JP2878431B2 - 吸着搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ワークを吸着して搬送する吸着パッドを有
する吸着搬送装置に関するものである。

［従来の技術］ ワークを吸着して搬送する吸着パッドを有する吸着搬
送装置においては、真空圧を発生させるための圧力流体
の供給弁、真空圧流路の切換弁、真空圧を破壊するため
の真空破壊弁等が誤動作すると、搬送中のワークが落下
したり、吸着したワークを解放できない等の事故が発生
する恐れがあるので、これらの弁の誤動作を防止する必
要がある。

この場合、停電による誤動作は、これらの弁にパイロ
ット流体を給排するパイロット電磁弁に、自己保持機構
を設けることによって解決することができる。

しかしながら、パイロット電磁弁に自己保持機構を設
けても、コンプレッサの緊急停止や配管の破損等によっ
て圧力流体源の流体圧がこれらの弁の切換位置の保持に
必要な圧力以下に低下すると、弁が誤動作するという問
題がある。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明が解決しようとする課題は、流体圧の低下に対
応できる安全装置を有する吸着搬送装置を提供すること
にある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の吸着搬送装置は、
エゼクタに圧力流体を供給する圧力流路と、該圧力流路
を開閉するパイロット形の供給弁と、該供給弁にパイロ
ット流体を給排するパイロット弁と、吸着パッドとエゼ
クタの低圧部を連通させる真空圧流路とを備えた吸着搬
送装置において、上記パイロット弁と圧力流体源の間
に、パイロット流体の逆流を防止するためのチェック弁
を設けたことを特徴としている。

また、同様の課題を解決するため、本発明の吸着搬送
装置は、エゼクタに圧力流体を供給する圧力流路と、吸
着パッドとエゼクタの低圧部を連通させる真空圧流路
と、該真空圧流路に圧力流体を供給する真空破壊流路
と、該真空破壊流路を開閉するパイロット形の真空破壊
弁と、該真空破壊弁にパイロット流体を給排するパイロ
ット弁とを備えた吸着搬送装置において、上記パイロッ
ト弁と圧力流体源の間に、パイロット流体の逆流を防止
するためのチェック弁を設けたことを特徴としている。

さらに、同様の課題を解決するため、本発明の吸着搬
送装置は、真空源と吸着パッドを連通させる真空圧流路
と、該真空圧流路を開閉する切換弁と、該切換弁にパイ
ロット流体を給排するパイロット弁とを備えた吸着搬送
装置において、上記パイロット弁と圧力流体源の間に、
パイロット流体の逆流を防止するためのチェック弁を設
けたことを特徴としている。

また、同様の課題を解決するため、本発明の吸着搬送
装置は、これらの吸着搬送装置におけるチェック弁とパ
イロット弁の間に、アキュムレータを設けたことを特徴
としている。

［作 用］ パイロット弁から出力されるパイロット流体は、パイ
ロット流路に設けたチェック弁によってその逆流が防止
されるので、圧力流体源の流体圧が低下してもパイロッ
ト流体圧は低下しない。

したがって、パイロット形の供給弁、真空破壊弁及び
切換弁が切換位置を保持できるので、圧力流体源の流体
圧の低下によるこれらの弁の誤動作を防止することがで
きる。

また、チェック弁とパイロット弁との間にアキュムレ
ータを設けたので、アキュムレータに蓄圧された流体に
よって、パイロット流体圧の低下を一層確実に防止する
ことができる。

［実施例］ 第１図は本発明の第１実施例を示し、この吸着搬送装
置は、圧縮空気源１と直列に配設したエゼクタ2a,2bを
連通させる圧力流路３と、該圧力流路３を開閉するパイ
ロット形の供給弁４と、該供給弁４にパイロット空気を
給排するパイロット電磁弁５と、圧縮空気源１とパイロ
ット電磁弁５の入口ポートを連通させるパイロット流路
６と、該パイロット流路６中のパイロット空気の逆流を
防止するためのチェック弁７と、吸着パッド８とエゼク
タ2a,2bの吸込側とを連通させる真空圧流路９とを備え
ている。

また、上記第１実施例は、圧縮空気源１と真空圧流路
９を連通させる真空破壊流路11と、該真空破壊流路11を
開閉するパイロット形の真空破壊弁12と、該真空破壊弁
12にパイロット空気を給排するパイロット電磁弁13と、
圧縮空気源１とパイロット電磁弁13の入力ポートを連通
するパイロット流路14と、該パイロット流路14中のパイ
ロット空気の逆流を防止するためのチェック弁15とを備
えている。

