JPS6155400A - 真空発生装置 - Google Patents
真空発生装置Info
- Publication number
- JPS6155400A JPS6155400A JP17789884A JP17789884A JPS6155400A JP S6155400 A JPS6155400 A JP S6155400A JP 17789884 A JP17789884 A JP 17789884A JP 17789884 A JP17789884 A JP 17789884A JP S6155400 A JPS6155400 A JP S6155400A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- ejector
- ejector unit
- units
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
- F04F5/48—Control
- F04F5/52—Control of evacuating pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空発生装置に関し、一層詳細には圧縮空気等
の流体の供給源に真空度の異なる少なくとも二つのエゼ
クタユニットを並列に流体回路を介して接続すると共に
その前段に接続される分配調整弁により前記流体回路を
切り換え、且つ前記二つのエゼクタユニットのいずれか
一方に、所謂、多段ノズルを形成するように少なくとも
もう一つのエゼクタユニットを接続するよう構成した真
空発生装置に関する。
の流体の供給源に真空度の異なる少なくとも二つのエゼ
クタユニットを並列に流体回路を介して接続すると共に
その前段に接続される分配調整弁により前記流体回路を
切り換え、且つ前記二つのエゼクタユニットのいずれか
一方に、所謂、多段ノズルを形成するように少なくとも
もう一つのエゼクタユニットを接続するよう構成した真
空発生装置に関する。
蒸気、空気あるいは水をノズルより噴出させて空気を吸
引し真空を得る装置として従来からエゼクタが用いられ
ている。この種のエゼクタは一般的にノズル部とディフ
ューザ部とに分けることが出来、ノズル部の出口側の圧
力降下および運動のエネルギによって負圧を発生させる
よう構成している。
引し真空を得る装置として従来からエゼクタが用いられ
ている。この種のエゼクタは一般的にノズル部とディフ
ューザ部とに分けることが出来、ノズル部の出口側の圧
力降下および運動のエネルギによって負圧を発生させる
よう構成している。
ところで、真空発生装置として、従来では、エゼクタに
おけるノズル部の特性上から、高真空が得られるもの、
または、低真空時において大きな流量特性を持つものな
ど種々のものが提案されている。然しなから、近年、装
置のコンパクト化あるいはユニット化に伴い、前記の異
なった真空特性を一つの真空発生装置で得るようにした
装置が提案された。この場合、第１図に示すように、ノ
ズル部１０の口径が小さい高真空型の第１のエゼクタユ
ニット１２とノズル部１４の口径が大きい低真空型の第
２のエゼクタユニット１６とを図外の圧縮空気等の供給
源にシリアルに流体回路を介して接続し、低真空から高
真空までの真空特性を得るように構成している。
おけるノズル部の特性上から、高真空が得られるもの、
または、低真空時において大きな流量特性を持つものな
ど種々のものが提案されている。然しなから、近年、装
置のコンパクト化あるいはユニット化に伴い、前記の異
なった真空特性を一つの真空発生装置で得るようにした
装置が提案された。この場合、第１図に示すように、ノ
ズル部１０の口径が小さい高真空型の第１のエゼクタユ
ニット１２とノズル部１４の口径が大きい低真空型の第
２のエゼクタユニット１６とを図外の圧縮空気等の供給
源にシリアルに流体回路を介して接続し、低真空から高
真空までの真空特性を得るように構成している。
ところが、このような従来の真空発生装置においては、
前記の構造から高真空型の第１エゼクタユニット１２を
作動させた時には、必然的に、圧縮空気等の流体の供給
量を増大させなければならず、結局、高真空時にはこの
流体の消費量が増大するという問題点があった。また、
前記の構造では高い真空度が実質的に単一のエゼクタユ
ニット、すなわち、第１エゼククユニツト１２のノズル
特性で決定されることから、得られる高真空にも自ずと
限界があるという欠点もあった。
前記の構造から高真空型の第１エゼクタユニット１２を
作動させた時には、必然的に、圧縮空気等の流体の供給
量を増大させなければならず、結局、高真空時にはこの
流体の消費量が増大するという問題点があった。また、
前記の構造では高い真空度が実質的に単一のエゼクタユ
ニット、すなわち、第１エゼククユニツト１２のノズル
特性で決定されることから、得られる高真空にも自ずと
限界があるという欠点もあった。
ところで、従来では高真空を得る方法として、第２図に
示すように複数個のエゼクタユニット１８ａ乃至１８ｃ
を加圧流体供給源１９に対して多段的に接続して、所謂
、多段ノズルを形成する方法があるが、この方法では高
い真空度が得られる半面低い真空度が得られないという
不都合がある。
示すように複数個のエゼクタユニット１８ａ乃至１８ｃ
を加圧流体供給源１９に対して多段的に接続して、所謂
、多段ノズルを形成する方法があるが、この方法では高
い真空度が得られる半面低い真空度が得られないという
不都合がある。
そこで、本発明者等は鋭意考究並びに工夫を重ねた結果
、圧縮空気等の流体の供給源に真空度の異なる少なくと
も二つのエゼクタユニットを並列に流体回路を介して接
続し、これらのエゼクタユニットに流体を分配供給し、
且つ前記二つのエゼクタユニットのいずれか一方に少な
くとももう一つのエゼクタユニットを多段的に接続する
ようにして前記二つのエゼクタユニットを個別に作動さ
せると共にいずれか一方のエゼクタユニット側に、所謂
、多段ノズルを形成するようにすれば、一段と品い真空
度が得られるにも拘らず前記流体の消費量の少ない真空
発生装置が得られ、前記の不都合が一掃されることが判
った。
、圧縮空気等の流体の供給源に真空度の異なる少なくと
も二つのエゼクタユニットを並列に流体回路を介して接
続し、これらのエゼクタユニットに流体を分配供給し、
且つ前記二つのエゼクタユニットのいずれか一方に少な
くとももう一つのエゼクタユニットを多段的に接続する
ようにして前記二つのエゼクタユニットを個別に作動さ
せると共にいずれか一方のエゼクタユニット側に、所謂
、多段ノズルを形成するようにすれば、一段と品い真空
度が得られるにも拘らず前記流体の消費量の少ない真空
発生装置が得られ、前記の不都合が一掃されることが判
った。
従って、本発明の目的は低真空から高真空までの真空特
性が得られ且つ圧縮空気等の加圧流体の消費量が少なく
て済む真空発生装置を提供することにある。
性が得られ且つ圧縮空気等の加圧流体の消費量が少なく
て済む真空発生装置を提供することにある。
前記の目的を達成するために、本発明は加圧流体供給源
に真空度の異なる少なくとも二つの第１のエゼクタユニ
ットと第２のエゼクタユニットとを並列に流体回路を介
して接続し、前記流体回路の各エゼクタユニットへの分
岐部に前記各エゼクタユニットへの加圧流体の分配量を
調整する分配調整弁を配設し且つ前記加圧流体供給源に
前記分配調整弁の上流に位置して少なくとも第３のエゼ
クタユニットを流体回路を介して接続し、前記第３エゼ
クタユニットの排出流体を前記二つのエゼクタユニット
のいずれか一方に吸引させるように構成することを特徴
とする。
に真空度の異なる少なくとも二つの第１のエゼクタユニ
ットと第２のエゼクタユニットとを並列に流体回路を介
して接続し、前記流体回路の各エゼクタユニットへの分
岐部に前記各エゼクタユニットへの加圧流体の分配量を
調整する分配調整弁を配設し且つ前記加圧流体供給源に
前記分配調整弁の上流に位置して少なくとも第３のエゼ
クタユニットを流体回路を介して接続し、前記第３エゼ
クタユニットの排出流体を前記二つのエゼクタユニット
のいずれか一方に吸引させるように構成することを特徴
とする。
次に、本発明に係る真空発生装置について好適な実施例
を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する
。
を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する
。
第３図において、参照符号２０はコンプレッサ等の圧縮
空気供給源を示し、この圧縮空気供給源２０に対して第
１のエゼクタユニット２２および第２のエゼクタユニッ
ト２４が並列に流体回路、すなわち、管路５８を介して
接続する。前記第１エセクタユニノト２２はその本体部
分に画成される室２６とこの室２６にし臨設されるノズ
ル部２８およびディフューザ部３０と前記室２６に開口
される真空ボート３２とを含む。この第１エゼクタユニ
ット２２はそのノズル部２８の口径が小さく形成されて
、所謂、高真空型のエゼクタユニットを構成する。
空気供給源を示し、この圧縮空気供給源２０に対して第
１のエゼクタユニット２２および第２のエゼクタユニッ
ト２４が並列に流体回路、すなわち、管路５８を介して
接続する。前記第１エセクタユニノト２２はその本体部
分に画成される室２６とこの室２６にし臨設されるノズ
ル部２８およびディフューザ部３０と前記室２６に開口
される真空ボート３２とを含む。この第１エゼクタユニ
ット２２はそのノズル部２８の口径が小さく形成されて
、所謂、高真空型のエゼクタユニットを構成する。
一方、前記第２エゼクタユニット２４はその本体部分に
画成される室３４とこの室３４に臨設されるノズル部３
６およびディフューザ部３８と前記室３４に開口される
真空ボート４０とを含む。この第２エゼクタユニット２
４は前記ノズル部３６の口径が大きく形成されて、所謂
、低真空型のエゼクタユニットを構成する。
画成される室３４とこの室３４に臨設されるノズル部３
６およびディフューザ部３８と前記室３４に開口される
真空ボート４０とを含む。この第２エゼクタユニット２
４は前記ノズル部３６の口径が大きく形成されて、所謂
、低真空型のエゼクタユニットを構成する。
さらに、前記圧縮空気供給源２０には後述する分配調整
弁６０の上流側に位置して第３のエゼクタユニット４２
が管路接続される。この第３エゼククユニソト４２はそ
の本体部分に画成される室４４とこの室４４に臨設され
るノズル部４６およびディフューザ部４日と前記室４４
に開口される真空ボート５０とを含む。また、この第３
エゼクタユニット４２は前記ノズル部４６の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニットを構
成すると共にそのディフューザ部４８の後端部が前記第
１エゼクタユニット２２の真空ボート３２に管路５２を
介して連通接続される。従って、第３エゼクタユニット
４２の排出空気は第１エゼクタユニット２２に吸引され
ることになり、これによって、所謂、二段ノズルが形成
される。さらにまた、前記第３エゼクタユニット４２の
真空ボー１−５０と前記第２エゼクタユニット２４の真
空ボート４０とは両側逆止弁付管継手５４を介して真空
取出管５６に合流接続される。
弁６０の上流側に位置して第３のエゼクタユニット４２
が管路接続される。この第３エゼククユニソト４２はそ
の本体部分に画成される室４４とこの室４４に臨設され
るノズル部４６およびディフューザ部４日と前記室４４
に開口される真空ボート５０とを含む。また、この第３
エゼクタユニット４２は前記ノズル部４６の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニットを構
成すると共にそのディフューザ部４８の後端部が前記第
１エゼクタユニット２２の真空ボート３２に管路５２を
介して連通接続される。従って、第３エゼクタユニット
４２の排出空気は第１エゼクタユニット２２に吸引され
ることになり、これによって、所謂、二段ノズルが形成
される。さらにまた、前記第３エゼクタユニット４２の
真空ボー１−５０と前記第２エゼクタユニット２４の真
空ボート４０とは両側逆止弁付管継手５４を介して真空
取出管５６に合流接続される。
一方、前記圧縮空気供給源２０と前記第１エゼクタユニ
ット２２および第２エゼクタユニット２４とを結ぶ管路
５８の途中には当該管路５８の分岐管５８ａおよび５８
ｂの集合部に位置して前記第１エセクタユニソト２２）
第２エゼクタユニット２４への圧縮空気の分配量を調整
する分配調整弁６０が配設される。この分配調整弁６０
は前記真空取出管５６内の真空圧に直接応動して管路５
８ａと管路５８ｂとを切り換えるスプール型の負圧切換
弁で構成される。すなわち、前記分配調整弁６０はその
本体部分に画成されたシリンダ６２内を第３図の矢印Ａ
、Ｂ方向に摺動して前記管路５８ａと管路５８ｂの開閉
を切り換える弁体６４と、この弁体６４と一体的に動作
するピストン６６によって隔成される圧力室６８と、こ
の圧力室６８に収装されて前記弁体６４を、常時、図中
の矢印Ａ方向に付勢する弁スプリング７０とを含む。そ
して、前記圧力室６８は圧力信号通路７２を介して前記
真空取出管５６に連通接続される。
ット２２および第２エゼクタユニット２４とを結ぶ管路
５８の途中には当該管路５８の分岐管５８ａおよび５８
ｂの集合部に位置して前記第１エセクタユニソト２２）
第２エゼクタユニット２４への圧縮空気の分配量を調整
する分配調整弁６０が配設される。この分配調整弁６０
は前記真空取出管５６内の真空圧に直接応動して管路５
８ａと管路５８ｂとを切り換えるスプール型の負圧切換
弁で構成される。すなわち、前記分配調整弁６０はその
本体部分に画成されたシリンダ６２内を第３図の矢印Ａ
、Ｂ方向に摺動して前記管路５８ａと管路５８ｂの開閉
を切り換える弁体６４と、この弁体６４と一体的に動作
するピストン６６によって隔成される圧力室６８と、こ
の圧力室６８に収装されて前記弁体６４を、常時、図中
の矢印Ａ方向に付勢する弁スプリング７０とを含む。そ
して、前記圧力室６８は圧力信号通路７２を介して前記
真空取出管５６に連通接続される。
本発明に係る真空発生装置は基本的には以上のように構
成され、次にその作用および効果について説明する。
成され、次にその作用および効果について説明する。
先ず、圧縮空気供給ｔｙ、２ｏより管路５８を介して第
１エセクタユニソト２２および第２エセククユニソト２
４に向けて圧縮空気を供給するが、この時、前記真空取
出管５６内の真空圧はまだ小さい。
１エセクタユニソト２２および第２エセククユニソト２
４に向けて圧縮空気を供給するが、この時、前記真空取
出管５６内の真空圧はまだ小さい。
従って、前記真空圧に応動する分配調整弁６０はその弁
体６４が弁スプリング７０の弾発力により図中の矢印Ａ
方向に移動し、第１エゼクタユニット２２に接続する管
路５８ａを遮断する。これにより、分配調整弁６０から
の圧縮空気は開状態にある管路５８ｂを介して第２エゼ
クタユニット２４のみに供給される。この第２エゼクク
ユニツト２４においては、前記圧縮空気がノズル部３６
によって絞られ、次いでディフューザ部３８に向けて噴
流として放出される。この時のノズル部３６の出口側の
圧力降下および運動のエネルギによって室３４内には負
圧が発生し、この負圧によって真空ボート４０および真
空取出管５６からの空気も吸引されて、結局、真空取出
管５６側では負圧が発生ずる。一方、これと同時に、圧
縮空気は前記分配調整弁６０を経由しないで第３エゼク
タユニット４２にも供給され、第２エゼクタユニット２
４と同Ｉ、ｐの原理で真空ボート５０および真空取出管
５６に負圧を発生させる。この結果、真空取出管５６で
得られる負圧は第２エゼククユニノト２４と第３エゼク
タユニット４２とで発生させた合成負圧となり、所期の
目的とする負圧が得られる。
体６４が弁スプリング７０の弾発力により図中の矢印Ａ
方向に移動し、第１エゼクタユニット２２に接続する管
路５８ａを遮断する。これにより、分配調整弁６０から
の圧縮空気は開状態にある管路５８ｂを介して第２エゼ
クタユニット２４のみに供給される。この第２エゼクク
ユニツト２４においては、前記圧縮空気がノズル部３６
によって絞られ、次いでディフューザ部３８に向けて噴
流として放出される。この時のノズル部３６の出口側の
圧力降下および運動のエネルギによって室３４内には負
圧が発生し、この負圧によって真空ボート４０および真
空取出管５６からの空気も吸引されて、結局、真空取出
管５６側では負圧が発生ずる。一方、これと同時に、圧
縮空気は前記分配調整弁６０を経由しないで第３エゼク
タユニット４２にも供給され、第２エゼクタユニット２
４と同Ｉ、ｐの原理で真空ボート５０および真空取出管
５６に負圧を発生させる。この結果、真空取出管５６で
得られる負圧は第２エゼククユニノト２４と第３エゼク
タユニット４２とで発生させた合成負圧となり、所期の
目的とする負圧が得られる。
すなわち、前記第２エゼククユニソト２４ば、そのノズ
ル部３６の口径が大きい低真空型で形成されているため
に大きな流量特性を有した相対的に低い真空が得られる
。また、この際、第３エセクタユニソト４２の排出空気
は管路５２を通って第１エセクタユニソト２２に供給さ
れるが、この第１エゼクタユニット２２にはまだ圧縮空
気が供給されていないので、第１エゼクタユニット２２
と第３エゼクタユニット４２との間で二段ノズルとして
の作用は行われない。
ル部３６の口径が大きい低真空型で形成されているため
に大きな流量特性を有した相対的に低い真空が得られる
。また、この際、第３エセクタユニソト４２の排出空気
は管路５２を通って第１エセクタユニソト２２に供給さ
れるが、この第１エゼクタユニット２２にはまだ圧縮空
気が供給されていないので、第１エゼクタユニット２２
と第３エゼクタユニット４２との間で二段ノズルとして
の作用は行われない。
この後、前記真空取出管５６内の真空圧が漸次増大し、
この真空圧が所定値を越えると、前記分配調整弁６０は
その圧力室６８に作用する負圧力の増大により弁体６４
が弁スプリング７０の弾発力に抗して図中の矢印Ｂ方向
に移動し、前記管路５８ａを開き始める。そして、前記
真空取出管５６内の負圧がさらに増大すると、前記分配
調整弁６０の弁体６４はより下方に移動し、最終的には
、第２エゼクタユニット２４に接続する管路５８ｂを全
閉する一方、第１エゼククユニソト２２に連結する管路
５８ａを全開する。この結果、分配３Ｊｆ］整弁６０か
らの圧縮空気は第１エゼクタユニット２２のみに供給さ
れ、第２エゼクタユニット２４と同様の原理で真空ボー
ト３２および管路５２に負圧を発生させる。これと同時
に、分配調整弁６０を経由しない圧縮空気は第３エゼク
タユニット４２に供給され、前記第１エゼクタユニット
２２と同じくその真空ボート５０および真空取出管５６
に負圧を発生させる。この時、第３エゼククユニソト４
２の排出空気が管路５２を介して第１エゼクタユニット
２２で発生した負圧で強く吸引され、所謂、二段ノズル
の作用が喚起される。この結果、第１エゼクタユニット
２２と第３エゼクタユニット４２とが、予め、ノズル部
２８．４６の口径が小さい高真空型に形成されているこ
とと併せて負圧取出管５６では小さな流量特性を有した
一段と高い高真空が得られる。
この真空圧が所定値を越えると、前記分配調整弁６０は
その圧力室６８に作用する負圧力の増大により弁体６４
が弁スプリング７０の弾発力に抗して図中の矢印Ｂ方向
に移動し、前記管路５８ａを開き始める。そして、前記
真空取出管５６内の負圧がさらに増大すると、前記分配
調整弁６０の弁体６４はより下方に移動し、最終的には
、第２エゼクタユニット２４に接続する管路５８ｂを全
閉する一方、第１エゼククユニソト２２に連結する管路
５８ａを全開する。この結果、分配３Ｊｆ］整弁６０か
らの圧縮空気は第１エゼクタユニット２２のみに供給さ
れ、第２エゼクタユニット２４と同様の原理で真空ボー
ト３２および管路５２に負圧を発生させる。これと同時
に、分配調整弁６０を経由しない圧縮空気は第３エゼク
タユニット４２に供給され、前記第１エゼクタユニット
２２と同じくその真空ボート５０および真空取出管５６
に負圧を発生させる。この時、第３エゼククユニソト４
２の排出空気が管路５２を介して第１エゼクタユニット
２２で発生した負圧で強く吸引され、所謂、二段ノズル
の作用が喚起される。この結果、第１エゼクタユニット
２２と第３エゼクタユニット４２とが、予め、ノズル部
２８．４６の口径が小さい高真空型に形成されているこ
とと併せて負圧取出管５６では小さな流量特性を有した
一段と高い高真空が得られる。
このようにして、本実施例では低真空から一段と高い高
真空までの広い範囲の真空特性が得られる。また、従来
技術に比較して分配調整弁６０を新設するだけで済むの
で装置のコンパクト化あるいはユニット化は従前通り十
分達成可能となる。
真空までの広い範囲の真空特性が得られる。また、従来
技術に比較して分配調整弁６０を新設するだけで済むの
で装置のコンパクト化あるいはユニット化は従前通り十
分達成可能となる。
なお、本実施例では前記分配調整弁６０を真空圧に直接
応動して管路５８ａおよび５８ｂを切り換える負圧切換
弁で構成したが、出力側の真空圧を検出する圧力センサ
からの信号に応動して管路５８ａおよび５８ｂを切り換
える電磁切換弁で構成してもよいことは謂うまでもない
。
応動して管路５８ａおよび５８ｂを切り換える負圧切換
弁で構成したが、出力側の真空圧を検出する圧力センサ
からの信号に応動して管路５８ａおよび５８ｂを切り換
える電磁切換弁で構成してもよいことは謂うまでもない
。
以上説明したように、本発明では圧縮空気等の加圧流体
供給源に真空度の異なる少なくとも二つのエゼクタユニ
ットを並列に流体回路を介して接続する一方、これらの
エゼクタユニットへ分配調整弁を介して加圧流体を分配
供給し且つ前記二つのエゼクタユニットのいずれか一方
に少なくとももう一つのエゼクタユニットを多段的に接
続し、前記二つのエゼクタユニットを個別に作動させる
と共にいずれか一方のエゼクタユニットに多段ノズルの
機能を付与するようにしたので、圧縮空気等の加圧流体
の消費量を増大することなく低真空から一段と高い高真
空までの広範囲の真空特性を単一の真空発生装置により
得られるという効果がある。
供給源に真空度の異なる少なくとも二つのエゼクタユニ
ットを並列に流体回路を介して接続する一方、これらの
エゼクタユニットへ分配調整弁を介して加圧流体を分配
供給し且つ前記二つのエゼクタユニットのいずれか一方
に少なくとももう一つのエゼクタユニットを多段的に接
続し、前記二つのエゼクタユニットを個別に作動させる
と共にいずれか一方のエゼクタユニットに多段ノズルの
機能を付与するようにしたので、圧縮空気等の加圧流体
の消費量を増大することなく低真空から一段と高い高真
空までの広範囲の真空特性を単一の真空発生装置により
得られるという効果がある。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明したが
、本発明は前記の実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である。
、本発明は前記の実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である。
第１図は従来の真空発生装置の概略構成図、第２図は従
来の別の真空発生装置の概略構成図、第３図は本発明に
係る真空発生装置の一実施例を示す概略構成図である。 ２０・・圧縮空気供給源 ２２・・第１エゼクタユニット ２４・・第２エゼクタユニット ２６・・室 ２８・・ノズル部３０・
・ディフューザ部 ３２・・真空ボート３４・・室
３６・・ノズル部３８・・ディフュ
ーザ部 ４０・・真空ボート４２・・第３エゼクタ
ユニット ４４・・室 ４６・・ノズル部４８・
・ディフューザ部 ５０・・真空ボート５２・・管
路 ５４・・両側逆止弁付管継手 ５６・・真空取出管 ５８・・管路６０・・分
配調整弁 ６２・・シリンダ６４・・弁体
６６・・ピストン６８・・圧力室
７０・・弁スプリング７２・・圧力信号通路 Ｆｉｇ 、１
来の別の真空発生装置の概略構成図、第３図は本発明に
係る真空発生装置の一実施例を示す概略構成図である。 ２０・・圧縮空気供給源 ２２・・第１エゼクタユニット ２４・・第２エゼクタユニット ２６・・室 ２８・・ノズル部３０・
・ディフューザ部 ３２・・真空ボート３４・・室
３６・・ノズル部３８・・ディフュ
ーザ部 ４０・・真空ボート４２・・第３エゼクタ
ユニット ４４・・室 ４６・・ノズル部４８・
・ディフューザ部 ５０・・真空ボート５２・・管
路 ５４・・両側逆止弁付管継手 ５６・・真空取出管 ５８・・管路６０・・分
配調整弁 ６２・・シリンダ６４・・弁体
６６・・ピストン６８・・圧力室
７０・・弁スプリング７２・・圧力信号通路 Ｆｉｇ 、１
Claims (5)
- （１）加圧流体供給源に真空度の異なる少なくとも二つ
の第１のエゼクタユニットと第２のエゼクタユニットと
を並列に流体回路を介して接続し、前記流体回路の各エ
ゼクタユニットへの分岐部に前記各エゼクタユニットへ
の加圧流体の分配量を調整する分配調整弁を配設し且つ
前記加圧流体供給源に前記分配調整弁の上流に位置して
少なくとも第３のエゼクタユニットを流体回路を介して
接続し、前記第３エゼクタユニットの排出流体を前記二
つのエゼクタユニットのいずれか一方に吸引させるよう
に構成することを特徴とする真空発生装置。 - （２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、加圧
流体供給源に並列に接続される二つのエゼクタユニット
は夫々ノズル径を異にする低真空型と高真空型とからな
る真空発生装置。 - （３）特許請求の範囲第２項記載の装置において、第３
のエゼクタユニットの排出流体は高真空型のエゼクタユ
ニットに吸引されるよう構成してなる真空発生装置。 - （４）特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記
載の装置において、分配調整弁は出力の真空圧に直接応
動して流体回路を切り換える負圧切換弁で構成してなる
真空発生装置。 - （５）特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記
載の装置において、分配調整弁は出力の真空圧を検出す
る圧力センサからの信号に応動して流体回路を切り換え
る電磁切換弁で構成してなる真空発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17789884A JPS6155400A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17789884A JPS6155400A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155400A true JPS6155400A (ja) | 1986-03-19 |
| JPH0344238B2 JPH0344238B2 (ja) | 1991-07-05 |
Family
ID=16038987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17789884A Granted JPS6155400A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6155400A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002004817A1 (de) * | 2000-07-07 | 2002-01-17 | Festo Ag & Co | Vakuumerzeugervorrichtung |
| EP1213485A3 (de) * | 2000-12-09 | 2005-10-12 | FESTO AG & Co | Vakuumerzeugervorrichtung sowie Verfahren zum Betreiben einer Vakuumerzeugervorrichtung |
| FR2896833A1 (fr) * | 2006-01-30 | 2007-08-03 | Coval Soc Par Actions Simplifi | Dispositif de commande d'un circuit consommateur de gaz comprime et generateur de vide faisant application |
| JP2007333302A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ装置 |
| JP2007333301A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Tlv Co Ltd | 蒸気の廃熱回収及び減圧装置 |
| JP2008151382A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気の廃熱回収及び減圧装置 |
| JP2008150995A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ |
| JP2008150996A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ |
| JP2010116901A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Tlv Co Ltd | 真空ポンプ装置 |
| JP2011072858A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Sasakura Engineering Co Ltd | 蒸発濃縮装置および蒸発濃縮方法 |
| JP2018023986A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 株式会社Ihi | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
| JP2019076911A (ja) * | 2017-10-20 | 2019-05-23 | 株式会社Ihi | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421604A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-19 | Tlv Co Ltd | Condensing recovery pump |
| JPS54183707U (ja) * | 1978-06-17 | 1979-12-26 |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP17789884A patent/JPS6155400A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421604A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-19 | Tlv Co Ltd | Condensing recovery pump |
| JPS54183707U (ja) * | 1978-06-17 | 1979-12-26 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002004817A1 (de) * | 2000-07-07 | 2002-01-17 | Festo Ag & Co | Vakuumerzeugervorrichtung |
| US7140389B2 (en) | 2000-07-07 | 2006-11-28 | Festo Ag & Co. | Vacuum producing device |
| EP1213485A3 (de) * | 2000-12-09 | 2005-10-12 | FESTO AG & Co | Vakuumerzeugervorrichtung sowie Verfahren zum Betreiben einer Vakuumerzeugervorrichtung |
| FR2896833A1 (fr) * | 2006-01-30 | 2007-08-03 | Coval Soc Par Actions Simplifi | Dispositif de commande d'un circuit consommateur de gaz comprime et generateur de vide faisant application |
| WO2007088262A1 (fr) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Coval | Dispositif de commande d'un circuit consommateur de gaz comprime et generateur de vide faisant application |
| JP2007333301A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Tlv Co Ltd | 蒸気の廃熱回収及び減圧装置 |
| JP2007333302A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ装置 |
| JP2008151382A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気の廃熱回収及び減圧装置 |
| JP2008150995A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ |
| JP2008150996A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tlv Co Ltd | 蒸気エゼクタ |
| JP2010116901A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Tlv Co Ltd | 真空ポンプ装置 |
| JP2011072858A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Sasakura Engineering Co Ltd | 蒸発濃縮装置および蒸発濃縮方法 |
| JP2018023986A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 株式会社Ihi | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
| JP2019076911A (ja) * | 2017-10-20 | 2019-05-23 | 株式会社Ihi | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0344238B2 (ja) | 1991-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6155400A (ja) | 真空発生装置 | |
| CN100448084C (zh) | 燃料电池系统 | |
| US20110123359A1 (en) | Pneumatic vacuum generator | |
| EP0923855A3 (en) | Fluid distribution system | |
| JPS60543B2 (ja) | ガスタ−ビンエンジンの多段軸流圧縮機の制御系統 | |
| JPH03500763A (ja) | 搬送装置用往復移動式吸引装置 | |
| JP2004502904A (ja) | 真空発生装置 | |
| JPS6155399A (ja) | 真空発生装置 | |
| CN102203435A (zh) | 超音速喷射器成套设备 | |
| US5910098A (en) | Brake system of an engine | |
| JPH06185499A (ja) | 真空発生装置 | |
| US6171068B1 (en) | Vacuum pump | |
| US3565091A (en) | Fluid pump and regulator | |
| CN110352302A (zh) | 开关抽吸喷射泵 | |
| KR920002961A (ko) | 공압실린더의 속도제어 방법 및 장치 | |
| KR19990082089A (ko) | 특정 형상의 다중섹션을 갖는 내연기관용 흡배기장치 | |
| JPS56143803A (en) | Fluid controller | |
| US3586458A (en) | Bleed control actuator for gas turbine engine | |
| US3556488A (en) | Carburetor with fluid elements | |
| GB1007947A (en) | Control means for gas turbine engines | |
| US1421845A (en) | Fluid-translating device | |
| CN112397746A (zh) | 一种燃料电池发动机的阳极引射回流装置 | |
| CN214091983U (zh) | 自动调节供热系统 | |
| SU1643779A2 (ru) | Компрессорна установка | |
| CN220924505U (zh) | 利用放气腔压力调节的可变超音速进气道组件及飞行器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |