JPS6155399A - 真空発生装置 - Google Patents

真空発生装置

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JPS6155399A
JPS6155399A JP17789784A JP17789784A JPS6155399A JP S6155399 A JPS6155399 A JP S6155399A JP 17789784 A JP17789784 A JP 17789784A JP 17789784 A JP17789784 A JP 17789784A JP S6155399 A JPS6155399 A JP S6155399A
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vacuum
ejector
valve
ejector unit
pressure
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JP17789784A
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Shigekazu Nagai
茂和 永井
Tetsuo Kukuminato
久々湊 哲夫
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SMC Corp
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Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/48Control
    • F04F5/52Control of evacuating pumps

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空発生装置に関し、一層詳細には圧縮空気等
の流体の供給源に真空度の異なる少なくとも二つのエゼ
クタユニットを並列に流体回路を介して接続すると共に
その前段に接続される分配調整弁により前記流体回路を
切り換えるよう構成した真空発生装置に関する。
蒸気、空気あるいは水をノズルより噴出させて空気を吸
引し真空を得る装置として従来からエゼクタが用いられ
ている。この種のエゼクタは一般的にノズル部とディフ
ューザ部とに分けることが出来、ノズル部の出口側の圧
力降下および運動のエネルギによって負圧を発生させる
よう構成している。
ところで、真空発生装置として、従来では、エゼクタに
おけるノズル部の特性上から、高真空が得られるもの、
または、低真空時において大きな流量特性を持つものな
ど種々のものが提案されている。然しなから、近年、装
置のコンパクト化あるいはユニット化に伴い、前記の異
なった真空特性を一つの真空発生装置で得るようにした
装置が提案された。この場合、第1図に示すように、ノ
ズル部10の口径が小さい高真空型の第1のエゼクタユ
ニット12とノズル部14の口径が大きい低真空型の第
2のエゼクタユニット16とを図外の圧縮空気等の流体
の供給源にシリアルに流体回路を介して接続し、低真空
から高真空までの真空特性を得るように構成している。
ところが、このような従来の真空発生装置にあっては、
前記の構造上、高真空型の第1エゼクタユニソ)12を
作動させた時には、必然的に、圧縮空気等の流体の供給
量を増大させなければならず、結局、高真空時にはこの
流体の消費量が増大するという問題点があった。
そこで、本発明者等は鋭意考究並びに工夫を重ねた結果
、圧縮空気等の流体の供給源に真空度の異なる少なくと
も二つのエゼクタユニットを並列に流体回路を介して接
続し、これらのエゼクタユニットに流体を分配供給する
ようにして、前記各エゼクタユニットを個別に作動させ
るようにすれば、当該流体の消費量の少ない真空発生装
置が得られることが判った。
従って、本発明の目的は低真空から高真空までの真空特
性が得られ且つ圧縮空気等の流体の消費量が少なくて済
む真空発生装置を提供することにある。
前記の目的を達成するために、本発明は加圧流体供給源
に真空度の異なる少なくとも二つのエゼクタユニットを
並列に流体回路を介して接続し、前記流体回路の各エゼ
クタユニットへの分岐部に前記各エゼクタユニットへの
加圧流体の分配量を調整する分配調整弁を配設すること
を特徴とする。
次に、本発明に係る真空発生装置について好適な実施例
を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する
第2図において、参照符号20はコンプレッサ等の圧縮
空気供給源を示し、この圧縮空気供給a2Oに対して第
1のエゼクタユニット22および第2のエゼクタユニッ
ト24が並列に流体回路、すなわち、管路46を介して
接続する。前記第1エゼクタユニツト22はその本体部
分に画成される室26とこの室26に臨設されるノズル
部28およびディフューザ部30と前記室26に開口さ
れる真空ボート32とを含む。この第1エゼクタユニツ
ト22はそのノスル部28の口径が小さく形成されて、
所謂、高真空型のエゼクタユニットを構成する。また、
前記第2エゼクタユニツト24はその本体部分に画成さ
れる室34とこの室34にしn設されるノズル部36お
よびディフューザ部38と前記室34に開口される真空
ボート40とを含む。この第2エゼクタユニツト24は
前記ノズル部36の口径が大きく形成されて、所謂、低
真空型のエゼクタユニノ)へを構成する。さらに、前記
第1エゼクタユニツト22の真空ボート32と前記第2
エゼクタユニツト24の真空ボート40とは両側逆止弁
付管継手42を介して真空取出管44に合流接続される
一方、前記圧縮空気供給源20と前記第1エゼクタユニ
ツト22および第2エゼクタユニツト24とを結ぶ管路
46の途中には当該管路46の分岐管46aおよび46
bの集合部に位置して前記第1エゼクタユニツト22)
第2エゼクタユニツト24への圧縮空気の分配量を調整
する分配調整弁48が配設される。この分配調整弁48
は前記真空取出管44内の真空圧に直接応動して管路4
6aと管路46bとを切り換えるスプール型の負圧切換
弁で構成される。すなわち、前記分配調整弁48はその
本体部分に画成されたシリンダ50内を第2図の矢印A
、B方向に摺動して前記管路46aと管路46bとの開
閉を切り換える弁体52と、この弁体52と一体的に動
作するピストン54によって隔成される圧力室56と、
この圧力室56に収装されて前記弁体52を、常時、図
中の矢印A方向に付勢する弁スプリング58とを含む。
そして、前記圧力室56は圧力信号通路60を介して前
記真空取出管44に連通接続される。
本発明に係る真空発生装置は基本的には以上のように構
成され、次にその作用および効果について説明する。
先ず、圧縮空気供給源20より管路46を介して第1エ
ゼクタユニツト22および第2エゼクタユニツト24に
向けて圧縮空気を供給するが、この時、前記真空取出管
44内の真空圧はまだ小さい。
従って、前記真空圧に応動する分配調整弁48はその弁
体52が弁スプリング58の弾発力により図中の矢印A
方向に移動し、第1エゼクタユニツト22に接続する管
路46aを遮断する。これにより、圧縮空気は開状態に
ある管路46bを介して第2エゼクタユニツト24のみ
に供給される。この第2エゼクタユニント24において
は、前記圧縮空気がノズル部36によって絞られ、次い
でディフューザ部38に向けて噴流として放出される。
この時のノズル部36の出口側の圧力降下および運動の
エネルギによって室34内には負圧が発生し、この負圧
によって真空ボート40および真空取出管44からの空
気も吸引されて、結局、真空取出管44側では所期の目
的とする負圧が得られる。すなわち、この第2エゼクタ
ユニツト24においては、そのノズル部36の口径が大
きく形成されているため大きな流量特性を有した低真空
が得られる。
この後、前記真空取出管44内の真空圧が漸次増大し、
この真空圧が所定値を越えると、前記分配調整弁48は
その圧力室56に作用する負圧力の増大により弁体52
が弁スプリング58の弾発力に抗して図中の矢印B方向
に移動し、前記管路46aを開き始める。そして、前記
真空取出管44内の負圧がさらに増大すると、前記分配
調整弁48の弁体52はより下方に移動し、最終的には
、第2エゼククユニソト24に接続する管路46bを全
閉する一方、第1エゼクタユニツト22に接続する管路
46aを全開する。この結果、圧縮空気は第1エゼクタ
ユニツト22のみに供給され、第2エゼクタユニツト2
4と同様の原理で真空ボート32および真空取出管44
に負圧を発生させる。
この時、第1エゼクタユニツト22はそのノズル部28
の口径が小さく形成されているため小さな流量特性を有
した高真空が得られる。
このように、本実施例では低真空型の第2エゼクタユニ
ツト24と高真空型の第1エゼクタユニツト22とを個
別に作動させるようにしたので、真空度に対する空気流
量特性は第3図に示すような特性となり、高真空時には
空気消費量を低減することが出来る。また、従来技術に
比較して分配調整弁48を新設するだけで済むので装置
のコンパクト化あるいはユニット化は従前通り可能とな
る。
なお、本実施例では前記分配調整弁48を真空圧に直接
応動して管路46aおよび46bを切り換える負圧切換
弁で構成したが、出力側の真空圧を検出する圧力センサ
からの信号に応動して管路/16aおよび46bを切り
換える電磁切換弁で構成してもよいことば謂うまでもな
い。
以上説明したように、本発明では圧縮空気等の加圧流体
供給源に真空度の異なる少なくとも二つのエゼクタユニ
ットを並列に流体回路を介して接続する一方、これらの
エゼクタユニットへ分配調整弁を介して加圧流体を分配
供給し、各エゼクタユニットを個別に作動させるように
したので、圧縮空気等の加圧流体の消費量を増大するこ
となく低真空から高真空までの広範囲の真空特性を単一
の真空発生装置により得られるという効果がある。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明したが
、本発明は前記の実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の真空発生装置の概略構成図、第2図は本
発明に係る真空発生装置の一実施例を示す概略構成図、
第3図は真空度と空気流量との関係を示す特性図である
。 20・・圧縮空気供給源 22・・第1エゼクタユニツト 24・・第2エゼクタユニツト 26・・室        28・・ノズル部30・・
ディフューザ部  32・・真空ポート34・・室  
      36・・ノズル部38・・ディフューザ部
  40・・真空ボート42・・両側逆止弁付管継手 44・・真空取出管    46・・管路48・・分配
調整弁    50・・シリンダ52・・弁体    
   54・・ピストン56・・圧力室      5
8・・弁スプリング60・・圧力信号通路

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)加圧流体供給源に真空度の異なる少なくとも二つ
    のエゼクタユニットを並列に流体回路を介して接続し、
    前記流体回路の各エゼクタユニットへの分岐部に前記各
    エゼクタユニットへの加圧流体の分配量を調整する分配
    調整弁を配設することを特徴とする真空発生装置。
  2. (2)特許請求の範囲第1項記載の装置において、加圧
    流体供給源に接続される二つのエゼクタユニットは夫々
    ノズル径を異にする低真空型と高真空型とからなる真空
    発生装置。
  3. (3)特許請求の範囲第1項または第2項記載の装置に
    おいて、分配調整弁は出力の真空圧に直接応動して流体
    回路を切り換える負圧切換弁で構成してなる真空発生装
    置。
  4. (4)特許請求の範囲第1項または第2項記載の装置に
    おいて、分配調整弁は出力の真空圧を検出する圧力セン
    サからの信号に応動して流体回路を切り換える電磁切換
    弁で構成してなる真空発生装置。
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