出部24および負圧供給部28からの検出信号が導入されるコントローラユニット32(図2参照)とから構成される。
【0015】
ブロック部22の上面には、チューブ等を介して圧縮空気供給源34(図6参照)に接続される管継手20が設けられる。前記ブロック部22の一側面部には供給弁36および破壊元弁38が付設され、前記供給弁36および破壊元弁38の各入力ポートは夫々通路40を介して管継手20の圧縮空気供給ポート18と連通するように形成されている(図3参照)。前記供給弁36および破壊元弁38は、コントローラユニット32から導出される電気信号に基づいて弁体の位置状態を切り換え制御する。また、供給弁36の出力ポートは、ブロック部22内に画成された分岐通路を介して後述する第1ノズル部42および第2ノズル部44に夫々連通するように形成されている。さらに、前記ブロック部22には、負圧供給部28に連通する第1連通路46と第2連通路48とが画成されている。
【0016】
負圧貯蔵部14はエゼクタ部16で発生した負圧を貯蔵するための負圧貯蔵室50を有する負圧貯蔵タンク52からなり、前記負圧貯蔵タンク52には、エゼクタ部16の負圧発生室(後述する)に夫々連通する第1〜第3通路54、56、58が画成されている。前記第1〜第3通路54、56、58の開口部には第1〜第3チェック弁60、62、64が夫々設けられ、前記第1〜第3チェック弁60、62、64を開動作させることにより、負圧貯蔵タンク52内の負圧貯蔵室50とエゼクタ部16内の負圧発生室とが夫々連通する。なお、前記負圧貯蔵タンク52は、押し出し成形によって形成することが可能である。
【0017】
エゼクタ部16は多段エゼクタによって形成され、エゼクタボデイ66と、前記エゼクタボデイ66内に固着され、ノズルおよびディフューザから夫々構成される第1〜第5ノズル部42、44、68、70、72とを含む。この場合、前記第1〜第5ノズル部42、44、68、70、72には、略テーパ状に縮径した後、徐々に拡径するノズル孔が夫々画成されたノズルが設けられ、前記ノズル孔は夫々所定の直径で形成されている。前記第1〜第5ノズル部42、44、68、70、72の中、第1ノズル部42および第2ノズル部44は、夫々ブロック部22内に画成された通路40に連通し、且つ前記第1ノズル部42および第2ノズル部44を流通する圧縮空気の流路方向が夫々平行となるように配設されている。前記第1ノズル部42のノズル孔とディフューザ74との間には第1負圧発生室76が画成され、第1チェック弁60の開成作用下に第1通路54を介して第1負圧発生室76と負圧貯蔵室50とが連通するように形成されている。前記ディフューザ74の終端部には、第2負圧発生室78に連通する通路80が画成されている。
【0018】
前記第1ノズル部42の上方に位置するエゼクタボデイ66内には貫通孔82が画成され、前記貫通孔82内に第2〜第5ノズル部44、68、70、72が夫々直線状に配設されている。第2ノズル部44は、ノズル孔を有するノズルからなり、第3〜第5ノズル部68、70、72は一体的に形成されたノズル84から構成される。前記第2ノズル部44と第3ノズル部68との間には第2負圧発生室78が画成され、前記第2負圧発生室78は、前述したように、第1ノズル部42の通路80に連通している。前記第3ノズル部68と第4ノズル部70との間には、第1吸引孔86を介して吸引作用を発揮する第3負圧発生室88が画成され、さらに、第2チェック弁62の開成作用下に第2通路56を介して第3負圧発生室88と負圧貯蔵室50とが連通するように形成されている。前記第4ノズル部70と第5ノズル部72との間には、第2吸引孔90を介して吸引作用を発揮する第4負圧発生室92が画成され、さらに、第3チェック弁64の開成作用下に第3通路58を介して第4負圧発生室92と負圧貯蔵室50とが連通するように形成されている。なお、第3〜第5ノズル部68、70、72を構成するノズル84は、アルミニウム等の材料を用い鋳造成形の方法によって一体成形すると好適である。また、第3〜第5ノズル部68、70、72は、前段のノズル部に対して夫々ディフューザの機能をも併用するものである。例えば、第3ノズル部68はノズルとしての機能を有する他、第2ノズル部44に対してディフューザとしての機能をも併用する。