第１図中の符号17〜20は、それぞれサイレンサ、チェ
ック弁、真空圧スイッチ、及び可変絞りである。

なお、図示の例における供給弁４と真空破壊弁12は、
パイロット電磁弁５と13からパイロット空気が供給され
ると流路３と11を開放し、パイロット空気が排出される
と内部パイロット空気によりこれらの流路を閉鎖する内
部パイロット形２ポート弁であるが、パイロット空気の
排出により主流路３と真空破壊流路11の下流側を大気に
開放する３ポート弁とすることができ、また内部パイロ
ットに代えて、ばね力で復帰するものでもよい。

一方、パイロット電磁弁５と13は、ソレノイド5aと13
aの励磁によってパイロット空気を供給弁４と真空破壊
弁12に供給し、ソレノイドの励磁解除によりパイロット
空気を外部に排出する３ポート電磁弁として構成されて
いる。また、これらのパイロット電磁弁５と13は、停電
による誤動作を防止するため、適宜構成の自己保持機構
を備えている。

上記第１実施例は、ソレノイド5aの励磁によりパイロ
ット空気が供給弁４に供給されると、供給弁４が主流路
３を開放してエゼクタ2a,2bに圧縮空気が供給されるの
で、真空圧流路９に真空圧が発生して吸着パッド８がワ
ーク（図示省略）を吸着する。

図示を省略している適宜の移動手段により、吸着パッ
ド８を移動させてワークを所望の位置に搬送した後、ソ
レノイド13aを励磁して真空破壊弁12にパイロット空気
を供給すると、真空破壊弁12が真空破壊流路11を開放し
て真空圧流路９に圧縮空気が供給されるので、吸着パッ
ド８によるワークの吸着が開放される。

上述の動作中に、何らかの原因によって圧縮空気源１
の空気圧が低下しても、供給弁４と真空破壊弁12に作用
するパイロット空気圧は、チェック弁７と15によって逆
流が阻止されて低下しないため、これらの弁４と12の切
換位置が保持される。

したがって、空気圧の低下による供給弁４と真空破壊
弁12の誤動作を防止することができる。

第２図は第１実施例の変形例を示し、この変形例は、
真空破壊弁12のパイロット電磁弁13にパイロット空気を
供給するパイロット流路25が、供給弁４のパイロット電
磁弁５にパイロット空気を供給するパイロット流路26か
ら分岐され、圧縮空気源１と上記パイロット流路26の分
岐点26aとの間に、パイロット空気の逆流防止のための
チェック弁27を設けている。

したがって、この変形例は、一個のチェック弁27によ
って、供給弁４と真空破壊弁12のパイロット空気圧の低
下を防止することができる。

上記変形例の他の構成及び作用は、真空圧流路９とエ
ゼクタ2aの間にチェック弁18aを設けた以外は第１実施
例と同じであるから、図の主要な箇所に同一の符号を付
して詳細な説明は省略する。しかしながら、このチェッ
ク弁18aは省略してもよい。

第３図は本発明の第２実施例を示し、第２実施例にお
いては、パイロット流路26中のチェック弁27と分岐点26
aの間に、アキュムレータ29を設けている。第２実施例
の他の構成は、上記変形例と同じである。

上記第２実施例は、アキュムレータ92の蓄圧によっ
て、供給弁４と真空破壊弁12のパイロット空気圧の低下
を、一層確実に防止することができる。

なお、これらの実施例における供給弁と真空破壊弁
は、パイロット空気の供給により主流路と真空破壊流路
を閉鎖し、パイロット空気圧の排出によりこれらの流路
を開放する常開型とすることもできる。

第４図は本発明の第３実施例を示し、この吸着搬送装
置は、真空ポンプ31と吸着パッド８を連通する真空圧流
路32と、該真空圧流路32を開閉するパイロット形の切換
弁34と、該切換弁34にパイロット空気を供給するパイロ
ット電磁弁35とを備え、パイロット電磁弁35の入口ポー
トと圧縮空気源１を連通させるパイロット流路36に、パ
イロット空気の逆流を防止するためのチェック弁37を設
けている。

上記第３実施例の作用は、実質的に第１実施例と同じ
である。

なお第３実施例においても、チェック弁37とパイロッ
ト電磁弁35の入口ポートの間に、アキュムレータを設け
ることができる。

第５図は、上記第１の実施例の変形例における各構成
要素を一体に組み付けた吸着搬送装置の一例を示してい
る。

この吸着搬送装置40は、真空源としてのエゼクタ2a,2
b、これらのエゼクタ2a,2bに圧縮空気を供給する上記供
給弁４、吸着パッド（図示省略）に圧縮空気を供給する
真空破壊弁12、パイロット電磁弁５及び13、圧縮空気の
供給ポート42とパイロット電磁弁５及び13とを連通させ
るパイロット流路26中のチェック弁27、サイレンサ17、
真空圧スイッチ19、可変絞り20、及び水分離フィルタ43
を一体に組み付けたものとして構成されている。

