JPH0344238B2 - - Google Patents
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- JPH0344238B2 JPH0344238B2 JP59177898A JP17789884A JPH0344238B2 JP H0344238 B2 JPH0344238 B2 JP H0344238B2 JP 59177898 A JP59177898 A JP 59177898A JP 17789884 A JP17789884 A JP 17789884A JP H0344238 B2 JPH0344238 B2 JP H0344238B2
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- vacuum
- ejector unit
- ejector
- unit
- pressure
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Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 37
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
- F04F5/48—Control
- F04F5/52—Control of evacuating pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空発生装置に関し、一層詳細には圧
縮空気等の液体の供給源に真空度の異なる少なく
とも二つのエゼクタユニツトを並列に流体回路を
介して接続すると共にその前後に接続される分配
調整弁により前記流体回路を切り換え、且つ前記
二つのエゼクタユニツトのいずれか一方に、所
謂、多段ノズルを形成するように少なくとももう
一つのエゼクタユニツトを接続するよう構成した
真空発生装置に関する。
縮空気等の液体の供給源に真空度の異なる少なく
とも二つのエゼクタユニツトを並列に流体回路を
介して接続すると共にその前後に接続される分配
調整弁により前記流体回路を切り換え、且つ前記
二つのエゼクタユニツトのいずれか一方に、所
謂、多段ノズルを形成するように少なくとももう
一つのエゼクタユニツトを接続するよう構成した
真空発生装置に関する。
蒸気、空気あるいは水をノズルより噴出させて
空気を吸引し真空を得る装置として従来からエゼ
クタが用いられている。この種のエゼクタは一般
的にノズル部とデイフユーザ部とに分けることが
出来、ノズル部の出口側の圧力降下および運動の
エネルギによつて負圧を発生させるよう構成して
いる。
空気を吸引し真空を得る装置として従来からエゼ
クタが用いられている。この種のエゼクタは一般
的にノズル部とデイフユーザ部とに分けることが
出来、ノズル部の出口側の圧力降下および運動の
エネルギによつて負圧を発生させるよう構成して
いる。
ところで、真空発生装置として、従来では、エ
ゼクタにおけるノズル部の特性上から、高真空が
得られるもの、または、低真空時において大きな
流量特性を持つものなど種々のものが提案されて
いる。然しながら、近年、装置のコンパクト化あ
るいはユニツト化に伴い、前記の異なつた真空特
性を一つの真空発生装置で得るようにした装置が
提案された。この場合、第１図に示すような、ノ
ズル部１０の口径が小さい高真空型の第１のエゼ
クタユニツト１２とノズル部１４の口径が大きい
低真空型の第２のエゼクタユニツト１６とを図外
の圧縮空気等の供給源にシリアルに流体回路を介
して接続し、低真空から高真空までの真空特性を
得るように構成している。
ゼクタにおけるノズル部の特性上から、高真空が
得られるもの、または、低真空時において大きな
流量特性を持つものなど種々のものが提案されて
いる。然しながら、近年、装置のコンパクト化あ
るいはユニツト化に伴い、前記の異なつた真空特
性を一つの真空発生装置で得るようにした装置が
提案された。この場合、第１図に示すような、ノ
ズル部１０の口径が小さい高真空型の第１のエゼ
クタユニツト１２とノズル部１４の口径が大きい
低真空型の第２のエゼクタユニツト１６とを図外
の圧縮空気等の供給源にシリアルに流体回路を介