【0019】
前記エゼクタボデイ66内の貫通孔82の終端部には、消音部26を構成し、カバー部材94によって囲繞された第1サイレンサ96および第2サイレンサ98が設けられている。前記カバー部材94の上面部にはスリット100が画成され、前記スリット100を介してエゼクタ部16から流出された圧縮空気が外部に排気される。
【0020】
前記消音部26に隣接する負圧検出部24は、半導体圧力センサ102が内蔵されたスイッチ104から構成され、前記スイッチ104は、通路106を介して導入された負圧貯蔵室50内の負圧が予め設定された所定の負圧に到達した時にコントローラユニット32に信号を導出する機能を営む。
【0021】
負圧供給部28は夫々略同一要素からなる第1〜第8供給機構108a〜108hによって構成され、前記第1供給機構108aは、主弁110の開閉位置を制御する自己保持型のパイロット弁112と、破壊供給弁114と、サクションフィルタ116と、スイッチ118とから構成される(図6参照)。この場合、第2〜第8供給機構108b〜108hは、前記第1供給機構108aと略同一に構成されるためその詳細な説明を省略する。前記パイロット弁112、破壊供給弁114およびスイッチ118はリード線30を介して夫々コントローラユニット32に接続され、前記パイロット弁112および破壊供給弁114は前記コントローラユニット32から導出される電気信号に基づいて弁体の位置状態が切り換え制御され、前記スイッチ118は、吸着用パッド120が負圧作用下にワークWを確実に吸着したか否かを検出する機能を営む。外部機器を構成する前記吸着用パッド120は、図示しないチューブを介して前記第1〜第8供給機構108a〜108hの負圧ポート122(図5参照)に接続されている。本実施例では、負圧供給部28を第1〜第8供給機構108a〜108hによって説明しているが、8個に限定されるものではないことは勿論である。なお、図5および図6において、参照符号124は排気ポートを示すものであり、前記排気ポート124は各供給機構108a〜108h内に残存する圧縮空気を排気する機能を営む。
【0022】
コントローラユニット32は、図示しないCPUユニット、入出力ユニット、I/Oユニット、通信ユニットおよび電源ユニット等によって構成され、夫々リード線30によって電気的に接続されたパイロット弁112および破壊供給弁114に対し、電気信号をシリアル伝送すること、もしくはローカルエリアネットワーク(LAN)、ローカルオペレーティングネットワーク(LON)等の分散処理ネットワーク通信、もしくはスペクトル拡散通信手段により配線の省力化を図ることが可能である。なお、前記コントローラユニット32は、圧縮空気供給源34、キーボード等の入力手段126、並びに、CRT等の表示手段128が電気的に接続されている。操作者は、前記入力手段126を介して負圧貯蔵タンク52内の負圧状態を検出するスイッチ104を所定の負圧値に設定、変更することができ、また、吸着用パッド120に近接して接続されるスイッチ118から導出される電気信号に基づいて、表示手段128を介してワークWの吸着状態を視認することが可能である。
【0023】
本発明の実施例に係る負圧発生ユニット10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果を図6に示す空気圧回路に基づいて説明する。
【0024】
先ず、コントローラユニット32から圧縮空気供給源34に電気信号を導出し、該圧縮空気供給源34を駆動して圧縮空気供給ポート18から圧縮空気を導入する。前記圧縮空気はブロック部22内の通路40を介して破壊元弁38および供給弁36の入力ポートに到達するとともに、前記通路40から分岐して第1連通路46に導入される。この時、コントローラユニット32から供給弁36に電気信号を導出し、前記供給弁36の弁位置を閉状態から開状態に切り換えることにより、圧縮空気は通路40を介してエゼクタ部16の第1ノズル部42および第2ノズル部44に供給される。
