JPH0445680B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0445680B2 JPH0445680B2 JP59177897A JP17789784A JPH0445680B2 JP H0445680 B2 JPH0445680 B2 JP H0445680B2 JP 59177897 A JP59177897 A JP 59177897A JP 17789784 A JP17789784 A JP 17789784A JP H0445680 B2 JPH0445680 B2 JP H0445680B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- ejector unit
- ejector
- pressure
- pressurized fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 31
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
- F04F5/48—Control
- F04F5/52—Control of evacuating pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空発生装置に関し、一層詳細には圧
縮空気等の流体の供給源に真空発生特性の異なる
少なくとも二つのエゼクタユニツトを並列に流体
回路を介して接続すると共にその前段に接続され
る分配調整弁により前記流体回路を切り換えるよ
うに構成した真空発生装置に関する。
縮空気等の流体の供給源に真空発生特性の異なる
少なくとも二つのエゼクタユニツトを並列に流体
回路を介して接続すると共にその前段に接続され
る分配調整弁により前記流体回路を切り換えるよ
うに構成した真空発生装置に関する。
蒸気、空気あるいは水をノズルより噴出させて
空気を吸引し真空を得る装置として従来からエゼ
クタが用いられている。この種のエゼクタは一般
的にノズル部とデイフユーザ部とに分けることが
出来、ノズル部の出口側の圧力降下および運動の
エネルギによつて負圧を発生させるよう構成して
いる。
空気を吸引し真空を得る装置として従来からエゼ
クタが用いられている。この種のエゼクタは一般
的にノズル部とデイフユーザ部とに分けることが
出来、ノズル部の出口側の圧力降下および運動の
エネルギによつて負圧を発生させるよう構成して
いる。
ところで、真空発生装置として、従来では、エ
ゼクタにおけるノズル部の特性上から、高真空が
得られるもの、または、低真空時において大きな
流量特性を持つものなど種々のものが提案されて
いる。然しながら、近年、装置のコンパクト化あ
るいはユニツト化に伴い、前記の異なつた真空特
性を一つの真空発生装置で得るようにした装置が
提案された。この場合、第１図に示すように、ノ
ズル部１０の口径が小さい高真空型の第１のエゼ
クタユニツト１２とノズル部１４の口径が大きい
低真空型の第２のエゼクタユニツト１６とを図外
の圧縮空気等の流体の供給源にシリアルに流体回
路を介して接続し、低真空から高真空までの真空
特性を得るように構成している。
ゼクタにおけるノズル部の特性上から、高真空が
得られるもの、または、低真空時において大きな
流量特性を持つものなど種々のものが提案されて
いる。然しながら、近年、装置のコンパクト化あ
るいはユニツト化に伴い、前記の異なつた真空特
性を一つの真空発生装置で得るようにした装置が
提案された。この場合、第１図に示すように、ノ
ズル部１０の口径が小さい高真空型の第１のエゼ
クタユニツト１２とノズル部１４の口径が大きい
低真空型の第２のエゼクタユニツト１６とを図外
の圧縮空気等の流体の供給源にシリアルに流体回
路を介して接続し、低真空から高真空までの真空
特性を得るように構成している。
ところが、このような従来の真空発生装置にあ
つては、前記の構造上、高真空型の第１エゼクタ
ユニツト１２を作動させた時には、必然的に、圧
縮空気等の流体の供給量を増大させなければなら
ず、結局、高真空時にはこの流体の消費量が増大
するという問題があつた。
つては、前記の構造上、高真空型の第１エゼクタ
ユニツト１２を作動させた時には、必然的に、圧
縮空気等の流体の供給量を増大させなければなら
ず、結局、高真空時にはこの流体の消費量が増大
するという問題があつた。
そこで、本発明者等は鋭意考究並びに工夫を重
ねた結果、圧縮空気等の流体の供給源に真空度の
異なる少なくとも二つのエゼクタユニツトを並列
に流体回路を介して接続し、これらのエゼクタユ
ニツトに流体を分配供給するようにして、前記各
エゼクタユニツトを個別に作動させるようにすれ
ば、当該流体の消費量の少ない真空発生装置が得
られることが判つた。
