JPH04152086A - 吸着搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ワークを吸着して搬送する吸着パッドを有す
る吸着搬送装置に関するものである。

［従来の技術］ ワークを吸着して搬送する吸着パッドを有する吸着搬送
装置においては、真空圧を発生させるための圧力流体の
供給弁、真空圧流路の切換弁、真空圧を破壊するための
真空圧破壊弁等が誤動作すると、搬送中のワークが落下
したり、吸着したワークを解放できない等の事故が発生
する恐れがあるので、これらの弁の誤動作を防止する必
要がある。

この場合、停電による誤動作は、これらの弁にパイロッ
ト流体を給排するパイロット電磁弁に、自己保持機構を
設けることによって解決することができる。

しかしながら、パイロット電磁弁に自己保持機構を設け
ても、コンプレッサの緊急停止や配管の破損等によって
圧力流体源の流体圧がこれらの弁の切換位置の保持に必
要な圧力以下に低下すると、弁が誤動作するという問題
がある。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明が解決しようとする課題は、流体圧の低下に対応
できる安全装置を有する吸着搬送装置を提供することに
ある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明は、エゼクタに圧力流
体を供給する圧力流路と、該圧力流路を開閉するパイロ
ット形の供給弁と、該供給弁にパイロット流体を給排す
るパイロット弁と、吸着パッドとエゼクタの低圧部を連
通させる真空圧流路とを備えた吸着搬送装置において、
上記パイロット弁と圧力流体源の間に、パイロット流体
の逆流を防止するためのチェック弁を設けたことを特徴
としている。

また、同様の課題を解決するため、エゼクタに圧力流体
を供給する圧力流路と、吸着パッドとエゼクタの低圧部
を連通させる真空圧通路と、該真空圧通路に圧力流体を
供給する真空破壊流路と、該真空破壊流路を開閉するパ
イロット形の真空破壊弁と、該真空破壊弁にパイロット
流体を給排するパイロット弁とを備えた吸着搬送装置に
おいて、上記パイロット弁と圧力流体源の間に、パイロ
ット流体の逆流を防止するためのチェック弁を設けると
よい。

さらに、同様の課題を解決するため、真空源と吸着パッ
ドを連通させる真空圧流路と、該真空圧流路を開閉する
切換弁と、該切換弁にパイロット流体を給排するパイロ
ット弁とを備えた吸着搬送装置において、上記パイロッ
ト弁と圧力流体源の間に、パイロット流体の逆流を防止
するためのチェック弁を設けるとよい。

また、同様の課題を解決するため、これらのチェック弁
とパイロット弁の間に、アキュムレータを設けるとよい
。

［作　用］ パイロット弁から出力されるパイロット流体は、パイロ
ット流路に設けたチェック弁によってその逆流が防止さ
れるので、圧力流体源の流体圧が低下してもパイロット
流体圧は低下しない。

したがって、パイロット形の供給弁、真空破壊弁及び切
換弁が切換位置を保持できるので、圧力流体源の流体圧
の低下によるこれらの弁の誤動作を防止することができ
る。

また、チェック弁とパイロット弁との間にアキュムレー
タを設けたので、アキュムレータに蓄圧された流体によ
って、パイロット流体圧の低下を一層確実に防止するこ
とができる。

［実施例］ 第１図は本発明の第１実施例を示し、この吸着搬送装置
は、圧縮空気源ｌと直列に配設したエゼクタ２ａ、　２
ｂを連通させる圧力流路３と、該圧力流路３を開閉する
パイロット形の供給弁４と、該供給弁４にパイロット空
気を給排するパイロット電磁弁５と、圧縮空気源ｌとパ
イロット電磁弁５の入口ポートを連通させるパイロット
流路６と、該パイロット流路６中のパイロット流体の逆
流を防止するためのチェック弁７と、吸着パッド８とエ
ゼクタ２ａ、　２ｂの吸込側とを連通させる真空圧流路
９とを備えている。

また、上記第１実施例は、圧縮空気源ｌと真空圧回路９
を連通させる真空破壊流路ｔｉと、該真空破壊流路１１
を開閉するパイロット形の真空破壊弁１２と、該真空破
壊弁１２にパイロット空気を給排するパイロット電磁弁
１３と、圧縮空気源ｌとパイロット電磁弁１３の入力ボ
ートを連通ずるパイロット流路１４と、該パイロット流
路１４中のパイロット流体の逆流を防止するためのチェ
ック弁１５とを備えている。

第１図中の符号１７〜２０は、それぞれサイレンサ、チ
ェック弁、真空圧スイッチ、及び可変絞りである。

なお、図示の例における供給弁４と真空破壊弁１２は、
パイロット電磁弁５と１３からパイロット流体が供給さ
れると流路３とｔｉを開放し、パイロット流体が排出さ
れると内部パイロット流体によりこれらの流路を閉鎖す
る内部パイロット形２ポート弁であるが、パイロット流
体の排出により主流路３と真空破壊流路１１の下流側を
大気に開放する３ポート弁とすることができ、また内部
パイロットに代えて、ばね力で復帰するものでもよい。

一方、パイロット電磁弁５と１３は、ソレノイド５ａと
１３ａの励磁によってパイロット流体を供給弁４と真空
破壊弁１２に供給し、ソレノイドの励磁解除によりパイ
ロット流体を外部に排出する３ボート電磁弁として構成
されている。また、これらのパイロット電磁弁５と１３
は、停電による誤動作を防止するため、適宜構成の自己
保持機構を備えている。

上記第１実施例は、ソレノイド５ａの励磁によりパイロ
ット流体が供給弁４に供給されると、供給弁４が主流路
３を開放してエゼクタ２ａ、　２ｂに圧縮空気が供給さ
れるので、真空圧回路９に負圧が発生して吸着パッド８
がワーク（図示省略）を吸着する。

図示を省略している適宜の移動手段により、吸着パッド
８を移動させてワークを所望の位置に搬送した後、ソレ
ノイド１３ａを励磁して真空破壊弁１２にパイロット流
体を供給すると、真空破壊弁１２が真空破壊流路１１を
開放して真空圧流路９に圧縮空気が供給されるので、吸
着パッド８によるワークの吸着が解放される。

上述の動作中に、何らかの原因によって圧縮空気源ｌの
空気圧が低下しても、供給弁４と真空破壊弁１２に作用
するパイロット空気圧は、チェック弁７と１５によって
逆流が阻止されて低下しないため、これらの弁４と１２
の切換位置が保持される。

したがって、空気圧の低下による供給弁４と真空破壊弁
１２の誤動作を防止することができる。

第２図は第１実施例の変形例を示し、この変形例は、真
空破壊弁１２のパイロット電磁弁１３にパイロット流体
を供給するパイロット流路２５が、供給弁４のパイロッ
ト電磁弁５にパイロット流体を供給するパイロット流路
２６から分岐され、圧縮空気源ｌと上記パイロット流路
２６の分岐点２６ａとの間に、パイロット流体の逆流防
止のためのチェック弁２７を設けている。

したがって、この変形例は、−個のチェック弁２７によ
って、供給弁４と真空破壊弁１２のパイロット空気圧の
低下を防止することができる。

上記変形例の他の構成及び作用は、真空圧流路９とエゼ
クタ２ａの間にチェック弁１８ａを設けた以外は第１実
施例と同じであるから、図の主要な箇所に同一の符号を
付して詳細な説明は省略する。

しかしながら、このチェック弁１８ａは省略してもよい
。

第３図は本発明の第２実施例を示し、第２実施例におい
ては、パイロット流路２６中のチェック弁２７と分岐点
２６ａの間に、アキエムレータ２９を設けている。第２
実施例の他の構成は、上記変形例と同じである。

上記第２実施例は、アキュムレータ２９の蓄圧によって
、供給弁４と真空破壊弁１２のパイロット流体圧の低下
を、−層確実に防止することができる。

なお、これらの実施例における供給弁と真空破壊弁は、
パイロット流体の供給により主流路と真空破壊流路を閉
鎖し、パイロット流体圧の排出によりこれらの流路を開
放する常開型とすることもできる。

第４図は本発明の第３実施例を示し、この吸着搬送装置
は、真空ポンプ３１と吸着パッド８を連通ずる真空圧流
路３２と、該真空圧流路３２を開閉するパイロット形の
切換弁３４と、該切換弁３４にパイロット流体を供給す
るパイロット電磁弁３５とを備え、パイロット電磁弁３
５の入口ボートと圧縮空気源ｌを連通させるパイロット
流路３６に、パイロット流体の逆流を防止するためのチ
ェック弁３７を設けている。

上記第３実施例の作用は、実質的に第１実施例と同じで
ある。

なお第３実施例においても、チェック弁３７とパイロッ
ト電磁弁３５の入口ボートの間に、アキエムレータを設
けることができる。

第５図は、上記第１実施例の変形例における各構成要素
を一体に組み付けた吸着搬送装置の一例を示している。

この吸着搬送装置４０は、真空源としてのエゼクタ２ａ
、２ｂ　、これらのエゼクタ２ａ、　２ｂに圧縮空気を
供給する上記供給弁４、吸着パッド（図示省略）に圧縮
空気を供給する真空破壊弁１２、パイロット電磁弁５及
び１３、圧縮空気の供給ボート４２とパイロット電磁弁
５及び１３とを連通させるパイロット流路２６中のチェ
ック弁２７、サイレンサ１７、真空圧スイッチ１９、可
変絞り２０、及び水分離フィルタ４３を一体に組み付け
たものとして構成されている。

この場合、真空圧流路９中にチェック弁１８と同様なチ
ェック弁１８ａを設けて、真空圧を保持させることがで
きる。そして、パイロット電磁弁５と１３から出力され
るパイロット流体は、流路４４ａと４４ｂを通って供給
弁４と真空破壊弁１２のパイロット室に供給され、真空
圧流路９と真空破壊流路１１は、ボート４５ａと４Ｓｂ
に達通し、これらのボートのいずれか一方に吸着パッド
が接続され、他方のボートは閉鎖される。

上記チェック弁２７は、第６図Ａに示すようにばね４６
でパイロット流路２６を閉鎖する方向に付勢されたボー
ル４７、または同図Ｂに示すように、パイロット流路２
６を供給ボート４２からの流体圧により開放し、逆方向
の流体圧により閉鎖する逆止弁体４８を備えている。ま
た、供給弁４及び真空破壊弁１２は、第７図に示すよう
に、流路４４ａ、　４４ｂからパイロット流体圧が供給
されると圧力流路３及び真空破壊流路１１を開放し、パ
イロット流体が排出されるとこれらの流路を閉鎖する弁
体５０と５１を備えている。

し発明の効果」 本発明における吸着搬送装置は、圧力流路を開閉する供
給弁、真空破壊流路を開閉する真空破壊弁、または真空
圧流路を開閉する切換弁にパイロット流体を給排するパ
イロット弁と、圧力流体源との間に、パイロット流体の
逆流を防止するためのチェック弁を設けたことにより、
圧力流体源の流体圧が低下してもパイロット流体圧の低
下を防止して、これらの弁が切換位置を保持できるので
、流体圧の低下によるこれらの弁の誤動作を防止するこ
とができる。

また、チェック弁とパイロット弁の間に、アキエムレー
タを設けたので、流体圧の低下によるこれらの弁の誤動
作を一層確実に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は第１実施例の構
成図、第２図はその変形例の構成図、第３図及び第４図
は第２及び第３実施例の構成図、第５図は吸着搬送装置
の具体例の要部断面図、第６図Ａ、Ｂはチェック弁の一
例を示す断面図、第７図は供給弁及び真空破壊弁の一例
を示す断面図である。 ｌ　・・圧縮空気源、　２ａ、２ｂ、・・エゼクタ、３
・・圧力流路、　　４・・供給弁、 ５．１３．３５　・・パイロラット電磁弁、？、ｉｓ、
２７．３７・・チェック弁、８　・・吸着パッド、　９
．３２・ １１・・真空破壊流路　１２・・ ２９・・アキュムレータ、 ３１・・真空ポンプ、　３４・・切換弁。 ・真空圧流路、 真空破壊弁、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、エゼクタに圧力流体を供給する圧力流路と、該圧力
   流路を開閉するパイロット形の供給弁と、該供給弁にパ
   イロット流体を給排するパイロット弁と、吸着パッドと
   エゼクタの低圧部を連通させる真空圧流路とを備えた吸
   着搬送装置において、 上記パイロット弁と圧力流体源の間に、パイロット流体
   の逆流を防止するためのチェック弁を設けた、 ことを特徴とする吸着搬送装置。 ２、エゼクタに圧力流体を供給する圧力流路と、吸着パ
   ッドとエゼクタの低圧部を連通させる真空圧通路と、該
   真空圧通路に圧力流体を供給する真空破壊流路と、該真
   空破壊流路を開閉するパイロット形の真空破壊弁と、該
   真空破壊弁にパイロット流体を給排するパイロット弁と
   を備えた吸着搬送装置において、 上記パイロット弁と圧力流体源の間に、パイロット流体
   の逆流を防止するためのチェック弁を設けた、 ことを特徴とする吸着搬送装置。 ３、真空源と吸着パッドを連通させる真空圧流路と、該
   真空圧流路を開閉するパイロット形の切換弁と、該切換
   弁にパイロット流体を給排するパイロット弁とを備えた
   吸着搬送装置において、上記パイロット弁と圧力流体源
   の間に、パイロット流体の逆流を防止するためのチェッ
   ク弁を設けた、 ことを特徴とする吸着搬送装置。 ４、チェック弁とパイロット弁の間にアキュムレータを
   設けた、 ことを特徴とする請求項１、２または３に記載した吸着
   搬送装置。