【0025】
第1ノズル部42に供給され、ノズル孔から噴出された圧縮空気はディフューザ74を通過し、通路80を介して第2ノズル部44と第3ノズル部68との間に画成された第2負圧発生室78に導入される。圧縮空気がディフューザ74を通過する際、第1負圧発生室76に負圧作用が発生し、この負圧作用によって第1チェック弁60を開動作させる。この結果、通路80を介して第1負圧発生室76と負圧貯蔵室50とが連通し、該負圧貯蔵室50内に所定圧の負圧が蓄積される。なお、負圧貯蔵タンク52内の負圧貯蔵室50は、予め大気圧になっているものとする。
【0026】
一方、第2ノズル部44に導入された圧縮空気は、第3ノズル部68に到達する際、前記第2ノズル部44と第3ノズル部68との間に画成された第2負圧発生室78に負圧作用を発生させる。この場合、第3ノズル部68は第2ノズル部44に対してディフューザとして機能するものである。前記第2負圧発生室78に発生した負圧作用によって、第1ノズル部42から導出される圧力流体が通路80を介して強制的に吸引される。
【0027】
次に、第3ノズル部68より導入された圧縮空気は第4ノズル部70に導出され、その際、前記第3ノズル部68と第4ノズル部70との間に画成された第3負圧発生室88に負圧作用を発生させる。この負圧作用によって第2チェック弁62が開動作され、第2通路56を介して前記第3負圧発生室88と負圧貯蔵室50とが連通する。この結果、負圧貯蔵室50内に所定圧の負圧が蓄積される。
【0028】
続いて、第4ノズル部70より導入された圧縮空気は第5ノズル部72に導出され、その際、前記第4ノズル部70と第5ノズル部72との間に画成された第4負圧発生室92に負圧作用を発生させる。この負圧作用によって第3チェック弁64が開動作され、通路58を介して前記第4負圧発生室92と負圧貯蔵室50とが連通する。この結果、負圧貯蔵室50内に所定圧の負圧が蓄積される。
【0029】
前記第5ノズル部72から導出された圧縮空気は、消音部26を構成する第1サイレンサ96および第2サイレンサ98を通過する際に消音され、カバー部材94のスリット100から外部に排気される。
【0030】
この時発生する負圧力の大きさは、各ノズル孔の直径とディフューザ(後段のノズル部)の直径との相関関係によって決定され、第1負圧発生室76>第2負圧発生室78>第3負圧発生室88>第4負圧発生室92となり、前記第1〜第4負圧発生室76、78、88、92の負圧力に対応して開動作するチェック弁の順序も第1チェック弁60、第2チェック弁62、第3チェック弁64の順序で作動する。
【0031】
以上のように第1〜第3チェック弁60、62、64が開動作することにより、通路54、56、58を介して予め大気圧の状態にあった負圧貯蔵タンク52内に負圧が供給され、負圧貯蔵室50内に所定量の負圧が貯蔵される。負圧貯蔵タンク52内に貯蔵された負圧値は、通路106を介して負圧が導入されるスイッチ104の半導体圧力センサ102によって検出される。前記スイッチ104は、予め設定された所定の負圧値に到達した時に電気信号をコントローラユニット32に導出し、一方、前記コントローラユニット32は電気信号を供給弁36に導出して、該供給弁36の弁位置を開状態から閉状態に切り換える。
【0032】
このようにして、供給弁36が閉状態に切り換えられることにより、エゼクタ部16への圧縮空気の供給が停止され、このため、第1〜第3チェック弁60、62、64は、第3チェック弁64、第2チェック弁62および第1チェック弁60の順序で閉動作する。従って、前記第1〜第3チェック弁60、62、64の閉動作によって負圧貯蔵室50に連通する通路54、56、58が夫々閉塞され、負圧貯蔵タンク52内の負圧が所定の負圧値に保持される。なお、コントローラユニット32は、前記スイッチ104から電気信号が導入されて負圧貯蔵タンク52内の負圧が所定値に到達したことを検出した後、圧縮空気供給源34に電気信号を導出し、圧縮空気供給ポート18に対する圧縮空気の供給を停止させる。
【0033】
以上のようにして負圧貯蔵タンク52内に所定圧の負圧が貯蔵された後、コントローラユニット32は、第1〜第8供給機構108a〜108hの夫々のパイロット弁112に電気信号を導出し、各パイロット弁112の弁位置を閉状態から開状態に切り換える。この場合、前記パイット弁112は第1連通路46を介して圧縮空気供給ポート18と連通するように形成され、前記パイロット弁112の入力ポートには、既に圧縮空気供給ポート18から供給された圧縮空気が到達している。従って、開状態となったパイロット弁112を介して導入された圧縮空気は、主弁110の弁位置を閉状態から開状態に切り換える。この結果、前記主弁110を通じて吸着用パッド120に負圧貯蔵タンク52から負圧が供給され、この負圧作用に基づいてワークWが吸着、搬送される。なお、前記吸着用パッド120に対してワークWが確実に吸着されたか否かの確認は、スイッチ118からコントローラユニット32に導出される検出信号に基づいて判断することができる。
【0034】
次に、吸着用パッド120に吸着保持されたワークWを所定位置に搬送して離脱させる場合について説明する。
【0035】
コントローラユニット32から各パイロット弁112に電気信号を導出し、各パイロット弁112の弁位置を開状態から閉状態に切り換える。この結果、各パイロット弁112から主弁110にパイロット圧が供給されないため、該主弁110は開状態から閉状態に切り換わり、吸着用パッド120に対する負圧の供給が停止される。一方、コントローラユニット32は、破壊元弁38および第1〜第8供給機構108a〜18hを構成する夫々の破壊供給弁114に電気信号を導出することにより、前記破壊元弁38の弁位置が閉状態から開状態に切り換わり、且つ前記破壊供給弁114の弁位置が閉状態から開状態に切り換わる。この結果、圧縮空気供給ポート18から導入された圧縮空気は、破壊元弁38および各破壊供給弁114を介して吸着用パッド120に供給され、負圧状態が解除されてワークWが該吸着用パッド120から離脱する。
【0036】
なお、前記吸着用パッド120等の外部機器に負圧を供給することにより、負圧貯蔵タンク52内の負圧量が減少した場合、コントローラユニット32は圧縮空気供給源34に電気信号を導出して圧縮空気供給ポート18に圧縮空気を供給するとともに、供給弁36の弁位置を切り換えてエゼクタ部16に圧縮空気を供給することにより、前述した動作によって負圧貯蔵タンク52内に所定圧の負圧を貯蔵することが可能となる。
【0037】
以上のように、本実施例に係る負圧発生ユニット10では、常時エゼクタ部16に圧縮空気を供給することなく、負圧貯蔵タンク52内に所定値の負圧が貯蔵された後、前記エゼクタ部16に対する圧縮空気の供給が停止される。従って、常時エゼクタに圧縮空気を供給し、ノズルから常時圧縮空気を噴出することによりノズルとディフューザとの間に負圧作用を発生させていた従来技術と比較して、本実施例に係る負圧発生ユニット10では、圧縮空気供給源34からの圧縮空気の供給量を節減することができるとともに、供給される圧縮空気を効率的に使用することができる。
【0038】
また、負圧貯蔵タンク52内に蓄積された所定値の負圧は、パイロット弁112によるコントローラユニット32の制御作用下に複数の外部機器等に効率的に分配することができる。
【0039】
さらに、本実施例に係る負圧発生ユニット10では、負圧を発生させるエゼクタ部16、前記発生した負圧を貯蔵する負圧貯蔵部14、前記負圧貯蔵部14から負圧を各種外部機器に供給する負圧供給部28等をユニット化するとともに、コントローラユニット32を介して省配線とすることにより、小型・軽量に製造することができ、スペースの有効利用を図ることができる。
【0040】
さらにまた、真空ポンプに負圧貯蔵手段を設けた場合と比較して、本実施例に係る負圧発生ユニット10では、小型・軽量化を図ることができるとともに、エゼクタ部16における負圧発生時間を短縮して迅速に負圧貯蔵タンク52に負圧を貯蔵することができる利点がある。
【0041】
【発明の効果】
本発明に係る負圧発生ユニットによれば、以下の効果が得られる。
【0042】
すなわち、コントローラユニットを介して、エゼクタ部に導入される圧縮空気の流量を制御することができるため、圧縮空気供給源から供給される圧縮空気の流量を節減することができる。
【0043】
また、エゼクタ部で発生した負圧を負圧貯蔵部で貯蔵し、前記貯蔵された負圧をコントローラユニットの制御作用下に負圧供給部を介して外部機器に効率的に供給することが可能となる。
【0044】
さらに、負圧を発生させるエゼクタ部、前記発生した負圧を貯蔵する負圧貯蔵部、前記負圧貯蔵部から負圧を各種外部機器に供給する負圧供給部等をユニット化するとともに、コントローラユニットを介して省配線とすることにより、負圧発生ユニットを小型・軽量に製造することができ、スペースの有効利用を図ることができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る負圧発生ユニットの正面図である。
【図2】図1に示す負圧発生ユニットの平面図である。
【図3】図2に示すIII−III線に沿った縦断面図である。
【図4】図1に示す負圧発生ユニットの右側面図である。
【図5】図1に示す負圧発生ユニットの背面図である。
【図6】図1に示す負圧発生ユニットの動作を示す空気圧回路図である。
【符号の説明】
10…負圧発生ユニット 12…基台プレート
14…負圧貯蔵部 16…エゼクタ部
18…圧縮空気供給ポート 22…ブロック部
24…負圧検出部 26…消音部
28…負圧供給部 30…リード線
32…コントローラユニット 34…圧縮空気供給源
36…供給弁 38…破壊元弁
40、54、56、58…通路
42、44、68、70、72…ノズル部
46、48…連通路 50…負圧貯蔵室
52…負圧貯蔵タンク 60、62、64…チェック弁
76、78、88、92…負圧発生室 104、118…スイッチ
108a〜108h…供給機構 110…主弁
112…パイロット弁 114…破壊供給弁
116…サクションフィルタ 120…吸着用パッド
W…ワーク

Claims (5)

  1. 圧縮空気供給源に接続され、圧縮空気供給ポートを有するブロック部と、
    前記圧縮空気供給ポートから導入された圧縮空気によって負圧作用を発生させるエゼクタ部と、
    前記エゼクタ部で発生した負圧を貯蔵する単一の負圧貯蔵部と、
    前記負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧を複数の外部機器に供給する負圧供給部と、
    前記負圧貯蔵部内の負圧量に基づいて、前記圧縮空気供給ポートからエゼクタ部への圧縮空気の供給量を制御するコントローラユニットと、
    を備え
    前記負圧供給部は複数の供給機構からなり、前記単一の負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧が前記複数の供給機構を介して複数の外部機器に供給されることを特徴とする負圧発生ユニット。
  2. 請求項1記載のユニットにおいて、エゼクタ部は複数のノズル部からなる多段エゼクタで形成されることを特徴とする負圧発生ユニット。
  3. 請求項1記載のユニットにおいて、ブロック部は圧縮空気供給ポートとエゼクタ部との間に介装された供給弁を含み、前記供給弁はコントローラユニットから導出される電気信号に基づいて、弁位置が切り換えられることを特徴とする負圧発生ユニット。
  4. 請求項1記載のユニットにおいて、複数の供給機構は、夫々、パイロット弁と、前記パイロット弁のパイロット圧によって付勢された際、負圧貯蔵部に連通する通路を介して外部機器に負圧を供給する主弁とを含むことを特徴とする負圧発生ユニット。
  5. 請求項1記載のユニットにおいて、外部機器は吸着用パッドからなり、負圧供給部から供給される負圧によって前記吸着用パッドに吸着、搬送されたワークを該吸着用パッドから離脱させる負圧解除手段を有することを特徴とする負圧発生ユニット。
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