この場合、真空圧流路９中にチェック弁18と同様なチ
ェック弁18aを設けて、真空圧を保持させることができ
る。そして、パイロット電磁弁５と13から出力されるパ
イロット空気は、流路44aと44bを通って供給弁４と真空
破壊弁12のパイロット室に供給され、真空圧流路９と真
空破壊流路11は、ポート45aと45bに連通し、これらのポ
ートのいずれか一方に吸着パッドが接続され、他方のポ
ートは閉鎖される。

上記チェック弁27は、第６図Ａに示すようにばね46で
パイロット流路26を閉鎖する方向に付勢されたボール4
7、または同図Ｂに示すように、パイロット流路26を供
給ポート42からの流体圧により開放し、逆方向の流体圧
により閉鎖する逆止弁体48を備えている。また、供給弁
４及び真空破壊弁12は、第７図に示すように、流路44a,
44bからパイロット空気圧が供給されると圧力流路３及
び真空破壊流路11を開放し、パイロット空気が排出され
るとこれらの流路を閉鎖する弁体50と51を備えている。

［発明の効果」 本発明における吸着搬送装置は、圧力流路を開閉する
供給弁、真空破壊流路を開閉する真空破壊弁、または真
空圧流路を開閉する切換弁にパイロット空気を給排する
パイロット弁と、圧力流体源との間に、パイロット空気
の逆流を防止するためのチェック弁を設けたことによ
り、圧力流体源の流体圧が低下してもパイロット空気圧
の低下を防止して、これらの弁が切換位置を保持できる
ので、流体圧の低下によるこれらの弁の誤動作を防止す
ることができる。

また、チェック弁とパイロット弁の間に、アキュムレ
ータを設けたので、流体圧の低下によるこれらの弁の誤
動作を一層確実に防止することができる。

【図面の簡単な説明】 図面は本発明の実施例を示し、第１図は第１実施例の構
成図、第２図はその変形例の構成図、第３図及び第４図
は第２及び第３実施例の構成図、第５図は吸着搬送装置
の具体例の要部断面図、第６図Ａ、Ｂはチェック弁の一
例を示す断面図、第７図は供給弁及び真空破壊弁の一例
を示す断面図である。 １……圧縮空気源、2a,2b……エゼクタ、３……圧力流
路、 ４……供給弁、5,13,35……パイロッット電磁弁、 7,15,27,37……チェック弁、８……吸着パッド、9,32…
…真空圧流路、11……真空破壊流路、12……真空破壊
弁、29……アキュムレータ、 31……真空ポンプ、34……切換弁。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B25J 15/06 B66C 1/02 B65H 3/08 360 B65H 5/14

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】エゼクタに圧力流体を供給する圧力流路
   と、該圧力流路を開閉するパイロット形の供給弁と、該
   供給弁にパイロット流体を給排するパイロット弁と、吸
   着パッドとエゼクタの低圧部を連通させる真空圧流路と
   を備えた吸着搬送装置において、 上記パイロット弁と圧力流体源の間に、パイロット流体
   の逆流を防止するためのチェック弁を設けた、 ことを特徴とする吸着搬送装置。
2. 【請求項２】エゼクタに圧力流体を供給する圧力流路
   と、吸着パッドとエゼクタの低圧部を連通させる真空圧
   流路と、該真空圧流路に圧力流体を供給する真空破壊流
   路と、該真空破壊流路を開閉するパイロット形の真空破
   壊弁と、該真空破壊弁にパイロット流体を給排するパイ
   ロット弁とを備えた吸着搬送装置において、 上記パイロット弁と圧力流体源の間に、パイロット流体
   の逆流を防止するためのチェック弁を設けた、 ことを特徴とする吸着搬送装置。
3. 【請求項３】真空源と吸着パッドを連通させる真空圧流
   路と、該真空圧流路を開閉するパイロット形の切換弁
   と、該切換弁にパイロット流体を給排するパイロット弁
   とを備えた吸着搬送装置において、 上記パイロット弁と圧力流体源の間に、パイロット流体
   の逆流を防止するためのチェック弁を設けた、 ことを特徴とする吸着搬送装置。
4. 【請求項４】チェック弁とパイロット弁の間にアキュム
   レータを設けた、 ことを特徴とする請求項１、２または３に記載した吸着
   搬送装置。