ねた結果、圧縮空気等の流体の供給源に真空度の
異なる少なくとも二つのエゼクタユニツトを並列
に流体回路を介して接続し、これらのエゼクタユ
ニツトに流体を分配供給するようにして、前記各
エゼクタユニツトを個別に作動させるようにすれ
ば、当該流体の消費量の少ない真空発生装置が得
られることが判つた。
従つて、本発明の目的は低真空から高真空まで
の真空特性が得られ且つ圧縮空気等の流体の消費
量が少なくて済む真空発生装置を提供することに
ある。
の真空特性が得られ且つ圧縮空気等の流体の消費
量が少なくて済む真空発生装置を提供することに
ある。
前記の目的を達成するために、本発明は加圧流
体供給源に真空発生特性の異なる少なくとも二つ
のエゼクタユニツトを並列に流体回路を介して接
続し、 前記流体回路の各エゼクタユニツトへの分岐部
に真空取出管内の圧力が所定値より大なる場合に
真空発生特性の低いエゼクタユニツトに加圧流体
を多く流しその圧力が所定値より小なる場合には
真空発生特性の高いエゼクタユニツトに加圧流体
を多く流すように前記各エゼクタユニツトへの加
圧流体の分配量を自動的に調整する分配調整弁を
配設することを特徴とする。
体供給源に真空発生特性の異なる少なくとも二つ
のエゼクタユニツトを並列に流体回路を介して接
続し、 前記流体回路の各エゼクタユニツトへの分岐部
に真空取出管内の圧力が所定値より大なる場合に
真空発生特性の低いエゼクタユニツトに加圧流体
を多く流しその圧力が所定値より小なる場合には
真空発生特性の高いエゼクタユニツトに加圧流体
を多く流すように前記各エゼクタユニツトへの加
圧流体の分配量を自動的に調整する分配調整弁を
配設することを特徴とする。
次に、本発明に係る真空発生装置について好適
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下
詳細に説明する。
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下
詳細に説明する。
第２図において、参照符号２０はコンプレツサ
等の圧縮空気供給源を示し、この圧縮空気供給源
２０に対して第１のエゼクタユニツト２２および
第２のエゼクタユニツト２４が並列に流体回路、
すなわち、管路４６を介して接続される。前記第
１エゼクタユニツト２２はその本体部分に画成さ
れる室２６とこの室２６に臨設されるノズル部２
８およびデイフユーザ部３０と前記室２６に開口
される真空ポート３２とを含む。この第１エゼク
タユニツト２２はそのノズル部２８の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニツ
トを構成する。また、前記第２エゼクタユニツト
２４はその本体部分に画成される室３４とこの室
３４に臨設されるノズル部３６およびデイフユー
ザ部３８と前記室３４に開口される真空ポート４
０とを含む。この第２のエゼクタユニツト２４は
前記ノズル部３６の口径が大きく形成されて、所
謂、低真空型のエゼクタユニツトを構成する。さ
らに、前記第１エゼクタユニツト２２の真空ポー
ト３２と前記第２エゼクタユニツト２４の真空ポ
ート４０とは両側逆止弁付管継手４２を介して真
空取出管４４に合流接続される。
等の圧縮空気供給源を示し、この圧縮空気供給源
２０に対して第１のエゼクタユニツト２２および
第２のエゼクタユニツト２４が並列に流体回路、
すなわち、管路４６を介して接続される。前記第
１エゼクタユニツト２２はその本体部分に画成さ
れる室２６とこの室２６に臨設されるノズル部２
８およびデイフユーザ部３０と前記室２６に開口
される真空ポート３２とを含む。この第１エゼク
タユニツト２２はそのノズル部２８の口径が小さ
く形成されて、所謂、高真空型のエゼクタユニツ
トを構成する。また、前記第２エゼクタユニツト
２４はその本体部分に画成される室３４とこの室
３４に臨設されるノズル部３６およびデイフユー
ザ部３８と前記室３４に開口される真空ポート４
０とを含む。この第２のエゼクタユニツト２４は
前記ノズル部３６の口径が大きく形成されて、所
謂、低真空型のエゼクタユニツトを構成する。さ
らに、前記第１エゼクタユニツト２２の真空ポー
ト３２と前記第２エゼクタユニツト２４の真空ポ
ート４０とは両側逆止弁付管継手４２を介して真
空取出管４４に合流接続される。
一方、前記圧縮空気供給源２０と前記第１エゼ
クタユニツト２２および第２エゼクタユニツト２
４とを結ぶ管路４６の途中には当該管路４６の分
岐管４６ａおよび４６ｂの集合部に位置して前記
第１エゼクタユニツト２２、第２エゼクタユニツ
ト２４への圧縮空気の分配量を調整する分配調整
弁４８が配設される。この分配調整弁４８は前記
真空取出管４４内の真空圧に直接応動して管路４
６ａと管路４６ｂとを切り換えるスプール型の負
圧切換弁で構成される。すなわち、前記分配調整
弁４８はその本体部分に画成されたシリンダ５０
内を第２図の矢印Ａ，Ｂ方向に摺動して前記管路
４６ａと管路４６ｂとの開閉を切り換える弁体５
２と、この弁体５２と一体的に動作するピストン
５４によつて隔成される圧力室５６と、この圧力
室５６に収装されて前記弁体５２を、常時、図中
の矢印Ａ方向に付勢する弁スプリング５８とを含
む。そして、前記圧力室５６は圧力信号通路６０
を介して前記真空取出管４４に連通接続される。
クタユニツト２２および第２エゼクタユニツト２
４とを結ぶ管路４６の途中には当該管路４６の分
岐管４６ａおよび４６ｂの集合部に位置して前記
第１エゼクタユニツト２２、第２エゼクタユニツ
ト２４への圧縮空気の分配量を調整する分配調整
弁４８が配設される。この分配調整弁４８は前記
真空取出管４４内の真空圧に直接応動して管路４
６ａと管路４６ｂとを切り換えるスプール型の負
圧切換弁で構成される。すなわち、前記分配調整
弁４８はその本体部分に画成されたシリンダ５０
内を第２図の矢印Ａ，Ｂ方向に摺動して前記管路
４６ａと管路４６ｂとの開閉を切り換える弁体５
２と、この弁体５２と一体的に動作するピストン
５４によつて隔成される圧力室５６と、この圧力
室５６に収装されて前記弁体５２を、常時、図中
の矢印Ａ方向に付勢する弁スプリング５８とを含
む。そして、前記圧力室５６は圧力信号通路６０
を介して前記真空取出管４４に連通接続される。
本発明に係る真空発生装置は基本的には以上の
ように構成され、次にその作用および効果につい
て説明する。
ように構成され、次にその作用および効果につい
て説明する。
先ず、圧縮空気供給源２０より管路４６を介し
て第１エゼクタユニツト２２および第２エゼクタ
ユニツト２４に向けて圧縮空気を供給するが、こ
の時、前記真空取出管４４内の真空圧はまだ小さ
い。従つて、前記真空圧に応動する分配調整弁４
８はその弁体５２が弁スプリング５８の弾発力に
より図中の矢印Ａ方向に移動し、第１エゼクタユ
ニツト２２に接続する管路４６ａを遮断する。こ
れにより、圧縮空気は開状態にある管路４６ｂを
介して第２エゼクタユニツト２４のみに供給され
る。この第２エゼクタユニツト２４においては、
前記圧縮空気がノズル部３６によつて絞られ、次
いでデイフユーザ部３８に向けて噴流として放出
される。この時のノズル部３６の出口側の圧力降
下および運動のエネルギによつて室３４内には負
圧が発生し、この負圧によつて真空ポート４０お
よび真空取出管４４からの空気も吸引されて、結
局、真空取出管４４側では所期の目的とする負圧
が得られる。すなわち、この第２エゼクタユニツ
ト２４においては、そのノズ部３６の口径が大き
く形成されているため大きな流量特性を有した低
真空が得られる。
て第１エゼクタユニツト２２および第２エゼクタ
ユニツト２４に向けて圧縮空気を供給するが、こ
の時、前記真空取出管４４内の真空圧はまだ小さ
い。従つて、前記真空圧に応動する分配調整弁４
８はその弁体５２が弁スプリング５８の弾発力に
より図中の矢印Ａ方向に移動し、第１エゼクタユ
ニツト２２に接続する管路４６ａを遮断する。こ
れにより、圧縮空気は開状態にある管路４６ｂを
介して第２エゼクタユニツト２４のみに供給され
る。この第２エゼクタユニツト２４においては、
前記圧縮空気がノズル部３６によつて絞られ、次
いでデイフユーザ部３８に向けて噴流として放出
される。この時のノズル部３６の出口側の圧力降
下および運動のエネルギによつて室３４内には負
圧が発生し、この負圧によつて真空ポート４０お
よび真空取出管４４からの空気も吸引されて、結
局、真空取出管４４側では所期の目的とする負圧
が得られる。すなわち、この第２エゼクタユニツ
ト２４においては、そのノズ部３６の口径が大き
く形成されているため大きな流量特性を有した低
真空が得られる。
以上のように、前記真空取出管４４内の真空度
が徐々に増大すると、圧力信号通路６０を介して
前記分配調整弁４８の圧力室５６内の負圧力も増
大し、該圧力室５６内の真空圧が所定値を越える
と、弁体５２が弁スプリング５８の弾発力に抗し
て第２図の矢印Ｂ方向へと移動し、管路４６ａを
開き始める。真空取出管４４内の真空圧、換言す
れば、分配調整弁４８の圧力室５６内の負圧がさ
らに増大すると、前記分配調整弁４８の弁体５２
はその負圧力に応じて矢印Ｂ方向へと移動し、管
路４６ａの開度も増すに至る。このため、第１エ
ゼクタユニツト２２の真空ポート３２は負圧を生
起し始める。このように、真空取出管４４内の負
圧が増し、最終的に第２エゼクタユニツト２４に
接続する管路４６ｂは弁体５２により全開される
一方、第１エゼクタユニツト２２に連結する管路
４６ａが全開される。この時、圧力室５６では弁
スプリング５８の弾発力に抗して第１エゼクタユ
ニツト２２の付勢作用下に真空取出管４４の負圧
に対応して弁体５２は管路４６ａを開成しながら
も矢印Ｂ方向に下降した位置にある。従つて、た
とえ、弁体５２が管路４６ｂを閉成して第２エゼ
クタユニツト２４が付勢されない状態になつたと
しても、第１エゼクタユニツト２２が負圧を発生
させていれば、真空取出管４４に連通する圧力信
号通路６０を介して圧力室５６は負圧状態を維持
し、従つて、弁体５２は下降した位置を維持す
る。すなわち、圧縮空気は第１エゼクタユニツト
２２のみに供給され、第２エゼクタユニツト２４
と同様の原理で真空ポート３２および真空取出管
４４に負圧を発生させる。この時、第１エゼクタ
ユニツト２２はそのノズル部２８の口径が小さく
形成されているため小さな流量特性を有した高真
空が得られる。
が徐々に増大すると、圧力信号通路６０を介して
前記分配調整弁４８の圧力室５６内の負圧力も増
大し、該圧力室５６内の真空圧が所定値を越える
と、弁体５２が弁スプリング５８の弾発力に抗し
て第２図の矢印Ｂ方向へと移動し、管路４６ａを
開き始める。真空取出管４４内の真空圧、換言す
れば、分配調整弁４８の圧力室５６内の負圧がさ
らに増大すると、前記分配調整弁４８の弁体５２
はその負圧力に応じて矢印Ｂ方向へと移動し、管
路４６ａの開度も増すに至る。このため、第１エ
ゼクタユニツト２２の真空ポート３２は負圧を生
起し始める。このように、真空取出管４４内の負
圧が増し、最終的に第２エゼクタユニツト２４に
接続する管路４６ｂは弁体５２により全開される
一方、第１エゼクタユニツト２２に連結する管路
４６ａが全開される。この時、圧力室５６では弁
スプリング５８の弾発力に抗して第１エゼクタユ
ニツト２２の付勢作用下に真空取出管４４の負圧
に対応して弁体５２は管路４６ａを開成しながら
も矢印Ｂ方向に下降した位置にある。従つて、た
とえ、弁体５２が管路４６ｂを閉成して第２エゼ
クタユニツト２４が付勢されない状態になつたと
しても、第１エゼクタユニツト２２が負圧を発生
させていれば、真空取出管４４に連通する圧力信
号通路６０を介して圧力室５６は負圧状態を維持
し、従つて、弁体５２は下降した位置を維持す
る。すなわち、圧縮空気は第１エゼクタユニツト
２２のみに供給され、第２エゼクタユニツト２４
と同様の原理で真空ポート３２および真空取出管
４４に負圧を発生させる。この時、第１エゼクタ
ユニツト２２はそのノズル部２８の口径が小さく
形成されているため小さな流量特性を有した高真
空が得られる。
このように、本実施例では低真空型の第２エゼ
クタユニツト２４と高真空型の第１エゼクタユニ
ツト２２とを個別に作動させるようにしたので、
真空特性に対する空気流量特性は第３図に示すよ
うになり、高真空時には空気消費量を低減するこ
とが出来る。また、従来技術に比較して分配調整
弁４８を新設するだけで済むので装置のコンパク
ト化あるいはユニツト化は従前通り可能となる。
クタユニツト２４と高真空型の第１エゼクタユニ
ツト２２とを個別に作動させるようにしたので、
真空特性に対する空気流量特性は第３図に示すよ
うになり、高真空時には空気消費量を低減するこ
とが出来る。また、従来技術に比較して分配調整
弁４８を新設するだけで済むので装置のコンパク
ト化あるいはユニツト化は従前通り可能となる。
なお、本実施例では前記分配調整弁４８を真空
圧に直接応動して管路４６ａおよび４６ｂを切り
換える負圧切換弁で構成したが、出力側の真空圧
を検出する圧力センサからの信号に応動して管路
４６ａおよび４６ｂを切り換える電磁切換弁で構
成してもよいことは謂うまでもない。
圧に直接応動して管路４６ａおよび４６ｂを切り
換える負圧切換弁で構成したが、出力側の真空圧
を検出する圧力センサからの信号に応動して管路
４６ａおよび４６ｂを切り換える電磁切換弁で構
成してもよいことは謂うまでもない。
以上説明したように、本発明では圧縮空気等の
加圧流体供給源に真空特性の異なる少なくとも二
つのエゼクタユニツトを並列に流体回路を介して
接続する一方、これらのエゼクタユニツトへ分配
調整弁を介して加圧流体を分配供給し、各エゼク
タユニツトを個別に作動させるようにしたので、
圧縮空気等の加圧流体の消費量を増大することな
く低真空から高真空までの広範囲の真空特性を単
一の真空発生装置により得られるという効果があ
る。
加圧流体供給源に真空特性の異なる少なくとも二
つのエゼクタユニツトを並列に流体回路を介して
接続する一方、これらのエゼクタユニツトへ分配
調整弁を介して加圧流体を分配供給し、各エゼク
タユニツトを個別に作動させるようにしたので、
圧縮空気等の加圧流体の消費量を増大することな
く低真空から高真空までの広範囲の真空特性を単
一の真空発生装置により得られるという効果があ
る。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて説
明したが、本発明は前記の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良並びに設計の変更が可能なことは
勿論である。
明したが、本発明は前記の実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良並びに設計の変更が可能なことは
勿論である。
第１図は従来の真空発生装置の概略構成図、第
２図は本発明に係る真空発生装置の一実施例を示
す概略構成図、第３図は真空度と空気流量との関
係を示す特性図である。 ２０……圧縮空気供給源、２２……第１エゼク
タユニツト、２４……第２エゼクタユニツト、２
６……室、２８……ノズル部、３０……デイフユ
ーザ部、３２……真空ポート、３４……室、３６
……ノズル部、３８……デイフユーザ部、４０…
…真空ポート、４２……両側逆止弁付管継手、４
４……真空取出管、４６……管路、４８……分配
調整弁、５０……シリンダ、５２……弁体、５４
……ピストン、５６……圧力室、５８……弁スプ
リング、６０……圧力信号通路。
２図は本発明に係る真空発生装置の一実施例を示
す概略構成図、第３図は真空度と空気流量との関
係を示す特性図である。 ２０……圧縮空気供給源、２２……第１エゼク
タユニツト、２４……第２エゼクタユニツト、２
６……室、２８……ノズル部、３０……デイフユ
ーザ部、３２……真空ポート、３４……室、３６
……ノズル部、３８……デイフユーザ部、４０…
…真空ポート、４２……両側逆止弁付管継手、４
４……真空取出管、４６……管路、４８……分配
調整弁、５０……シリンダ、５２……弁体、５４
……ピストン、５６……圧力室、５８……弁スプ
リング、６０……圧力信号通路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 加圧流体供給源に真空発生特性の異なる少な
くとも二つのエゼクタユニツトを並列に流体回路
を介して接続し、 前記流体回路の各エゼクタユニツトへの分岐部
に真空取出管内の圧力が所定値より大なる場合に
真空発生特性の低いエゼクタユニツトに加圧流体
を多く流しその圧力が所定値より小なる場合には
真空発生特性の高いエゼクタユニツトに加圧流体
を多く流すように前記各エゼクタユニツトへの加
圧流体の分配量を自動的に調整する分配調整弁を
配設することを特徴とする真空発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17789784A JPS6155399A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17789784A JPS6155399A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP278291A Division JPH06185499A (ja) | 1991-01-01 | 1991-01-14 | 真空発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155399A JPS6155399A (ja) | 1986-03-19 |
| JPH0445680B2 true JPH0445680B2 (ja) | 1992-07-27 |
Family
ID=16038971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17789784A Granted JPS6155399A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 真空発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6155399A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4132897B2 (ja) | 2002-03-19 | 2008-08-13 | 株式会社日本ピスコ | 真空発生装置 |
| CN100443740C (zh) * | 2006-07-28 | 2008-12-17 | 南京理工大学 | 流量自调式射流真空发生器 |
| JPWO2009016827A1 (ja) * | 2007-07-30 | 2010-10-14 | 東 保 | エアー循環回路 |
| JP2014003186A (ja) * | 2012-06-19 | 2014-01-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
| CN105408177B (zh) * | 2014-07-10 | 2018-02-13 | 戴科知识产权控股有限责任公司 | 双文丘里装置 |
| CA2996868C (en) | 2015-08-26 | 2021-02-16 | Berkshire Grey, Inc. | Systems and methods for providing vacuum valve assemblies for end effectors |
| CA3178166A1 (en) | 2015-09-08 | 2017-03-16 | Berkshire Grey Operating Company, Inc. | Systems and methods for providing high flow vacuum acquisition in automated systems |
| US10011020B2 (en) | 2016-01-08 | 2018-07-03 | Berkshire Grey, Inc. | Systems and methods for acquiring and moving objects |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421604A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-19 | Tlv Co Ltd | Condensing recovery pump |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP17789784A patent/JPS6155399A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421604A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-19 | Tlv Co Ltd | Condensing recovery pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6155399A (ja) | 1986-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6155796A (en) | Ejector for generating negative pressure | |
| EP0923855A3 (en) | Fluid distribution system | |
| JPH0344238B2 (ja) | ||
| JPH0445680B2 (ja) | ||
| JPH0388621A (ja) | 真空式汚水収集装置及び該装置用真空弁コントローラ | |
| JP2004502904A (ja) | 真空発生装置 | |
| CA2039459A1 (en) | Intake port pressure control system for engine induction system | |
| JPH06185499A (ja) | 真空発生装置 | |
| US3565091A (en) | Fluid pump and regulator | |
| US6270321B1 (en) | Suction jet pump | |
| US4043123A (en) | Negative pressure generating system for internal combustion engine powered vehicles | |
| CN209414740U (zh) | 使用节流阀片的电磁脉冲阀 | |
| US3556488A (en) | Carburetor with fluid elements | |
| DE60315292D1 (de) | Druckluftventil für bremsanlagen | |
| CN213673718U (zh) | 一种稳定性好的控制阀 | |
| CN216111491U (zh) | 一种集成式真空泵系统 | |
| CN220556002U (zh) | 门泵气路集成三联件 | |
| US3290884A (en) | Power system | |
| CN216078376U (zh) | 一种膜片先导式沿程补气装置 | |
| CN219530563U (zh) | 一种微小气流控制的压力调节系统 | |
| JP3658218B2 (ja) | スクリュ圧縮機の吸気調節弁 | |
| CN209414678U (zh) | 具有节流簧片的电磁脉冲阀 | |
| JPS58682A (ja) | ガス圧縮機の吸込絞り弁 | |
| CN209414646U (zh) | 安装节流球堵的电磁脉冲阀 | |
| JPS57207785A (en) | Apparatus for controlling internal pressure of condenser |