して接続し、低真空から高真空までの真空特性を
得るように構成している。
ところが、このような従来の真空発生装置にお
いては、前期の構造から高真空型の第１エゼクタ
ユニツト１２を作動させた時には、必然的に、圧
縮空気等の流体の供給量を増大させなければなら
ず、結局、高真空時にはこの流体の消費量が増大
するという問題点があつた。また、前記の構造で
は高い真空度が実質的に単一のエゼクタユニツ
ト、すなわち、第１エゼクタユニツト１２のノズ
ル特性で決定されることから、得られる高真空に
も自ずと限界があるという欠点もあつた。
いては、前期の構造から高真空型の第１エゼクタ
ユニツト１２を作動させた時には、必然的に、圧
縮空気等の流体の供給量を増大させなければなら
ず、結局、高真空時にはこの流体の消費量が増大
するという問題点があつた。また、前記の構造で
は高い真空度が実質的に単一のエゼクタユニツ
ト、すなわち、第１エゼクタユニツト１２のノズ
ル特性で決定されることから、得られる高真空に
も自ずと限界があるという欠点もあつた。
ところで、従来では高真空を得る方法として、
第２図に示すように複数個のエゼクタユニツト１
８ａ乃至１８ｃを加圧流体供給源１９に対して多
段的に接続して、所謂、多段ノズルを形成する方
法があるが、この方法では高い真空度が得られる
半面低い真空度が得られないという不都合があ
る。
第２図に示すように複数個のエゼクタユニツト１
８ａ乃至１８ｃを加圧流体供給源１９に対して多
段的に接続して、所謂、多段ノズルを形成する方
法があるが、この方法では高い真空度が得られる
半面低い真空度が得られないという不都合があ
る。
そこで、本発明者等は鋭意考究並びに工夫を重
ねた結果、圧縮空気等の流体の供給源に真空度の
異なる少なくとも二つのエゼクタユニツトを並列
に流体回路を介して接続し、これらのエゼクタユ
ニツトに流体を分配供給し、且つ前記二つのエゼ
クタユニツトのいずれか一方に少なくとももう一
つのエゼクタユニツトを多段的に接続するように
して前記二つのエゼクタユニツトを個別に作動さ
せると共にいずれか一方のエゼクタユニツト側
に、所謂、多段ノズルを形成するようにすれば、
一段と高い真空度が得られるにも拘らず前記流体
の消費量の少ない真空発生装置が得られ、前記の
不都合が一掃されることが判つた。
ねた結果、圧縮空気等の流体の供給源に真空度の
異なる少なくとも二つのエゼクタユニツトを並列
に流体回路を介して接続し、これらのエゼクタユ
ニツトに流体を分配供給し、且つ前記二つのエゼ
クタユニツトのいずれか一方に少なくとももう一
つのエゼクタユニツトを多段的に接続するように
して前記二つのエゼクタユニツトを個別に作動さ
せると共にいずれか一方のエゼクタユニツト側
に、所謂、多段ノズルを形成するようにすれば、
一段と高い真空度が得られるにも拘らず前記流体
の消費量の少ない真空発生装置が得られ、前記の
不都合が一掃されることが判つた。
従つて、本発明の目的は低真空から高真空まで
の真空特性が得られ且つ圧縮空気等の加圧流体の
消費量が少なくて済む真空発生装置を提供するこ
とにある。
の真空特性が得られ且つ圧縮空気等の加圧流体の
消費量が少なくて済む真空発生装置を提供するこ
とにある。
前記の目的を達成するために、本発明は加圧流
体供給源に真空発生特性の異なる少なくとも二つ
の第１、第２エゼクタユニツトを並列に流体回路
を介して接続し、 前記流体回路の各エゼクタユニツトへの分岐部
に真空取出管内の圧力が大なる場合に真空発生装
置の低いエゼクタユニツトに加圧流体を多く流し
その圧力が小なる場合には真空発生特性の高いエ
ゼクタユニツトに加圧流体を多く流すべく前記各
エゼクタユニツトへの加圧流体の分配量を自動的
に調整する分配調整弁を配設し、 且つ前記加圧流体供給源に第３のエゼクタユニ
ツトを流体回路を介して接続し、前記第３エゼク
タユニツトの排出流体を前記二つのエゼクタユニ
ツトのいずれか一方に吸引させることを特徴とす
る。
体供給源に真空発生特性の異なる少なくとも二つ
の第１、第２エゼクタユニツトを並列に流体回路
を介して接続し、 前記流体回路の各エゼクタユニツトへの分岐部
に真空取出管内の圧力が大なる場合に真空発生装
置の低いエゼクタユニツトに加圧流体を多く流し
その圧力が小なる場合には真空発生特性の高いエ
ゼクタユニツトに加圧流体を多く流すべく前記各
エゼクタユニツトへの加圧流体の分配量を自動的
に調整する分配調整弁を配設し、 且つ前記加圧流体供給源に第３のエゼクタユニ
ツトを流体回路を介して接続し、前記第３エゼク
タユニツトの排出流体を前記二つのエゼクタユニ
ツトのいずれか一方に吸引させることを特徴とす
る。
次に、本発明に係る真空発生装置について好適
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下
詳細に説明する。
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下
詳細に説明する。
第３図において、参照符号２０はコンプレツサ
等の圧縮空気供給源を示し、この圧縮空気供給源
２０に対して第１のエゼクタユニツト２２および
第２のセゼクタユニツト２４が並列に流体回路、
すなわち、管路５８を介して接続する。前記第１
エゼクタユニツト２２はその本体部分に画成され
る室２６とこの室２６に臨設されるノズル部２８
およびデイフユーザ部３０と前記室２６に開口さ
れる真空ボート３２とを含む。この第１のエゼク
タユニツト２２はそのノズル部２８の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニツ
トを構成する。
等の圧縮空気供給源を示し、この圧縮空気供給源
２０に対して第１のエゼクタユニツト２２および
第２のセゼクタユニツト２４が並列に流体回路、
すなわち、管路５８を介して接続する。前記第１
エゼクタユニツト２２はその本体部分に画成され
る室２６とこの室２６に臨設されるノズル部２８
およびデイフユーザ部３０と前記室２６に開口さ
れる真空ボート３２とを含む。この第１のエゼク
タユニツト２２はそのノズル部２８の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニツ
トを構成する。
一方、前記第２エゼクタユニツト２４はその本
体部分に画制される室３４とこの室３４に臨設さ
れるノズル部３６およびデイフユーザ部３８と前
記室３４に開口される真空ポート４０とを含む。
この第２エゼクタユニツト２４は前記ノズル部３
６の口径が大きく形成されて、所謂、低真空型の
エゼクタユニツトを構成する。
体部分に画制される室３４とこの室３４に臨設さ
れるノズル部３６およびデイフユーザ部３８と前
記室３４に開口される真空ポート４０とを含む。
この第２エゼクタユニツト２４は前記ノズル部３
６の口径が大きく形成されて、所謂、低真空型の
エゼクタユニツトを構成する。
さらに、前記圧縮空気供給源２０には後述する
分配調整弁６０の上流側に位置して第３のエゼク
タユニツト４２が管路接続される。この第３エゼ
クタユニツト４２はその本体部分に画成される室
４４とこの室４４に臨設されるノズル部４６およ
びデイフユーザ部４８と前記室４４と開口される
真空ポート５０とを含む。また、この第３エゼク
タユニツト４２は前記ノズル部４６の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニツ
トを構成すると共にそのデイフユーザ部４８の後
端部が前記第１エゼクタユニツト２２の真空ポー
ト３２に管路５２を介して連通接続される。従つ
て、第３エゼクタユニツト４２の排出空気は第１
エゼクタユニツト２２に吸引されることになり、
これによつて、所謂、二段ノズルが形成される。
さらにまた、前記第３エゼクタユニツト４２の真
空ポート５０と前記第２エゼクタユニツト２４の
真空ポート４０とは両側逆止弁付管継手５４を介
して真空取出管５６に合流接続される。
分配調整弁６０の上流側に位置して第３のエゼク
タユニツト４２が管路接続される。この第３エゼ
クタユニツト４２はその本体部分に画成される室
４４とこの室４４に臨設されるノズル部４６およ
びデイフユーザ部４８と前記室４４と開口される
真空ポート５０とを含む。また、この第３エゼク
タユニツト４２は前記ノズル部４６の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニツ
トを構成すると共にそのデイフユーザ部４８の後
端部が前記第１エゼクタユニツト２２の真空ポー
ト３２に管路５２を介して連通接続される。従つ
て、第３エゼクタユニツト４２の排出空気は第１
エゼクタユニツト２２に吸引されることになり、
これによつて、所謂、二段ノズルが形成される。
さらにまた、前記第３エゼクタユニツト４２の真
空ポート５０と前記第２エゼクタユニツト２４の
真空ポート４０とは両側逆止弁付管継手５４を介
して真空取出管５６に合流接続される。
一方、前記圧縮空気供給源２０と前記第１のエ
ゼクタユニツト２２および第２エゼクタユニツト
２４とを結ぶ管路５８の途中には当該管路５８の
分岐管５８ａおよび５８ｂの集合部に位置して前
記第１エゼクタユニツト２２、第２エゼクタユニ
ツト２４への圧縮空気の分配量を調整する分配調
整弁６０が配設される。この分配調整弁６０は前
記真空取出管５６内の真空圧に直接応動して管路
５８ａと管路５８ｂとを切り換えるスプール型の
負圧切換弁で構成される。すなわち、前記分配調
整弁６０はその本体部分に画成されたシリング６
２内を第３図の矢印Ａ、Ｂ方向に摺動して前記管
路５８ａと管路５８ｂの開閉を切り換える弁体６
４と、この弁体６４と一体的に動作するピストン
６６によつて隔成される圧力室６８と、この圧力
室６８に収装されて前記弁体６４を、常時、図中
の矢印Ａ方向に付勢する弁スプリング７０とを含
む。そして、前記圧力室６８は圧力信号通路７２
を介して前記真空取出管５６に連通接続される。
ゼクタユニツト２２および第２エゼクタユニツト
２４とを結ぶ管路５８の途中には当該管路５８の
分岐管５８ａおよび５８ｂの集合部に位置して前
記第１エゼクタユニツト２２、第２エゼクタユニ
ツト２４への圧縮空気の分配量を調整する分配調
整弁６０が配設される。この分配調整弁６０は前
記真空取出管５６内の真空圧に直接応動して管路
５８ａと管路５８ｂとを切り換えるスプール型の
負圧切換弁で構成される。すなわち、前記分配調
整弁６０はその本体部分に画成されたシリング６
２内を第３図の矢印Ａ、Ｂ方向に摺動して前記管
路５８ａと管路５８ｂの開閉を切り換える弁体６
４と、この弁体６４と一体的に動作するピストン
６６によつて隔成される圧力室６８と、この圧力
室６８に収装されて前記弁体６４を、常時、図中
の矢印Ａ方向に付勢する弁スプリング７０とを含
む。そして、前記圧力室６８は圧力信号通路７２
を介して前記真空取出管５６に連通接続される。
本発明に係る真空発生装置は基本的には以上の
ように構成され、次にその作用および効果につい
て説明する。
ように構成され、次にその作用および効果につい
て説明する。
先ず、圧縮空気供給源２０より管路５８を介し
て第１エゼクタユニツト２２および第２エゼクタ
ユニツト２４に向けて圧縮空気を供給するが、こ
の時、前記真空取出管５６内の真空圧はまだ小さ
い。従つて、前記真空圧に応動する分配調整弁６
０はその弁体６４が弁スプリング７０の弾発力に
より図中の矢印Ａ方向に移動し、第１エゼクタユ
ニツト２２に接続する管路５８ａを遮断する。こ
れにより、分配調整弁６０からの圧縮空気は開状
態にある管路５８ｂを介して第２エゼクタユニツ
ト２４のみに供給される。この第２エゼクタユニ
ツト２４においては、前記圧縮空気がノズル部３
６によつて絞られ、次いでデイフユーザ部３８に
向けて噴流として放出される。この時のノズル部
３６の出口側の圧力降下および運動のエネルギに
よつて室３４内には負圧が発生し、この負圧によ
つて真空ポート４０および真空取出管５６からの
空気も吸引されて、結局、真空取出管５６側では
負圧が発生する。一方、これと同時に、圧縮空気
は前記分配調整弁６０を経由しないで第３エゼク
タユニツトにも供給され、第２エゼクタユニツト
２４と同様の原理で真空ポート５０および真空取
出管５６に負圧を発生させる。この結果、真空取
出管５６で得られる負圧は第２エゼクタユニツト
２４と第３エゼクタユニツト４２とで発生させた
合成負圧となり、所期の目的とする負圧が得られ
る。すなわち、前記第２エゼクタユニツト２４
は、そのノズル部３６の口径が大きい低真空型で
形成されているために大きな流量特性を有した相
対的に低い真空が得られる。また、この際、第３
エゼクタユニツト４２の排出空気は管路５２を通
つて第１エゼクタユニツト２２に供給されるが、
この第１エゼクタユニツト２２にはまだ圧縮空気
が供給されていないので、第１エゼクタユニツト
２２と第３エゼクタユニツト４２との間で二段ノ
ズルとしての作用は行われない。
て第１エゼクタユニツト２２および第２エゼクタ
ユニツト２４に向けて圧縮空気を供給するが、こ
の時、前記真空取出管５６内の真空圧はまだ小さ
い。従つて、前記真空圧に応動する分配調整弁６
０はその弁体６４が弁スプリング７０の弾発力に
より図中の矢印Ａ方向に移動し、第１エゼクタユ
ニツト２２に接続する管路５８ａを遮断する。こ
れにより、分配調整弁６０からの圧縮空気は開状
態にある管路５８ｂを介して第２エゼクタユニツ
ト２４のみに供給される。この第２エゼクタユニ
ツト２４においては、前記圧縮空気がノズル部３
６によつて絞られ、次いでデイフユーザ部３８に
向けて噴流として放出される。この時のノズル部
３６の出口側の圧力降下および運動のエネルギに
よつて室３４内には負圧が発生し、この負圧によ
つて真空ポート４０および真空取出管５６からの
空気も吸引されて、結局、真空取出管５６側では
負圧が発生する。一方、これと同時に、圧縮空気
は前記分配調整弁６０を経由しないで第３エゼク
タユニツトにも供給され、第２エゼクタユニツト
２４と同様の原理で真空ポート５０および真空取
出管５６に負圧を発生させる。この結果、真空取
出管５６で得られる負圧は第２エゼクタユニツト
２４と第３エゼクタユニツト４２とで発生させた
合成負圧となり、所期の目的とする負圧が得られ
る。すなわち、前記第２エゼクタユニツト２４
は、そのノズル部３６の口径が大きい低真空型で
形成されているために大きな流量特性を有した相
対的に低い真空が得られる。また、この際、第３
エゼクタユニツト４２の排出空気は管路５２を通
つて第１エゼクタユニツト２２に供給されるが、
この第１エゼクタユニツト２２にはまだ圧縮空気
が供給されていないので、第１エゼクタユニツト
２２と第３エゼクタユニツト４２との間で二段ノ
ズルとしての作用は行われない。
以上にように、前記真空取出管５６内の真空度
が徐々に増大すると、圧力信号通路７２を介して
前記分配調整弁６０の圧力室６８内の負圧力も増
大し、該圧力室６８内の真空圧が所定値を越える
と、弁体６４が弁スプリング７０の弾発力に抗し
て第３図の矢印Ｂ方向へと移動し、管路５８ａを
開き始める。真空取出管５６内の真空圧、換言す
れば、分配調整弁６０の圧力室６８内の負圧がさ
らに増大すると、前記分配調整弁６０の弁体６４
はその負圧力に応じて矢印Ｂ方向へと移動し、管
路５８ａの開度も増すに至る。このため、第１エ
ゼクタユニツト２２の真空ポート３２は負圧を生
起し、第３エゼクタユニツト４２の排出側をさら
に吸引し、その真空ポート５０は真空度を増大す
る。このように、真空取出管５６内の負圧が増
し、最終的に第２エゼクタユニツト２４に接続す
る管路５８ｂは弁体６４により全閉される一方、
第１エゼクタユニツト２２に連結する管路５８ａ
が全開される。この時、圧力室６８では弁スプリ
ング７０の弾発力に抗して第１エゼクタユニツト
２２並びに第３エゼクタユニツト４２の付勢作用
下に真空取出管５６の負圧に対応して弁体６４は
管路５８ａを開成しながらも矢印Ｂ方向に下降し
た位置にある。従つて、たとえ、第２エゼクタユ
ニツト２４が付勢されない状態になつたとして
も、第１エゼクタユニツト２２と第３エゼクタユ
ニツト４２とが負圧を発生させていれば、真空取
出管５６に通過する圧力信号通路７２を介して圧
力室６８は負圧状態を維持し、従つて、弁体６４
は下降した位置を維持する。すなわち、分配調整
弁６０からの圧縮空気は第１エゼクタユニツト２
２のみに供給され、第２エゼクタユニツト２４と
同様の原理で真空ポートおよび管路５２に負圧を
発生させる。これと同時に、分配調整弁６０を経
由しない圧縮空気は第３エゼクタユニツト４２に
供給され、前記第１エゼクタユニツト２２と同じ
くその真空ポート５０および真空取出管５６に負
圧を発生させる。この時、第３エゼクタユニツト
４２の排出空気が管路５２を介して第１エゼクタ
ユニツト２２で発生した負圧で強く吸引され、所
謂、二段ノズルの作用が喚起される。この結果、
第１エゼクタユニツト２２と第３エゼクタユニツ
ト４２とが、予め、ノズル部２８，４６の口径が
小さい高真空型に形成されていることと併せて負
圧取出管５６では小さな流量特性を有した一段と
高い高真空が得られる。
が徐々に増大すると、圧力信号通路７２を介して
前記分配調整弁６０の圧力室６８内の負圧力も増
大し、該圧力室６８内の真空圧が所定値を越える
と、弁体６４が弁スプリング７０の弾発力に抗し
て第３図の矢印Ｂ方向へと移動し、管路５８ａを
開き始める。真空取出管５６内の真空圧、換言す
れば、分配調整弁６０の圧力室６８内の負圧がさ
らに増大すると、前記分配調整弁６０の弁体６４
はその負圧力に応じて矢印Ｂ方向へと移動し、管
路５８ａの開度も増すに至る。このため、第１エ
ゼクタユニツト２２の真空ポート３２は負圧を生
起し、第３エゼクタユニツト４２の排出側をさら
に吸引し、その真空ポート５０は真空度を増大す
る。このように、真空取出管５６内の負圧が増
し、最終的に第２エゼクタユニツト２４に接続す
る管路５８ｂは弁体６４により全閉される一方、
第１エゼクタユニツト２２に連結する管路５８ａ
が全開される。この時、圧力室６８では弁スプリ
ング７０の弾発力に抗して第１エゼクタユニツト
２２並びに第３エゼクタユニツト４２の付勢作用
下に真空取出管５６の負圧に対応して弁体６４は
管路５８ａを開成しながらも矢印Ｂ方向に下降し
た位置にある。従つて、たとえ、第２エゼクタユ
ニツト２４が付勢されない状態になつたとして
も、第１エゼクタユニツト２２と第３エゼクタユ
ニツト４２とが負圧を発生させていれば、真空取
出管５６に通過する圧力信号通路７２を介して圧
力室６８は負圧状態を維持し、従つて、弁体６４
は下降した位置を維持する。すなわち、分配調整
弁６０からの圧縮空気は第１エゼクタユニツト２
２のみに供給され、第２エゼクタユニツト２４と
同様の原理で真空ポートおよび管路５２に負圧を
発生させる。これと同時に、分配調整弁６０を経
由しない圧縮空気は第３エゼクタユニツト４２に
供給され、前記第１エゼクタユニツト２２と同じ
くその真空ポート５０および真空取出管５６に負
圧を発生させる。この時、第３エゼクタユニツト
４２の排出空気が管路５２を介して第１エゼクタ
ユニツト２２で発生した負圧で強く吸引され、所
謂、二段ノズルの作用が喚起される。この結果、
第１エゼクタユニツト２２と第３エゼクタユニツ
ト４２とが、予め、ノズル部２８，４６の口径が
小さい高真空型に形成されていることと併せて負
圧取出管５６では小さな流量特性を有した一段と
高い高真空が得られる。
このようにして、本実施例では低真空から一段
と高い高真空までの広い範囲の真空特性が得られ
る。また、従来技術に比較して分配調整弁６０を
新設するだけで済むので装置のコンパクト化ある
いはユニツト化は従前通り十分達成可能となる。
と高い高真空までの広い範囲の真空特性が得られ
る。また、従来技術に比較して分配調整弁６０を
新設するだけで済むので装置のコンパクト化ある
いはユニツト化は従前通り十分達成可能となる。
なお、本実施例では前記分配調整弁６０を真空
圧に直接応動して管路５８ａおよび５８ｂ切り換
える負圧切換弁で構成したが、出力側の真空圧を
検出する圧力センサからの信号に応動して管路５
８ａおよび５８ｂを切り換える電磁切換弁で構成
してもよいことは謂うまでもない。
圧に直接応動して管路５８ａおよび５８ｂ切り換
える負圧切換弁で構成したが、出力側の真空圧を
検出する圧力センサからの信号に応動して管路５
８ａおよび５８ｂを切り換える電磁切換弁で構成
してもよいことは謂うまでもない。
以上説明したように、本発明では圧縮空気等の
加圧流体供給源に真空特性の異なる少なくとも二
つのエゼクタユニツトを並列に流体回路を介して
接続する一方、これらのエゼクタユニツトへ分配
調整弁を介して加圧流体を分配供給し且つ前記二
つのエゼクタユニツトのいずれか一方に少なくと
ももう一つのエゼクタユニツトを多段的に接続
し、前記二つのエゼクタユニツトを個別に作動さ
せると共にいずれか一方のエゼクタユニツトに多
段ノズルの機能を付与するようにしたので、圧縮
空気等の加圧流体の消費量を増大することなく低
真空から一段と高い高真空までの広範囲の真空特
性を単一の真空発生装置より得られるという効果
がある。
加圧流体供給源に真空特性の異なる少なくとも二
つのエゼクタユニツトを並列に流体回路を介して
接続する一方、これらのエゼクタユニツトへ分配
調整弁を介して加圧流体を分配供給し且つ前記二
つのエゼクタユニツトのいずれか一方に少なくと
ももう一つのエゼクタユニツトを多段的に接続
し、前記二つのエゼクタユニツトを個別に作動さ
せると共にいずれか一方のエゼクタユニツトに多
段ノズルの機能を付与するようにしたので、圧縮
空気等の加圧流体の消費量を増大することなく低
真空から一段と高い高真空までの広範囲の真空特
性を単一の真空発生装置より得られるという効果
がある。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて説
明したが、本発明は前記の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良並びに設計の変更が可能なことは
勿論である。
明したが、本発明は前記の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良並びに設計の変更が可能なことは
勿論である。
第１図は従来の真空発生装置の概略構成図、第
２図は従来の別の真空発生装置の概略構成図、第
３図は本発明に係る真空発生装置の一実施例を示
す概略構成図である。 ２０……圧縮空気供給源、２２……第１エゼク
タユニツト、２４……第２エゼクタユニツト、２
６……室、２８……ノズル部、３０……デイフユ
ーザ部、３２……真空ポート、３４……室、３６
……ノズル部、３８……デイフユーザ部、４０…
…真空ポート、４２……第３エゼクタユニツト、
４４……室、４６……ノズル部、４８……デイフ
ユーザ部、５０……真空ポート、５２……管路、
５４……両側逆止弁付管継手、５６……真空取出
管、５８……管路、６０……分配調整弁、６２…
…シリンダ、６４……弁体、６６……ピストン、
６８……圧力室、７０……弁スプリング、７２…
…圧力信号通路。
２図は従来の別の真空発生装置の概略構成図、第
３図は本発明に係る真空発生装置の一実施例を示
す概略構成図である。 ２０……圧縮空気供給源、２２……第１エゼク
タユニツト、２４……第２エゼクタユニツト、２
６……室、２８……ノズル部、３０……デイフユ
ーザ部、３２……真空ポート、３４……室、３６
……ノズル部、３８……デイフユーザ部、４０…
…真空ポート、４２……第３エゼクタユニツト、
４４……室、４６……ノズル部、４８……デイフ
ユーザ部、５０……真空ポート、５２……管路、
５４……両側逆止弁付管継手、５６……真空取出
管、５８……管路、６０……分配調整弁、６２…
…シリンダ、６４……弁体、６６……ピストン、
６８……圧力室、７０……弁スプリング、７２…
…圧力信号通路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 加圧流体供給源に真空発生特性の異なる少な
くとも二つの第１、第２エゼクタユニツトを並列
に流体回路を介して接続し、 前記流体回路の各エゼクタユニツトへの分岐部
に真空取出管内の圧力が大なる場合に真空発生特
性の低いエゼクタユニツトに加圧流体を多く流し
その圧力が小なる場合には真空発生特性の高いエ
ゼクタユニツトに加圧流体を多く流すべく前記各
エゼクタユニツトへの加圧流体の分配量を自動的
に調整する分配調整弁を配設し、 且つ前記加圧流体供給源に第３のエゼクタユニ
ツトを流体回路を介して接続し、前記第３エゼク
タユニツトの排出流体を前記二つのエゼクタユニ
ツトのいずれか一方に吸引させることを特徴とす
る真空発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17789884A JPS6155400A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17789884A JPS6155400A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155400A JPS6155400A (ja) | 1986-03-19 |
| JPH0344238B2 true JPH0344238B2 (ja) | 1991-07-05 |
Family
ID=16038987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17789884A Granted JPS6155400A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6155400A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10033212C1 (de) | 2000-07-07 | 2002-01-24 | Festo Ag & Co | Vakuumerzeugervorrichtung |
| DE10061384B4 (de) * | 2000-12-09 | 2007-01-18 | Festo Ag & Co. | Strahlpumpenanordnung zur Erzeugung von Vakuum sowie Verfahren zum Betreiben einer solchen Strahlpumpenanordnung |
| FR2896833B1 (fr) * | 2006-01-30 | 2008-04-04 | Coval Soc Par Actions Simplifi | Dispositif de commande d'un circuit consommateur de gaz comprime et generateur de vide faisant application |
| JP4908075B2 (ja) * | 2006-06-15 | 2012-04-04 | 株式会社テイエルブイ | 蒸気エゼクタ装置 |
| JP4908074B2 (ja) * | 2006-06-15 | 2012-04-04 | 株式会社テイエルブイ | 蒸気の廃熱回収及び減圧装置 |
| JP4975424B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-07-11 | 株式会社テイエルブイ | 蒸気の廃熱回収及び減圧装置 |
| JP2008150996A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ |
| JP2008150995A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ |
| JP5389420B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2014-01-15 | 株式会社テイエルブイ | 真空ポンプ装置 |
| JP5557498B2 (ja) * | 2009-09-29 | 2014-07-23 | 株式会社ササクラ | 蒸発濃縮方法 |
| JP2018023986A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 株式会社Ihi | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
| JP6985642B2 (ja) * | 2017-10-20 | 2021-12-22 | 株式会社Ihi | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421604A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-19 | Tlv Co Ltd | Condensing recovery pump |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54183707U (ja) * | 1978-06-17 | 1979-12-26 |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP17789884A patent/JPS6155400A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421604A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-19 | Tlv Co Ltd | Condensing recovery pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6155400A (ja) | 1986-03-19 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |